CN116721956B - 料盒更换方法、料盒更换小车及晶圆供料系统 - Google Patents

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Abstract

本发明揭示了料盒更换方法、料盒更换小车及晶圆供料系统，其中，料盒更换方法通过在地面或平台上移动的料盒更换小车来进行料盒的自动更换，料盒更换小车可以直接携带装有待去环晶圆的第一料盒移动到供料回收装置进行更换，其更换动作更简单，效率更高，并且采用料盒更换小车能够有效地满足多层料盒的更换需要，适用范围更广；同时，料盒更换小车在更换料盒时能够充分利用现有去环过程中在等待上料到下料期间的较长时间实现一次性更换，与去环作业的契合度更高，避免了对现有去环动作的干涉。

Description

料盒更换方法、料盒更换小车及晶圆供料系统
技术领域
本发明涉及半导体器件加工领域，尤其是料盒更换方法、料盒更换小车及晶圆供料系统。
背景技术
在太鼓晶圆去环过程中，需要通过自动供料结构来进行待去环晶圆的供料，自动供料结构通常包括顶升机构以及设置在顶升机构上的料盒，当一个料盒中的待去环晶圆完成加工后，需要将料盒进行更换。
通过自动化设备来实现料盒的自动更换是期望的。授权公告号为CN208861958U的中国实用新型专利揭示了一种常用的结构，其采用天车及夹取装置配合进行料盒的更换。这种结构更换时，需要先将晶圆盒移动到装卸口后，然后才能再去抓取新的料盒来实现料盒的更换，其效率较低。
更重要的是，这种结构无法适用于具有多层料盒的自动供料结构的料盒更换，使用场景受到限制。
发明内容
本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种料盒更换方法、料盒更换小车及晶圆供料系统。
本发明的目的通过以下技术方案来实现：
料盒更换方法，用于实现晶圆去环设备的料盒更换，所述晶圆去环设备包括供料回收装置、切割工位、过渡工位、清洁工位、解胶工位、取环工位、第一移载组件、第二移载组件及控制系统；所述控制系统控制第一移载组件及第二移载组件以使多个晶圆在所述供料回收装置、过渡工位、切割工位、清洁工位、解胶工位及取环工位之间移动；所述供料回收装置上设置有多层相互分离的料盒；
所述料盒更换方法包括如下过程：
料盒更换小车获取装有待去环晶圆的第一料盒；
在接收到更换料盒的信息后，所述料盒更换小车移动至需要更换料盒的供料回收装置旁，所述供料回收装置上设置有多层相互分离的料盒；
在确定一待去环晶圆完成去环回到料盒，且所述供料回收装置将其上另一待去环晶圆移动到上料位置等待上料时，所述料盒更换小车将所述供料回收装置上需要更换的第二料盒取下并更换为第一料盒，所述第二料盒中的晶圆均完成去环；
完成料盒更换后，所述料盒更换小车将更换下的第二料盒移动至下料位置下料；
所述料盒更换小车再次获取装有待去环晶圆的第一料盒并等待再次更换料盒。
优选的，所述料盒更换小车包括带动力源的移动车体，所述移动车体上设置有更换机构，所述更换机构包括设置于所述移动车体上的旋转平台，所述旋转平台上设置有高度调节机构，所述高度调节机构连接取盒平移机构，所述取盒平移机构连接两个叉板，所述料盒相对的两个侧板的外表面处分别设置有与所述叉板匹配的插口。
优选的，所述叉板的前端部分是前窄后宽的梯形，两个所述叉板的后端固定在一微调板上，所述微调板可沿垂直于所述叉板的伸缩方向平移地设置在所述取盒平移机构上，所述微调板的两端分别连接有弹性复位件。
优选的，所述叉板的顶部设置有用于防止架设在叉板上的料盒由叉板上移出的阻挡部，所述阻挡部的顶部到所述叉板底部的距离小于所述插口沿高度方向上延伸的长度。
优选的，所述料盒更换小车滚动设置在导向轨道上；
当所述供料回收装置为一个时，所述导向轨道的延伸方向与晶圆进出所述供料回收装置的方向一致且与所述供料回收装置的料盒正对；
当所述供料回收装置为多个时，所述供料回收装置分布在所述导向轨道的至少一侧，且料盒进出所述供料回收装置的方向与所述导向轨道垂直。
优选的，所述料盒更换小车通过滑触线供电，所述滑触线设置在所述料盒更换小车的侧部。
优选的，所述移动车体上设置有货架，所述货架上包括至少一个料盒存放位。
优选的，所述供料回收装置为多个，所述料盒更换小车根据接收的需要更换料盒的供料回收装置的位置进行料盒的更换。
优选的，所述料盒更换小车的更换机构获取多个第一料盒并放置于所述货架上，在完成一个供料回收装置的料盒更换后，若确定所述货架上仍具有第一料盒且接收到另一供料回收装置需要更换料盒的信息时，所述料盒更换小车移动至所述另一供料回收装置处进行料盒更换。
料盒更换小车，包括带动力源的移动车体，所述移动车体上设置有更换机构，所述更换机构包括设置于所述移动车体上的旋转平台，所述旋转平台上设置有高度调节机构，所述高度调节机构连接取盒平移机构，所述取盒平移机构连接两个与料盒相对的两个侧板的外表面处分别设置的插口匹配的叉板。
晶圆供料系统，包括如上所述的料盒更换小车。
本发明技术方案的优点主要体现在：
本发明的方法通过在地面或平台上移动的料盒更换小车来进行料盒的自动更换，料盒更换小车可以直接携带装有待去环晶圆的第一料盒移动到供料回收装置进行更换，其更换动作更简单，效率更高，并且采用料盒更换小车能够有效地满足多层料盒的更换需要，适用范围更广；同时，料盒更换小车在更换料盒时能够充分利用现有去环过程中在等待上料到下料期间的较长时间实现一次性更换，效率高且更容易实现，与去环作业的契合度更高。
本发明的料盒更换小车的移动车体能够以简单结构实现大行程的移动，更易于与多个供料回收装置配合使用；同时，更换机构的结构紧凑，能够有效地与供料回收装置及其上的料盒适配，且设备成本低，易于实现，控制简单。采用叉板叉取料盒，叉板能够有效地对料盒提供稳定支撑并使料盒保持稳定，相对于采用夹取装置，搬运的稳定性、安全性更好。
本发明的两个叉板具有一定的微调能力，同时结合叉板前端的导向设计，能够在叉板与插口之间存在微小的位置偏差时，通过叉板的微调来保证更换机构有效地叉取到料盒，为料盒自动更换的实现创造了有利条件。
本发明的两个叉板顶部设置阻挡部能够有效地防止料盒从叉板上移出，同时通过对阻挡部的形态及位置设计，能够使料盒的晶圆进出侧在搬运时处于略微向上倾斜的状态，从而避免移动过程中晶圆从料盒上掉出，极大地提高了安全性。
本发明的料盒更换小车沿导向轨道移动，使料盒更换小车定向移动，可以使料盒更换小车的移动控制更简单，更容易实现料盒更换小车的叉板与料盒上的插口的位置对应，提高叉取的成功率，并且，料盒更换小车可以和一个供料回收装置配合工作，也可以与多个供料回收装置配合工作，应用的灵活性好。
附图说明
图1是本发明的供料回收装置及料盒更换小车的俯视图；
图2是本发明的供料回收装置的主视图；
图3是本发明的料盒的示意图；
图4是本发明的料盒更换小车的示意图；
图5是本发明的更换机构的示意图；
图6是本发明的更换机构的叉取料盒时，料盒处于倾斜状态的示意图；
图7本发明的料盒更换小车与一个供料回收装置配合的局部示意图；
图8是本发明的料盒更换小车与多个供料回收装置配合的局部示意图；
图9是本发明的料盒更换小车带有货架的示意图。
具体实施方式
本发明的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本发明技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本发明要求保护的范围之内。
在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
实施例1
下面结合附图对本发明揭示的料盒更换方法进行阐述，所述料盒更换方法用于实现晶圆去环设备的料盒更换，所述晶圆去环设备包括供料回收装置、切割工位、过渡工位、清洁工位、解胶工位、取环工位、第一移载组件、第二移载组件及控制系统；所述控制系统控制第一移载组件及第二移载组件以使多个晶圆在所述供料回收装置、过渡工位、切割工位、清洁工位、解胶工位及取环工位之间移动。
所述晶圆去环设备的具体结构及工作过程如授权公告号为CN114843207B所揭示的现有技术，此处不作赘述。
区别于上述现有专利，本发明的方法是基于如附图1所示的供料回收装置1及料盒更换小车2，所述供料回收装置1与现有专利中的上下料工位的作用相同，即用于供应待去环晶圆及接收完成去环的晶圆，区别于现有专利的上下料工位，所述供料回收装置包括多层相互独立的料盒且多层料盒可以上下移动；所述料盒更换小车2用于为所述供料回收装置1更换料盒13。
如附图1、附图2所示，所述供料回收装置1包括一料盒放置架11，所述料盒放置架11连接一驱动其升降的供料驱动装置12，所述料盒放置架11上设置有多层彼此分离的料盒13。所述料盒放置架11的具体结构可以根据需要设计，本实施例中，所述料盒放置架11可以包括底板111、设置在底板111上的四个呈矩形分布的支杆112以及连接在所述支杆112之间的连杆，同时，所述料盒放置架11上设置有至少一层位于四个支杆之间的托板113，所述底板111和托板113上可分别放置一料盒13。
所述料盒放置架11上设置有确定各层是否具有料盒13的料盒检测传感器（图中未示出），所述料盒检测传感器可以是每个所述托板113和底板处设置的接近传感器，所述料盒检测传感器的具体安装位置可以根据实际需要选择，此处不作限定。
为了能够有效地实现料盒13的限位，在所述底板111和托板113上可以设置限位结构来对料盒13进行限位。较优的，所述底板111和托板113的顶面形成一用于限制所述料盒13的凹槽（图中未示出），所述料盒13的底部嵌入在所述凹槽中，从而料盒13无法相对所述底板111和托板113平移。当然，所述凹槽也不是必须的。
如附图1、附图2所示，所述供料驱动装置12包括纵向伺服模组121，所述纵向伺服模组121设置在支架122上，同时，所述纵向伺服模组121连接一载台123，所述载台123上设置所述料盒放置架11，所述载台123通过滑块滑动设置在沿竖向延伸的纵轨124上，所述纵轨124设置在支架122上。所述料盒13由所述料盒放置架11的第一侧114进出，所述料盒13上的晶圆由所述料盒放置架11的第二侧115进出，所述第二侧115与所述第一侧114相对设置。所述纵向伺服模组121位于所述料盒放置架11相对的第三侧116和/或第四侧117。
所述料盒13可以是已知的各种可行的结构，如附图3所示，其通常包括矩形的外框，所述外框的两侧板131上分别设置有多层支板132，两个侧板上等高的两个支板用于放置一晶圆。同时为了配合所述料盒更换小车2的作业，所述料盒13的与所述第三侧116和第四侧117对应的两侧板131的外壁处分别设置有插接部133，所述插接部133处设置有插口134或所述插接部133与所述料盒13的外壁围合成插口134，所述插口134的高度（沿高度方向延伸的距离）显著大于所述插口134的宽度。
所述料盒更换小车2在地面上或地面上设置的平台上移动，如附图4所示，所述料盒更换小车2包括带动力源的移动车体21，所述移动车体21上设置有更换机构，所述更换机构包括设置于所述移动车体21上的旋转平台22，所述旋转平台22上设置有高度调节机构23，所述高度调节机构23连接取盒平移机构24，所述取盒平移机构24连接两个叉板25，所述叉板25为与所述插口134匹配的形状，并且，所述叉板25的高度小于所述插口134的高度。
所述移动车体21包括车架及设置在车架上的一组行走轮，其中两个同心的行走轮共轴且传扭连接在一转轴上，所述转轴可自转地设置在车架上且通过传动机构连接所述车架上设置的动力源，所述传动机构可以是同步轮与同步带构成，也可以是链条与链轮构成；所述动力源可以是各种可行的电机。通过所述电机的正反转，可以驱动所述转轴正反转，从而通过行走轮的正反转实现移动车体21的前进后退。当然，在其他实施例中，所述移动车体21也可以采用现有的差速AGV的结构，此处不作赘述。
所述旋转平台可以是已知的伺服转台，所述旋转平台的转动盘突出到车架的顶部上方且其上设置所述高度调节机构23，如附图4、附图5所示，所述高度调节机构23包括立架231，所述立架231上设置有竖向伺服模组232，所述竖向伺服模组232连接一安装台233并驱动所述安装台233升降，所述安装台233通过第一滑块234滑动地设置在所述立架231上设置的第一滑轨235上。所述安装台233上设置所述取盒平移机构24，所述取盒平移机构24包括至少一个直线驱动器241，所述直线驱动器241可以是两个直线电机，也可以是两个电动推杆，当然，在其他实施例中，所述直线驱动器241也可以是气缸或液压缸等。两个所述直线驱动器241连接一竖板242，所述叉板25垂直设置在所述竖板242上。所述取盒平移机构24驱动所述叉板25水平伸缩实现料盒13的叉取。
如附图5所示，为了使所述竖板242能够更好地支撑所述叉板25以减小所述直线驱动器241受到的剪切力，使所述竖板242背向所述叉板25的一面垂直设置有至少一支撑轴243，所述支撑轴243可移动地设置在所述安装台233上的轴套244中，所述轴套244靠近所述安装台233的前端。
如附图5所示，由于叉取料盒13时，所述叉板25与插口134的位置可能存在微小偏差，为了使叉板25能够有效地叉取料盒13，所述叉板25可以优选为铁氟龙板材，这样可以利用材料的耐磨及自润滑特性使叉板更容易插入插口中，同时寿命更长。并且，所述叉板25的前端部分251是前窄后宽的梯形，并且，所述前端部门251的前端为朝前凸起的弧形。两个所述叉板的后端固定在微调板252上，所述微调板252可沿垂直于所述叉板25的伸缩方向平移地设置在所述竖板242上的横向滑轨253上，所述微调板252的两端分别连接有弹性复位件254，所述弹性复位件254为弹簧或缓冲器或弹片等可行元件，本实施例中以弹簧为例进行说明，所述弹簧的一端连接在所述微调板252的端面处，所述弹簧的另一端连接在所述竖板242上的限定件257上。
如附图4、附图6所示，所述叉板25的顶部设置有用于防止架设在叉板上的料盒由叉板上移出的阻挡部255，所述阻挡部255的顶部到所述叉板25的底部的距离小于所述插口134沿高度方向延伸的长度，在所述叉板25插入到所述插口134时，所述叉板25穿过所述插口134，当所述叉板25将料盒13抬起时，阻挡部255能够有效地阻止料盒13向叉板25的前端移动，极大地改善了移动车体21移动时的安全性。
如附图6所示，所述阻挡部255为三角状，所述阻挡部255的位置满足：当所述叉板25插接在插口中并将料盒13抬起时，所述插接部133的顶板135架设在所述阻挡部255的内斜边256上，同时，料盒抵靠在所述微调板上，从而料盒13的晶圆进出侧136略微向上倾斜，倾斜角度在1°-2°之间，这样能够有效地避免搬运过程中，晶圆从料盒13中掉出，进一步提高了搬运时的安全性。此时，所述底板111和托板113上用于限制料盒的凹槽的偏向所述第一侧114的内侧面为斜面以便使料盒能够稳定地嵌入到所述凹槽中。
如附图7所示，为了方便、有效地对所述料盒更换小车2的移动方向进行控制，使所述料盒更换小车2滚动设置在导向轨道3上。并且，当所述供料回收装置1为一个时，所述导向轨道3的延伸方向与晶圆进出所述供料回收装置1的方向一致，且所述导向轨道3与所述供料回收装置1上的料盒正对，这样能够有效地保证料盒更换小车2的叉板25与供料回收装置1上的料盒13两侧的插口134位置对应。
如附图8所示，当所述供料回收装置1为多个时，所述供料回收装置1分布在所述导向轨道3的至少一侧，并且，料盒进出所述供料回收装置的方向与所述导向轨道垂直。此时，所述导向轨道3的端部可以设置测距传感器，通过测距传感器可以确定所述料盒更换小车2的移动距离，进而可以确定料盒更换小车2的位置，结合已确定的每个供料回收装置的位置可以控制所述料盒更换小车2的停止位置。当然，也可以在每个所述供料回收装置1旁设置接近传感器来确定所述料盒更换小车2是否移动到与供料回收装置1对应的位置。又或者，可以通过所述料盒更换小车2的电机编码器来确定料盒更换小车2的移动距离，从而确定料盒更换小车2的移动位置，相应技术为已知技术，此处不作赘述。此时，所述料盒更换小车2根据接收的需要更换料盒13的供料回收装置1的位置进行料盒13的更换。
所述料盒更换小车2可以通过蓄电池供电，但是，由于太鼓晶圆加工时需要持续的进行料盒13的更换且存在一个料盒更换小车2与多个供料回收装置1配合工作的情况。因此，为了不影响设备的持续工作，则需要多个料盒更换小车2或设置能够进行料盒更换小车2的蓄电池快速更换的结构，这样的设备成本较大。更优的，如附图8所示，所述料盒更换小车2通过滑触线4供电，所述滑触线4设置在所述料盒更换小车2的侧部，这样就仅需要一个料盒更换小车2即可，使用成本更低，同时滑触线4设置在料盒更换小车2的车架的侧部能够更好地对滑触线4进行保护。
由于采用具有多层料盒13的供料回收装置1，因此，在供料时，当确定所述供料回收装置1的一个料盒13中的待去环晶圆已全部输出且需要将另一待去环晶圆输出到过渡工位进行加工时，所述供料回收装置1使其上的另一料盒13内的待去环晶圆移动到上料位置进行上料，这样能够实现不间断地加工，提高效率。
并且，当一完成去环的晶圆需要移回供料回收装置1时，使所述完成去环的晶圆移回其原本所属的料盒13，最优是使该完成去环的晶圆移回其在原本所述料盒上的初始位置。
具体来说：在确定所述过渡工位、清洁工位、解胶工位及去环工位均有晶圆时，所述供料回收装置控制其上的料盒移动使去环工位处的晶圆在料盒上的初始位置与所述过渡工位对接；当去环工位处的晶圆移回其在该料盒上的初始位置后，所述供料回收装置控制其上的料盒移动使下一个待去环晶圆移动到供料位置。
当一所述料盒13中的所有待去环晶圆均完成去环回到其中时，控制系统发出更换料盒13的信息。
采用上述结构进行料盒自动更换时，其包括如下过程：
在接收到更换料盒13的信息之前，所述料盒更换小车2获取第一料盒，所述第一料盒中装有待去环晶圆。
在接收到更换料盒13的信息后，所述料盒更换小车2移动至需要更换料盒13的供料回收装置1旁。
在确定一待去环晶圆完成去环回到料盒13，且所述供料回收装置1将其上另一待去环晶圆移动到上料位置等待上料时，所述料盒更换小车2将所述供料回收装置1上需要更换的第二料盒取下并更换为第一料盒，所述第二料盒中装有完成去环的晶圆。
完成更换后，所述料盒更换小车2将更换下的第二料盒移动至下料位置下料。
完成下料后，所述料盒更换小车2再次获取第一料盒并等待再次更换料盒13。
具体动作时，以料盒更换小车2与一个供料回收装置1配合工作为例进行说明，取料时，所述高度调节机构23先将叉板25调节到与第一料盒两侧的插口134匹配的高度，此时，所述阻挡部255的顶部低于所述插口134的内顶面，随后，所述旋转平台22使所述叉板25转动朝向所述第一料盒两侧的两个插口134，所述取盒平移机构24驱动所述叉板25前伸插入到第一料盒两侧的两个所述插口134中，然后，所述高度调节机构23驱动所述叉板25上升一定高度并将第一料盒抬起。所述旋转平台22将所述叉板25转动至其上的料盒13朝前的状态。
在接收到更换料盒13的信息后，所述料盒更换小车2沿导向轨道3移动至供料回收装置1旁，然后所述旋转平台22转动使叉板上的所述第一料盒移动至所述导向轨道3的外侧并通过所述高度调节机构23使叉板25上的第一料盒放置于地面或一平台上；接着，所述旋转平台22转动使所述叉板25朝向所述供料回收装置1，并等待叉取供料回收装置1上的第二料盒。
在确定可以进行第二料盒叉取时，所述高度调节机构23根据确定的要更换的第二料盒的位置，将所述叉板25移动到与该需要更换的第二料盒两侧的插口134对应的叉取位置，在叉取位置时，所述叉板25的阻挡部低于所述插口134的内顶面，所述取盒平移机构24驱动所述叉板25前伸插入到所述插口134中，接着，所述高度调节机构23使所述叉板25上移并带动所述第二料盒抬升至第二料盒位于其所在的托板113或底板上方，随后所述取盒平移机构24使所述叉板25缩回，从而将所述叉板25上的第二料盒从所述供料回收装置1中取出，然后，所述旋转平台使叉板上的所述第二料盒转动到导向轨道3外侧，所述高度调节机构23驱动所述叉板25下降从而将第二料盒放置于地面或平台上。
接着，所述更换机构再次叉取之前放下的第一料盒并将其移动至所述供料回收装置1上。将第一料盒放置在供料回收装置1上后，所述供料回收装置1再次叉取地面或平台上的第二料盒并将其移动至下料位置进行下料。
在通过料盒更换小车2进行料盒更换的过程中，确定叉板每次要移动到的高度的技术为已知技术，此处不作赘述。
实施例2
本实施例与上述实施例1的结构和原理相当，区别在于：本实施例中，如附图9所示，所述移动车体21上设置有货架26，所述货架26的结构可以是与所述供料回收装置1的料盒放置架11相同的结构，所述货架26上包括至少一个料盒存放位261，较优的，所述料盒存放位261为2-3层，每个料盒存放位处设置有用于确定是否有料盒13在该其上的料盒在位检测传感器（图中未示出）。在这种结构中，所述更换机构可将其叉取的第一料盒和第二料盒放置到所述料盒存放位261处。
此时，在获取所述第一料盒时，所述料盒更换小车2可以仅获取一个第一料盒并放置于所述货架26上。并且，在更换机构从料盒放置架11上取下第二料盒后，可以直接将其放置在所述货架26上，而不需要放置到导向轨道3侧部的地面或平台上，这样可以省去将第一料盒放置到导向轨道3的侧部及通过更换机构再次叉取从料盒放置架11上取下的第二料盒的过程，有利于简化流程，提高效率。
当然，在获取所述第一料盒时，所述料盒更换小车2也可以获取多个第一料盒并放置于所述货架26上。所述料盒更换小车2移动到需要更换料盒13的供料回收装置1旁后，不再将第一料盒放置到导向轨道3侧部，在确定可以进行第二料盒叉取时，所述更换机构直接叉取需要更换的第二料盒并将其放置在导向轨道3的侧部，随后，所述更换机构可以从货架26上叉取第一料盒并放置到供料回收装置1上。如所述供料回收装置1上还有另一第二料盒需要更换，此时，可以将该另一第二料盒从料盒放置架上取下后直接放置在货架26上空闲的料盒存放位处，然后将货架26上的另一第一料盒移动到所述供料回收装置中。
在完成一个供料回收装置1上的料盒更换后，若所述料盒更换小车2确定所述货架26上仍具有第一料盒且接收到另一供料回收装置1需要更换料盒13的信息时，所述料盒更换小车2移动至所述另一供料回收装置1处进行料盒更换。并且，可以在料盒更换小车上的所有第一料盒都更换完毕后，再去叉取最早放置于导向轨道3侧部的第二料盒并放置于货架26上。
实施例3
本实施例揭示了一种晶圆供料系统，包括上述实施例中的料盒更换小车2。
本发明尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.料盒更换方法，用于实现晶圆去环设备的料盒更换，其特征在于：所述晶圆去环设备包括供料回收装置、切割工位、过渡工位、清洁工位、解胶工位、取环工位、第一移载组件、第二移载组件及控制系统；所述控制系统控制第一移载组件及第二移载组件以使多个晶圆在所述供料回收装置、过渡工位、切割工位、清洁工位、解胶工位及取环工位之间移动；所述供料回收装置上设置有多层相互分离的料盒；
所述料盒更换方法包括如下过程：
在地面或地面上设置的平台上移动的料盒更换小车获取装有待去环晶圆的第一料盒；
在接收到更换料盒的信息后，所述料盒更换小车移动至需要更换料盒的供料回收装置旁；当一所述料盒中的所有待去环晶圆均完成去环回到所述料盒中时，发出更换料盒的信息；
在确定一待去环晶圆完成去环回到料盒，且所述供料回收装置将其上另一待去环晶圆移动到上料位置等待上料时，所述料盒更换小车将所述供料回收装置上需要更换的第二料盒取下并更换为第一料盒，所述第二料盒中的晶圆均完成去环；
完成料盒更换后，所述料盒更换小车将更换下的第二料盒移动至下料位置下料；
完成下料后，所述料盒更换小车再次获取第一料盒并等待再次更换料盒；
所述料盒更换小车包括带动力源的移动车体，所述移动车体上设置有更换机构，所述更换机构包括设置于所述移动车体上的旋转平台，所述旋转平台上设置有高度调节机构，所述高度调节机构连接取盒平移机构，所述取盒平移机构连接两个叉板，所述料盒相对的两个侧板的外表面处分别设置有与所述叉板匹配的插口；
所述叉板的前端部分是前窄后宽的梯形，两个所述叉板的后端固定在一微调板上，所述微调板可沿垂直于所述叉板的伸缩方向平移地设置在所述取盒平移机构上，所述微调板的两端分别连接有弹性复位件；
所述叉板的顶部设置有用于防止架设在叉板上的料盒由叉板上移出的阻挡部，所述阻挡部的顶部到所述叉板底部的距离小于所述插口沿高度方向上延伸的长度；
所述阻挡部为三角状，所述阻挡部的位置满足：当所述叉板插接在插口中并将料盒抬起时，插接部的顶板架设在所述阻挡部的内斜边上，同时，料盒抵靠在所述微调板上。
2.根据权利要求1所述的料盒更换方法，其特征在于：所述料盒更换小车滚动设置在导向轨道上；
当所述供料回收装置为一个时，所述导向轨道的延伸方向与晶圆进出所述供料回收装置的方向一致且与所述供料回收装置的料盒正对；
当所述供料回收装置为多个时，所述供料回收装置分布在所述导向轨道的至少一侧，且料盒进出所述供料回收装置的方向与所述导向轨道垂直。
3.根据权利要求2所述的料盒更换方法，其特征在于：所述料盒更换小车通过滑触线供电，所述滑触线设置在所述料盒更换小车的侧部。
4.根据权利要求1-3任一所述的料盒更换方法，其特征在于：所述移动车体上设置有货架，所述货架上包括至少一个料盒存放位。
5.根据权利要求4所述的料盒更换方法，其特征在于：所述供料回收装置为多个，所述料盒更换小车的更换机构获取多个第一料盒并放置于所述货架上，在完成一个供料回收装置的料盒更换后，若确定所述货架上仍具有第一料盒且接收到另一供料回收装置需要更换料盒的信息时，所述料盒更换小车移动至所述另一供料回收装置处进行料盒更换。
6.料盒更换小车，其特征在于：用于实现如权利要求1-5任一所述的料盒更换方法，所述料盒更换小车包括带动力源的移动车体，所述移动车体上设置有更换机构，所述更换机构包括设置于所述移动车体上的旋转平台，所述旋转平台上设置有高度调节机构，所述高度调节机构连接取盒平移机构，所述取盒平移机构连接两个叉板，两个所述叉板与料盒相对的两个侧板的外表面处分别设置的插口匹配；
所述叉板的前端部分是前窄后宽的梯形，两个所述叉板的后端固定在一微调板上，所述微调板沿垂直于所述叉板的伸缩方向平移地设置在所述取盒平移机构上，所述微调板的两端分别连接有弹性复位件；
所述叉板的顶部设置有用于防止架设在叉板上的料盒由叉板上移出的阻挡部，所述阻挡部的顶部到所述叉板底部的距离小于所述插口沿高度方向上延伸的长度；
所述阻挡部为三角状，所述阻挡部的位置满足：当所述叉板插接在插口中并将料盒抬起时，所述插接部的顶板架设在所述阻挡部的内斜边上，同时，料盒抵靠在所述微调板上。
7.晶圆供料系统，其特征在于：包括如权利要求6所述的料盒更换小车。
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