CN218004806U - 一种隔纸分板机的硅片料盒上下料机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,包括小车组件、Y轴方向运输组件,X轴方向运输组件,Y轴方向运输组件安装在X轴方向运输组件的滑块上,小车组件安装在Y轴方向运输组件的滑块上;小车组件包括固定支架,固定支架的底部安装在Y轴方向运输组件的滑块上,固定支架的顶部沿X方向设置有传送带组件,传送带组件上沿X方向依次被分为空料盒等待位、料盒升降位和满料盒等待位;空料盒等待位为空置,料盒升降位的中设置有Z轴方向输送组件,满料盒等待位的中设有满料盒支撑组件,料盒Z轴方向输送组件和满料盒支撑组件均通过支撑座固定在固定支架上。本实用新型提高了自动化及高效率的运行,节约了劳动力,提升了生产效率。
Description
技术领域
本实用新型属于光伏太阳能硅片分选设备领域,具体而言,涉及一种隔纸分板机的硅片料盒上下料机构。
背景技术
在当今光伏行业高速发展的背景下,用于生产的分板机自动化程度却较低,尤其现有分板机的料盒运输机构不仅运行速度低,而且还需要工作人员辅助分拣,如中国实用新型专利“一种硅片分选机(公开号CN208157366U)”、中国发明专利申请“一种硅片智能分选机(公开号CN112676175A)”、中国实用新型专利“一种硅片自动分选设备(公开号CN207401780U)”,从而导致效率低,浪费劳动力的同时,人工操作还容易出错,严重影响生产需求,进而现有的光伏分板机的料盒运输机构构已无法满足高效率和自动化的要求,基于以上缺陷和不足,有必要对现有的技术予以改进。
实用新型内容
为了解决现有现有技术存在的不足,本实用新型旨在提供一种隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,本机构能够实现分板机料盒的自动替换及输送,节约劳动力,提升生产效率。
为达到上述技术目的及效果,本实用新型通过以下技术方案实现:
一种隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,包括负责分板机料盒替换的小车组件、负责带动所述小车组件在Y轴方向上移动的Y轴方向运输组件,以及负责带动所述小车组件及所述Y轴方向运输组件在X轴方向上移动的X轴方向运输组件,所述Y轴方向运输组件安装在所述X轴方向运输组件的滑块上,所述小车组件安装在所述Y轴方向运输组件的滑块上;
所述小车组件包括一固定支架,所述固定支架的底部安装在所述Y轴方向运输组件的滑块上,所述固定支架的顶部沿X方向设置有用于驱动料盘进出的传送带组件,所述传送带组件上沿X方向依次被分为空料盒等待位、料盒升降位和满料盒等待位;所述空料盒等待位为空置,所述料盒升降位的中设置有一用于料盒升降的料盒Z轴方向输送组件,所述满料盒等待位的中设置有一用于支撑满料盒的满料盒支撑组件,所述料盒Z轴方向输送组件和所述满料盒支撑组件均通过对应的支撑座固定在所述固定支架上。
进一步的,X轴方向运输组件包括一对相互对称的X轴方向轨道、用于驱动所述X轴方向轨道滑块移动的X轴方向驱动组件和一X轴方向坦克链,所述X轴方向驱动组件安装在所述X轴方向轨道的端部,所述X轴方向坦克链紧邻其中一组所述X轴方向轨道的外侧面,其中一组所述X轴方向轨道导轨侧面的前端设置有X轴方向光电开关,且所述X轴方向轨道滑块上设置有X轴方向挡片,所述X轴方向光电开关和所述X轴方向挡片的配合,限制所述小车组件及所述Y轴方向运输组件在X轴方向上向前移动的最大距离。
进一步的,所述Y轴方向运输组件包括Y轴方向第一轨道、Y轴方向第二轨道、用于驱动所述Y轴方向第一轨道滑块移动的Y轴方向驱动组件和Y轴方向坦克链,所述Y轴方向第一轨道和所述Y轴方向第二轨道均安装在所述X轴方向运输组件的滑块上,所述Y轴方向驱动组件安装在所述Y轴方向第一轨道的端部,所述Y轴方向第二轨道位于所述Y轴方向第一轨道的一侧边,所述Y轴方向坦克链紧邻安装在所述Y轴方向第一轨道的另一侧边,所述Y轴方向第一轨道导轨侧面的前后端分别设置有Y轴方向光电开关,所述Y轴方向第一轨道滑块上设置有Y轴方向挡片,所述Y轴方向光电开关和所述Y轴方向挡片配合,限制所述小车组件在Y轴方向上的最大移动范围。
进一步的,所述传送带组件包括一对相互对称的传送同步带,所述空料盒等待位、所述料盒升降位和所述满料盒等待位设置在两组所述传送同步带之间,每组所述传送同步带的两端内表面均啮合有第一同步轮,所有所述第一同步轮均可转动的安装在所述固定支架上,位于每组所述传送同步带中部的内表面均啮合有第二同步轮,两组所述第二同步轮的轴向中心穿设有一旋转轴,所述旋转轴前后部均通过轴承座固定在所述固定支架上,所述旋转轴的其中一端外表面上套设有第三同步轮,所述第三同步轮的外表面啮合有驱动同步带,远离所述第三同步轮的所述驱动同步带的一端内表面啮合有第四同步轮,所述第四同步轮套设在传送带驱动电机的输出轴上,所述传送带驱动电机通过对应的支撑座固定在所述固定支架上。
进一步的,位于所述第二同步轮的前后侧的所述传送同步带的外表面分别连接有一个惰轮,所述惰轮均可转动的安装在所述固定支架上。
进一步的,所述料盒Z轴方向输送组件由料盒Z轴方向驱动组件和料盒升降板组成,所述料盒升降板设置在所述料盒Z轴方向驱动组件的顶部,且所述料盒升降板的上表面设置料盒限位块。
进一步的,所述料盒Z轴方向驱动组件包括一伺服电动缸和设置在所述伺服电动缸一侧的Z轴方向坦克链,位于所述伺服电动缸的侧面上设置有Z轴方向导轨,所述Z轴方向导轨的滑块上固定有一活动支撑板,所述活动支撑板的上端面通过连接板固定在所述伺服电动缸的输出轴上,所述料盒升降板的下端面与所述连接板的上端面固定连接;位于所述伺服电动缸的上部和下部的同一侧分别设置有Z轴方向光电开关,所述Z轴方向光电开关通过对应的支撑座固定在所述固定支架上,所述活动支撑板的侧壁设置有Z轴方向挡片,所述Z轴方向光电开关和所述Z轴方向挡片配合,限制所述伺服电动缸的最大升降范围。
进一步的,所述空料盒等待位和所述料盒升降位内均设置有一料盒挡停块,所述满料盒等待位内设置有一满料盒阻挡块,所述料盒挡停块的底部均固定有一个挡块气缸,所述满料盒阻挡块和所述挡块气缸均通过对应的支撑座固定在所述固定支架上。
进一步的,所述料盒挡停块的上端前部均设置有一导向块,所述满料盒阻挡块的上端前部设置有阻挡胶。
进一步的,所述满料盒支撑组件包括有一满料盒支撑板和设置在所述满料盒支撑板下端面的支撑气缸,所述支撑气缸通过对应的支撑座固定在所述固定支架上。
本实用新型的有益效果如下:
本实用新型通过X、Y轴方向输送组件的配合,实现运输料盒的小车组件在X及Y方向的任意移动的同时,小车组件可自动对满料盒实现自动更换及输送至下一道工序,从而提高了分板机的自动化程度及高效率的运行,大大节约了劳动力,提升了生产效率。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,构成本申请的一部分,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
图1为本实用新型机构整体结构示意图;
图2为本实用新型机构左视图;
图3为本实用新型小车组件结构示意图;
图4为本实用新型X轴方向运输组件结构示意图;
图5为本实用新型图4中A放大图;
图6为本实用新型Y轴方向运输组件结构示意图;
图7为本实用新型传送带组件结构示意图;
图8为本实用新型Z轴方向输送组件结构示意图;
图9为本实用新型Z轴方向输送组件正视图;
图10为本实用新型料盒挡停块结构示意图;
图11为本实用新型满料盒支撑组件结构示意图。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例,来详细说明本实用新型。
需要说明,本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、上端、下端、顶部、底部……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
参见图1-3所示,一种隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,包括负责分板机料盒替换的小车组件1、负责带动所述小车组件1在Y轴方向上移动的Y轴方向运输组件2,以及负责带动所述小车组件1及所述Y轴方向运输组件2在X轴方向上移动的X轴方向运输组件3,所述Y轴方向运输组件2安装在所述X轴方向运输组件3的滑块上,所述小车组件1安装在所述Y轴方向运输组件2的滑块上;
所述小车组件1包括一固定支架11,所述固定支架11的底部安装在所述Y轴方向运输组件2的滑块上,所述固定支架11的顶部沿X方向设置有用于驱动料盘进出的传送带组件12,所述传送带组件12上沿X方向依次被分为空料盒等待位、料盒升降位和满料盒等待位;所述空料盒等待位为空置,所述料盒升降位的中设置有一用于料盒升降的料盒Z轴方向输送组件13,所述满料盒等待位的中设置有一用于支撑满料盒的满料盒支撑组件14,所述料盒Z轴方向输送组件13和所述满料盒支撑组件14均通过对应的支撑座固定在所述固定支架11上。
进一步的,参见图4-5所示,X轴方向运输组件3包括一对相互对称的X轴方向轨道31、用于驱动所述X轴方向轨道31滑块移动的X轴方向驱动组件32和一X轴方向坦克链33,所述X轴方向驱动组件32安装在所述X轴方向轨道31的端部,所述X轴方向坦克链33紧邻其中一组所述X轴方向轨道31的外侧面,其中一组所述X轴方向轨道31导轨侧面的前端设置有X轴方向光电开关34,且所述X轴方向轨道31滑块上设置有X轴方向挡片35,所述X轴方向光电开关34和所述X轴方向挡片35的配合,限制所述小车组件1及所述Y轴方向运输组件2在X轴方向上向前移动的最大距离,所述光电开关34和所述X轴方向挡片35在X轴方向上提供一种软限位,以防机构发生碰撞,造成损伤。
进一步的,参见图6所示,所述Y轴方向运输组件2包括Y轴方向第一轨道21、Y轴方向第二轨道22、用于驱动所述Y轴方向第一轨道21滑块移动的Y轴方向驱动组件23和Y轴方向坦克链24,所述Y轴方向第一轨道21和所述Y轴方向第二轨道22均安装在所述X轴方向运输组件3的滑块上,所述Y轴方向驱动组件23安装在所述Y轴方向第一轨道21的端部,所述Y轴方向第二轨道22位于所述Y轴方向第一轨道21的一侧边,所述Y轴方向坦克链24紧邻安装在所述Y轴方向第一轨道21的另一侧边,所述Y轴方向第一轨道21导轨侧面的前后端分别设置有Y轴方向光电开关25,所述Y轴方向第一轨道21滑块上设置有Y轴方向挡片26,所述Y轴方向光电开关25和所述Y轴方向挡片26配合,限制所述小车组件1在Y轴方向上的最大移动范围,所述Y轴方向第二轨道22用于为所述小车组件1提供定位导向作用,以防所述小车组件1移动是发生偏移;所述光电开关25和所述方向挡片26的作用是在Y方向提供一种软限位,以防机构发生碰撞,造成损伤。
进一步的,参见图7所示,所述传送带组件12包括一对相互对称的传送同步带121,所述空料盒等待位、所述料盒升降位和所述满料盒等待位设置在两组所述传送同步带121之间,每组所述传送同步带121的两端内表面均啮合有第一同步轮122,所有所述第一同步轮122均可转动的安装在所述固定支架11上,位于每组所述传送同步带121中部的内表面均啮合有第二同步轮123,所述第二同步轮123主要用于为所述传送同步带121传送动力及张紧所述传送同步带121,两组所述第二同步轮123的轴向中心穿设有一旋转轴124,所述旋转轴124前后部均通过轴承座固定在所述固定支架11上,所述旋转轴124的其中一端外表面上套设有第三同步轮125,所述第三同步轮125的外表面啮合有驱动同步带126,远离所述第三同步轮125的所述驱动同步带126的一端内表面啮合有第四同步轮127,所述第四同步轮127套设在传送带驱动电机128的输出轴上,所述传送带驱动电机128通过对应的支撑座固定在所述固定支架11上。
进一步的,位于所述第二同步轮123的前后侧的所述传送同步带121的外表面分别连接有一个惰轮129,所述惰轮129均可转动的安装在所述固定支架11上,所述惰轮129主要作用为辅助所述第二同步轮123张紧所述传送同步带121,改变所述传送同步带121方向,增加所述传送同步带121和所述第二同步轮123包容角的作用。
进一步的,参见图8-9所示,所述料盒Z轴方向输送组件13由料盒Z轴方向驱动组件和料盒升降板132组成,所述料盒升降板132设置在所述料盒Z轴方向驱动组件的顶部,且所述料盒升降板132的上表面设置料盒限位块133。
进一步的,所述料盒Z轴方向驱动组件包括一伺服电动缸1311和设置在所述伺服电动缸1311一侧的Z轴方向坦克链1312,位于所述伺服电动缸1311的侧面上设置有Z轴方向导轨1313,所述Z轴方向导轨1313的滑块上固定有一活动支撑板1314,所述活动支撑板1314的上端面通过连接板1315固定在所述伺服电动缸1311的输出轴上,所述料盒升降板132的下端面与所述连接板1315的上端面固定连接,能有效的增加所述料盒升降板132与所述伺服电动缸1311输出轴的接触面以及通过所述导轨1313能有效提升所述料盒升降板132升降时的稳定性;位于所述伺服电动缸1311的上部和下部的同一侧分别设置有Z轴方向光电开关1316,所述Z轴方向光电开关1316通过对应的支撑座固定在所述固定支架11上,所述活动支撑板1314的侧壁设置有Z轴方向挡片1317,所述Z轴方向光电开关1316和所述Z轴方向挡片1317配合,限制所述伺服电动缸1311的最大升降范围,所述光电开关1316和所述方向挡片1317的作用是在Z方向提供一种软限位,以防机构发生碰撞,造成损伤。
进一步的,参见图3和图10所示,所述空料盒等待位和所述料盒升降位内均设置有一料盒挡停块15,所述满料盒等待位内设置有一满料盒阻挡块16,所述料盒挡停块15的底部均固定有一个挡块气缸17,所述满料盒阻挡块16和所述挡块气缸17均通过对应的支撑座固定在所述固定支架11上,当空料盒被放至所述空料盒等待位后,所述空料盒等待位中的所述料盒挡停块15将空料盒挡停在所述空料盒等待位中,并通过所述小车组件1移至需要待更换的满料盒处,当小车组件1将满料盒移至所述料盒升降位内后,所述传送带组件12将满料盒及空料盒同时向前输送,满料盒被传送至所述满料盒等待位内,所述满料盒阻挡块16的作用用于防止满料盒从所述传送同步带121中滑落,所述料盒升降位中的所述料盒挡停块15将所述空料盒挡停在所述所述料盒升降位内并实现定位,以便空料盒的安装,所述料盒挡停块15通过所述挡块气缸17实现升降,以实现对料盒的档挺及放行。
进一步的,所述料盒挡停块15的上端前部均设置有一导向块18,所述导向块18的上部设置有斜角,有效防止了向所述传送带组件12上放置空料盒和将满料盒将至所述传送带组件12时,出现侧翻,所述满料盒阻挡块16的上端前部设置有阻挡胶19,阻挡满料盒时,可以有效起到缓冲作用,防止料盒中硅片被损坏。
进一步的,参见图11所示,所述满料盒支撑组件14包括有一满料盒支撑板141和设置在所述满料盒支撑板141下端面的支撑气缸142,所述支撑气缸142通过对应的支撑座固定在所述固定支架11上,可以对满料盒进行抬升,方便下一道工序取走满料盒。
本实用新型的工作原理如下:
工作时,当设备中某个料盒被装满时,小车组件1中的空料盒等待位携带一个空料盒,并在X轴方向运输组件3和Y轴方向运输组件2的配合下移动至满料盒正下方,料盒升降板132在伺服电动缸1311的配合下,将满料盒拆下,并降至料盒升降位内,传送带组件12将满料盒传输至满料盒等待位内的同时,将空料盒由空料盒等待位传输至料盒升降位内,料盒升降板132在伺服电动缸1311的配合下将空料盒装至原满料盒的位置,完成料盒更换,小车组件1将满料盒送至下一道工序,完成一次料盒的更换。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,其特征在于:包括负责分板机料盒替换的小车组件(1)、负责带动所述小车组件(1)在Y轴方向上移动的Y轴方向运输组件(2),以及负责带动所述小车组件(1)及所述Y轴方向运输组件(2)在X轴方向上移动的X轴方向运输组件(3),所述Y轴方向运输组件(2)安装在所述X轴方向运输组件(3)的滑块上,所述小车组件(1)安装在所述Y轴方向运输组件(2)的滑块上;
所述小车组件(1)包括一固定支架(11),所述固定支架(11)的底部安装在所述Y轴方向运输组件(2)的滑块上,所述固定支架(11)的顶部沿X方向设置有用于驱动料盘进出的传送带组件(12),所述传送带组件(12)上沿X方向依次被分为空料盒等待位、料盒升降位和满料盒等待位;所述空料盒等待位为空置,所述料盒升降位的中设置有一用于料盒升降的料盒Z轴方向输送组件(13),所述满料盒等待位的中设置有一用于支撑满料盒的满料盒支撑组件(14),所述料盒Z轴方向输送组件(13)和所述满料盒支撑组件(14)均通过对应的支撑座固定在所述固定支架(11)上。
2.根据权利要求1所述的隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,其特征在于:X轴方向运输组件(3)包括一对相互对称的X轴方向轨道(31)、用于驱动所述X轴方向轨道(31)滑块移动的X轴方向驱动组件(32)和一X轴方向坦克链(33),所述X轴方向驱动组件(32)安装在所述X轴方向轨道(31)的端部,所述X轴方向坦克链(33)紧邻其中一组所述X轴方向轨道(31)的外侧面,其中一组所述X轴方向轨道(31)导轨侧面的前端设置有X轴方向光电开关(34),且所述X轴方向轨道(31)滑块上设置有X轴方向挡片(35),所述X轴方向光电开关(34)和所述X轴方向挡片(35)的配合,限制所述小车组件(1)及所述Y轴方向运输组件(2)在X轴方向上向前移动的最大距离。
3.根据权利要求1所述的隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,其特征在于:所述Y轴方向运输组件(2)包括Y轴方向第一轨道(21)、Y轴方向第二轨道(22)、用于驱动所述Y轴方向第一轨道(21)滑块移动的Y轴方向驱动组件(23)和Y轴方向坦克链(24),所述Y轴方向第一轨道(21)和所述Y轴方向第二轨道(22)均安装在所述X轴方向运输组件(3)的滑块上,所述Y轴方向驱动组件(23)安装在所述Y轴方向第一轨道(21)的端部,所述Y轴方向第二轨道(22)位于所述Y轴方向第一轨道(21)的一侧边,所述Y轴方向坦克链(24)紧邻安装在所述Y轴方向第一轨道(21)的另一侧边,所述Y轴方向第一轨道(21)导轨侧面的前后端分别设置有Y轴方向光电开关(25),所述Y轴方向第一轨道(21)滑块上设置有Y轴方向挡片(26),所述Y轴方向光电开关(25)和所述Y轴方向挡片(26)配合,限制所述小车组件(1)在Y轴方向上的最大移动范围。
4.根据权利要求1所述的隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,其特征在于:所述传送带组件(12)包括一对相互对称的传送同步带(121),所述空料盒等待位、所述料盒升降位和所述满料盒等待位设置在两组所述传送同步带(121)之间,每组所述传送同步带(121)的两端内表面均啮合有第一同步轮(122),所有所述第一同步轮(122)均可转动的安装在所述固定支架(11)上,位于每组所述传送同步带(121)中部的内表面均啮合有第二同步轮(123),两组所述第二同步轮(123)的轴向中心穿设有一旋转轴(124),所述旋转轴(124)前后部均通过轴承座固定在所述固定支架(11)上,所述旋转轴(124)的其中一端外表面上套设有第三同步轮(125),所述第三同步轮(125)的外表面啮合有驱动同步带(126),远离所述第三同步轮(125)的所述驱动同步带(126)的一端内表面啮合有第四同步轮(127),所述第四同步轮(127)套设在传送带驱动电机(128)的输出轴上,所述传送带驱动电机(128)通过对应的支撑座固定在所述固定支架(11)上。
5.根据权利要求4所述的隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,其特征在于:位于所述第二同步轮(123)的前后侧的所述传送同步带(121)的外表面分别连接有一个惰轮(129),所述惰轮(129)均可转动的安装在所述固定支架(11)上。
6.根据权利要求1所述的隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,其特征在于:所述料盒Z轴方向输送组件(13)由料盒Z轴方向驱动组件和料盒升降板(132)组成,所述料盒升降板(132)设置在所述料盒Z轴方向驱动组件的顶部,且所述料盒升降板(132)的上表面设置料盒限位块(133)。
7.根据权利要求6所述的隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,其特征在于:所述料盒Z轴方向驱动组件包括一伺服电动缸(1311)和设置在所述伺服电动缸(1311)一侧的Z轴方向坦克链(1312),位于所述伺服电动缸(1311)的侧面上设置有Z轴方向导轨(1313),所述Z轴方向导轨(1313)的滑块上固定有一活动支撑板(1314),所述活动支撑板(1314)的上端面通过连接板(1315)固定在所述伺服电动缸(1311)的输出轴上,所述料盒升降板(132)的下端面与所述连接板(1315)的上端面固定连接;位于所述伺服电动缸(1311)的上部和下部的同一侧分别设置有Z轴方向光电开关(1316),所述Z轴方向光电开关(1316)通过对应的支撑座固定在所述固定支架(11)上,所述活动支撑板(1314)的侧壁设置有Z轴方向挡片(1317),所述Z轴方向光电开关(1316)和所述Z轴方向挡片(1317)配合,限制所述伺服电动缸(1311)的最大升降范围。
8.根据权利要求4所述的隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,其特征在于:所述空料盒等待位和所述料盒升降位内均设置有一料盒挡停块(15),所述满料盒等待位内设置有一满料盒阻挡块(16),所述料盒挡停块(15)的底部均固定有一个挡块气缸(17),所述满料盒阻挡块(16)和所述挡块气缸(17)均通过对应的支撑座固定在所述固定支架(11)上。
9.根据权利要求8所述的隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,其特征在于:所述料盒挡停块(15)的上端前部均设置有一导向块(18),所述满料盒阻挡块(16)的上端前部设置有阻挡胶(19)。
10.根据权利要求1所述的隔纸分板机的硅片料盒上下料机构,其特征在于:所述满料盒支撑组件(14)包括有一满料盒支撑板(141)和设置在所述满料盒支撑板(141)下端面的支撑气缸(142),所述支撑气缸(142)通过对应的支撑座固定在所述固定支架(11)上。
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CN116721956A (zh) * | 2023-08-10 | 2023-09-08 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 料盒更换方法、料盒更换小车及晶圆供料系统 |
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2022
- 2022-05-18 CN CN202221186274.0U patent/CN218004806U/zh active Active
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CN116721956A (zh) * | 2023-08-10 | 2023-09-08 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 料盒更换方法、料盒更换小车及晶圆供料系统 |
CN116721956B (zh) * | 2023-08-10 | 2023-11-03 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 料盒更换方法、料盒更换小车及晶圆供料系统 |
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