CN218414521U - 一种开放式晶圆匣搬运车 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种开放式晶圆匣搬运车，涉及开放式晶圆匣搬运设备技术领域，以解决开放式晶圆匣搬运效率低的问题。所述开放式晶圆匣搬运车一种开放式晶圆匣搬运车，包括主体结构，主体结构上设置有用于承载开放式晶圆匣的承载结构、用于实现开放式晶圆匣移送/释放动作的执行机构以及用于实现主体结构移动的行走机构，执行机构包括夹紧组件和驱动夹紧组件运动的驱动装置，驱动装置驱动夹紧组件运动靠近或远离开放式晶圆匣，夹紧组件用于夹紧或松开开放式晶圆匣，所述开放式晶圆匣搬运车用于搬运开放式晶圆匣。

Description

一种开放式晶圆匣搬运车

技术领域

本实用新型涉及开放式晶圆匣搬运设备技术领域，尤其涉及一种开放式晶圆匣搬运车。

背景技术

开放式晶圆匣(Open Cassette)是半导体一种常用的晶圆临时存储装置，其周向具有开口，以便于晶圆的存取。在晶圆的加工运输过程中，通常需要利用开放式晶圆匣将晶圆搬运至不同位置，目前常采用人工搬运的方式搬用开放式晶圆匣，但人工搬运耗时耗力，影响开放式晶圆匣的搬运效率，导致开放式晶圆匣搬运不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种开放式晶圆匣搬运车，以提高开放式晶圆匣的搬运效率，使得开放式晶圆匣搬运更加方便。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种开放式晶圆匣搬运车，包括主体结构，主体结构上设置有用于承载开放式晶圆匣的承载结构、用于实现开放式晶圆匣移送/释放动作的执行机构以及用于实现主体结构移动的行走机构，执行机构包括夹紧组件和驱动夹紧组件运动的驱动装置，驱动装置驱动夹紧组件运动靠近或远离开放式晶圆匣，夹紧组件用于夹紧或松开开放式晶圆匣。

采用上述技术方案的情况下，主体结构上设置有用于承载开放式晶圆匣的承载结构和用于实现开放式晶圆匣移送/释放动作的执行机构，执行机构包括夹紧组件和驱动夹紧组件运动的驱动装置；采用这种结构，驱动装置可以驱动夹紧组件运动靠近开放式晶圆匣，夹紧组件可以运动夹紧开放式晶圆匣，当开放式晶圆匣被夹紧后，驱动装置可以带动夹紧组件运动至指定搬运位置，实现执行机构的移送动作；当开放式晶圆匣放置时，夹紧组件可以运动松开开放式晶圆匣，驱动装置可以驱动夹紧组件运动远离开放式晶圆匣，实现开放式晶圆匣的释放动作，从而可以通过驱动装置与夹紧组件配合搬运开放式晶圆匣，采用开放式晶圆匣搬运车搬运开放式晶圆匣时，相对于现有技术中人工搬运省时省力，能够提高开放式晶圆匣的搬运效率，使得开放式晶圆匣搬运更加方便；另外，主体结构上还设置有用于实现主体结构移动的行走机构，通过行走机构可以控制开放式晶圆匣搬运车移动，使得开放式晶圆匣能够实现远距离搬运。

在一些可能的实现方式中，夹紧组件包括定心抓手，定心抓手包括驱动器本体和两个夹爪，驱动器本体驱动两个夹爪相向运动实现夹紧，或者驱动两个夹爪相背运动实现张开。如此设置，通过驱动器本体驱动两个夹爪运动实现夹紧或张开，使得夹紧组件能够夹紧或松开开放式晶圆匣，保证开放式晶圆匣运动时的稳定性。

在一些可能的实现方式中，开放式晶圆匣两侧相对设置有两个边肋，两个夹爪的端部均设置有卡件，卡件和边肋其中一个上设置有卡销，另一个上设置有卡槽；

两个夹爪夹紧开放式晶圆匣时，两个夹爪的卡件分别夹紧在两个边肋上，卡销与卡槽插接配合。如此设置，通过卡销与卡槽插接配合，能够使开放式晶圆匣夹紧后更加稳定。

在一些可能的实现方式中，卡件和边肋至少一个上设置有保护垫；两个夹爪夹紧开放式晶圆匣时，保护垫位于卡件和边肋之间。如此设置，通过保护垫对卡件和边肋进行保护，能够防止卡件和边肋碰撞后发生破损或刮伤。

在一些可能的实现方式中，夹紧组件还包括图像采集设备，图像采集设备用于采集开放式晶圆匣的图像。如此设置，当图像采集设备采集到开放式晶圆匣的图像后，工作人员或控制装置可以控制夹紧组件夹紧开放式晶圆匣，提高开放式晶圆匣搬运车的自动化程度。

在一些可能的实现方式中，夹紧组件还包括用于提供光源以便于图像采集设备采集图像的光源组件。如此设置，通过光源组件提高环境光亮，便于图像采集设备采集开放式晶圆匣的图像。

在一些可能的实现方式中，主体结构包括电池安装口和用于安装定位电池的电池辊道组件，电池辊道组件包括两个座体和多个相互平行设置的滚柱，滚柱的两端分别与两个座体转动连接；电池安装时，电池从电池安装口放置于电池辊道组件上，并通过多个滚柱输送至指定位置。如此设置，通过多个滚柱输送电池，使得电池安装时更加方便。

在一些可能的实现方式中，多个滚柱沿电池的输送方向倾斜分布，且靠近电池安装口一侧的滚柱高度高于远离电池安装口一侧的滚柱高度。如此设置，能够使电池安装后更加稳定。

在一些可能的实现方式中，承载结构包括用于承载开放式晶圆匣的托盘，托盘安装在主体结构上且托盘和主体结构之间设置有缓冲垫，托盘上设置有四个用于定位开放式晶圆匣的定位块。如此设置，能够使开放式晶圆匣定位更加精确。

在一些可能的实现方式中，主体结构包括底座结构，行走机构安装于底座结构上，行走机构包括驱动轮组和减震组件；

驱动轮组包括行走轮和固定在行走轮一端面的安装板；

减震组件包括第二弹簧、固定于底座结构的轴承组件和弹簧压板，以及沿垂直于安装板端面的方向上设置的两个限位块，轴承组件包括轴承座和轴承；

安装板的第一端沿垂直于其端面方向延伸有定位轴，定位轴固定在轴承内，安装板的第二端沿垂直于其端面方向延伸有弹簧座，第二弹簧安装在弹簧座和弹簧压板之间，行走轮位于安装板的第一端和第二端之间，且安装板的第二端位于两个限位块之间。如此设置，通过减震组件对驱动轮组进行减震，可以进一步提高开放式晶圆匣搬运车的平稳性能，防止开放式晶圆匣放置移送时掉落。

在一些可能的实现方式中，主体结构包括底座结构，底座结构外周设置有防撞条，主体结构上还设置有保护罩、散热风扇、警示灯、扬声器、激光障碍物传感器以及二维激光雷达传感器。如此设置，可以提高开放式晶圆匣搬运车的安全性能。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型中搬运车的示意图；

图2为本实用新型中底座结构的剖视图；

图3为本实用新型中底座主体的俯视图；

图4为本实用新型中底座主体的仰视图；

图5为本实用新型中行走机构的示意图一；

图6为本实用新型中行走机构的示意图二；

图7为本实用新型中底座结构的示意图；

图8为本实用新型中上装结构的后视图；

图9为本实用新型中上装结构的侧视图；

图10为本实用新型中上装结构的主视图；

图11为本实用新型中上装结构的示意图；

图12为本实用新型中电池辊道组件的示意图；

图13为本实用新型中夹紧组件和开放式晶圆匣的示意图一；

图14为本实用新型中夹紧组件和开放式晶圆匣的示意图二。

附图标记：

1-主体结构，11-上装结构，111-警示灯，112-急停按钮，113-第二激光障碍物传感器，114-门，115-光通信开关，116-第二散热风扇，117-电池，118-电池辊道组件，1181-滚柱，1182-座体，1183-限位凸起，12-底座结构，121-底座上板，122-底座主体，123-充电口，124-照明灯，125-第一激光障碍物传感器，126-防撞条，127-第一散热风扇，128-控制器，129-二维激光雷达传感器，130-支撑柱，131-第一雷达安装座，132-第二雷达安装座，133-操作盒组件；

2-承载结构，21-托盘，22-定位块；

3-执行机构，31-驱动装置，32-夹紧组件，321-夹爪，322-驱动器本体，323-连接结构，324-卡件，325-图像采集设备，326-光源组件；

4-行走机构，41-行走轮，42-安装板，43-万向轮，44-弹簧压板，45-第二弹簧，46-轴承组件，47-限位块，48-弹簧座；

5-开放式晶圆匣，51-边肋。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1至图13所示，本实用新型提供一种开放式晶圆匣搬运车，包括主体结构1，主体结构1上设置有用于承载开放式晶圆匣5的承载结构2、用于实现开放式晶圆匣5移送/释放动作的执行机构3以及用于实现主体结构1移动的行走机构4，执行机构3包括夹紧组件32和驱动夹紧组件32运动的驱动装置31，驱动装置31驱动夹紧组件32运动靠近或远离开放式晶圆匣5，夹紧组件32用于夹紧或松开开放式晶圆匣5。示例性的，本实施例中的搬运车可以为AGV(Automated Guided Vehicle，自动导引运输车)；驱动装置31可以为六轴器械臂。

具体实施时，开放式晶圆匣搬运车在行走机构4的驱动下运动至开放式晶圆匣5的初始位置，通过驱动装置31驱动夹紧组件32运动至开放式晶圆匣5附近，通过夹紧组件32夹紧开放式晶圆匣5，然后通过驱动装置31驱动夹紧组件32运动将开放式晶圆匣5移送至承载结构2上，之后开放式晶圆匣搬运车在行走机构4的驱动下运动至指定搬运位置，通过夹紧组件32松开开放式晶圆匣5，通过通过驱动装置31驱动夹紧组件32运动远离开放式晶圆匣5，从而将开放式晶圆匣5从承载结构2上移送至指定放置位置。

采用上述技术方案的情况下，驱动装置31可以驱动夹紧组件32运动靠近开放式晶圆匣5，夹紧组件32可以运动夹紧开放式晶圆匣5，当开放式晶圆匣5被夹紧后，驱动装置31可以带动夹紧组件32运动至指定搬运位置，实现执行机构3的移送动作；当开放式晶圆匣5放置时，夹紧组件32可以运动松开开放式晶圆匣5，驱动装置31可以驱动夹紧组件32运动远离开放式晶圆匣5，实现开放式晶圆匣5的释放动作，从而可以通过驱动装置31与夹紧组件32配合搬运开放式晶圆匣5，采用开放式晶圆匣搬运车搬运开放式晶圆匣5时，机械搬运省时省力且便于重复多次搬运，能够提高开放式晶圆匣5的搬运效率，使得开放式晶圆匣5搬运更加方便；另外，主体结构1上还设置有用于实现主体结构1移动的行走机构4，通过行走机构4可以控制开放式晶圆匣搬运车移动，使得开放式晶圆匣5能够实现远距离搬运。

如图1、图8、图10、图11、图13及图14所示，进一步地，夹紧组件32包括定心抓手，定心抓手包括驱动器本体322和两个夹爪321，驱动器本体322驱动两个夹爪321相向运动实现夹紧，或者驱动两个夹爪321相背运动实现张开。采用这种结构，通过驱动器本体322驱动两个夹爪321运动实现夹紧或张开，使得夹紧组件32能够夹紧或松开开放式晶圆匣5，保证开放式晶圆匣5运动时的稳定性。其中，定心抓手可以为现有技术中已知的定位抓手，例如ZIMMER的GDP5003N定心抓手。另外，驱动器本体322上可以设置T形槽，夹爪321上可以设置T形凸起，T形凸起卡合在T形槽内且可以在T形槽内滑动，通过T形槽与T形凸起配合，能够提高夹爪321与驱动器本体322连接的稳定性。示例性的，驱动器本体322驱动两个夹爪321相向运动实现夹紧或相背运动实现张开的结构可以为以下结构：

第一种结构：驱动器本体322包括驱动器和齿轮齿条机构，驱动器可以为电机或气缸等，驱动器与齿轮相连，两个夹爪321上均设置有齿条且齿条沿两个夹爪321相向运动的方向布设，驱动器驱动齿轮转动时，齿轮可以带动两个齿条相向运动或相背运动，进而带动两个夹爪321相向运动或相背运动。

第二种结构：驱动器本体322包括架体、驱动器、横杆、曲柄滑块机构以及转动杆，驱动器可以为电机或气缸等，驱动器安装在架体上，驱动器与横杆相连且沿垂直于横杆长度的方向驱动横杆运动，曲柄滑块机构的滑块与横杆滑动连接，曲柄一端与滑块转动连接，另一端与架体转动连接，转动杆一端与滑块转动连接，另一端与夹爪321转动连接；驱动器驱动横杆沿垂直于横杆长度的方向运动，横杆运动时带动滑块沿横杆长度方向运动，滑块运动时通过转动杆带动两个夹爪321相向运动或相背运动，进而带动两个夹爪321相向运动或相背运动。

另外，夹紧组件32还包括连接结构323，连接结构323为L型连接件，L型连接件一面与驱动器本体322螺钉连接，另一面用于连接驱动装置31。

如图13及图14所示，进一步地，开放式晶圆匣5两侧相对设置有两个边肋51，两个夹爪321的端部均设置有卡件324，卡件324和边肋51其中一个上设置有卡销，另一个上设置有卡槽；两个夹爪321夹紧开放式晶圆匣5时，两个夹爪321的卡件324分别夹紧在两个边肋51上，卡销与卡槽插接配合。示例性的，卡件324可以为长条板，长条板与夹爪321的端部螺钉连接，边肋51上可以设置两个卡槽，长条板上可以设置两个卡销，两个卡销可以分别设置在长条板的两端，通过两个卡销与两个卡槽配合，能够进一步提高开放式晶圆匣5与夹紧组件32的稳定性，使开放式晶圆匣5夹紧后更加稳定。

如图14所示，进一步地，卡件324和边肋51至少一个上设置有保护垫；两个夹爪321夹紧开放式晶圆匣5时，保护垫位于卡件324和边肋51之间。采用这种结构，通过保护垫对卡件324和边肋51进行保护，能够防止卡件324和边肋51碰撞后发生破损或刮伤。示例性的，保护垫可以粘接在长条板上，保护垫可以采用海绵垫、橡胶垫等结构。

如图13及图14所示，进一步地，夹紧组件32还包括图像采集设备325，图像采集设备325用于采集开放式晶圆匣5的图像。图像采集设备325是一种用于采集图像的设备，例如相机、摄像头等结构；示例性的，本实施例还包括控制系统，当图像采集设备325采集到开放式晶圆匣5后，控制系统可以控制夹紧组件32进行夹紧，提高夹紧组件32的定位精度；采用这种结构，当图像采集设备325采集到开放式晶圆匣5的图像后，工作人员或控制装置可以控制夹紧组件32夹紧开放式晶圆匣5，提高开放式晶圆匣搬运车的自动化程度。另外，图像采集设备325可以通过连接板与驱动器本体322相连，连接板可以为L形连接板，L形连接板的竖直面与驱动器本体322相连，水平面与图像采集设备325相连，L形连接板的竖直面可以为V形连接板，便于外部连接设备穿过V形连接板中间部分与驱动器本体322相连。

如图13及图14所示，进一步地，夹紧组件32还包括用于提供光源以便于图像采集设备325采集图像的光源组件326。采用这种结构，通过光源组件326提高环境光亮，便于图像采集设备325采集开放式晶圆匣5的图像。示例性的，光源组件326可以为环形灯，图像采集设备325的采集中心位于环形灯的轴线上，通过环形灯提供环形光源，能够进一步提高提高环境光亮，便于图像采集设备325采集开放式晶圆匣5的图像。

如图8及图12所示，进一步地，主体结构1包括电池安装口和用于安装定位电池117的电池辊道组件118，电池辊道组件118包括两个座体1182和多个相互平行设置的滚柱1181，滚柱1181的两端分别与两个座体1182转动连接；电池117安装时，电池117从电池安装口放置于电池辊道组件118上，并通过多个滚柱1181输送至指定位置。采用这种结构，通过多个滚柱1181输送电池117，使得电池117安装时更加方便。

在一些实施例中，多个滚柱1181沿电池117的输送方向倾斜分布，且靠近电池安装口一侧的滚柱1181高度高于远离电池安装口一侧的滚柱1181高度。采用这种结构，电池117在重力的作用下在滚柱1181上输送，能够使电池117安装更加方便；电池117安装后能够在重力的作用下稳定安装在电池117腔内，避免输送车运动时电池117发生打滑、倾斜等问题而影响电池117的性能。示例性的，电池117可以为DC48Y60AH比克电芯。另外，电池辊道组件118还包括限位凸起1183，通过限位凸起1183进一步限制电池117的运动，提高电池117的稳定性。

如图1、图8及图10所示，进一步地，承载结构2包括用于承载开放式晶圆匣5的托盘21，托盘21安装在主体结构1上且托盘21和主体结构1之间设置有缓冲垫，托盘21上设置有四个用于定位开放式晶圆匣5的定位块22。采用这种结构，通过定位块22对开放式晶圆匣5进行定位，能够使开放式晶圆匣5定位更加精确；通过缓冲垫进行缓冲，能够使托盘21和放置于托盘21上的开放式晶圆匣5更加稳定。示例性的，定位块22设置于开放式晶圆匣5四个顶角位置，定位块22包括用于定位开放式晶圆匣5顶角的凹槽结构，凹槽结构包括三个相互垂直的定位面，通过三个定位面将开放式晶圆匣5的顶角进行定位。

如图2至图7所示，进一步地，主体结构1包括底座结构12，行走机构4安装于底座结构12上，行走机构4包括驱动轮组和减震组件；驱动轮组包括行走轮41和固定在行走轮41一端面的安装板42；减震组件包括第二弹簧45、固定于底座结构12的轴承组件46和弹簧压板44，以及沿垂直于安装板42端面的方向上设置的两个限位块47，轴承组件46包括轴承座和轴承；安装板42的第一端沿垂直于其端面方向延伸有定位轴，定位轴固定在轴承内，安装板42的第二端沿垂直于其端面方向延伸有弹簧座48，第二弹簧45安装在弹簧座48和弹簧压板44之间，行走轮41位于安装板42的第一端和第二端之间，且安装板42的第二端位于两个限位块47之间。当行走轮41遇到凸起路面时，行走轮41抬起，带动安装板42以轴承组件46位置为支点向上偏转，同时安装板42带动弹簧座48运动挤压第二弹簧45，使得第二弹簧45压缩形变，利用第二弹簧45的弹性形变进行减震，使得搬运车整体更加稳定，防止开放式晶圆匣5放置移送时掉落。示例性的，安装板42设置有穿孔，行走轮41的轮轴穿过穿孔与驱动组件连接；其中，限位块47可以为凸轮从动器，当限位块47为凸轮从动器时，凸轮从动器与安装板42之间为滚动接触，可以减少二者之间的摩擦力，降低二者的磨损，提高搬运车运行过程中的稳定性。

如图1、图8至图11所示，进一步地，本实施例主体结构1包括底座结构12和设置在底座结构12中部的上装结构11，上装结构11的两侧分别设置有一个承载结构2；示例性的，上装结构11包括矩形壳体，矩形壳体两侧分别设置两个承载结构2。采用这种结构，通过两个承载结构2能够同时承载两个开放式晶圆匣5，使得搬运车一次可以输送两个开放式晶圆匣5。

如图1至图10所示，本实施例主体结构1还包括底座结构12，底座结构12外周设置有防撞条126，主体结构1上还设置有保护罩、散热风扇、警示灯111、扬声器、激光障碍物传感器以及二维激光雷达传感器129。示例性的，防撞条126可以设置在底座主体122的四周，防撞条126可以为橡胶等材质；保护罩可以包括设置在上装结构11的天线保护罩等；底座结构12包括底座主体122和设置在底座主体122上部用于封装底座主体122的底座上板121，散热风扇可以包括设置在底座主体122内用于对底座主体122内部零件进行散热的第一散热风扇127以及设置在上装结构11内用于对上装结构11内部零件进行散热的第二散热风扇116；警示灯111可以设置在上装结构11上，通过闪烁或变换颜色等方式进行警示；扬声器可以发出提高音进行提醒和警示；激光障碍物传感器为一种利用激光进行检测以实现避障的传感器，例如型号为UST-05LN的激光障碍物传感器，激光障碍物传感器可以包括设置在底座主体122内的第一激光障碍物传感器125以及设置在上装结构11内的第二激光障碍物传感器113，通过激光障碍物传感器进行检测，可以防止搬运车撞到障碍物上，提高开放式晶圆匣搬运车的安全性能；二维激光雷达传感器129为一种能够利用激光扫描雷达检测周围物体与其之间的距离的传感器，例如型号为LMS511-10100的二维激光雷达传感器129，通过二维激光雷达传感器129检测周围物体具体搬运车的距离，可以实时调整搬运车的运行路线，防止搬运车运行时发生碰撞；采用上述结构，可以提高搬运车的安全性能。

此外，上装结构11上还设置有急停按钮112、门114以及操作盒组件133，通过急停按钮112可以控制搬运车急停；通过门114可以封装上装结构11的内部空间，方便搬运车存放物体及方便维修，门114上设置有光通信开关115，光通信开关115用于与设备面对面交互信息，防止其他信息干扰；操作盒组件133包括操作面板，便于工作人员通过操作盒组件133操作驱动装置31和夹紧组件32动作，提高搬运车的可操作性。底座主体122上还设置有充电口123、照明灯124、控制器128、支撑柱130、第一雷达安装座131以及第二雷达安装座132，充电口123用于连接外部电源为搬运车充电，照明灯124可以便于夜间照明使用，控制器128可以控制行走机构4的行走，提高搬运车的自动化程度；支撑柱130用于对底座主体122内部进行支撑，提高底座主体122的稳定性，第一雷达安装座131和第二雷达安装座132用于安装二维激光雷达传感器。行走机构4还包括万向轮43，万向轮43可以与行走轮41配合实现搬运车的行进和转向，使得搬运车行走更加方便。

以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种开放式晶圆匣搬运车，包括主体结构，所述主体结构上设置有用于承载开放式晶圆匣的承载结构、用于实现开放式晶圆匣移送/释放动作的执行机构以及用于实现所述主体结构移动的行走机构，其特征在于，所述执行机构包括夹紧组件和驱动所述夹紧组件运动的驱动装置，所述驱动装置驱动所述夹紧组件运动靠近或远离所述开放式晶圆匣，所述夹紧组件用于夹紧或松开所述开放式晶圆匣。

2.根据权利要求1所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述夹紧组件包括定心抓手，所述定心抓手包括驱动器本体和两个夹爪，所述驱动器本体驱动两个所述夹爪相向运动实现夹紧，或者驱动两个所述夹爪相背运动实现张开。

3.根据权利要求2所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述开放式晶圆匣两侧相对设置有两个边肋，两个所述夹爪的端部均设置有卡件，所述卡件和所述边肋其中一个上设置有卡销，另一个上设置有卡槽；

两个所述夹爪夹紧所述开放式晶圆匣时，两个所述夹爪的卡件分别夹紧在两个所述边肋上，所述卡销与所述卡槽插接配合。

4.根据权利要求3所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述卡件和所述边肋至少一个上设置有保护垫；两个所述夹爪夹紧所述开放式晶圆匣时，所述保护垫位于所述卡件和所述边肋之间。

5.根据权利要求2所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述夹紧组件还包括图像采集设备，所述图像采集设备用于采集所述开放式晶圆匣的图像。

6.根据权利要求5所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述夹紧组件还包括用于提供光源以便于图像采集设备采集图像的光源组件。

7.根据权利要求1所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述主体结构包括电池安装口和用于安装定位电池的电池辊道组件，所述电池辊道组件包括两个座体和多个相互平行设置的滚柱，所述滚柱的两端分别与两个所述座体转动连接；所述电池安装时，所述电池从所述电池安装口放置于所述电池辊道组件上，并通过多个所述滚柱输送至指定位置。

8.根据权利要求7所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，多个所述滚柱沿所述电池的输送方向倾斜分布，且靠近所述电池安装口一侧的滚柱高度高于远离所述电池安装口一侧的滚柱高度。

9.根据权利要求1所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述承载结构包括用于承载所述开放式晶圆匣的托盘，所述托盘安装在所述主体结构上且所述托盘和所述主体结构之间设置有缓冲垫，所述托盘上设置有四个用于定位所述开放式晶圆匣的定位块。

10.根据权利要求1所述的开放式晶圆匣搬运车，其特征在于，所述主体结构包括底座结构，所述行走机构安装于所述底座结构上，所述行走机构包括驱动轮组和减震组件；

所述驱动轮组包括行走轮和固定在所述行走轮一端面的安装板；

所述减震组件包括第二弹簧、固定于所述底座结构的轴承组件和弹簧压板，以及沿垂直于所述安装板端面的方向上设置的两个限位块，所述轴承组件包括轴承座和轴承；

所述安装板的第一端沿垂直于其端面方向延伸有定位轴，所述定位轴固定在所述轴承内，所述安装板的第二端沿垂直于其端面方向延伸有弹簧座，所述第二弹簧安装在所述弹簧座和所述弹簧压板之间，所述行走轮位于所述安装板的第一端和第二端之间，且所述安装板的第二端位于两个所述限位块之间。

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