CN218403549U - 一种晶圆传送盒搬运车 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种晶圆传送盒搬运车，涉及晶圆传送盒搬运设备技术领域，以解决晶圆传送盒搬运效率低的问题。所述晶圆传送盒搬运车包括主体结构，主体结构上设置有用于承载晶圆传送盒的承载结构、用于实现晶圆传送盒移送/释放动作的执行机构以及用于实现主体结构移动的行走机构，执行机构包括叉架和驱动叉架运动的驱动装置，晶圆传送盒具有与叉架配合的叉口；晶圆传送盒搬运时，驱动装置驱动叉架伸入至叉口内实现晶圆传送盒的移送动作，或者驱动装置驱动叉架远离叉口实现晶圆传送盒的释放动作，所述晶圆传送盒搬运车用于搬运晶圆传送盒。

Description

一种晶圆传送盒搬运车

技术领域

本实用新型涉及晶圆传送盒搬运设备技术领域，尤其涉及一种晶圆传送盒搬运车。

背景技术

晶圆传送盒(front opening unifiedpod，FOUP)是一种装载有多个晶圆的盒体装置。在晶圆的加工运输过程中，通常需要将晶圆传送盒搬运至不同位置，目前常采用一种搬运机器人来搬运晶圆传送盒，搬运机器人包括器械臂和夹取装置，夹取装置包括夹紧机构和电机，机械臂控制夹取装置运动至晶圆传送盒附近，人工实时控制电机启动以驱动夹紧机构动作夹紧晶圆传送盒，夹紧后人工控制电机关闭以使夹紧机构保持夹紧状态，然后机械臂控制夹取装置运动至指定搬运位置，当晶圆传送盒搬运至指定位置后，人工实时控制电机启动以驱动夹紧机构动作释放晶圆传送盒，从而实现晶圆传送盒的搬运。

采用上述结构可以实现晶圆传送盒的搬运，但是需要通过人工实时控制电机的启动或关闭来控制夹紧机构的动作，采用人工操作控制电机和夹紧机构工作耗时耗力，影响晶圆传送盒的搬运效率，导致晶圆传送盒搬运不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆传送盒搬运车，以提高晶圆传送盒的搬运效率，使得晶圆传送盒搬运更加方便。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种晶圆传送盒搬运车，包括主体结构，主体结构上设置有用于承载晶圆传送盒的承载结构、用于实现晶圆传送盒移送/释放动作的执行机构以及用于实现主体结构移动的行走机构，执行机构包括叉架和驱动叉架运动的驱动装置，晶圆传送盒具有与叉架配合的叉口；晶圆传送盒搬运时，驱动装置驱动叉架伸入至叉口内实现晶圆传送盒的移送动作，或者驱动装置驱动叉架远离叉口实现晶圆传送盒的释放动作。

采用上述技术方案的情况下，主体结构上设置有用于承载晶圆传送盒的承载结构和用于实现晶圆传送盒移送/释放动作的执行机构，执行机构包括叉架和驱动叉架运动的驱动装置，晶圆传送盒具有与叉架配合的叉口；采用这种结构，晶圆传送盒搬运时，驱动装置可以驱动叉架伸入至叉口内实现晶圆传送盒的移送动作，或者驱动装置可以驱动叉架远离叉口实现晶圆传送盒的释放动作，从而使取放晶圆传送盒时，通过驱动装置控制叉架伸入叉口或脱离叉口便可以实现晶圆传送盒的取放，不需要单独设置电机驱动且不需要控制夹紧机构动作便能够移送晶圆传送盒，进而不需要人工控制电机驱动夹紧机构动作来取放晶圆传送盒，提高了晶圆传送盒的搬运效率，使得晶圆传送盒搬运更加方便。另外，主体结构上还设置有用于实现主体结构移动的行走机构，通过行走机构可以控制晶圆传送盒搬运车移动，使得晶圆传送盒能够实现远距离搬运。

在一些可能的实现方式中，晶圆传送盒上部设置有支撑柱和提拉板，支撑柱两端分别与晶圆传送盒和提拉板相连，提拉板、支撑柱和晶圆传送盒围成叉口；

叉架包括两个相互平行的第一叉臂，叉口包括两个相互平行且至少一端开口的第一叉槽；晶圆传送盒搬运时，两个第一叉臂沿开口分别伸入至两个第一叉槽内且与提拉板的下表面抵接。如此设置，通过两个第一叉臂与两个第一叉槽配合抬起晶圆传送盒，能够使晶圆传送盒移送时更加稳定。

在一些可能的实现方式中，叉架还包括位于两个第一叉臂之间且垂直于第一叉臂设置的第二叉臂，叉口还包括位于两个第一叉槽之间且垂直于第一叉槽设置的第二叉槽；晶圆传送盒搬运时，第二叉臂伸入至第二叉槽内。如此设置，通过第二叉臂与第二叉槽配合抬起晶圆传送盒，进一步使晶圆传送盒移送时更加稳定。

在一些可能的实现方式中，两个第一叉臂上均设置有第一检测传感器，两个第一叉臂其中一个上的第一检测传感器靠近第一叉臂沿其长度方向的第一侧设置，另一个上的第一检测传感器靠近第一叉臂沿其长度方向的第二侧设置。如此设置，通过两个第一检测传感器可以分别检测第一叉臂是否伸入至叉口内及是否脱离叉口，能够使晶圆传送盒搬运车的自动化程度更高。

在一些可能的实现方式中，叉架还包括架体和连接结构，连接结构用于与驱动装置相连，架体两端分别与第一叉臂和连接结构相连，两个第一叉臂和/或架体上设置有第一围边，第一围边用于限制晶圆传送盒沿垂直于第一叉臂长度方向脱离两个第一叉臂之间的区域。如此设置，能够防止晶圆传送盒移送时掉落。

在一些可能的实现方式中，架体上还设置有第二围边，第二围边呈倾斜状，用于限制晶圆传送盒朝连接结构方向的运动，架体上设置有定位凸起，晶圆传送盒上设置有定位凹槽，定位凹槽的开口方向朝向第一围边，定位凸起与定位凹槽卡接配合，用于限制晶圆传送盒朝垂直于第一叉臂上表面或下表面的方向运动。如此设置，能够通过定位凹槽和定位凸起配合限制晶圆传送盒的滑动，通过第二围边限制晶圆传送盒朝连接结构方向的运动，从而进一步防止晶圆传送盒移送时掉落。

在一些可能的实现方式中，承载结构包括托盘和第一弹簧，托盘通过第一弹簧安装在主体结构上。如此设置，通过第一弹簧的弹性作用进行减震，能够提高托盘的平稳性能，防止晶圆传送盒放置在托盘上进行移送时掉落。

在一些可能的实现方式中，主体结构包括底座结构和设置在底座结构中部的上装结构，上装结构的两侧均设置有两个承载结构；

位于上装结构同一侧的两个承载结构，沿竖直方向错开设置；

位于上装结构两侧且处于同一水平面的两个承载结构，沿水平方向错开设置。如此设置，通过四个承载结构能够承载多个晶圆传送盒，使得搬运车一次可以输送多个晶圆传送盒；通过错开设置的承载结构，可以使搬运车整体更加稳定。

在一些可能的实现方式中，主体结构包括底座结构，行走机构安装于底座结构上，行走机构包括驱动轮组和减震组件；

驱动轮组包括行走轮和固定在行走轮一端面的安装板；

减震组件包括第二弹簧、固定于底座结构的轴承组件和弹簧压板，以及沿垂直于安装板端面的方向上设置的两个限位块，轴承组件包括轴承座和轴承；

安装板的第一端沿垂直于其端面方向延伸有定位轴，定位轴固定在轴承内，安装板的第二端沿垂直于其端面方向延伸有弹簧座，第二弹簧安装在弹簧座和弹簧压板之间，行走轮位于安装板的第一端和第二端之间，且安装板的第二端位于两个限位块之间。如此设置，通过减震组件对驱动轮组进行减震，可以进一步提高晶圆传送盒搬运车的平稳性能，防止晶圆传送盒放置移送时掉落。

在一些可能的实现方式中，主体结构包括底座结构，底座结构外周设置有防撞条，主体结构上还设置有保护罩、散热风扇、警示灯、扬声器、激光障碍物传感器以及二维激光雷达传感器。如此设置，可以提高晶圆传送盒搬运车的安全性能。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型中搬运车的示意图；

图2为本实用新型中底座结构的示意图；

图3为本实用新型中底座主体的俯视图；

图4为本实用新型中底座主体的仰视图；

图5为本实用新型中底座主体的侧视图；

图6为本实用新型中行走机构的示意图一；

图7为本实用新型中行走机构的示意图二；

图8为本实用新型中上装结构的示意图；

图9为本实用新型中上装结构的主视图；

图10为本实用新型中上装结构的后视图；

图11为本实用新型中承载结构的示意图；

图12为本实用新型中晶圆传送盒的示意图；

图13为本实用新型中叉架的示意图。

附图标记：

1-主体结构，11-上装结构，111-警示灯，112-急停按钮，113-第二激光障碍物传感器，114-门，115-第二检测传感器，116-第二散热风扇，117-电池，12-底座结构，121-底座上板，122-底座主体，123-充电口，124-照明灯，125-第一激光障碍物传感器，126-防撞条，127-第一散热风扇，128-控制器，129-二维激光雷达传感器；

2-承载结构，21-托盘，22-第一弹簧，23-定位座，24-螺钉，25-第三检测传感器；

3-执行机构，31-驱动装置，32-叉架，321-第一叉臂，322-第二叉臂，323-架体，324-第一围边，325-第二围边，326-连接结构，327-第一检测传感器，328-定位销钉；

4-行走机构，41-行走轮，42-安装板，43-万向轮，44-弹簧压板，45-第二弹簧，46-轴承组件，47-限位块，48-弹簧座；

5-晶圆传送盒，51-提拉板，52-叉口。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1至图13所示，本实用新型提供一种晶圆传送盒搬运车，包括主体结构1，主体结构1上设置有用于承载晶圆传送盒5的承载结构2、用于实现晶圆传送盒5移送/释放动作的执行机构3以及用于实现主体结构1移动的行走机构4，执行机构3包括叉架32和驱动叉架32运动的驱动装置31，晶圆传送盒5具有与叉架32配合的叉口52；晶圆传送盒5搬运时，驱动装置31驱动叉架32伸入至叉口52内实现晶圆传送盒5的移送动作，或者驱动装置31驱动叉架32远离叉口52实现晶圆传送盒5的释放动作。示例性的，本实施例中的搬运车可以为AGV(Automated Guided Vehicle，自动导引运输车)；驱动装置31可以为六轴器械臂。

具体实施时，晶圆传送盒搬运车在行走机构4的驱动下运动至晶圆传送盒5的初始位置，通过驱动装置31驱动叉架32从晶圆传送盒5的连接处下方伸入至晶圆传送盒5的叉口52内，然后向上运动抬起晶圆传送盒5，将晶圆传送盒5移送至承载结构2上，然后晶圆传送盒搬运车在行走机构4的驱动下运动至指定搬运位置，通过驱动装置31驱动叉架32先在叉口52内先向下运动，然后再远离晶圆传送盒5叉口52实现叉架32的释放，从而将晶圆传送盒5从承载结构2上移送至指定放置位置。

采用上述技术方案的情况下，晶圆传送盒5搬运时，驱动装置31可以驱动叉架32伸入至叉口52内实现晶圆传送盒5的移送动作，或者驱动装置31可以驱动叉架32远离叉口52实现晶圆传送盒5的释放动作，从而使取放晶圆传送盒5时，通过驱动装置31控制叉架32伸入叉口52或脱离叉口52便可以实现晶圆传送盒5的取放，不需要单独设置电机驱动且不需要控制夹紧机构动作便能够移送晶圆传送盒5，进而不需要人工控制电机驱动夹紧机构动作来取放晶圆传送盒5，提高了晶圆传送盒5的搬运效率，使得晶圆传送盒5搬运更加方便，同时使执行机构3结构更加简单，加工及拆装更加方便。另外，主体结构1上还设置有用于实现主体结构1移动的行走机构4，通过行走机构4可以控制晶圆传送盒搬运车移动，使得晶圆传送盒5能够实现远距离搬运。

如图2、图8至图10、图12及图13所示，进一步地，本实施例晶圆传送盒5上部设置有支撑柱和提拉板51，支撑柱两端分别与晶圆传送盒5和提拉板51相连，提拉板51、支撑柱和晶圆传送盒5围成叉口52；叉架32包括两个相互平行的第一叉臂321，叉口52包括两个相互平行且至少一端开口的第一叉槽；晶圆传送盒5搬运时，两个第一叉臂321沿开口分别伸入至两个第一叉槽内且与提拉板51的下表面抵接。示例性的，支撑柱连接在提拉板51的中间位置，两个第一叉槽分别位于支撑柱的两侧，第一叉槽具有沿叉架32插入方向的两侧开口，以及垂直于叉架32插入方向且朝向晶圆传送盒5外侧的开口；示例性的，第一叉槽可以沿水平方向设置，亦可以倾斜设置且远离第一叉臂321的一端相对于水平面向上偏移；采用这种结构，当两个第一叉臂321相互平行且两个第一叉槽相互平行时，两个第一叉臂321可以同时插入到叉槽内实现插装且使晶圆传送盒5移送时更加稳定；移送时提拉板51可以与第一叉臂321抵接来限制第一叉臂321的运动，使得第一叉臂321抬升起晶圆传送盒5进行移送。另外，本实施例除了采用两个相互平行的第一叉臂321和两个相互平行的第一叉槽之外，还可以采用一个第一叉臂321和一个第一叉槽配合抬起晶圆传送盒5，第一叉槽可以设置于提拉板51的中间位置。

如图2、图8至图10、图12及图13所示，进一步地，本实施例叉架32还包括位于两个第一叉臂321之间且垂直于第一叉臂321设置的第二叉臂322，叉口52还包括位于两个第一叉槽之间且垂直于第一叉槽设置的第二叉槽；晶圆传送盒5搬运时，第二叉臂322伸入至第二叉槽内。示例性的，支撑柱位于提拉板51的中心位置，支撑柱的四周均可以与提拉板51和晶圆传送盒5的盒体上表面围成环形的叉口52，第二叉臂322可以与两个第一叉臂321相连形成凹型结构，移送时，第一叉臂321和第二叉臂322分别插入到第一叉槽和第二叉槽内；示例性的，第二叉臂322可以与架体323一体成型；采用这种结构，通过第一叉臂321和第二叉臂322同时移送晶圆传送盒5，可以使晶圆传送盒5移送时更加稳定。

如图13所示，进一步地，本实施例两个第一叉臂321上均设置有第一检测传感器327，两个第一叉臂321其中一个上的第一检测传感器327靠近第一叉臂321沿其长度方向的第一侧设置，另一个上的第一检测传感器327靠近第一叉臂321沿其长度方向的第二侧设置。其中，第一检测传感器327为一种用于检测提拉板51是否出现在检测区域的传感器，可以为光电开关传感器等，示例性的，第一叉臂321包括自由端和与架体323相连的连接端，当第一叉臂321伸入至第一叉槽内时，可以先通过位于第一叉臂321自由端的第一检测装置传感器进行检测，当检测到提拉板51时，说明第一叉臂321开始伸入至第一叉槽内，当位于第一叉臂321连接端的第一检测装置检测到提拉板51时，说明第一叉臂321已经伸入至第一叉槽内的指定位置，此时可以发出开始移送的信号；当第一叉臂321脱离第一叉槽内时，可以先通过位于第一叉臂321连接端的第一检测装置传感器进行检测，当检测到提拉板51时，说明第一叉臂321开始脱离至第一叉槽内，当位于第一叉臂321自由端的第一检测装置检测到提拉板51时，说明第一叉臂321已经脱离第一叉槽内。采用这种结构，通过两个第一检测传感器327可以分别检测第一叉臂321是否伸入至叉口52内及是否脱离叉口52，进而可以自动检测出第一叉臂321的运动结点，然后通过控制器128进行运动控制，可以实现第一叉臂321的全自动控制，从而能够提高使晶圆传送盒搬运车的自动化程度。

如图1和图13所示，进一步地，叉架32还包括架体323和连接结构326，连接结构326用于与驱动装置31相连，架体323两端分别与第一叉臂321和连接结构326相连，两个第一叉臂321和/或架体323上设置有第一围边324，第一围边324用于限制晶圆传送盒5沿垂直于第一叉臂321长度方向脱离两个第一叉臂321之间的区域。示例性的，两端第一叉臂321的边缘均设置有第一围边324，一个第一围边324和一个第一叉臂321可以形成L型槽，L型槽可以与晶圆传送盒5的一个棱配合以限制晶圆传送盒5一侧的运动；采用这种结构，通过第一围边324阻挡晶圆传送盒5沿垂直于第一叉臂321长度方向的运动，可以防止晶圆传送盒5移送时掉落，使得晶圆传送盒5移送时稳定性更高。

如图13所示，进一步地，架体323上还设置有第二围边325，第二围边325呈倾斜状，用于限制晶圆传送盒5朝连接结构326方向的运动。示例性的，两个围边一端与第一围边324相连，另一端朝二者相对的方向倾斜，采用这种结构，通过第二围边325限制晶圆传送盒5朝连接结构326方向的运动以及沿垂直于第一叉臂321长度方向的运动，能够进一步防止晶圆传送盒5移送时掉落，进一步提高晶圆传送盒5移送时的稳定性。

如图13所示，进一步地，架体323上设置有定位凸起，晶圆传送盒上设置有定位凹槽，定位凹槽的开口方向朝向第一围边，定位凸起与定位凹槽卡接配合，用于限制晶圆传送盒5朝垂直于第一叉臂321上表面或下表面的方向运动。示例性的，定位凸起可以为固定在第一叉臂321上的T型定位结构，通过T型定位结构的下端连接第一叉臂321，通过T型定位结构的上端卡接配合定位凹槽，能够限制晶圆传送盒的滑动，其中，T型定位结构可以为定位销钉328，定位销钉328下端与第一叉臂321螺纹连接，上端销钉头与定位凹槽卡接配合；其中，定位凹槽可以为V型槽，V型槽的开口朝向第一围边324，第一叉臂321伸入至叉口52时，定位销钉328的销钉头伸入至V型槽内，以限制晶圆传动盒5的滑动，采用这种结构，能够通过定位凹槽和定位凸起配合限制晶圆传送盒的滑动，通过第二围边限制晶圆传送盒朝连接结构方向的运动，能够进一步防止晶圆传送盒5移送时掉落，进一步提高晶圆传送盒5移送时的稳定性。

如图11所示，进一步地，承载结构2包括托盘21和第一弹簧22，托盘21通过第一弹簧22安装在主体结构1上。示例性的，第一弹簧22设置有四个，托盘21为矩形结构，托盘21的四个顶角位置均设置有一个第一弹簧22；示例性的，承载结构2还包括定位座23、螺钉24和第三检测传感器25，定位座23设置有三个，三个定位座23呈三角形分布在托盘21上，晶圆传送盒5上具有与定位座23匹配的定位槽，通过定位座23和定位槽进行配合，可以提高晶圆传送盒5定位的精准度和稳定性；托盘21上设置有通孔，螺钉24穿过通孔与主体结构1相连，第一弹簧22套设在螺钉24外部，托盘21的四个顶角位置均设置有通孔，螺钉24设置有四个且四个螺钉24分别穿过四个通孔与主体结构1相连，螺钉24与通孔内壁之间存在间隙，托盘21可以沿螺钉24长度方向移动，托盘21通过螺钉24限制平面二维方向的运动，通过第一弹簧22支撑底部；托盘21上设置有第三检测传感器25，第三检测传感器25为一种用于检测晶圆传送盒5是否出现在检测区域的传感器，可以为光电开关传感器等；通过第三检测传感器25可以检测到晶圆传送盒5是否移送至承载结构2上，提高晶圆传送盒搬运车的自动化程度；采用这种结构，通过第一弹簧22的弹性作用进行减震，能够提高托盘21的平稳性能，防止晶圆传送盒5放置在托盘21上进行移送时掉落。

如图1、图8至图10所示，进一步地，本实施例主体结构1包括底座结构12和设置在底座结构12中部的上装结构11，上装结构11的两侧均设置有两个承载结构2；位于上装结构11同一侧的两个承载结构2，沿竖直方向错开设置；位于上装结构11两侧且处于同一水平面的两个承载结构2，沿水平方向错开设置。示例性的，上装结构11包括矩形壳体，矩形壳体两侧分别设置两组承载结构2，每组承载结构2包括多个承载结构2；示例性的，本实施例中，位于上装结构11左侧的两个承载结构2中，下面的承载结构2位于后侧，上面的承载结构2位于前侧，位于上装结构11右侧的两个承载结构2中，下面的承载结构2位于前侧，上面的承载结构2位于后侧。采用这种结构，通过多个承载结构2能够承载多个晶圆传送盒5，使得搬运车一次可以输送多个晶圆传送盒5；通过错开设置的承载结构2，可以使搬运车整体更加稳定。

如图2至图7所示，进一步地，主体结构1包括底座结构12，行走机构4安装于底座结构12上，行走机构4包括驱动轮组和减震组件；驱动轮组包括行走轮41和固定在行走轮41一端面的安装板42；减震组件包括第二弹簧45、固定于底座结构12的轴承组件46和弹簧压板44，以及沿垂直于安装板42端面的方向上设置的两个限位块47，轴承组件46包括轴承座和轴承；安装板42的第一端沿垂直于其端面方向延伸有定位轴，定位轴固定在轴承内，安装板42的第二端沿垂直于其端面方向延伸有弹簧座48，第二弹簧45安装在弹簧座48和弹簧压板44之间，行走轮41位于安装板42的第一端和第二端之间，且安装板42的第二端位于两个限位块47之间。当行走轮41遇到凸起路面时，行走轮41抬起，带动安装板42以轴承组件46位置为支点向上偏转，同时安装板42带动弹簧座48运动挤压第二弹簧45，使得第二弹簧45压缩形变，利用第二弹簧45的弹性形变进行减震，使得搬运车整体更加稳定，防止晶圆传送盒5放置移送时掉落。示例性的，安装板42设置有穿孔，行走轮41的轮轴穿过穿孔与驱动组件连接；其中，限位块47可以为凸轮从动器，当限位块47为凸轮从动器时，凸轮从动器与安装板42之间为滚动接触，可以减少二者之间的摩擦力，降低二者的磨损，提高搬运车运行过程中的稳定性。

如图1至图10所示，本实施例主体结构1还包括底座结构12，底座结构12外周设置有防撞条126，主体结构1上还设置有保护罩、散热风扇、警示灯111、扬声器、激光障碍物传感器以及二维激光雷达传感器129。示例性的，防撞条126可以设置在底座主体122的四周，防撞条126可以为橡胶等材质；保护罩可以包括设置在上装结构11的天线保护罩等；底座结构12包括底座主体122和设置在底座主体122上部用于封装底座主体122的底座上板121，散热风扇可以包括设置在底座主体122内用于对底座主体122内部零件进行散热的第一散热风扇127以及设置在上装结构11内用于对上装结构11内部零件进行散热的第二散热风扇116；警示灯111可以设置在上装结构11上，通过闪烁或变换颜色等方式进行警示；扬声器可以发出提高音进行提醒和警示；激光障碍物传感器为一种利用激光进行检测以实现避障的传感器，例如型号为UST-05LN的激光障碍物传感器，激光障碍物传感器可以包括设置在底座主体122内的第一激光障碍物传感器125以及设置在上装结构11内的第二激光障碍物传感器113，通过激光障碍物传感器进行检测，可以防止搬运车撞到障碍物上，提高晶圆传送盒搬运车的安全性能；二维激光雷达传感器129为一种能够利用激光扫描雷达检测周围物体与其之间的距离的传感器，例如型号为LMS511-10100的二维激光雷达传感器129，通过二维激光雷达传感器129检测周围物体具体搬运车的距离，可以实时调整搬运车的运行路线，防止搬运车运行时发生碰撞；采用上述结构，可以提高搬运车的安全性能。

此外，上装结构11上还设置有急停按钮112、门114以及电池117，通过急停按钮112可以控制搬运车急停；通过门114可以封装上装结构11的内部空间，方便搬运车存放物体及方便维修，门114上设置有第二检测传感器115，第二检测传感器115为一种用于检测工作人员是否出现在检测范围内的传感器，例如光电开关等，当第二检测传感器115检测到工作人员时，可以自动控制门114开启，使得搬运车使用更加方便；通过电池117可以为搬运车进行供电，电池117可以为锂平-比克电芯。底座主体122上还设置有充电口123、照明灯124以及控制器128，充电口123用于连接外部电源为搬运车充电，照明灯124可以便于夜间照明使用，控制器128可以控制行走机构4的行走，提高搬运车的自动化程度。行走机构4还包括万向轮43，万向轮43可以与行走轮41配合实现搬运车的行进和转向，使得搬运车行走更加方便。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种晶圆传送盒搬运车，包括主体结构，所述主体结构上设置有用于承载晶圆传送盒的承载结构、用于实现晶圆传送盒移送/释放动作的执行机构以及用于实现所述主体结构移动的行走机构，其特征在于，所述执行机构包括叉架和驱动所述叉架运动的驱动装置，所述晶圆传送盒具有与所述叉架配合的叉口；所述晶圆传送盒搬运时，所述驱动装置驱动所述叉架伸入至所述叉口内实现所述晶圆传送盒的移送动作，或者所述驱动装置驱动所述叉架远离所述叉口实现所述晶圆传送盒的释放动作。

2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述晶圆传送盒上部设置有支撑柱和提拉板，所述支撑柱两端分别与所述晶圆传送盒和所述提拉板相连，所述提拉板、支撑柱和晶圆传送盒围成所述叉口；

所述叉架包括两个相互平行的第一叉臂，所述叉口包括两个相互平行且至少一端开口的第一叉槽；所述晶圆传送盒搬运时，两个所述第一叉臂沿开口分别伸入至两个所述第一叉槽内且与所述提拉板的下表面抵接。

3.根据权利要求2所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述叉架还包括位于两个所述第一叉臂之间且垂直于所述第一叉臂设置的第二叉臂，所述叉口还包括位于两个所述第一叉槽之间且垂直于所述第一叉槽设置的第二叉槽；所述晶圆传送盒搬运时，所述第二叉臂伸入至所述第二叉槽内。

4.根据权利要求2所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，两个所述第一叉臂上均设置有第一检测传感器，两个所述第一叉臂其中一个上的第一检测传感器靠近所述第一叉臂沿其长度方向的第一侧设置，另一个上的第一检测传感器靠近所述第一叉臂沿其长度方向的第二侧设置。

5.根据权利要求2所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述叉架还包括架体和连接结构，所述连接结构用于与所述驱动装置相连，所述架体两端分别与所述第一叉臂和所述连接结构相连，两个所述第一叉臂和/或所述架体上设置有第一围边，所述第一围边用于限制所述晶圆传送盒沿垂直于所述第一叉臂长度方向脱离两个所述第一叉臂之间的区域。

6.根据权利要求5所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述架体上还设置有第二围边，所述第二围边呈倾斜状，用于限制所述晶圆传送盒朝所述连接结构方向的运动，所述架体上设置有定位凸起，所述晶圆传送盒上设置有定位凹槽，所述定位凹槽的开口方向朝向所述第一围边，所述定位凸起与所述定位凹槽卡接配合，用于限制所述晶圆传送盒朝垂直于所述第一叉臂上表面或下表面的方向运动。

7.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述承载结构包括托盘和第一弹簧，所述托盘通过所述第一弹簧安装在所述主体结构上。

8.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述主体结构包括底座结构和设置在底座结构中部的上装结构，所述上装结构的两侧均设置有两个承载结构；

位于所述上装结构同一侧的两个承载结构，沿竖直方向错开设置；

位于所述上装结构两侧且处于同一水平面的两个承载结构，沿水平方向错开设置。

9.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述主体结构包括底座结构，所述行走机构安装于所述底座结构上，所述行走机构包括驱动轮组和减震组件；

所述驱动轮组包括行走轮和固定在所述行走轮一端面的安装板；

所述减震组件包括第二弹簧、固定于所述底座结构的轴承组件和弹簧压板，以及沿垂直于所述安装板端面的方向上设置的两个限位块，所述轴承组件包括轴承座和轴承；

所述安装板的第一端沿垂直于其端面方向延伸有定位轴，所述定位轴固定在所述轴承内，所述安装板的第二端沿垂直于其端面方向延伸有弹簧座，所述第二弹簧安装在所述弹簧座和所述弹簧压板之间，所述行走轮位于所述安装板的第一端和第二端之间，且所述安装板的第二端位于两个所述限位块之间。

10.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆传送盒搬运车，其特征在于，所述主体结构包括底座结构，所述底座结构外周设置有防撞条，所述主体结构上还设置有保护罩、散热风扇、警示灯、扬声器、激光障碍物传感器以及二维激光雷达传感器。

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