CN112938475B - 一种光罩盒传送系统及生产流水线 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光罩盒传送系统及生产流水线，光罩盒传送系统包括分别设置在相邻工位机台之间的机械手；机械手上分别设置有夹爪、开盖机构和翻转机构；开盖机构能够打开光罩盒，翻转机构可翻转安装在机械手上，且翻转机构与夹爪连接，夹爪能够夹取光罩盒或者光罩盒内的光罩；机械手带动夹爪抓取上一工位机台载出端口的光罩盒到下一工位机台载入端口处。本发明通过光罩盒传送系统的设置代替了人工搬运光罩盒到各个机台，减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，实现了自动化传送光罩。此外，通过开盖机构打开光罩盒，并通过翻转机构带动光罩翻转翻面，进一步减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，进一步提高了光罩自动化传送。

Description

一种光罩盒传送系统及生产流水线

技术领域

本发明涉及传送设备技术领域，更具体地说，涉及一种光罩盒传送系统及生产流水线。

背景技术

光罩厂中，光罩的制程工艺往往是在各工艺站点由单机运行，因此，各工艺站点之间的光罩传送是由人工步行方式传送，且当前一站到后一站的工艺，要求的光罩摆放朝向不同向时，必须由人工额外费时的以工具开盒、手动翻面、闭盒，再行载入机台，光罩翻面无法自动化，费时费力。

综上所述，如何减少各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，实现自动化传送光罩是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的第一个目的在于提供一种光罩盒传送系统，能够减少各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，实现自动化传送光罩。

本发明的第二个目的是提供一种生产流水线。

为了达到上述第一个目的，本发明提供如下技术方案：

一种光罩盒传送系统，包括分别设置在相邻工位机台之间的机械手；

所述机械手上分别设置有夹爪、开盖机构和翻转机构；

所述开盖机构能够打开所述光罩盒，所述翻转机构可翻转安装在所述机械手上，且所述翻转机构与所述夹爪连接，所述夹爪能够夹取所述光罩盒或者所述光罩盒内的光罩；

所述机械手带动所述夹爪抓取上一所述工位机台载出端口的光罩盒到下一所述工位机台载入端口处。

在另一个具体实施方案中，所述光罩盒传送系统还包括光罩盒盛放装置；

所述光罩盒盛放装置设置在相邻工位机台之间，用于盛放所述机械手放置的所述光罩盒。

在另一个具体实施方案中，所述机械手的个数为2个；

一个所述机械手设置在上一个所述工位机台载出端口与所述光罩盒盛放装置之间，用于抓取上一所述工位机台载出端口的光罩盒到所述光罩盒盛放装置上；另一个所述机械手设置在所述下一个所述工位机台载入端口和所述光罩盒盛放装置之间，用于抓取所述光罩盒盛放装置上的光罩盒到下一所述工位机台载入端口处。

在另一个具体实施方案中，所述光罩盒传送系统还包括搬运装置；

所述光罩盒盛放装置安装在所述搬运装置上，且所述搬运装置能够带动所述光罩盒盛放装置移动。

在另一个具体实施方案中，所述光罩盒盛放装置为输送带；

所述输送带上平铺有多个存储所述光罩盒的存放格。

在另一个具体实施方案中，所述机械手的个数为1个；

所述光罩盒传送系统还包括输送装置，所述机械手和所述光罩盛放装置均安装在所述输送装置上。

在另一个具体实施方案中，所述输送装置为无人搬运车或者轨道天车。

在另一个具体实施方案中，所述光罩盒盛放装置为旋转塔，

所述旋转塔的塔身周向设置有多个存储所述光罩盒的存放格；

或者

所述光罩盒盛放装置为直立堆叠塔，

所述直立堆叠塔上分层设置有多个存储所述光罩盒的存放格。

在另一个具体实施方案中，所述光罩盒的盒盖的一侧与所述光罩盒的盒体的一侧铰接，所述盒盖的另一侧设置有与所述盒体的另一侧卡接的卡扣；

所述开盖机构为固定在所述机械手上的拨动杆，所述拨动杆能够拨动所述盒盖卡扣脱离所述盒体。

根据本发明的各个实施方案可以根据需要任意组合，这些组合之后所得的实施方案也在本发明范围内，是本发明具体实施方式的一部分。

根据上述技术方案可知，本发明提供的光罩盒传送系统，在相邻工位机台设置机械手，机械手抓取上一工位机台载出端口的光罩盒，并放置到下一工位机台载入端口处，进行下一工序。当光罩需要翻面时，开盖机构打开光罩盒，夹爪夹取光罩盒内的光罩，并通过翻转机构带动夹爪上夹取的光罩翻面，然后夹爪将光罩放入光罩盒内，关上光罩盒，夹爪夹取光罩盒到下一工位机台载入端口。本发明通过光罩盒传送系统的设置代替了人工搬运光罩盒到各个机台，减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，实现了自动化传送光罩。此外，通过开盖机构打开光罩盒，并通过翻转机构带动光罩翻转翻面，进一步减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，进一步提高了光罩自动化传送。

为了达到上述第二个目的，本发明提供如下技术方案：

一种生产流水线，包括多个依次排布的工位机台和如上述中任意一项所述的光罩盒传送系统；

相邻所述工位机台之间依次布置所述第一机械手、所述光罩盒盛放装置和所述第二机械手。

由于本发明提供的生产流水线包括上述任意一项中的光罩盒传送系统，因此，光罩盒传送系统所包含的有益效果均是本发明提供的生产流水线所包含的。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的光罩盒传送系统的结构示意图；

图2为本发明提供的机械手的结构示意图。

在图1-图2中：

工位机台1、机械手2、夹爪201、翻转机构202、光罩盒3、旋转塔4、直立堆叠塔5。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶面”、“底面”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的位置或元件必须具有特定方位、以特定的方位构成和操作，因此不能理解为本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

请参阅图1-图2，本发明第一方面提供了一种光罩盒传送系统，其中，光罩盒传送系统包括分别设置在相邻工位机台1之间的机械手2。

机械手2上分别设置有夹爪201、开盖机构和翻转机构202，机械手2能够带动夹爪201、开盖机构和翻转机构202移动。机械手2的结构不限，可以是图1的结构，也可以是图2的结构等。

开盖机构能够打开光罩盒3，开盖结构能够将光罩盒3打开，避免手动开盖，进一步节省了人力，提高了自动化。

具体地，光罩盒3的盒盖的一侧与光罩盒3的盒体的一侧铰接，盒盖的另一侧设置有与盒体的另一侧卡接的卡扣，开盖机构为固定在机械手2上的拨动杆，拨动杆能够拨动盒盖卡扣脱离盒体，为了便于拨动杆拨动盒盖，可以在盒盖的侧壁上设置与拨动杆抵接的凸起。

开盖结构还可以是其它结构，例如，光罩盒3为按压式卡扣盒，开盖结构为固定在机械手2上的按压杆。按压杆可以通过气缸或者电动推杆等作用下伸缩按压光罩盒3的卡扣位置实现按压光罩盒3的开闭。需要说明的是，按压杆也可以直接固定在机械手2上，通过机械手2的下移或者上升实现按压杆的升降。

可以理解地，光罩盒3和开盖结构等上述结构仅是本发明的优选实施方式，在实际应用中，也可以设置光罩盒3和开盖结构为其它结构，例如，光罩盒3的盒盖侧壁上设置有卡扣，光罩盒3的盒体侧壁上开设有卡槽，卡扣卡设在卡槽内，开盖结构为设置在机械手2上的卡钩，通过卡钩拨动卡扣脱离卡槽，还可以通过卡钩按压卡扣卡入卡槽。

翻转机构202可翻转安装在机械手2上，且翻转机构202与夹爪201连接，夹爪201能够夹取光罩盒3或者光罩盒3内的光罩。具体地，机械手2或者工位机台1载出端口上设置有CCD图像传感器，用于采集光罩盒3内的光罩信息，并传递给生产流水线上的控制器，控制器根据CCD图像传感器检测到的光罩信息，判断光罩正反，若不满足下一工序的使用，则控制器控制翻转机构202带动夹爪201翻转，以实现光罩的翻转。

翻转机构202可以为任意能够带动夹爪201翻转的结构，例如，翻转结构包括安装台、翻转销轴及翻转驱动器，夹爪201安装在安装台上，安装台固定在翻转销轴上，翻转销轴与机械手2可转动连接，翻转驱动器安装在机械手2上，且翻转驱动器的驱动端与翻转销轴传动连接，具体地，翻转驱动器为旋转气缸或者电机等。

机械手2为四轴机械手或者五轴机械手。可以根据需要进行设定。

具体地，夹爪201均包括两个夹板，可以通过气动实现两个夹板的相互靠近或者相互远离，也可以通过电动丝杆与两个夹板传动连接，实现两个夹板的相互靠近或者远离。需要说明的是，夹爪201也可以是其它结构，例如，夹爪201为设置真空吸盘的板，通过真空吸盘吸放光罩盒3；夹爪201还可以是两个夹板的中间部位铰接，一端用于夹取光罩盒3，另一端通过驱动器驱动相互靠近或者远离的杠杆结构。

机械手2带动夹爪201抓取上一工位机台1载出端口的光罩盒3到下一工位机台1载入端口处。

本发明提供的光罩盒传送系统，本发明提供的光罩盒传送系统，在相邻工位机台1设置机械手2，机械手2抓取上一工位机台1载出端口的光罩盒3，并放置到下一工位机台1载入端口处，进行下一工序。当光罩需要翻面时，开盖机构打开光罩盒3，夹爪201夹取光罩盒3内的光罩，并通过翻转机构202带动夹爪201上夹取的光罩翻面，然后夹爪201将光罩放入光罩盒3内，关上光罩盒3，夹爪201夹取光罩盒3到下一工位机台1载入端口。本发明通过光罩盒传送系统的设置代替了人工搬运光罩盒3到各个机台，减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，实现了自动化传送光罩。此外，通过开盖机构打开光罩盒3，并通过翻转机构202带动光罩翻转翻面，进一步减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，进一步提高了光罩自动化传送。

在一些实施例中，光罩盒传送系统还包括光罩盒盛放装置，光罩盒盛放装置设置在相邻工位机台1之间，用于盛放机械手2放置的光罩盒3。

具体地，相邻工位机台1之间的机械手2的个数可以为1个，也可以为2个。

当机械手2的个数为2个时，一个机械手2设置在上一个工位机台1载出端口与光罩盒盛放装置之间，用于抓取上一工位机台1载出端口的光罩盒3到光罩盒盛放装置上；另一个机械手2设置在下一个工位机台1载入端口和光罩盒盛放装置之间，用于抓取光罩盒盛放装置上的光罩盒3到下一工位机台1载入端口处。通过设置2个机械手2，可以有效减少等待时间，提高运送效率。

进一步地，本发明公开了光罩盒传送系统还包括搬运装置，光罩盒盛放装置安装在搬运装置上，且搬运装置能够带动光罩盒盛放装置在2个机械手2之间移动。

具体地，搬运装置为无人搬运车，搬运装置也可以是其它能够实现带动光罩盒盛放装置移动的装置，例如，轨道天车，光罩盒盛放装置安装在轨道天车上，通过轨道天车带动光罩盒盛放装置至所需位置。

本实施例以搬运装置为无人搬运车为例。光罩盒盛放装置安装在无人搬运车上，无人搬运车通过铺设在地面上的磁条的路径，磁场传感器安装在无人搬运车底盘的两侧，且磁场传感器与底盘内的控制器信号连接，控制器控制行走底盘沿着磁条移动。

需要说明的是，也可以是光罩盒盛放装置不动，2个机械手2分别单独安装在无人搬运车上。2个机械手2也可以通过滑轨移动，具体地，第一滑轨铺设在工位机台1载出端口和光罩盒盛放装置之间，1个机械手2可滑移安装在第一滑轨上。第二滑轨铺设在工位机台1载入端口和光罩盒盛放装置之间，另1个机械手2可滑移安装在第二滑轨上。具体地，2个机械手2均通过驱动装置驱动来实现移动。

在其它一些实施例中，光罩盒盛放装置为输送带，输送带上平铺有多个存储光罩盒3的存放格，光罩盒3平铺在输送带上。输送带将光罩盒3从一端输送到另一端，2个机械手2分别设置在输送带的两端。

当机械手2的个数为1个时，光罩盒传送系统还包括输送装置，机械手2和光罩盛放装置均安装在输送装置上，机械手2和光罩盛放装置集成在一起。

具体地，输送装置为无人搬运车或者轨道天车等。

在一些实施例中，本发明公开了光罩盒盛放装置为旋转塔4，旋转塔4的塔身周向设置有多个存储光罩盒3的存放格。

具体地，旋转塔4可以呈筒状，旋转塔4的旋转轴心线水平设置，即旋转塔4沿着旋转塔4的轴心线水平旋转，第一机械手2设置在旋转塔4的一端开口处，第二机械手2设置在旋转塔4的另一端开口处，通过旋转塔4转动位置的变化实现光罩盒3的取放。

需要说明的是，旋转塔4也可以是其它结构，例如，旋转塔4竖直旋转，即旋转塔4的旋转轴心线竖直设置，旋转塔4的内壁周向上设置有存放格，存放格的层数为多层，以存放光罩盒3。

可以理解地，光罩盒盛放装置不限于上述结构，也可以是其它结构，例如，光罩盒盛放装置为直立堆叠塔5，光罩盒3分层依次堆叠在直立堆叠塔5上。

需要说明的是，为了提高光罩盒3在光罩盒盛放装置上的稳定性，可以设置存放格真空吸附光罩盒3，或者，在光罩盒3底端设置与存放格吸附的磁铁。

本发明另一方面提供了一种生产流水线，包括多个依次排布的工位机台1和如上述中任意一项实施例中的光罩盒传送系统。

相邻工位机台1之间布置机械手2。

由于本发明提供的生产流水线包括上述任意一项中的光罩盒传送系统，因此，光罩盒传送系统所包含的有益效果均是本发明提供的生产流水线所包含的。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和创造特点相一致的最宽的范围。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (9)

1.一种光罩盒传送系统，其特征在于，包括分别设置在相邻工位机台之间的机械手；

所述机械手上分别设置有夹爪、开盖机构和翻转机构；

所述开盖机构能够打开所述光罩盒，所述翻转机构可翻转安装在所述机械手上，且所述翻转机构与所述夹爪连接，所述夹爪能够夹取所述光罩盒或者所述光罩盒内的光罩；

所述机械手带动所述夹爪抓取上一所述工位机台载出端口的光罩盒到下一所述工位机台载入端口处；

所述光罩盒的盒盖的一侧与所述光罩盒的盒体的一侧铰接，所述盒盖的另一侧设置有与所述盒体的另一侧卡接的卡扣；

所述开盖机构为固定在所述机械手上的拨动杆，所述拨动杆能够拨动所述盒盖卡扣脱离所述盒体。

2.根据权利要求1所述的光罩盒传送系统，其特征在于，还包括光罩盒盛放装置；

所述光罩盒盛放装置设置在相邻工位机台之间，用于盛放所述机械手放置的所述光罩盒。

3.根据权利要求2所述的光罩盒传送系统，其特征在于，所述机械手的个数为2个；

一个所述机械手设置在上一个所述工位机台载出端口与所述光罩盒盛放装置之间，用于抓取上一所述工位机台载出端口的光罩盒到所述光罩盒盛放装置上；另一个所述机械手设置在所述下一个所述工位机台载入端口和所述光罩盒盛放装置之间，用于抓取所述光罩盒盛放装置上的光罩盒到下一所述工位机台载入端口处。

4.根据权利要求3所述的光罩盒传送系统，其特征在于，还包括搬运装置；

所述光罩盒盛放装置安装在所述搬运装置上，且所述搬运装置能够带动所述光罩盒盛放装置移动。

5.根据权利要求3所述的光罩盒传送系统，其特征在于，所述光罩盒盛放装置为输送带；

所述输送带上平铺有多个存储所述光罩盒的存放格。

6.根据权利要求2所述的光罩盒传送系统，其特征在于，所述机械手的个数为1个；

所述光罩盒传送系统还包括输送装置，所述机械手和所述光罩盛放装置均安装在所述输送装置上。

7.根据权利要求6所述的光罩盒传送系统，其特征在于，所述输送装置为无人搬运车或者轨道天车。

8.根据权利要求6或7所述的光罩盒传送系统，其特征在于，所述光罩盒盛放装置为旋转塔，

所述旋转塔的塔身周向设置有多个存储所述光罩盒的存放格；

或者

所述光罩盒盛放装置为直立堆叠塔，

所述直立堆叠塔上分层设置有多个存储所述光罩盒的存放格。

9.一种生产流水线，其特征在于，包括多个依次排布的工位机台和如权利要求1-8中任意一项所述的光罩盒传送系统；

相邻所述工位机台之间布置所述机械手。

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