JPH05308042A - マルチリアクタタイプのプロセス設備制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数の反応室を持ったプロセス設備に対し、
種々のプロセスパターンに対応し、ウェハのプロセス処
理を短時間で効率良く行うことのできる制御法を提供す
る。 【構成】 中央演算処理部１（以下ＣＰＵと記す）と、
データおよび演算結果を格納するメモリ３と、センサ５
ａ，６ａ，７ａ，８ａの入力およびアクチュエータ５
ｂ，６ｂ，７ｂ，８ｂを動作させるシーケンスボード５
〜８（以下シーケンサと記す）と、プロセス処理を行う
ための複数の反応室１１〜１３を備えたプロセス設備に
おいて、プロセス処理の順番をウェハ１０毎に入力しメ
モリ３内に格納する手段と、格納された順番とシーケン
ス実行条件情報から、実行可能な全てのシーケンスを探
索する手段と、実行可能な全てのシーケンスの実行をシ
ーケンサに出力し、種々のプロセスパターンに対応する
手段を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、枚葉処理機構を備えた
半導体製造に用いられるプロセス設備に関し、特に複数
の反応室を持ち、同時に各反応室でプロセス処理を行う
ことができるマルチリアクタタイプのプロセス設備制御
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体製造においては、ＶＬＳＩ
・ＵＬＳＩデバイスの高集積化・微細化がされており、
それに伴い高度なプロセス処理を行うことができる複数
の反応室を備えたプロセス設備が要望されている。

【０００３】以下に、従来のプロセス設備制御法につい
て説明する。図８は従来のプロセス設備の概略構成の一
例を示すものである。図８において、８１はプロセス処
理を行う第１反応室、８２は第２反応室、８３は移載
室、８４は予備室、８５はダブルアーム、８６はウェハ
チャックアーム、８７はオリフラステージ、８８，８９
はウェハカセットである。

【０００４】以上のように構成されたプロセス設備につ
いて、以下その制御法を説明する。まず、プロセス処理
を行う反応室の順番を入力すると（表１）で示すシーケ
ンススケジュールテーブルが作られ、このテーブルの実
行条件より実行できるシーケンスを探索し、実行できる
ものがあればシーケンサに作動指令を出力し、ウェハの
搬送およびプロセス処理を制御する。例えば、第１反応
室８１でプロセス処理を行った後、第２反応室８２でプ
ロセス処理を行うように入力した場合、ウェハの搬送経
路は常にウェハカセット８８または８９→予備室８４→
移載室８３→第１反応室８１→移載室８３→第２反応室
８２→移載室８３→予備室８４→ウェハカセット８８ま
たは８９となる。

【０００５】

【表１】

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の制御法では、ウェハの搬送経路が一種類しか設定
できず、スループットがプロセス処理時間の一番長い反
応室によって決まってしまい、他のウェハはそのプロセ
スが終了するのを待つという欠点を有していた。また、
ウェハカセット８８のウェハの第１反応室８１でのプロ
セス処理と、ウェハカセット８９のウェハの第２反応室
８２のプロセス処理を同時に行うことができないという
欠点を有していた。

【０００７】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、種々のプロセスパターンに対応できる手段を備え
ているマルチリアクタタイプのプロセス設備を提供する
ことを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明のプロセス設備制御装置は、ウェハに対し
順次プロセス処理を行うための複数の反応室を備えると
ともに、前記プロセス処理を制御するために、中央演算
処理部と、データおよび演算結果を格納するメモリと、
センサからの入力を受けてアクチュエータを動作させる
シーケンサを備えたプロセス設備において、プロセス処
理の順番をウェハ毎に入力しメモリ内に格納する手段
と、格納された順番とシーケンス実行条件情報から、実
行可能な全てのシーケンスを探索する手段と、実行可能
な全てのシーケンスの実行をシーケンサに出力して種々
のプロセスパターンに対応する手段とを備えていること
を特徴とする。

【０００９】

【作用】この構成によってウェハ毎に入力されたプロセ
ス処理の順番からシーケンスの実行順番を記述したスケ
ジュールテーブルを作成し、このテーブルとあらかじめ
メモリ内に格納してあるシーケンス実行条件から中央演
算処理部（以下ＣＰＵと記す）が実行可能な全てのシー
ケンスを探索し、シーケンサに作動命令を出力し、シー
ケンサがシーケンス処理を行うことにより、種々のプロ
セスパターンに対応することができる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。

【００１１】図１は図２のプロセス設備の制御部を示す
電気的ブロック線図である。このプロセス設備は、ウェ
ハ収納部であるウェハカセット１９，２０から予備室１
６および移載室１４を介し複数の反応室１１〜１３にウ
ェハ１０を搬送して処理を行うプロセスを、制御部１か
らシーケンサ５〜８に指令を与えることにより制御する
構成となっている。

【００１２】この制御部１はＣＰＵであって、書込手段
１ａ，読出手段１ｂ，演算手段１ｃ，判断手段１ｄおよ
び出力手段１ｅを備えている。書込手段１ａは、メモリ
３にデータを書き込むもので、プロセス処理順等の設定
操作等を行うための入力手段２が接続されている。この
書込手段１ａは、入力手段２からの設定入力や各種デー
タを格納するメモリ３に接続されている。このメモリ３
には、データを読み出すための読出手段１ｂが接続され
ている。この読出手段１ｂは、設備全体の動作制御を行
う演算手段１ｃに接続されている。この演算手段１ｃ
は、本例では設定信号に基づいてシーケンス制御を行
い、かつ動作中に与えられるプロセス処理情報を受けて
実行可能なシーケンスを探索する演算処理をも行うよう
になっている。

【００１３】この演算手段１ｃは、書込手段１ａに接続
される一方、判断手段１ｄに接続されている。この判断
手段１ｄは、ステップ番号等を判断するとともに、演算
手段１ｃの演算結果に基づいてシーケンスプログラムを
実行させる指令信号を出力するようになっている。この
判断手段１ｄは、シーケンサ５〜８に対して指令信号を
送出する出力手段１ｅに接続されている。この出力手段
１ｅは、ＣＲＴ４に接続されるとともに、搬送系用シー
ケンサ５，第１反応室用シーケンサ６，第２反応室用シ
ーケンサ７および第３反応室用シーケンサ８にそれぞれ
接続されている。

【００１４】搬送系用シーケンサ５は、後述のウェハカ
セット１９，２０と予備室１６，移載室１４を介し反応
室１３〜１５との間において行われるウェハ１０の搬送
をシーケンス制御するシーケンスボードであって、セン
サ５ａからの検出信号が導かれており、アクチュエータ
５ｂに対して制御信号を送出する。第１反応室用シーケ
ンサ６は、第１反応室１１におけるウェハ１０のプロセ
ス処理をシーケンス制御するシーケンスボードであっ
て、センサ６ａからの検出信号が導かれ、アクチュエー
タ６ｂに制御信号を送出する。第２反応室用シーケンサ
７は、第２反応室１２におけるウェハ１０のプロセス処
理をシーケンス制御するシーケンスボードであって、セ
ンサ７ａからの検出信号が導かれ、アクチュエータ７ｂ
に制御信号を送出する。第３反応室用シーケンサ８は、
第１反応室１３におけるウェハ１０のプロセス処理をシ
ーケンス制御するシーケンスボードであって、センサ８
ａからの検出信号が導かれ、アクチュエータ８ｂに制御
信号を送出するようになっている。

【００１５】これらのシーケンサ５〜８は、各センサ５
ａ〜８ａから出力される検出信号を受けてアクチュエー
タ５ｂ〜８ｂを駆動させることにより、所定の順路に従
ってウェハ１０の搬入搬出を行うが、この搬送プロセス
は複数のシーケンスプログラムによって実行される構成
になっている。

【００１６】図２のプロセス設備は、ウェハ１０のプロ
セス処理を行う反応室を３基備えている。第１ないし第
３反応室１１〜１３のそれぞれには、反応室ゲート１１
ａ，１２ａ，１３ａを設けており、各反応室ゲート１１
ａ〜１３ａは移載室１４に連結されている。この移載室
１４には、ウェハ１０を交換するためのダブルアーム１
５が配置されている。また、この移載室１４には、移載
室ゲート１４ａを介して予備室１６が連結されている。
なお、この予備室１６は、ウェハ１０のオリフラを検出
して位置合わせを行うためのオリフラステージ１７を備
えている。そして、予備室１６の前方には、ウェハ１０
を取り出すためのウェハチャックアーム１８が配置され
ている。さらに、このウェハチャックアーム１８の両側
には、ウェハ１０を収容する２台のウェハカセット１
９，２０が配置されている。

【００１７】しかして、このように構成されたプロセス
設備は、ウェハカセット１９または２０と予備室１６と
の間においてウェハ１０を送受する場合、予備室１６内
が窒素ガスにて大気状態に保たれる。一方、この予備室
１６と移載室１４を介して各反応室１１〜１３との間に
おいてウェハ１０を送受する場合、予備室１６内が高真
空状態に保たれる。なお、各反応室１１〜１３において
は、あらかじめ設定されるプロセス条件に従って反応ガ
スの流量，真空度，放電電力および温度等を制御しなが
ら、プロセス処理が行われる。

【００１８】そして、シーケンス処理内容（表２）やシ
ーケンス実行条件（表３）等を設定してプロセス設備を
起動すると、前記制御部１がシーケンス制御を行う各シ
ーケンス５〜８についてタスク管理により自動スケジュ
ーリングタスク，スケジュールコントロールタスクおよ
びウェハタスク等

【００１９】

【表２】

【００２０】

【表３】

【００２１】を実行する。具体的には、自動スケジュー
リングタスクがシーケンススケジュールテーブル（表
４）を作成するとともに、ウェハタスクがウェハシーケ
ンステーブル（表５）やウェハ情報テーブル（表６）等
を作成して、経時的に変化するプロセス処理情報を受け
てスループットを最短にするプロセス処理を行うもので
ある。

【００２２】

【表４】

【００２３】

【表５】

【００２４】

【表６】

【００２５】次に、このプロセス設備によるプロセス処
理動作について、フローチャートを参照しながら説明す
る。

【００２６】まず、プロセス設備の運転に際しては、入
力手段２によりあらかじめシーケンス処理番号，搬送工
程番号およびウェハ滞留位置番号を設定する。この場合
は、シーケンス処理内容を（表２）に示すような条件で
入力すると、図３に示す如きプロセス処理が行われるよ
うに、処理順序がメモリ３に書き込まれる。なお、ウェ
ハ１０のプロセス処理を行うための順序はウェハ毎に任
意に設定できるが、本例では、奇数枚目のウェハは第１
反応室，第２反応室の順序、偶数枚目のウェハは第１反
応室，第３反応室の順序となるように設定する。

【００２７】つぎに、プロセス設備を運転すると、自動
スケジューリングタスクおよびスケジュールコントロー
ルタスクが起動される。

【００２８】前記自動スケジューリングタスクは、あら
かじめメモリ３に格納されているプロセスの順番ととも
に処理シーケンス番号，搬送工程番号およびウェハ１０
の滞留位置番号を読み出し、演算処理１ｃにて演算を行
う。

【００２９】そして、図５に示すフローチャートを実行
し、Ｎに１を代入し（ステップＳ５１）、（表４）に示
すシーケンススケジュールテーブル１を作成した後（ス
テップＳ５２）、ウェハタスクを起動させる（ステップ
Ｓ５３）。

【００３０】続いて、この自動スケジューリングタスク
は、起動されているウェハタスクのステップ番号をメモ
リ３から読み出し、判断手段１ｄによりステップ番号が
２となったか否かを判断する（ステップＳ５４）。ここ
では、運転が開始されてステップ番号が１となり、ウェ
ハ１０を予備室１６に搬送してから、この予備室１６よ
り移載室１４にウェハ１０が搬送されているかをチェッ
クしている。

【００３１】このとき、ステップ番号が２となれば、他
にウェハ１０が有るか否かが判断される（ステップＳ５
５）。ここで、ウェハ１０が無ければプロセス処理が終
了することになるが、ウェハ１０が有ればＮに１を加算
し（ステップＳ５６）、シーケンススケジュールテーブ
ルＮを作成し（ステップＳ５７）、次のウェハタスクを
起動させる（ステップＳ５８）。そして、ステップＳ５
４に進み、以下図４のフローを繰り返す。

【００３２】ところで、上記のようにして起動されるウ
ェハタスクは、図６に示すフローチャートを実行し、
（表５）に示すウェハシーケンステーブルを作成する。

【００３３】そして、このウェハタスクは、ステップ番
号に１を代入するとともに、状態フラグに０を代入して
メモリ３に書き込む（ステップＳ６１）。

【００３４】また、スケジュールコントロールタスクに
対してステップ番号を送信する（ステップＳ６２）。

【００３５】続いて、状態フラグが１となったか否かを
判断し、状態フラグが１となれば（ステップＳ６３）、
状態フラグが０に変わるのを待つ。ここで、状態フラグ
が０になると（ステップＳ６４）、ステップ番号をメモ
リから読み出し、判断手段１ｄにより判断する。

【００３６】この後、ステップ番号がＮとなったか否
か、すなわち最終処理になっているかを判断する（ステ
ップＳ６５）。

【００３７】このとき、最終処理になっていない場合、
ステップＳ６２に進んで処理を進行するが、ステップ番
号がＮとなればこれで処理を終了することになる。

【００３８】ところで、上述の自動スケジューリングタ
スクとともに起動されたスケジュールコントロールタス
クは、図７のフローチャートに示す処理を実行するが、
まずシーケンスが終了となったものが有るか否かを判断
する（ステップＳ７１）。

【００３９】このとき、シーケンス終了のものが無けれ
ば、ステップＳ７４に進み、シーケンスの終了が有れ
ば、該当するウェハタスクのステップ番号に１を加算
し、ウェハ滞留位置テーブルを更新する（ステップＳ７
２）。

【００４０】続いて該当するウェハタスクの状態フラグ
を０にした後（ステップＳ７３）、ステップＳ７４にて
ステップ番号の送信を判断する。

【００４１】ここで、ウェハタスクより送信されてきた
ステップ番号が受信されると（ステップＳ７４）、スケ
ジュールコントロールタスクは、メモリ３からステップ
番号を読み出し、（表４）のスケジュールテーブル，
（表６）に示すウェハ情報テーブルおよび（表３）のシ
ーケンス実行条件から実行可能なシーケンスを探索する
（ステップＳ７６）。

【００４２】ここでは、実行可能シーケンスが有るか否
かを判断は（ステップＳ７７）、実行可能シーケンスが
無ければステップＳ７１に進み、実行可能シーケンスが
有れば該当するウェハタスクの状態フラグを１にして、
ウェハ滞留位置テーブルを更新する（ステップＳ７
８）。

【００４３】この後、指令信号をシーケンサに出力し
（ステップＳ７９）、ステップＳ７１に戻って上記と同
様の動作を繰り返す。

【００４４】例えば、上記プロセスにおいて処理が進
み、図４の状態になった場合を想定すると、このプロセ
ス設備に搬送されてきた６枚のウェハＮｏ１〜Ｎｏ６の
状態は、以下の通りになっている。

【００４５】ウェハＮｏ１． 第２反応室１２において
プロセス処理完了であり、移載室１４への移動待ちであ
る。

【００４６】ウェハＮｏ２． 第３反応室１３において
プロセス処理完了であり、移載室１４への移動待ちであ
る。

【００４７】ウェハＮｏ３． 第１反応室１１において
プロセス処理完了である。 ウェハＮｏ４． 予備室１６から移載室１４への移動完
了であり、第１反応室１１への移動待ちである。

【００４８】ウェハＮｏ５． ウェハカセット１９から
予備室１６への移動完了であり、移載室１４への移動待
ちである。

【００４９】ウェハＮｏ６． 予備室１６への移動待ち
である。 また、このときの各ウェハタスクのウェハシーケンステ
ーブルは（表７）、ウェハ情報テーブルは（表８）に示
される状態に変化している。

【００５０】ここで、各ウェハタスクについて説明する
と、 ウェハタスクＮｏ１． ステップ番号が１１（ウェハカ
セット１９，２０の位置）ではないので、スケジュール
コントロールタスクにステップ番号８を送信して状態フ
ラグが１になるのを待っている。

【００５１】ウェハタスクＮｏ２． ステップ番号が１
１ではないので、スケジュールコントロールタスクにス
テップ番号８を送信して状態フラグが１になるのを待っ
ている。

【００５２】ウェハタスクＮｏ３． ステップ番号が１
１ではないので、スケジュールコントロールタスクにス
テップ番号４を送信して状態フラグが０になるのを待っ
ている。

【００５３】ウェハタスクＮｏ４． ステップ番号が１
１ではないので、スケジュールコントロールタスクにス
テップ番号３を送信して状態フラグが１になるのを待っ
ている。

【００５４】ウェハタスクＮｏ５． ステップ番号が１
１ではないので、スケジュールコントロールタスクにス
テップ番号２を送信して状態フラグが１になるのを待っ
ている。

【００５５】ウェハタスクＮｏ６． ステップ番号に１
を、状態フラグに０をそれぞれ代入し、スケジュールコ
ントロールタスクにステップ番号１を送信して状態フラ
グが１になるのを待っている。

【００５６】

【表７】

【００５７】

【表８】

【００５８】また、スケジュールコントロールタスクに
ついては、実行可能な全てのシーケンスを探索してお
り、その一例を示せば以下の通りである。

【００５９】１． ウェハタスク１よりステップ番号８
の送信があると、（表９）のシーケンススケジュールテ
ーブルにおけるステップ８の位置から工程が（４）、現
在の滞留位置が、移動先の滞留位置がであることを
読み出す。

【００６０】２． ウェハタスク２よりステップ番号８
の送信があると、（表７）のシーケンススケジュールテ
ーブルにおけるステップ８の位置から工程が（４）、現
在の滞留位置が、移動先の滞留位置がであることを
読み出す。

【００６１】３． ウェハタスク４よりステップ番号３
の送信があると、（表７）のシーケンススケジュールテ
ーブルにおけるステップ３の位置から工程が（３）、現
在の滞留位置が、移動先の滞留位置からであること
を読み出す。

【００６２】４． ウェハタスク５よりステップ番号２
の送信があると、（表９）のシーケンススケジュールテ
ーブルにおけるステップ２の位置から工程が（２）、現
在の滞留位置が、移動先の滞留位置がであることを
読み出す。

【００６３】５． ウェハタスク６よりステップ番号１
の送信があると、（表７）のシーケンススケジュールテ
ーブルにおけるステップ１の位置から工程が（１）、現
在の滞留位置が、移動先の滞留位置がであることを
読み出す。

【００６４】６． 工程（１）の要求があるとき、あら
かじめ作成した（表３）のシーケンス実行条件からウェ
ハ滞留位置におけるウェハの有無を（表１０）のウェ
ハ情報テーブルにて検索すると、ウェハ有りなので、工
程（１）のシーケンス１は実行できないと判断する。

【００６５】７． 工程（２）の要求があるとき、上記
シーケンス実行条件からウェハ滞留位置におけるウェ
ハの有無を上記ウェハ情報テーブルにて検索すると、ウ
ェハ有るが工程（５）の要求はないので、シーケンス３
は実行できないと判断する。

【００６６】８． 工程（３）の要求があるとき、上記
シーケンス実行条件からウェハ滞留位置におけるウェ
ハの有無を上記ウェハ情報テーブルにて検索すると、ウ
ェハ有るが工程（４）を要求しているウェハの滞留位置
がになっていないので、シーケンス４は実行できない
と判断する。

【００６７】９． 工程（４）の要求があるとき、上記
シーケンス実行条件からウェハ滞留位置のウェハの有
無と滞留位置のウェハの有無（予約なし）とを上記ウ
ェハ情報テーブルにて検索すると、ウェハ滞留位置の
ウェハ工程のｎが等しい工程（３）を要求しているもの
がないので、シーケンス５，６は実行できないと判断す
る。従って現在新しく起動できるシーケンスはないとい
える。

【００６８】

【表９】

【００６９】

【表１０】

【００７０】つぎに、第１反応室１１のプロセスシーケ
ンス１０が終了すると、シーケンサ６よりシーケンス終
了がスケジュールコントロールタスクに伝えられ、ウェ
ハタスクＮｏ３のウェハシーケンステーブルの状態フラ
グを０、ステップ番号を５とし、ウェハ情報テーブルの
処理注フラグを０、処理完了フラグを１とする。

【００７１】

【表１１】

【００７２】ウェハタスクＮｏ３は、状態フラグが０に
なったので、ステップ番号５を送信する。スケジュール
コントロールタスクは、ステップ番号５の送信があるの
で、（表６ａ）のシーケンススケジュールテーブルにお
けるステップ５の位置から工程が（４）、現在の滞留位
置が、移動先の滞留位置がであることを読み出し、
実行可能シーケンスを上記同様の方法で探索する。

【００７３】この場合、ウェハタスクＮｏ３とウェハタ
スクＮｏ４の工程（４）が可能となっているのでウェハ
タスクＮｏ３，Ｎｏ４の同時移動シーケンスＮｏを４、
状態フラグを１とし、シーケンサ５にシーケンスを出力
する。以下、上記同様の手順で処理が実行される。

【００７４】

【表１２】

【００７５】以上のように、本実施例によれば、処理時
間の長いプロセス処理を第２反応室１２と第３反応室１
３両方で行うようにウェハ１０の搬送順序を入力する
と、タスク管理によってスループットを最短にすること
ができ、このシーケンス制御に基づいて作動するシーケ
ンサ５〜８がシーケンスプログラムを実行することによ
り、ウェハ１０の搬送がロスタイムなく行われ、プロセ
スが高速度となる。

【００７６】また、ウェハ１０の搬送順序をウェハカセ
ット１９→予備室１６→移載室１４→第１反応室１１→
移載室１４→予備室１６→ウェハカセット１９とウェハ
カセット２０→予備室１６→移載室１４→第３反応室１
３→移載室１４→予備室１６→ウェハカセット２０の２
種類を入力すれば本実施例と同様の方法で同時に異なっ
たプロセス処理を行うことができる。

【００７７】

【発明の効果】以上のように、本発明は、ウェハ毎にプ
ロセス処理の順番を入力することにより様々なプロセス
パターンに対応でき、制御部がシーケンサに対してシー
ケンスプログラムを実行させる指令信号を送出、反応室
に未処理ウェハを優先的に搬送し、かつ処理済みウェハ
を搬出させてウェハ収納部側に搬送する制御を行うの
で、プロセス処理が完了した反応室には、常に短時間で
未処理ウェハが供給され、ウェハの搬送がロスタイムな
く行われるから、プロセスの効率が高められる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による制御部の電気的ブロック
線図

【図２】プロセス設備の概略構成図

【図３】プロセス設備のプロセス処理を示す説明図

【図４】プロセス設備におけるウェハの位置を示す説明
図

【図５】自動スケジューリングタスクの動作を説明する
フローチャート

【図６】ウェハタスクの動作を説明するフローチャート

【図７】スケジュールコントロールタスクの動作を説明
するフローチャート

【図８】従来のプロセス設備の概略構成図

【符号の説明】

１ 制御部 １ａ 書込手段 １ｂ 読出手段 １ｃ 演算手段 １ｄ 判断手段 １ｅ 出力手段 ３ メモリ ４ ＣＲＴ ５ 搬送系用シーケンサ ５ａ 搬送系用センサ ５ｂ 搬送系用アクチュエータ ６ 第１反応室用シーケンサ ６ａ 第１反応室用センサ ６ｂ 第１反応室用アクチュエータ ７ 第２反応室用シーケンサ ７ａ 第２反応室用センサ ７ｂ 第２反応室用アクチュエータ ８ 第３反応室用シーケンサ ８ａ 第３反応室用センサ ８ｂ 第３反応室用アクチュエータ ９，１７，８７ オリフラステージ １０ ウェハ １１，８１ 第１反応室 １２，８２ 第２反応室 １３ 第３反応室 １４，８３ 移載室 １５，８５ ダブルアーム １６，８４ 予備室 １８，８６ ウェハチャックアーム １９，２０，８８，８９ ウェハカセット

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハに対し順次プロセス処理を行うた
   めの複数の反応室を備えるとともに、前記プロセス処理
   を制御するために、中央演算処理部と、データおよび演
   算結果を格納するメモリと、センサからの入力を受けて
   アクチュエータを動作させるシーケンサを備えたプロセ
   ス設備において、プロセス処理の順番をウェハ毎に入力
   しメモリ内に格納する手段と、格納された順番とシーケ
   ンス実行条件情報から、実行可能な全てのシーケンスを
   探索する手段と、実行可能な全てのシーケンスの実行を
   シーケンサに出力して種々のプロセスパターンに対応す
   る手段とを備えていることを特徴とするマルチリアクタ
   タイプのプロセス設備制御装置。