JP3295442B2 - ドライエッチング方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ドライエッチングによ
る半導体の製造技術に係り、特に、複数の処理室にてウ
ェハのエッチング処理を行うドライエッチング方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＶＬＳＩやＵＬＳＩ等の半導体の製造に
おいては、高集積化、微細化に伴って高度なプロセス処
理を行うことのできる反応室を備えたドライエッチング
装置が望まれている。

【０００３】このドライエッチング装置の一例として、
図８に示すものが知られている。

【０００４】このドライエッチング装置は、ウェハ１０
のエッチング処理を行う反応室２１を１基備えており、
この反応室２１が反応室ゲート２１ａを介して予備室２
２に連結されている。なお、この予備室２２には、ウェ
ハ１０を交換するためのダブルアーム２３が設けられ、
予備室ゲート２２ａを備えている。そして、この予備室
ゲート２２ａの前方には、ウェハチャックアーム１８と
ウェハ１０のオリフラ合わせを行うためのオリフラステ
ージ１８ａとが配置されている。また、ウェハチャック
アーム１８の両側には、ウェハ１０を収容するウェハカ
セット１９，２０が配設されている。

【０００５】次に、上記ドライエッチング装置の動作に
ついて説明する。

【０００６】まず、ウェハチャックアーム１８がウェハ
カセット１９または２０の一方からウェハ１０を取り出
してオリフラステージ１８ａに載置する。このオリフラ
ステージ１８ａは、ウェハ１０を受けるとこれを回転さ
せてオリフラを検出するとともに位置決めを行う。この
位置決めが終わると、予備室２２を窒素ガスにて大気の
状態とし、予備室ゲート２２ａを開ける。そして、ダブ
ルアーム２３により予備室２２内にあるウェハ１０とオ
リフラステージ１８ａ上のウェハ１０とを交換して、予
備室ゲート２２ａを閉める。

【０００７】この交換によってオリフラステージ１８ａ
に出されたウェハ１０は、ウェハチャックアーム１８に
よってウェハカセット１９または２０の定位置に挿入さ
れる。また、交換後はダブルアーム２３を反応室２１側
に回転させ、予備室２２を高真空としておいて反応室２
１の処理が終われば、反応室ゲート２１ａを開け、ダブ
ルアーム２３により反応室２１と予備室２２のウェハ１
０を交換する。そして、反応室ゲート２１ａを閉めてダ
ブルアーム２３を回転させ、オリフラステージ１８ａ側
に向ける。

【０００８】なお、反応室２１では設定されたエッチン
グ条件に従って反応ガスの流量、真空度、ＲＦ放電およ
び温度等を制御しながら、ドライエッチングを行うこと
になる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
ドライエッチング装置は、反応室２１が１基であり、未
処理ウェハ１０が、ウェハカセット１９または２０から
オリフラステージ１８ａ、予備室２２を経て反応室２１
に到る搬送経路となり、処理済ウェハ１０はこの反応室
２１より予備室２２、オリフラステージ１８ａを経てウ
ェハカセット１９または２０に戻る搬出経路となる。

【００１０】このような搬送工程のシーケンスは、単一
の経路のみ制御するものであるから、簡単なシーケンス
プログラムによって実行できるが、生産能率を向上させ
るために複数の反応室２１を備えてドライエッチングを
行うような場合は、ウェハ１０の搬送経路が相当複雑に
なるために、前述のシーケンス制御では対応できないと
いう問題が残されていた。

【００１１】本発明は、上記課題を解決することを目的
としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明においては、上記
目的を達成するため、ウェハ収納部に収納された未処理
ウェハを予備室に搬送して位置決めした後、予備室で位
置決めされた未処理ウェハを移載室に搬送し、移載室の
未処理ウェハにつき、エッチング処理を行なうための複
数の処理室のうち必要なエッチング処理が行われる処理
室に供給し、複数の処理室から処理済ウェハを前記移載
室に受け取ることを行って、複数の処理室にてウェハ収
納部から供給される未処理ウェハにエッチング処理を施
し処理済ウェハをウェハ収納部に収納するドライエッチ
ング方法において、予め設定した搬送手段によるウエハ
の搬送および各反応室におけるエッチング処理のそれぞ
れを個別に実行するシーケンサ毎に必要なシーケンス内
容、および各シーケンスの実行条件に関するシーケンス
情報と、各ウエハ毎の処理順、搬送順、およびそれに対
応した位置、ステップに関するウエハ情報とを記憶して
おき、所定のタスク管理プログラムに従い前記シーケン
ス情報およびウエハ情報から、前記一連のウエハ取り扱
い動作を最小時間で実行する工程につき、ウェハ収納部
から指定されたウェハを取り出し予備室に搬送し位置決
めする工程（１）、工程（１）に次いで、予備室と移載
室との間の未処理ウェハおよび処理済ウェハを交換する
工程（２）、工程（２）に次いで、移載室と複数の処理
室との間で未処理ウェハと処理済ウェハとの交換を個別
に行う複数の動作の組、複数の処理室とにおけるエッチ
ング処理を個別に行う動作の組、を選択して行なう工程
（３）、工程（３）に次いで、移載室と複数の処理室と
の間で未処理ウエハと処理済ウエハとの交換を個別に行
う複数の動作を行う工程（４）、工程（４）に次いで、
予備室と移載室との間で未処理ウエハと処理済ウエハの
交換を行う工程（５）、工程（５）に次いで、予備室の
処理済ウエハをウエハ収納部の指定位置に収納する工程
（６）、をそれぞれ設定して各工程（１）〜（６）を前
記各シーケンサの対応するものにて実行すると共に、ウ
エハの現在位置とそのウエハに関する上記ウエハ情報か
らそのウエハがどのステップにあるかを判定するととも
に、予備室、移載室、各反応室でのウエハの有無や処理
の現在状態を判定し、これら判定結果と、上記シーケン
ス情報およびウエハ情報とから、各工程に係るシーケン
スの実行可否を判定し 、実行可能なシーケンスに基づき
各位置における処理済ウエハと処理待ちウエハとの入れ
替えを対応するシーケンサにより行なうことを特徴と
し、上記ウエハの入れ替えはダブルアームにより行なう
のが好適である。

【００１３】

【作用】本発明は、ウェハ収納部の未処理ウェハを最小
時間で処理室に搬送させてエッチング処理を行なわせ、
処理済ウェハを搬出してウェハ収納部に収納する工程お
よび動作の実行条件が予め設定される。

【００１４】ドライエッチング装置を運転すると、制御
部からシーケンサに対してシーケンスプログラムを実行
させる指令信号が送出され、プロセス処理が開始され
る。

【００１５】すると、ウェハ収納部から指定されたウェ
ハを取り出し予備室に搬送し位置決めする工程（１）、
予備室と移載室との間の未処理ウェハおよび処理済ウェ
ハを交換する工程（２）、移載室と複数の処理室との間
で未処理ウェハと処理済ウェハとの交換を個別に行う複
数の動作の組、複数の処理室とにおけるエッチング処理
を個別に行う動作の組、を選択して行なう工程（３）、
移載室と複数の処理室との間で未処理ウエハと処理済ウ
エハとの交換を個別に行う複数の動作を行う工程
（４）、予備室と移載室との間で未処理ウエハと処理済
ウエハの交換を行う工程（５）、予備室の処理済ウエハ
をウエハ収納部の指定位置に収納する工程（６）、が各
種の動作を含んで設定した順に実行される。

【００１６】これによって、ウェハ収納部の未処理ウェ
ハを処理室に搬送させてエッチング処理を行なわせ、処
理済ウェハを搬出してウェハ収納部に収納することが設
定どおりの最小時間にて達成される。

【００１７】しかし、各工程の実行に際して、ウエハの
現在位置とそのウエハに関する上記ウエハ情報からその
ウエハがどのステップにあるかを判定するとともに、予
備室、移載室、各反応室でのウエハの有無や処理の現在
状態を判定し、これら判定結果と、上記シーケンス情報
およびウエハ情報とから、各工程に係るシーケンスの実
行可否を判定し、実行可能なシーケンスに基づき各位置
における処理済ウエハと処理待ちウエハとの入れ替えを
対応するシーケンサにより行なうことで、シーケンスが
実行不可であるときでも順位外で実行可能な工程、動作
があるとその工程、動作を実行しておく予め設定される
実行条件に基づいてウェハ収納部の未処理ウェハを最小
時間で処理室に搬送させてエッチングを行うので、ウェ
ハの搬送がロスタイムなく行われ、エッチング処理プロ
セスの効率が高められる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
しながら説明する。

【００１９】図１はドライエッチング装置の制御部を示
す電気的ブロック線図である。

【００２０】このドライエッチング装置は、ウェハ収納
部であるウェハカセット１９，２０から予備室１６およ
び移載室１４を介し複数の反応室１１〜１３にウェハ１
０を搬送してエッチング処理を行うプロセスを、制御部
１からシーケンサ５〜８に指令を与えることにより制御
する構成となっている。

【００２１】この制御部１は、ＣＰＵ（中央演算処理
部）であって、書込手段１ａ、読出手段１ｂ、演算手段
１ｃ、判断手段１ｄおよび出力手段１ｅを備えている。
前記書込手段１ａは、メモリ３にデータを書き込むもの
で、エッチング処理順等の設定操作を行うための入力手
段２が接続されている。この書込手段１ａは、入力手段
２からの設定入力や各種データを格納するメモリ３に接
続されている。このメモリ３には、データを読み出すた
めの読出手段１ｂが接続されている。この読出手段１ｂ
は、装置全体の動作制御を行う演算手段１ｃに接続され
ている。この演算手段１ｃは、本例では設定信号に基づ
いてシーケンス制御を行い、かつ動作中に与えられるプ
ロセス処理情報を受けて実行可能なシーケンスを探索す
る演算処理をも行うようになっている。

【００２２】この演算手段１ｃは、前記書込手段１ａに
接続される一方、判断手段１ｄに接続されている。この
判断手段１ｄは、ステップ番号等を判断するとともに、
演算手段１ｃの演算結果に基づいてシーケンスプログラ
ムを実行させる指令信号を出力するようになっている。
この判断手段１ｄは、シーケンサ５〜８に対して指令信
号を送出する出力手段１ｅに接続されている。この出力
手段１ｅは、ＣＲＴ４に接続されるとともに、搬送系用
シーケンサ５、第１反応室用シーケンサ６、第２反応室
用シーケンサ７および第３反応室用シーケンサ８にそれ
ぞれ接続されている。

【００２３】前記搬送系用シーケンサ５は、後述のウェ
ハカセット１９，２０と予備室１６、移載室１４を介し
反応室１１〜１３との間において行われるウェハ１０の
搬送をシーケンス制御するシーケンスボードであって、
センサ５ａからの検出信号が導かれており、アクチュエ
ータ５ｂに対して制御信号を送出する。第１反応室用シ
ーケンサ６は、第１反応室１１におけるウェハ１０のエ
ッチング処理をシーケンス制御するシーケンスボードで
あって、センサ６ａからの検出信号が導かれ、アクチュ
エータ６ｂに制御信号を送出する。第２反応室用シーケ
ンサ７は、第２反応室１２におけるウェハ１０のエッチ
ング処理をシーケンス制御するシーケンスボードであっ
て、センサ７ａからの検出信号が導かれ、アクチュエー
タ７ｂに制御信号を送出する。第３反応室用シーケンサ
８は、第３反応室におけるウェハ１０のエッチング処理
をシーケンス制御するシーケンスボードであって、セン
サ８ａからの検出信号が導かれ、アクチュエータ８ｂに
制御信号を送出するようになっている。

【００２４】これらシーケンサ５〜８は、各センサ５ａ
〜８ａから出力される検出信号を受けてアクチュエータ
５ｂ〜８ｂを駆動させることにより、所定の順路に従っ
てウエハ１０の搬入搬出を行うが、この搬送プロセスは
複数のシーケンスプログラムによって実行される構成に
なっている。

【００２５】図２はドライエッチング装置の概略構成図
である。

【００２６】このドライエッチング装置は、ウェハ１０
のエッチング処理を行う反応室を３基備えている。第１
ないし第３反応室１１〜１３のそれぞれには、反応室ゲ
ート１１ａ，１２ａ，１３ａを設けており、各反応室ゲ
ート１１ａ〜１３ａは移載室１４に連結されている。こ
の移載室１４には、ウェハ１０を交換するためのダブル
アーム１５が配置されている。また、この移載室１４に
は、移載室ゲート１４ａを介して予備室１６が連結され
ている。なお、この予備室１６は、ウェハ１０の向きを
検知して位置合わせを行うためのオリフラステージ１７
を備えている。

【００２７】そして、予備室１６の前方には、ウェハ１
０を取り出すためのウェハチャックアーム１８が配置さ
れている。さらに、このウェハチャックアーム１８の両
側には、ウェハ１０を収容する２台のウェハカセット１
９，２０が配置されている。

【００２８】しかして、このように構成されたドライエ
ッチング装置は、従来と同様にウェハカセット１９また
は２０と予備室１６との間においてウェハ１０を送受す
る場合、予備室１６内が窒素ガスにて大気状態に保たれ
る。一方、この予備室１６と移載室１４を介して各反応
室１１〜１３との間においてウェハ１０を送受する場
合、予備室１６内が高真空状態に保たれる。なお、各反
応室１１〜１３においては、予め設定されるエッチング
条件に従って反応ガスの流量、真空度、ＲＦ放電および
温度等を制御しながら、ドライエッチングが行われる。

【００２９】そして、シーケンス処理内容（表１参照）
やシーケンス実行条件（表５参照）等を設定してドライ
エッチング装置を起動すると、前記制御部１がシーケン
ス制御を行うについてタスク管理により自動スケジュー
リングタスク、スケジュールコントロールタスクおよび
ウェハタスク等を実行する。具体的には、自動スケジュ
ーリングタスクがシーケンススケジュールテーブル（表
２参照）を作成するとともに、ウェハタスクがウェハシ
ーケンステーブル（表３参照）やウェハ情報テーブル
（表４参照）等を作成して、経時的に変化するプロセス
処理情報を受けてスループットを最短にするエッチング
処理動作を行うものである。

【００３０】次に、このドライエッチング装置によるエ
ッチング処理動作について、フローチャートを参照しつ
つ説明する。

【００３１】まず、ドライエッチング装置の運転に際し
ては、入力手段２により予めシーケンス処理番号、搬送
工程番号およびウェハ滞留位置番号を設定する。この場
合は、シーケンス処理内容を表１に示すような条件で入
力すると、図３に示す如きプロセス処理が行われるよう
に、処理順序がメモリ３に書き込まれる。なお、ウェハ
１０のエッチング処理を行うための順番は任意に設定で
きるが、本例では第１反応室１１、第２反応室１２、第
３反応室１３の順序となるように設定する。

【００３２】

【表１】

【００３３】つぎに、ドライエッチング装置を運転する
と、自動スケジューリングタスクおよびスケジュールコ
ントロールタスクが起動される。

【００３４】前記自動スケジューリングタスクは、予め
メモリ３に格納されているエッチングの順番とともに処
理シーケンス番号、搬送工程番号およびウェハ１０の滞
留位置番号を読み出し、演算手段１ｃにて演算を行う。

【００３５】そして、図５に示すフローチャートを実行
し、表２に示すシーケンススケジュールテーブルを作成
した後（ステップＳ５１）、ウェハタスクを起動させる
（ステップＳ５２）。

【００３６】

【表２】

【００３７】続いて、この自動スケジューリングタスク
は、起動されているウェハタスクのステップ番号をメモ
リ３から読み出し、判断手段１ｄによりステップ番号が
２となったか否かを判断する（ステップＳ５３）。ここ
では、運転が開始されてステップ番号１がとなり、ウェ
ハ１０を予備室１６に搬送してから、この予備室１６よ
り移載室１４にウェハ１０が搬送されているかをチェッ
クしている。

【００３８】このとき、ステップ番号が２となれば、他
にウェハ１０が有るか否かが判断される（ステップＳ５
４）。ここで、ウェハ１０が無ければプロセス処理が終
了することになるが、ウェハ１０が有れば次のウェハタ
スクを起動させる（ステップＳ５５）。そして、ステッ
プＳ５３に進み、以下図４のフローを繰り返す。

【００３９】ところで、上記のようにして起動されるウ
ェハタスクは、図６に示すフローチャートを実行し、表
３に示すウェハシーケンステーブルを作成する。

【００４０】

【表３】

【００４１】そして、このウェハタスクは、ステップ番
号に１を代入するとともに、状態フラグに０を代入して
メモリ３に書き込む（ステップＳ６１）。

【００４２】また、スケジュールコントロールタスクに
対してステップ番号を送信する（ステップＳ６２）。

【００４３】続いて、状態フラグが１となったか否かを
判断し、状態フラグが１となれば（ステップＳ６３）、
状態フラグが０に変るのを待つ。ここで、状態フラグが
０になると（ステップＳ６４）、ステップ番号をメモリ
３から読出し、判断手段１ｄにより判断する。

【００４４】この後、ステップ番号がＮとなったか否
か、即ち最終処理になっているかを判断する（ステップ
Ｓ６５）。

【００４５】このとき、最終処理になっていない場合
は、ステップＳ６２に進んで処理を続行するが、ステッ
プ番号がＮとなればこれで処理終了をすることになる。

【００４６】ところで、上述の自動スケジューリングタ
スクとともに起動されたスケジュールコントロールタス
クは、図７のフローチャートに示す処理を実行するが、
まず、シーケンスが終了となったものが有るか否かを判
断する（ステップＳ７１）。

【００４７】このとき、シーケンス終了のものが無けれ
ば、ステップＳ７４に進み、シーケンスの終了が有れ
ば、該当するウェハタスクのステップ番号に１を加算
し、ウェハ滞留位置テーブルを更新する（ステップＳ７
２）。

【００４８】続いて、該当するウェハタスクの状態フラ
グを０にした後（ステップＳ７３）、ステップＳ７４に
てステップ番号の送信を判断する。

【００４９】ここで、ウェハタスクより送信されてきた
ステップ番号が受信されると（ステップＳ７４）、スケ
ジュールコントロールタスクは、メモリ３からステップ
番号を読み出し、上表２のスケジュールテーブル、表４
に示すウェハ情報テーブルおよび表５のシーケンス実行
条件から実行可能シーケンスを探索する（ステップＳ７
６）。

【００５０】

【表４】

【００５１】

【表５】

【００５２】ここでは、実行可能シーケンスが有るか否
かを判断し（ステップＳ７７）、実行可能シーケンスが
無ければステップＳ７１に進み、実行可能シーケンスが
有れば該当するウェハタスクの状態フラグを１にして、
ウェハ滞留位置テーブルを更新する（ステップＳ７
８）。

【００５３】この後、指令信号をシーケンサに出力し
（ステップＳ７９）、ステップＳ７１に戻って上記と同
様の動作を繰り返す。

【００５４】例えば、上記プロセスにおいて処理が進
み，図４の状態になった場合を想定すると、このドライ
エッチング装置に搬送されてきた６枚のウェハＮｏ１〜
Ｎｏ６の状態は、以下の通りになっている。

【００５５】ウェハＮｏ１．第３反応室１３においてエ
ッチング処理中である。

【００５６】ウェハＮｏ２．第２反応室１２から移載室
１４への移動完了であり、第３反応室１３への移動待ち
である。

【００５７】ウェハＮｏ３．第２反応室１２においてエ
ッチング処理完了で、移載室１４への移動待ちである。

【００５８】ウェハＮｏ４．第１反応室１１においてエ
ッチング処理完了で、移載室１４への移動待ちである。

【００５９】ウェハＮｏ５．ウェハカセット１９から予
備室１６への移動完了で、移載室１４への移動待ちであ
る。

【００６０】ウェハＮｏ６．予備室１６への移動待ちで
ある。

【００６１】また、このときの各ウェハタスクのウェハ
シーケンステーブルは表６、ウェハ情報テーブルは表７
に示される状態に変化している。

【００６２】ここで、各ウェハタスクについて説明する
と、 ウェハタスクＮｏ１．ステップ番号が１４（ウェハカセ
ット１９，２０の位置）ではないので、スケジュールコ
ントロールタスクにステップ番号１０を送信して状態フ
ラグが０になるのを待っている。

【００６３】ウェハタスクＮｏ２．ステップ番号が１４
ではないので、スケジュールコントロールタスクにステ
ップ番号９を送信して状態フラグが１になるのを待って
いる。

【００６４】ウェハタスクＮｏ３．ステップ番号が１４
ではないので、スケジュールコントロールタスクにステ
ップ番号８を送信して状態フラグが１になるのを待って
いる。

【００６５】ウェハタスクＮｏ４．ステップ番号が１４
ではないので、スケジュールコントロールタスクにステ
ップ番号５を送信して状態フラグが１になるのを待って
いる。

【００６６】ウェハタスクＮｏ５．ステップ番号が１４
ではないので、スケジュールコントロールタスクにステ
ップ番号２を送信して状態フラグが１になるのを待って
いる。

【００６７】ウェハタスクＮｏ６．ステップ番号に１
を、状態フラグに０をそれぞれ代入し、スケジュールコ
ントロールタスクにステップ番号１を送信して状態フラ
グが１になるのを待っている。

【００６８】

【表６】

【００６９】

【表７】

【００７０】また、スケジュールコントロールタスクに
ついては、実行可能な全てのシーケンスを探索してお
り、その一例を示せば以下の通りである。

【００７１】．ウェハタスク２よりステップ番号９の
送信があると、表８のシーケンススケジュールテーブル
におけるステップ９の位置から工程が(3) 、現在の滞留
位置が、移動先の滞留位置がであることを読み出
す。

【００７２】．ウェハタスク３よりステップ番号８の
送信があると、表６のシーケンススケジュールテーブル
におけるステップ８の位置から工程が(4) 、現在の滞留
位置が、移動先の滞留位置がであることを読み出
す。

【００７３】．ウェハタスク４よりステップ番号５の
送信があると、表６のシーケンススケジュールテーブル
におけるステップ５の位置から工程が(4) 、現在の滞留
位置が、移動先の滞留位置がであることを読み出
す。

【００７４】．ウェハタスク５よりステップ番号２の
送信があると、表６のシーケンススケジュールテーブル
におけるステップ２の位置から工程が(2) 、現在の滞留
位置が、移動先の滞留位置がであることを読み出
す。

【００７５】．ウェハタスク６よりステップ番号１の
送信があると、表６のシーケンススケジュールテーブル
におけるステップ１の位置から工程が(1) 、現在の滞留
位置が、移動先の滞留位置がであることを読み出
す。

【００７６】．工程(1) の要求があるとき、予め作成
した表５のシーケンス実行条件からウェハ滞留位置に
おけるウェハの有無を表８のウェハ情報テーブルにて検
索すると、ウェハ有りなので、工程(1) のシーケンス１
は実行できないと判断する。

【００７７】．工程(2) の要求があるとき、上記シー
ケンス実行条件からウェハ滞留位置におけるウェハの
有無を上記表８のウェハ情報テーブルにて検索すると、
ウェハは有るが工程(5) の要求はないので、シーケンス
３は実行できないと判断する。

【００７８】．工程(3) の要求があるとき、上記シー
ケンス実行条件からウェハ滞留位置におけるウェハの
有無を上記ウェハ情報テーブルにて検索すると、ウェハ
は有るが工程(4) を要求しているウェハ滞留位置がに
なっていないので、シーケンス６は実行できないと判断
する。

【００７９】．工程(4) の要求があるとき、上記シー
ケンス実行条件からウェハ滞留位置におけるウェハの
有無とウェハ滞留位置におけるウェハの有無（予約な
し）とを上記ウェハ情報テーブルにて検索すると、ウェ
ハ滞留位置のウェハ工程のｎが等しい工程(3) を要求
しているものがないので、シーケンス４，５は実行でき
ないと判断する。従って、現在新しく起動できるシーケ
ンスはないといえる。

【００８０】

【表８】

【００８１】つぎに、第１ないし第３反応室１１〜１３
のエッチングシーケンスＮｏ１２が終了すると、シーケ
ンサ５〜８よりシーケンス終了がスケジュールコントロ
ールタスクに伝えられ、ウェハタスクＮｏ１のウェハシ
ーケンステーブルの状態フラグを０、ステップ番号を１
１としウェハ情報テーブルの処理中フラグを０、処理完
了フラグを１とする（表９参照）。

【００８２】

【表９】

【００８３】ウェハタスクＮｏ１は、状態フラグが０と
なったので、ステップ番号１１を送信する。

【００８４】スケジュールコントロールタスクは、ステ
ップ番号１１の送信があるので、表６のシーケンススケ
ジュールテーブルにおけるステップ番号１１の位置から
工程が(4) 、現在の滞留位置が、移動先の滞留位置が
であることを読み出し、実行可能シーケンスを上記と
同様の方法にて探索する。

【００８５】この場合、ウェハタスクＮｏ１とウェハタ
スク４の工程(4) が可能となっているので、タスクＮｏ
１，Ｎｏ８の同時移動シーケンスＮｏを６、状態フラグ
を１とし（表１０参照）、該当シーケンサ５〜８にシー
ケンスを出力する。以下、上記と同様の手順で処理が実
行される。

【００８６】

【表１０】

【００８７】以上のように、本実施例によれば、タスク
管理によってスループットを最短にすることができ、こ
のシーケンス制御に基づいて作動するシーケンサ５〜８
がシーケンスプログラムを実行することにより、エッチ
ング処理中にウェハ１０の搬送を行っているとき、エッ
チング処理が完了した反応室があると、直ちにウェハ１
０が送給され、交換により搬出されることになる。ま
た、順次搬送されるウェハ１０は、待機中に予約がなさ
れて処理済反応室に対し即時に送給されるので、３基の
反応室に対するウェハ１０の搬送がロスタイムなく行わ
れ、ウェハ１０のエッチング処理プロセスが高速度とな
る。

【００８８】

【発明の効果】予め設定される実行条件に基づいてウェ
ハ収納部の未処理ウェハを最小時間で処理室に搬送させ
てエッチング処理を行なわせ、処理済ウェハを搬出させ
てウェハ収納部に格納するので、複数の処理室に対する
ウェハの搬送がロスタイムなく行われるから、エッチン
グ処理プロセスの効率が高められる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る制御部の電気的ブロック
線図である。

【図２】ドライエッチング装置の概略構成図である。

【図３】ドライエッチング装置のプロセス処理を示す説
明図である。

【図４】ドライエッチング装置におけるウェハの位置を
示す説明図である。

【図５】自動スケジューリングタスクの動作を説明する
フローチャートである。

【図６】ウェハタスクの動作を説明するフローチャート
である。

【図７】スケジュールコントロールタスクの動作を説明
するフローチャートである。

【図８】従来のドライエッチング装置の概略構成図であ
る。

【符号の説明】

１ 制御部 ３ メモリ ５ 搬送系用シーケンサ ５ｂ アクチュエータ １０ ウェハ １１ 第１反応室 １２ 第２反応室 １３ 第３反応室 １９ ウェハカセット ２０ ウェハカセット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/3065 G05B 19/02

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハ収納部に収納された未処理ウェハ
   を予備室に搬送した後、前記未処理ウェハを移載室に搬
   送し、エッチング処理を行なうための複数の処理室のう
   ち必要なエッチング処理が行われる処理室に前記未処理
   ウエハを供給し、複数の処理室から処理済ウェハを前記
   移載室に受け取ることを行って、複数の処理室にてウェ
   ハ収納部から供給される未処理ウェハにエッチング処理
   を施し、処理済ウェハをウェハ収納部に収納するドライ
   エッチング方法において、予め設定した搬送手段によるウエハの搬送および各反応
   室におけるエッチング処理のそれぞれを個別に実行する
   シーケンサ毎に必要なシーケンス内容、および各シーケ
   ンスの実行条件に関するシーケンス情報と、各ウエハ毎
   の処理順、搬送順、およびそれに対応した位置、ステッ
   プに関するウエハ情報とを記憶しておき、所定のタスク
   管理プログラムに従い前記シーケンス情報およびウエハ
   情報から、 前記一連のウエハ取り扱い動作を実行する工程につき、
   ウェハ収納部から未処理ウェハを取り出し予備室に搬送
   する工程（１）、工程（１）に次いで、予備室と移載室
   との間の未処理ウェハおよび処理済ウェハを交換する工
   程（２）、工程（２）に次いで、移載室と複数の処理室
   との間で未処理ウェハと処理済ウェハとを交換する動作
   と、前記未処理ウエハを供給された処理室にて未処理ウ
   エハにエッチング処理を行う動作の組とを、処理すつ毎
   に選択して行なう工程（３）、工程（３）に次いで、移
   載室と複数の処理室との間で未処理ウエハと処理済ウエ
   ハとの交換を個別に行う複数の動作を行う工程（４）、
   工程（４）に次いで、予備室と移載室との間で未処理ウ
   エハと処理済ウエハの交換を行う工程（５）、工程
   （５）に次いで、予備室の処理済ウエハをウエハ収納部
   に収納する工程（６）、をそれぞれ設定して各工程
   （１）〜（６）を前記各シーケンサの対応するものにて
   実行すると共に、ウエハの現在位置とそのウエハに関する上記ウエハ情報
   からそのウエハがどのステップにあるかを判定するとと
   もに、予備室、移載室、各反応室でのウエハの有無や処
   理の現在状態を判定し、これら判定結果と、上記シーケ
   ンス情報およびウエハ情報とから、各工程に係るシーケ
   ンスの実行可否を判定し、実行可能なシ ーケンスに基づ
   き各位置における処理済ウエハと処理待ちウエハとの入
   れ替えを対応するシーケンサにより行なう ことを特徴と
   するドライエッチング方法。
2. 【請求項２】 ウエハの入れ替えはダブルアームにより
   行なう請求項１に記載のドライエッチング方法。