JPH10261554A - 真空処理装置及び真空処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【解決手段】プロセス処理装置の運転有効／無効である
ことを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手
段と、プロセス処理装置の運転有効／無効であることを
示す運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段とを
設け、運転情報信号を元にして運転無効となった該プロ
セス処理装置を使用せず、他の正常なプロセス処理装置
を使って運転続行する装置制御手段を設けたものであ
る。 【効果】プロセス処理を行う２つ以上のプロセス処理装
置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装置で構成された真
空処理装置では、２つ以上ある処理室の内、どれかが故
障等で使用できなくなった場合でも運転続行ができ、又
運転開始時修復や保守する必要のあるプロセス処理装置
がある場合は、正常なプロセス処理装置を使って運転で
きるという片肺運転が行え、装置の稼働率を向上するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プロセス処理を行
う２つ以上のプロセス処理装置と、ウェハの搬送を行う
搬送処理装置で構成され、少なくとも２つ以上のプロセ
ス処理装置を使って処理する処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の装置は、例えば、特開昭６３−１
３３５３２号公報、特開昭６３−２５２４３９号公報、
特開昭６３−１２９６４１号公報、のように搬送室に処
理室を接続したシステムにおいて、別々のウェハを別々
の処理室で同時に実行したり、又はウェハを順次に２つ
以上の処理室を経由して処理することのできる装置及び
その搬送に関するものであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、２つ
以上のプロセス処理を施すにつき、ウェハを真空雰囲気
の搬送路を介して２つ以上の処理室に搬送し、個々の処
理室では、その処理室が持つ固有の処理を施すことによ
り、大気状態にさらすことなく真空中で複数のプロセス
処理をする為の装置構成、搬送方法を考案したものであ
った。

【０００４】ところで、従来技術では２つ以上の処理室
を処理経路として使って運転している運転中に、どれか
の処理室が故障等で使用できなくなった時に正常な処理
室を使って処理を続行する運転については、考慮されて
いなかった。

【０００５】又、運転開始時修復する必要のある処理室
がある場合でも、正常な処理室のみを使って装置を運転
する方法についても考慮されていなかった。

【０００６】又、２つ以上の処理室を処理経路として使
って運転中にその運転を一時中断させ、中断させる迄に
その運転の処理経路に使っていなかった処理室を処理経
路として使った割り込み処理を優先的に実行し、その割
り込み処理が終了した後は一時中断させていた処理を続
行させる運転する方法についても考慮されていなかっ
た。

【０００７】又、２つ以上の処理室を処理経路として使
って運転中にその運転の処理経路に使用していない処理
室の機器に対する操作指示の方法については考慮されて
いなかった。またその運転の処理経路に使用していない
処理室の機器に対する操作指示を通常操作する操作部と
離れた場所にある操作部で行う場合での操作上の安全性
確保についても考慮されていなかった。

【０００８】このように従来技術は処理室が正常な状態
にあるときの運転を考慮したものであるが、処理室が異
常等で使用できない時の運転、割り込み処理、運転中で
の運転の一時中断及び中断状態から再開運転や、運転中
に処理経路に使用していない処理室の操作、運用等につ
いては考慮されていないため、例えば同種の処理室が接
続されておれば、他方の正常な処理室を使って運転を続
行するという装置の運転方法が考慮されておらず、稼働
率の低い装置であった。

【０００９】本発明は、プロセス処理を行う２つ以上の
プロセス処理装置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装置
で構成され、少なくとも２つ以上のプロセス処理装置を
使って処理する真空処理装置において、 １）２つ以上の処理室を処理経路として使って運転中
に、処理室の内どれかが故障等で使用できなくなった場
合でも運転続行でき、又、 ２）修復する必要のあるプロセス処理装置がある場合
は、正常な処理室のみを処理経路として使って運転で
き、又 ３）運転中に運転の一時中断、及び中断状態からの再開
運転、及び運転中に運転を一時中断させ、中断させる迄
にその運転の処理経路に使っていなかった処理室を処理
経路として使った割り込み処理を実行し、その割り込み
処理が終了した後は一時中断させていた処理を続行させ
る運転ができ、又 ４）２つ以上の処理室を処理経路として使って運転中
に、その運転の処理経路に使用していない処理室の機器
に対する操作指示ができ、またその運転の処理経路に使
用していない処理室の機器に対して操作指示をする場合
や、通常の操作指示をする操作部と離れた場所にある操
作部で行う場合、操作上の安全性確保できるようにする
ことにより、装置の稼働率を向上できる真空処理装置を
提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、プロセス処理装置の運転有効／無効であることを示
す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段を各プ
ロセス処理装置毎に設け、その運転情報信号を記憶する
運転情報信号記憶手段を設け、運転情報信号を元にして
運転無効である該プロセス処理装置を使用せず、他の有
効なプロセス処理装置を使って運転続行する装置制御手
段を設けたものである。

【００１１】装置の運転においては、運転途中に或プロ
セス処理装置が故障等で使用できなくなった場合は、装
置運転を一時中断し、オペレータに運転続行／中止の判
断を促し、続行する場合は、装置運転続行の処置を施す
ことで運転続行が可能となるようにしたものである。

【００１２】又、運転開始時点で修復、保守等する必要
のあるプロセス処理装置がある状態で運転を開始する場
合は、運転開始前に修復、保守等する必要のあるプロセ
ス処理装置を使わず、有効なプロセス処理装置を使って
装置運転する処置を施すことで運転が可能となるように
したものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１〜
図１０に示す。

【００１４】図１は、一実施例あり、プロセス処理装置
が搬送処理装置に４室接続され、処理装置にウエハを搬
入する為のカセットは処理装置本体の前に設置した大気
搬送装置に設置し、該カセットから１枚ずつ取り出し処
理装置に搬入し処理する装置構成図を示す。プロセス処
理装置が４つ以上接続されても構わない。１はウェハの
搬送を行う搬送処理装置でありロードロック室のウエハ
をウエハの搬送スケジュールに従ってプロセス処理装置
２−１〜２−４に搬送し、プロセス処理装置で処理終了
したウエハを次のプロセス処理装置に搬送し、全てのプ
ロセス処理が終了したウエハをアンロードロック室に搬
送する。２−１〜２−４はプロセス処理を行うプロセス
処理装置である。プロセス処理としてはエッチング、後
処理、成膜、スパッタ、ＣＶＤ、水洗処理等ウエハのプ
ロセス処理全てを含む。３はロードロック室であり大気
搬送装置６にあるウエハを搬送処理装置に搬入する室、
４はアンロードロック室であり真空処理室にあるウエハ
を大気搬送装置６に搬出する室、５は搬送処理装置内に
設置されウェハの搬送を行う真空ロボット、６はウェハ
を収納したカセットを設置するための大気搬送装置、７
は処理するウェハを収納したカセットであり製品用ウエ
ハを収納したカセットやクリーニング用ウエハを収納し
たカセットである。８は大気搬送装置上のカセット内の
ウェハをカセットから搬出し、ロードロック室３に搬入
し、またアンロードロック室４のウエハを元のカセット
に戻す大気ロボットを示す。

【００１５】通常の運転にあたっては、オペレータは、
カセット７−１（又は７ー２）を大気搬送装置６に設置
する。その後表示手段１３、入力手段１４とを使って運
転条件の設定を行った後運転の開始指示を行うことで、
ウェハの搬送が開始しプロセス処理装置２−１（２−２
〜２−４）に搬送され、プロセス処理を行って元のカセ
ットに戻される。元のカセット内のウェハが全て処理さ
れるとそのカセットの回収の為にこの図に示していない
フ゛サ゛ーを鳴らし、オペレータにカセット回収要求を
通報し、オペレータがカセットを取り除く。尚、運転条
件設定の１部である処理経路の設定においては、その処
理に使用するプロセス処理装置をウェハの処理する順序
にプロセス処理装置の記号等を使って設定する。

【００１６】このウエハの処理順序は、運転モードとし
て表１に示す。

【００１７】

【表１】

【００１８】以下のこの運転モードの説明ではプロセス
処理装置２ー２と２ー３は同一のプロセス処理を（この
実施例ではエッチング処理とする）、プロセス処理装置
２ー１と２ー４は同一のプロセス処理を（この実施例で
は後処理とする）するものとして説明する。またプロセ
ス処理の実施例としては、プロセス処理装置２ー２また
は２ー３を使ったエッチング処理を行った後、プロセス
処理装置２ー１と２ー４を使った後処理を行うものとす
る。またウエハの処理条件によってはエッチング処理の
みであっても良い。

【００１９】１）１カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（以下では、プロセス処理条件
をレシピと称する）で処理するウエハが収納されたカセ
ット内の最下段もしくは最上段のウエハから順番にカセ
ットから抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理を
するものである。ウエハは、プロセス処理装置２ー２で
エッチング処理した後プロセス処理装置２ー１で後処理
をして元のカセットに戻す経路（この経路Ａという）
と、プロセス処理装置２ー３でエッチング処理した後プ
ロセス処理装置２ー４で後処理をして元のカセットに戻
す経路（この経路Ｂという）の両方を使って処理する。

【００２０】この実施例での処理順序は 経路Ａ：カセットＣ１→プロセス処理装置２ー２→プロ
セス処理装置２ー１→カセットＣ１ 経路Ｂ：カセットＣ１→プロセス処理装置２ー３→プロ
セス処理装置２ー４→カセットＣ１ の組み合わせとしたが、 経路Ｃ：カセットＣ１→プロセス処理装置２ー２→プロ
セス処理装置２ー４→カセットＣ１ 経路Ｄ：カセットＣ１→プロセス処理装置２ー３→プロ
セス処理装置２ー１→カセットＣ１ の組み合わせであっても良い。

【００２１】ウエハの処理は、１枚目のウエハは経路
Ａ、２枚目は経路Ｂ、３枚目のウエハは経路Ａ、４枚目
は経路Ｂ、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ
迄処理を行う。Ｃ１カセット内の全てを処理終了すると
Ｃ１カセットの処理終了とカセット交換をオペレータに
通報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。こ
の時迄にＣ２カセットが設置されてあれば、Ｃ１カセッ
トの処理終了に引き続きＣ２カセットの処理に移る。Ｃ
２カセットについてもＣ１カセットの場合と同じ順序で
処理を行い、Ｃ２カセット内の全てを処理終了するとＣ
２カセットの処理終了とカセット交換をオペレータに通
報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。この
時迄にＣ１カセットが設置されてあれば、Ｃ２カセット
の処理終了に引き続きＣ１カセットの処理に移る。以降
この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する
場合は、主制御部１１から運転終了の操作入力を行うこ
とで運転が終了する。

【００２２】処理を終了する方法として、以下の５モー
ドがある。

【００２３】ア）ウエハ供給停止：処理中のカセットか
らのウエハ取り出しを中止する。（２カセットを１ロッ
トとして運転している場合は、指定した方のカセットか
らのウエハ取り出しを中止する。） イ）カセット供給停止：現在処理中のカセット内のウエ
ハを全て処理終了した後、その処理終了迄に設置されて
あったカセットの処理を中止する。（２カセットを１ロ
ットとして運転している場合は、指定した方のカセット
内のウエハを全て処理終了した後、その時迄に設置され
てあったカセットの処理を中止する。） ウ）サイクル停止：現在実行中のプロセス処理、排気、
リーク、搬送等の動作終了後その場で停止する。 エ）処理室一時停止：指定処理室について、現在処理中
のプロセス処理終了後停止する。この場合は、運転の再
開操作により一時停止した状態から運転を再開すること
ができる。またその処理室のみ手動操作は可能である。 オ）即停止：実行中の全ての動作を即時停止する。 処理終了に当たってはいずれの方法によっても良い。

【００２４】２） ２カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（レシピ）で処理するウエハが
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番にカセットから抜き出し搬送処理装置に搬入し
プロセス処理をするものである。 この場合のカセット
から抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理をする
運転が前記の「１カセット１レシピ並列運転」の場合と
異なる。前記の「１カセット１レシピ並列運転」の場合
は、同一カセットから順次ウエハを抜き出し搬送処理装
置に搬入しプロセス処理を実施し、そのカセットのウエ
ハを全て終了した後次のカセットのウエハの処理に移っ
たが、本「２カセット１レシピ並列運転」では、カセッ
トＣ１とカセットＣ２から交互にウエハを抜き出し搬送
処理装置に搬入しプロセス処理を実施する。ウエハの処
理経路は前記の「１カセット１レシピ並列運転」の場合
と同様に、プロセス処理装置２ー２でエッチング処理し
た後プロセス処理装置２ー１で後処理をして元のカセッ
トに戻す経路（この経路Ａという）と、プロセス処理装
置２ー３でエッチング処理した後プロセス処理装置２ー
４で後処理をして元のカセットに戻す経路（この経路Ｂ
という）の両方を使って処理する。

【００２５】この実施例での処理順序の経路Ａ、Ｂもし
くは経路Ｃ、Ｄについては前記前記「１カセット１レシ
ピ並列運転」の場合と同じである。

【００２６】ウエハの処理は、１枚目のウエハはＣ１カ
セットからの１枚目を経路Ａ、２枚目はＣ２カセットか
らの１枚目を経路Ｂ、３枚目のウエハはＣ１カセットか
らの２枚目を経路Ａ、４枚目はＣ２カセットからの２枚
目を経路Ｂ、・・・という順序でカセット内の最終ウエ
ハ迄処理を行う。Ｃ１もしくはＣ２カセット内の全てを
処理終了するとＣ１（またはＣ２）カセットの処理終了
とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図に示
していないブザーを鳴らす。この終了したカセットが取
り除かれ新しいカセットが設置されるまでは、他方のカ
セット側の処理のみ継続されている。新しいカセットが
設置されると前記のようにＣ１とＣ２カセットから交互
ににウエハを抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処
理を実施する。以降この運転サイクル繰り返しを行う。
この運転を終了する場合は、主制御部１１から運転終了
の操作入力を行う事で運転が終了する。終了方法は前記
「１カセット１レシピ並列運転」の場合と同じである。

【００２７】３）２カセット２レシピ並列運転 この運転では、Ｃ１カセットとＣ２カセットとのウエハ
処理レシピが異なる事以外は前記「２カセット１レシピ
並列運転」と同じある。

【００２８】４）１カセット１レシピ直列運転 この運転では、同一のプロセス処理条件（レシピ）で処
理するウエハが収納されたカセット内の最下段もしくは
最上段のウエハから順番にカセットから抜き出し搬送処
理装置に搬入しプロセス処理をすることは前記「１カセ
ット１レシピ並列運転」の場合と同じである。ところが
ウエハの処理経路は前記「１カセット１レシピ並列運
転」の場合と異なる。本「１カセット１レシピ直列運
転」では、ウエハはプロセス処理装置２ー２（もしくは
プロセス処理装置２ー３）でエッチング処理した後、更
にプロセス処理装置２ー３（もしくはプロセス処理装置
２ー２）でエッチング処理した後、プロセス処理装置２
ー１（もしくはプロセス処理装置２ー４）で後処理をし
て元のカセットに戻す経路（この経路Ｅという）で処理
する。

【００２９】ウエハの処理は、１枚目のウエハは経路
Ｅ、２枚目は経路Ｅ、３枚目のウエハは経路Ｅ、４枚目
は経路Ｅ、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ
迄処理を行う。Ｃ１カセット内の全てを処理終了すると
Ｃ１カセットの処理終了とカセット交換をオペレータに
通報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。こ
の時迄にＣ２カセットが設置されてあれば、Ｃ１カセッ
トの処理終了に引き続きＣ２カセットの処理に移る。Ｃ
２カセットについてもＣ１カセットの場合と同じ順序で
処理を行い、Ｃ２カセット内の全てを処理終了するとＣ
２カセットの処理終了とカセット交換をオペレータに通
報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。この
時迄にＣ１カセットが設置されてあれば、Ｃ２カセット
の処理終了に引き続きＣ１カセットの処理に移る。以降
この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する
場合は、主制御部１１から運転終了の操作入力を行う事
で運転が終了する。終了方法は前記「１カセット１レシ
ピ並列運転」の場合と同じである。

【００３０】また、装置を保守、メンテナンスする場合
は補助操作盤２２内にある表示手段２６、入力手段２５
とを使って装置の機側で操作することができる。この補
助操作盤２２は可搬型の操作端末（例えばノートハ゜ソ
コン）であり装置の近くまで持ち運び、装置状態を目視
しながら表示手段２６に表示される装置情報（例えば入
出力ビットのＯＮ／ＯＦＦ情報、エラー情報等）を保
守、メンテナンスの操作に活用でき、保守、メンテナン
スの操作性を向上させているものである。この補助操作
盤２２では、主制御部１１と同じ機能を有しているが、
オペレータに対する安全性を確保する為に主制御部１１
と補助操作盤２２とで同時に操作する場合は、片方しか
操作入力できないように誤操作防止機能を設けてある。

【００３１】図２は、別の一実施例あり、プロセス処理
装置が搬送処理装置に４室接続され、処理装置にウエハ
を搬入する為のカセットは処理装置本体内のロードロッ
ク室に設置し、カセットから１枚ずつ取り出し処理装置
に搬入し処理する装置構成図を示す。プロセス処理装置
がこれ以上接続されても構わない。装置構成としては図
１に示す構成からウェハを収納したカセットを設置する
ための大気搬送装置６、大気ロボット８を削除したもの
である。ウエハのカセットからの搬出がロードロック室
３からとなり、カセットへの収納がアンロードロック室
４となる以外の各機器の機能及び構成は図１と同じであ
る。また運転モードにおいては、 １）１カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（レシピ）で処理するウエハが
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬
入しプロセス処理をするものである。ウエハは、プロセ
ス処理装置２ー２でエッチング処理した後プロセス処理
装置２ー１で後処理をして元のカセットに戻す経路（こ
の経路Ａという）と、プロセス処理装置２ー３でエッチ
ング処理した後プロセス処理装置２ー４で後処理をして
元のカセットに戻す経路（この経路Ｂという）の両方を
使って処理する。

【００３２】この実施例での処理順序は 経路Ａ：ロードロック室内カセット→プロセス処理装置
２ー２→プロセス処理装置２ー１→アンロードロック室
内カセット 経路Ｂ：ロードロック室内カセット→ プロセス処理装
置２ー３→プロセス処理装置２ー４→アンロードロック
室内カセット 又は、 経路Ｃ：ロードロック室内カセット→プロセス処理装置
２ー２→プロセス処理装置２ー４→アンロードロック室
内カセット 経路Ｄ：ロードロック室内カセット→プロセス処理装置
２ー３→プロセス処理装置２ー１→アンロードロック室
内カセット の組み合わせであっても良い。また上記処理順序では処
理したウエハはアンロードロック室内カセットに戻した
がウエハを取り出したロードロック室内カセットに戻す
こともできる。

【００３３】本実施例では経路Ａと経路Ｂを並行してロ
ードロック室内のカセットから抜き出したウエハはアン
ロードロック室内のカセットに戻す処理の例を示す。ウ
エハの処理は、１枚目のウエハは経路Ａ、２枚目は経路
Ｂ、３枚目のウエハは経路Ａ、４枚目は経路Ｂ、・・・
という順序でカセット内の最終ウエハ迄処理を行う。ロ
ードロック室内カセット内の全てを処理終了するとロー
ドロック室内カセットとアンロードロック室内カセット
の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為に
この図に示していないブザーを鳴らす。次に新たな未処
理ウエハの入ったカセットをロードロック室に、空のカ
セットをアンロードロック室設置して、以降この運転サ
イクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合は、主
制御部１１から運転終了の操作入力を行う事で運転が終
了する。終了方法は前記「１カセット１レシピ並列運
転」の場合と同じである。

【００３４】２）２カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（以下では、プロセス処理条件
をレシピと称する）で処理するウエハが収納されたカセ
ット内の最下段もしくは最上段のウエハから順番にカセ
ットから抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処
理をするものである。

【００３５】前記の「１カセット１レシピ並列運転」の
場合は、同一カセットから順次ウエハを抜き出しプロセ
ス処理装置に搬入しプロセス処理を実施し、そのカセッ
トのウエハを全て終了した後次のカセットのウエハの処
理に移ったが、本「２カセット１レシピ並列運転」で
は、ロードロック室内のカセットとアンロードロック室
内のカセットから交互にウエハを抜き出しプロセス処理
装置に搬入しプロセス処理を実施する。ウエハの処理経
路は前記の「１カセット１レシピ並列運転」の場合と同
様に、プロセス処理装置２ー２でエッチング処理した後
プロセス処理装置２ー１で後処理をして元のカセットに
戻す経路（この経路Ａという）と、プロセス処理装置２
ー３でエッチング処理した後、プロセス処理装置２ー４
で後処理をして元のカセットに戻す経路（この経路Ｂと
いう）の両方を使って処理する。

【００３６】この実施例での処理順序の経路Ａ、Ｂもし
くは経路Ｃ、Ｄについては前記前記「１カセット１レシ
ピ並列運転」の場合と同じである。

【００３７】ウエハの処理は、１枚目のウエハはロード
ロック室内のカセットからの１枚目を経路Ａ、２枚目は
アンロードロック室内のカセットからの１枚目を経路
Ｂ、３枚目のウエハはロードロック室内のカセットから
の２枚目を経路Ａ、４枚目はアンロードロック室内のカ
セットからの２枚目を経路Ｂ、・・・という順序でカセ
ット内の最終ウエハ迄処理を行う。ロードロック室内も
しくはアンロードロック室カセット内の全てのウエハを
処理終了するとロードロック室内（またはアンロードロ
ック室内）カセットの処理終了とカセット交換をオペレ
ータに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴ら
す。この終了したカセットが取り除かれ新しいカセット
が設置されるまでは、他方のカセット側の処理のみ継続
されている。新しいカセットが設置されると前記のよう
にロードロック室内とアンロードロック室内カセットか
ら交互ににウエハを抜き出しプロセス処理装置に搬入し
プロセス処理を実施する。以降この運転サイクル繰り返
しを行う。この運転を終了する場合は、主制御部１１か
ら運転終了の操作入力を行う事で運転が終了する。終了
方法は前記「１カセット１レシピ並列運転」の場合と同
じである。

【００３８】３）２カセット２レシピ並列運転 この運転では、ロードロック室内のカセットとアンロー
ドロック室内のカセットとのウエハ処理レシピが異なる
事以外は前記「２カセット１レシピ並列運転」と同じあ
る。

【００３９】４）１カセット１レシピ直列運転 この運転では、同一のプロセス処理条件（以下では、プ
ロセス処理条件をレシピと称する）で処理するウエハが
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬
入しプロセス処理をすることは前記「１カセット１レシ
ピ並列運転」の場合と同じである。ところがウエハの処
理経路は前記「１カセット１レシピ並列運転」の場合と
異なる。本「１カセット１レシピ直列運転」では、ウエ
ハはプロセス処理装置２ー２（もしくはプロセス処理装
置２ー３）でエッチング処理した後、更にプロセス処理
装置２ー３（もしくはプロセス処理装置２ー２）でエッ
チング処理した後、プロセス処理装置２ー１（もしくは
プロセス処理装置２ー４）で後処理をして元のカセット
に戻す経路（この経路Ｅという）で処理する。

【００４０】本実施例では経路Ｅでロードロック室内の
カセットから抜き出したウエハはアンロードロック室内
のカセットに戻す処理の例を示す。ウエハの処理は、１
枚目のウエハは経路Ｅ、２枚目は経路Ｅ、３枚目のウエ
ハは経路Ｅ、４枚目は経路Ｅ、・・・という順序でカセ
ット内の最終ウエハ迄処理を行う。カセット内の全てを
処理終了するとロードロック室内カセットとアンロード
ロック室内カセットの処理終了と交換をオペレータに通
報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。 次
に新たな未処理ウエハの入ったカセットをロードロック
室に、空のカセットをアンロードロック室に設置して、
以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了
する場合は、主制御部１１から運転終了の操作入力を行
う事で運転が終了する。終了方法は前記「１カセット１
レシピ並列運転」の場合と同じである。

【００４１】図３は、制御構成図を示す。本実施例で
は、装置全体の主制御部は、搬送処理装置に搭載してい
る場合を示す。尚、装置全体の主制御部は、搬送処理装
置以外にあっても構わない。また表示手段１３、入力手
段１４は主制御部とは別の制御ユニットとして構成して
も良い。１１は、装置全体を制御する主制御部の構成を
示す。制御手段としては、本発明の請求範囲に該当する
部分のみを抜き出して記述しており、装置を動かす上で
の必要な入出力制御部分（ＤＩ／Ｏ、ＡＩ／Ｏ）につい
ては、記述していない。１６は、処理装置内でのウェハ
の処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段であり、例
えばＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ ＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒ
ｙ）である。このウェハの処理順序は、運転開始前に表
示手段１３、入力手段１４とを使ってオペレータによっ
て入力されたテ゛ータが記憶される。１７は、プロセス
処理装置１８−１〜１８−４の運転有効／無効であるこ
とを示す運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段
であり、例えばＲＡＭである。１３は、運転状態、運転
条件の設定内容、運転の開始指示／終了の表示を行う表
示手段であり、例えばＣＲＴである。１４は、運転条件
の設定、運転の開始指示入力、プロセス処理条件、保守
やメンテナンスの操作入力等を行う入力手段であり、例
えばキーホ゛ート゛である。１５は、上記プロセス処理
装置１８−１〜１８−４の運転有効／無効であることを
示す運転情報信号状態を判断し、自動運転中にプロセス
処理装置１８−１〜１８−４のどれかが運転不可となっ
ても該プロセス処理装置を使用せず、他のプロセス処理
装置を使って運転続行する処理手順を記憶した装置制御
手段であり、 例えばＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍ
ｅｍｏｒｙ）である。１２は、上記１３〜１７を制御す
る中央制御手段であり、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａ
ｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ Ｕｎｉｔ）である。１８−１
〜１８−４は、ウェハのプロセス処理を行うプロセス処
理装置である。この処理装置としては、エッチンク゛、
後処理、成膜、スハ゜ッタ、ＣＶＤ、水処理等ウエハの
プロセス処理を行う処理であれば、何であっても良い。
１９−１〜１９−４は、プロセス処理装置１８−１〜１
８−４の運転有効／無効であることを示す運転情報信号
を発生する運転情報信号発生手段である。本実施例で
は、プロセス処理装置に設けているが、どこにあっても
良い。この運転情報信号を発生する手段として、 １）プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる ２）プロセス処理装置の使用の有効／無効を設定する運
転切り替え信号（例えば、切り替えスイッチ）を用いる ３）プロセス処理装置の使用の有効／無効を示す運転制
御信号として、オペレータが設定入力した入力情報を用
いる ことができる。

【００４２】２０と２１は、装置全体を制御する主制御
部１１と補助操作盤２２とを接続する通信手段である。
補助操作盤２２、２５、２６は上述した用途に使用する
ものである。２４は補助操作盤での端末機能を制御する
処理手順を記憶した端末制御手段である。２３は上記２
１、２４から２６を制御する中央制御手段であり、例え
ば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ Ｕ
ｎｉｔ）である。

【００４３】図４は、運転情報信号図である。各プロセ
ス処理装置毎に運転の有効／無効を示す情報が記憶され
る。この場合では、有効な場合は、１を、無効な場合
は、０を示すが区別できる内容であれば、記号や数字で
あっても良い。この情報は、運転情報信号発生手段１９
−１〜１９−４の信号状態が反映されたものであり、運
転情報信号記憶手段１７に記憶される。

【００４４】図５は、処理順序情報図である。運転条件
設定の一つとして、オペレータが運転開始前に表示手段
１３、入力手段１４とを使ってウェハの処理する順序を
設定した情報である。この情報は処理順序情報記憶手段
に記憶される。

【００４５】図６は、装置運転フロー図を示す。オペレ
ータは運転開始前に処理装置として構成されているプロ
セス処理装置の内、故障等で運転に使用できない、又は
保守（フ゜ラス゛マクリーニンク゛も含む）の為使用し
ないプロセス処理装置があるか否かを判断する（３
０）。使用できない（又は、使用しない）プロセス処理
装置があれば、運転情報信号発生手段１９を用いて図４
に記述した状態になるように設定する（３２）。この設
定の方法の一つとして、 １）プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる場
合は、該プロセス処理装置の装置電源供給用電磁開閉器
をＯＦＦする。これにより、遮断信号が発生し、運転情
報信号記憶手段１７に伝えられ、図４に記載された情報
として記憶される。

【００４６】２）プロセス処理装置の使用の有無を設定
する運転切り替え信号（例えば、切り替えスイッチ）を
用いる場合は、該プロセス処理装置に割り当てられた切
り替えスイッチを有効又は無効の状態に設定する。 こ
れにより、切り替え信号が確定し、運転情報信号記憶手
段１７に伝えられ、図４に記載された情報として記憶さ
れる。

【００４７】３）プロセス処理装置の使用の有効／無効
を示す運転制御信号として、オペレータが設定入力した
入力情報を用いる場合は、オペレータは、該プロセス処
理装置に割り当てられた設定情報を入力手段１４より入
力する。 これにより、設定情報が確定し、運転情報信
号記憶手段１７に伝えられ、図４に記載された情報とし
て記憶される。装置接続構成を決定した後、自動運転を
スタートする（３４）。尚、ウェハの処理する順序は以
下のように製品処理条件として設定する。

【００４８】１）ウエハの運転モードを選択する。

【００４９】「１カセット１レシピ並列」、「２カセッ
ト１レシピ並列」、「２カセット２レシピ並列」、「１
カセット１レシピ直列」のいずれかを選択 ２）ウエハの搬送経路を設定する。

【００５０】カセット毎にウエハの処理経路をプロセス
処理装置の記号を使ってパラレルまたはシリーズ処理を
設定する。代表的な設定例を以下に示す。（ウエハ処理
経路は、前述のように組み合わせが可能である） ２ー１）パラレル処理の場合： Ｃ１：Ｅ１→Ａ１、Ｃ１：Ｅ２→Ａ２ Ｃ２：Ｅ１→Ａ１、Ｃ２：Ｅ２→Ａ２ Ｅ１：プロセス処理装置２ー２、Ｅ２：プロセス処理装
置２ー３ Ａ１：プロセス処理装置２ー１、Ａ２：プロセス処理装
置２ー４ ２ー２）シリーズ処理の場合： Ｃ１：Ｅ１→Ｅ２→Ａ１ Ｃ２：Ｅ２→Ｅ１→Ａ２ ３）プロセス処理室毎にプロセス処理条件（プロセスレ
シピともいう）を設定する。

【００５１】以上の製品処理条件を設定した後、自動運
転開始の起動をかける。

【００５２】図７は、自動運転フロー図を示す。自動運
転を開始すると、処理すべきウェハを全て搬送したかを
判断し、搬送済であれば処理が終了し、搬送必要であれ
ば、自動運転処理に進む（４０）。自動運転中に異常等
が発生し、運転が一時中断した状態にあるか否かを判断
する（４２）。異常が無ければ、運転を続行する（４４
へ）。運転に使用できないプロセス処理装置がある場合
は、該プロセス処理装置を使わないで運転続行が可能か
否かをオペレータが判断する（７０）。続行が不可能な
場合は、オペレータが自動運転の中止設定を行うことに
より、装置は自動運転停止処理を行う（９０）。 続行
が可能な場合でも、プロセス処理装置にウェハが残って
いる場合、真空ロボットのハント゛上にウェハが残って
いる場合、ロート゛ロック室やアンロート゛ロック室に
ウェハが残っている場合等がある。

【００５３】このように自動運転中に異常が発生し、自
動運転の続行ができなくなり自動運転が一時中断した状
態から引き続き自動運転を再開し、続行するため、異常
が発生した機器内に残存しているウェハを元のカセット
に搬出する処理を行なう。これは自動運転中に異常が発
生した時点では処理装置内の全ウェハの搬送・処理のス
ケシ゛ュールが確定しているため、異常が発生した機器
にあるウェハを取り出したカセット７に戻さないとウェ
ハの搬送・処理のスケシ゛ュールが狂ってしまい、自動
運転の一時中断状態からの再開、自動運転続行ができな
くなるためである。処理装置内に残存しているウェハの
処置例を以下に示す。装置内に残存ウェハがあるか否か
判断する（７２）。残存しているウェハのうちエッチン
ク゛処理をするか否かを判断する（７４）。処理室内に
残存しているウェハのうち、エッチンク゛処理の途中で
異常が発生した場合は、残りのエッチンク゛処理を実施
した後（７６）、ウェハを元のカセットに戻す（７
８）。これはできうる限りウェハを救済するために行な
うものである。また真空ロボットのウェハハント゛上に
ウェハが残っている場合や、ロート゛ロック室アンロー
ト゛ロック室にウェハが残っている場合は、機器個別の
操作（ロック室の排気／リーク，ウェハの搬送）を行な
って、そのウェハを元のカセットに戻す（７８）。以上
のように異常の発生した機器にあったウェハは必要な処
置を実施し元のカセットに戻した後、一時中断していた
自動運転を再開する操作を行なう。このようにすること
で異常が発生した機器（処理室や真空ロボット等）にあ
ったウェハのトラッキンク゛情報は、正常な経路で処理
されたのと同等となり、自動運転が再開できることにな
る。以上のような処理装置内に残存していたウェハの処
置を行なった後、使用しないプロセス処理装置に対して
図６の（３２）にて示した内容と同じ運転情報信号発生
手段の切り替え操作（８０）を行う。異常発生情報をリ
セットし（８２）、自動運転を続行する。

【００５４】正常な運転状態では、次のウェハの搬送経
路を処理順序情報記憶手段１６に記憶されてある情報を
読み出し（４４）、運転情報信号記憶手段１７に記憶さ
れてある情報と整合処理し搬送順路を決定する（４
６）。決定した搬送順路はカセットより搬出するウェハ
毎に搬送順路テ゛ータを持っても良いし、処理順序情報
記憶手段１６とは別の処理順序情報テーフ゛ルを作成
し、ウェハを搬送する際には、このテーフ゛ルを参照す
るようにしても良い。搬送順路が決定すると大気ロボッ
ト８はカセット７よりウェハを搬出し（４８）、上記決
定した搬送順路に登録されてあるプロセス処理装置に搬
送し（５０）、ウェハの処理を行う（５２）。このウェ
ハ搬送処理及びプロセス処理で異常が発生した場合は、
引き続き自動運転を継続する為に処理続行可能な処理は
その個々の処理を終了させるまで実行した後、自動運転
を一時中断状態にする。（例えばＮ枚目のウェハのエッ
チンク゛処理中であれば、そのＮ枚目のウェハのエッチ
ンク゛処理が終了するまでエッチンク゛処理を継続し、
終了した時点で自動運転を一時中断する。また真空ロボ
ット５によるウェハ搬送中に他の処理で異常が発生した
ら、真空ロボット５は、所定の場所へのウェハ搬送を終
了した時点で自動運転を一時中断する。）この後異常発
生したことを示す異常発生情報（図示は無し）を記憶さ
せた後、装置を一時中断状態にオペレータに中断したこ
とを表示手段１３に表示するとともに図示しないフ゛サ
゛ーを鳴らす。この後（４２）に戻り、所定のフローで
処理する。

【００５５】図８は、異常発生後の自動運転再開処理図
を示す。以下に図７で述べた自動運転中に異常が発生し
た後の自動運転再開迄の処理について説明する。図Ａは
表１での「１カセット１レシピ並列運転」の運転モード
でウエハの搬送経路が Ｃ１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ Ｃ２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２にて運転し、Ｅ２では
（Ｎ）枚目のウエハがエッチング処理中でＡ１では（Ｎ
ー１）枚目のウエハが後処理中の時に図Ｂに示すように
Ｅ２で異常が発生すると、エッチング処理は終了しＡ１
の（Ｎー１）枚目のウエハは後処理終了後、アンロード
ロック室４に搬出しないで自動運転を一時中断する。Ｅ
２で異常の発生した（Ｎ）枚目ウエハについては図７の
７６と７８の処置を行う。その後Ｅ２とＡ２については
図７の８０の運転情報信号発生手段による切替操作とし
て図６の説明で説明した１）または２）または３）の操
作を行い、図４で示したようにプロセス処理装置３（Ｅ
２）、プロセス処理装置４（Ａ２）の運転情報を「無
効：０」とする。この後異常発生情報をリセット（図７
の８０）し、自動運転を再開する。再開後は図Ｃのよう
にＡ２の（Ｎー１）枚目のウエハはアンロードロック室
４に搬送され、以降はＥ１とＡ１とを使って処理を続行
する。

【００５６】次に、運転情報を「無効：０」としたプロ
セス処理装置３（Ｅ２）、プロセス処理装置４（Ａ２）
については、補助操作盤２２を使って異常原因を究明す
る為にプロセス処理装置３（Ｅ２）、プロセス処理装置
４（Ａ２）に対して機器動作を行う為の操作入力が行え
る。例えば、プロセス処理装置３（Ｅ２）内の本図に示
していないウエハ押し上げ操作を行い動作を確認する。

【００５７】このような操作により異常原因を対策で
き、「無効：０」としたプロセス処理装置３（Ｅ２）、
プロセス処理装置４（Ａ２）をウエハの処理経路に復帰
させる手順を以下に示す。次に図Ｃの運転中に自動運転
の中断操作を行い、運転モードの処理経路から切り離し
たＥ２とＡ２とを有効と設定することで図Ａに移行する
ことができ、運転モードでウエハの搬送経路が Ｃ１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ Ｃ２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２にて運転できる。

【００５８】図９は、自動運転中の処理装置運転切り離
し処理図を示す。以下に図７で述べた自動運転中にＥ２
とＡ２を自動運転処理経路から切り離した後自動運転を
再開する処理について説明する。図Ａは図８の図Ａの運
転経路と同じである。表１での「１カセット１レシピ並
列運転」の運転モードでウエハの搬送経路が Ｃ１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ Ｃ２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２にて運転し、Ｅ２では
（Ｎ）枚目のウエハがエッチング処理中でＡ１では（Ｎ
ー１）枚目のウエハが後処理中の時に図Ａに示すように
Ｅ２とＡ２に運転停止操作により停止指示が出される
と、Ａ１の（Ｎー１）枚目のウエハは後処理終了後、元
のカセットに戻され、（Ｎ）枚目のウエハのエッチング
処理が終了しＡ２に搬送され後処理終了後元のカセット
に戻される。ところで、Ｅ２とＡ２は運転停止状態とな
っている為（Ｎ＋１）枚目以降のウエハは、Ｅ１とＡ１
とを使って運転が続行される。

【００５９】上記では、自動運転中にＥ２とＡ２を自動
運転処理経路から切り離す手段として運転停止操作によ
り停止指示を出すことで切り離しを行ったが、別の方法
として処理装置内に組み込んだ検出器の機能によって停
止指示を出すこともできる。一例としては、処理装置内
に組み込んだ異物モニタ装置からの異物測定モニタ値が
運転前に設定した設定値を超過したことを検知し、この
超過した信号をもって自動運転中にＥ２とＡ２に停止指
示を出すことで運転停止操作と同じ機能を行える。

【００６０】また切り離したプロセス処理装置をウエハ
の搬送経路に復帰させる手順は、図９の説明で示した内
容と同じである。

【００６１】図１０は、パイロットカセット処理図を示
す。これは自動運転中に割り込み特急処理を行い、その
処理終了後は元の処理を再開し続行するものである。以
下に図７で述べた自動運転中に特定の（この場合はＥ２
とＡ２とする） 処理装置を現在運転中の運転モードの
処理経路から切り離し、その切り離したＥ２とＡ２とを
使ってそれまでに運転していたプロセス処理条件とは異
なるプロセス処理条件で処理するカセット（このカセッ
トのことをパイロットカセットと呼ぶ）を割り込んで処
理後、元の自動運転を再開し続行する処理について説明
する。図Ａは図８での運転経路と同じである。表１での
「１カセット１レシピ並列運転」の運転モードでウエハ
の搬送経路が Ｃ１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ Ｃ２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２にて運転し、Ｅ２では
Ｃ１カセットの（Ｎ）枚目のウエハがエッチング処理中
で、Ａ１ではＣ１カセットの（Ｎー１）枚目のウエハが
後処理中の時に図Ａに示すようにＥ２とＡ２を使った割
り込み特急処理を行う為に自動運転の中断操作を行う。
Ｅ２とＡ２に運転停止操作により停止指示が出される
と、Ａ１の（Ｎー１）枚目のウエハは後処理終了後、元
のカセットに戻され、（Ｎ）枚目のウエハはエッチング
処理が終了しＡ２に搬送され後処理終了後元のカセット
に戻される。ところで、Ｅ２とＡ２は運転停止状態とな
っている為（Ｎ＋１）枚目以降のウエハは、Ｅ１とＡ１
とを使って運転が続行される（図Ｃ）。Ｅ１とＡ１とを
使った運転中に、Ｅ２とＡ２とを使った割り込み特急処
理のカセットがＣ２（７ー２）に置かれ割り込み処理の
起動運転が掛かけられる（図Ｃ）とその時迄にＣ１（７
−１）カセットから抜き出されたウエハが全て処理され
Ｃ１カセットに搬入後、Ｃ１カセット内ウエハのＥ１と
Ａ１とを使った運転は一時中断状態となり、割り込み特
急処理用のカセットＣ２内ウエハの処理が開始される
（図Ｄ）。Ｃ２カセットのウエハについては順次Ｅ２
→ Ａ２の処理を行いＣ２カセットに搬入する。パイロ
ットカセットの処理が終了すると割り込み処理終了と一
時中断状態の運転の再開設定を行い、中断していたＣ１
（７−１）カセットからウエハの処理が再開する（図Ｃ
の状態に戻る）。次に図Ｃに戻った状態で運転中に自動
運転の中断操作を行い、運転モードの処理経路から切り
離したＥ２とＡ２とを有効と設定することで図Ａに移行
することができ、運転モードでウエハの搬送経路が Ｃ１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ Ｃ２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２にて運転できる。

【００６２】以上に述べた内容でも分かるように故障等
で運転に使用できない、又は修復や保守（フ゜ラス゛マ
クリーニンク゛も含む）の為使用しないプロセス処理装
置は、運転情報信号記憶手段１７に記憶されており、装
置制御手段はこの情報を参照して運転を進める為、無効
と設定したプロセス処理装置に搬送することはない。又
この無効と設定したプロセス処理装置では、修復、保守
及び不具合原因を行うために、続行している自動運転で
のウェハ処理と並行してメンテナンス操作（例えば、フ
゜ラス゛マクリーニンク゛処理、カ゛スライン排気処
理、ウェハフ゜ッシャーの押上げ／押下げ動作）を行な
うことができる。この場合無効と設定したプロセス処理
装置に対して機側で修復、保守及び不具合原因のための
操作入力としては前述の補助操作盤２２を用いる。とこ
ろで通常生産ラインでは、図１に示す大気搬送装置６が
クリーンルーム側に搬送処理装置１、プロセス処理装置
２−１〜２−４は、メンテルーム側に設置されており、
クリーンルーム側とメンテルーム側との間は、ハ゜ーテ
ーションで区切られており、片側から他方は、充分に視
界がきかない場合がある。また補助操作盤２２は、主制
御部１１にも接続されているが、補助操作盤２２は主制
御部１１とは、普通は離れた場所でかつ別々の人が操作
することがある。このような場合に、どちらの操作部で
も操作ができるようにしておくと、特に機側で補助操作
盤２２を用いて操作する場合、操作しているオペレータ
に対して安全上の災害の発生させることが考えられるた
め、この災害を防止するため補助操作盤２２を用いて機
側でプロセス処理装置に操作（例えばウエハ押し上げの
上昇／下降操作）を行なう時は、主制御部１１は機器へ
の操作ができないように機能上インターロックをかけて
いる。

【００６３】以上の内容でもって、自動運転中にその処
理に使用していない処理室を使った処理、及びその処理
室への操作を実行することができる。

【００６４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
運転途中に或プロセス処理装置が故障等で使用できなく
なった場合や、運転開始時点で修復や保守の必要のある
プロセス処理装置がある状態で運転を開始する場合や、
運転途中に或プロセス処理装置の運転を中断させ他の有
効なプロセス処理装置を使って運転中に、先に中断させ
たプロセス処理装置を運転再開する場合に、装置運転続
行の処置を施すことで運転続行が可能となるようにした
ことにより、プロセス処理を行う複数のプロセス処理装
置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装置で構成された真
空処理装置では、複数ある処理室の内、どれかが故障等
で使用できなくなった場合でも運転続行ができ、又運転
開始時修復や保守する必要のあるプロセス処理装置があ
る場合でも、正常なプロセス処理装置を使って運転で
き、装置の稼働率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による真空処理装置の一実施例を示す平
面図である。

【図２】本発明による真空処理装置の他の実施例を示す
平面図である。

【図３】図１の一実施例の真空処理装置における装置制
御手段の制御構成図である。

【図４】図１の一実施例の真空処理装置における装置制
御手段の運転情報信号を示す図である。

【図５】図１の一実施例の真空処理装置における装置制
御手段の処理順序情報を示す図である。

【図６】図１の一実施例の真空処理装置における装置制
御手段の自動運転のフロー図である。

【図７】図６の自動運転フローの詳細を示すフロー図で
ある。

【図８】図１の一実施例の真空処理装置における異常発
生後の自動運転再開処理時の動作状態を示す図である。

【図９】図１の一実施例の真空処理装置における自動運
転中の処理装置運転切り離し処理の動作状態を示す図で
ある。

【図１０】図１の一実施例の真空処理装置における自動
運転中のパイロットカセット処理時の状態変化を示す図
である。

【符号の説明】

１…搬送処理装置、２−１，２，３，４…プロセス処理
装置、３…ロート゛ロック室、４…アンロート゛ロック
室、５…真空ロボット、６…大気搬送装置、７…カセッ
ト、８…大気ロボット、１１…主制御部、１２…中央制
御手段、１３…表示手段、１４…入力手段、１５…装置
制御手段、１６…処理順序情報記憶手段、１７…運転情
報信号記憶手段、１８−１，２，３，４…プロセス処理
装置、１９−１，２，３，４…運転情報信号発生手段、
２０，２１…通信手段、２２…補助操作盤、２３…中央
制御手段、２４…端末制御手段、２５…入力手段、２６
…表示手段。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/205 Ｈ０１Ｌ 21/205 21/3065 21/68 Ａ 21/68 21/302 Ａ (72)発明者 城尾 和博 山口県下松市大字東豊井794番地 日立テ クノエンジニアリング株式会社笠戸事業所 内 (72)発明者 幾原 祥二 山口県下松市大字東豊井794番地 日立テ クノエンジニアリング株式会社笠戸事業所 内 (72)発明者 田原 哲也 山口県下松市大字東豊井794番地 日立テ クノエンジニアリング株式会社笠戸事業所 内 (72)発明者 沖口 昌司 山口県下松市大字東豊井794番地 日立テ クノエンジニアリング株式会社笠戸事業所 内

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】プロセス処理を行うプロセス処理装置と、
   ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、これらを制御する
   制御装置とで構成され、少なくとも２つ以上のプロセス
   処理装置が接続され、２つ以上のプロセス処理装置を使
   って処理する真空処理装置において、 処理装置内でのウェハの処理順序を記憶する処理順序情
   報記憶手段と、プロセス処理装置の運転有効／無効であ
   ることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生
   手段と、プロセス処理装置の運転有効／無効であること
   を示す運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段
   と、処理順序情報と運転情報信号とを整合処理し、運転
   無効である該プロセス処理装置は使用せず、他の有効な
   プロセス処理装置を使って運転続行する装置制御手段を
   設けたことを特徴とする真空処理装置及び真空処理方
   法。
2. 【請求項２】請求項１記載のものにおいて、プロセス処
   理装置の運転有効／無効であることを示す運転情報信号
   を発生する運転情報信号発生手段として、プロセス処理
   装置の装置電源の遮断信号を用いることを特徴とする真
   空処理装置及び真空処理方法。
3. 【請求項３】請求項１記載のものにおいて、プロセス処
   理装置の運転有効／無効であることを示す運転情報信号
   を発生する運転情報信号発生手段として、プロセス処理
   装置の有効／無効を設定する運転切り替え信号を用いる
   ことを特徴とする真空処理装置及び真空処理方法。
4. 【請求項４】請求項１記載のものにおいて、プロセス処
   理装置の運転有効／無効であることを示す運転情報信号
   を発生する運転情報信号発生手段として、プロセス処理
   装置の有効／無効を示す運転制御信号を用いることを特
   徴とする真空処理装置及び真空処理方法。
5. 【請求項５】請求項１記載のものにおいて、プロセス処
   理装置の運転有効／無効であることを示す運転情報信号
   を設定する時期として、装置運転開始前に実施すること
   を特徴とする真空処理装置及び処理方法。
6. 【請求項６】請求項１記載のものにおいて、プロセス処
   理装置の運転有効／無効であることを示す運転情報信号
   を設定する時期として、装置運転中に実施することを特
   徴とする真空処理装置及び真空処理方法。
7. 【請求項７】請求項６記載のものにおいて、プロセス処
   理装置の運転有効／無効であることを示す運転情報信号
   を設定する時期として、装置運転中に実施し、運転中に
   その装置運転を中断させ、運転無効としていたプロセス
   処理装置を運転有効と設定することで、処理経路に組み
   込み処理続行することを特徴とする真空処理装置及び真
   空処理方法。
8. 【請求項８】請求項６記載のものにおいて、プロセス処
   理装置の運転有効／無効であることを示す運転情報信号
   を設定する時期として、装置運転中に実施し、運転中に
   その装置運転を中断させ、ウエハの処理に使用していな
   いプロセス処理装置を使って中断する迄に処理していた
   処理とは別の処理又は同じ処理を実行し、その別の又は
   同じ処理が終了した後、中断させていた方の処理に再起
   動をかけ処理続行することを特徴とする真空処理装置及
   び真空処理方法。
9. 【請求項９】請求項１記載のものにおいて、運転有効で
   あるプロセス処理装置を処理経路に組み込んで運転して
   いる連続運転中でも運転無効であるプロセス処理装置に
   ついて操作指示ができることを特徴とする真空処理装置
   及び真空処理方法。
10. 【請求項１０】請求項１記載のものにおいて装置の運転
    操作ができる操作部を２個所以上有したことを特徴とす
    る真空処理装置及び真空処理方法。
11. 【請求項１１】請求項１０記載のものにおいて装置の運
    転操作のできる操作部として装置のメンテナンス側と装
    置の非メンテナンス側とにそれぞれ１個所以上有したこ
    とを特徴とする真空処理装置及び処理方法。
12. 【請求項１２】請求項１１記載のものにおいて装置の運
    転操作ができる操作部として装置のメンテナンス側の操
    作部で操作しているときは、装置の非メンテナンス側の
    操作部では機器を起動させる操作はできないことを特徴
    とする真空処理装置及び真空処理方法。