JPH11345856A - ウェハ処理装置のウェハマップ指定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スロット単位で属性指定ができてスペースの
有効利用が図れると共に、入力操作が容易で作業時間の
増大、オペレーションミスを抑制することができるウェ
ハマップの指定方法を得る。 【解決手段】 ボートの各スロットに対し、挿入するウ
ェハのウェハ属性を設定するステップ（ステップＳ１
１）と、設定されたウェハ属性から所望のウェハ属性を
指定するステップ（ステップＳ１２）と、指定されたウ
ェハ属性のウェハをカセットのスロットに位置付けるた
め、前記カセットのスロットから未指定の所望のスロッ
トを指定するステップ（ステップＳ１４）と、指定され
たカセットのスロットのうち、同一ウェハ属性が指定さ
れたカセットのスロットについて、前記ボートのスロッ
トにおける前記同一ウェハ属性が設定されているスロッ
トを所定の関係に対応付けるステップ（ステップＳ１
５）とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ボートとカセッ
トとの間でウェハを移載する、例えば、バッチ炉型の縦
型半導体製造装置などのウェハ処理装置において、複数
の属性を有するウェハをカセットとボート間で移載する
ため、カセットの各スロットに対して対応するボートの
スロットを指定するウェハマップ指定方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図５はウェハ処理装置として、バッチ炉
型の縦型半導体製造装置のウェハ移載構成を示す概略ブ
ロック図である。図５において、１はバッチ炉型の反応
炉、２は複数のスロットが多段に設けられ、各スロット
にウェハが載置されるボート、３はボート２を反応炉１
に挿入しまたは反応炉１より引き出すボート昇降装置、
４はボート２を反応炉１から降ろした位置に対向して配
置され、ボート２との間で移載されるウェハを収納する
複数（４ａ〜４ｄ）のカセット、５は反応炉１から降ろ
されたボート位置と、カセット４との間に設けられ、ボ
ート２とカセット４との間でウェハを移載する移載機、
６はカセット４を移動させるカセット移動装置、７はボ
ート昇降装置３、移載機５、及びカセット移動装置６を
制御するための制御装置である。

【０００３】かかる制御装置７において、ボート２とカ
セット４の間でウェハを移載制御するためには、ボート
２の各スロットに対して挿入されるウェハをカセット４
の各スロットにも対応付けて割り当てておかなければな
らない。ここで、ボート２の各スロットに挿入されるウ
ェハをその属性とともに示した一例が図６に示されるボ
ートマップテーブルである。このボートマップテーブル
は、全スロットをスロット数２０単位で５区画に分けて
示している。各スロットに示されたアルファベットはウ
ェハ属性を示しており、Ｄはダミー、Ｐはプロダクト、
Ｍはモニタを示している。全スロットには、それぞれス
ロットナンバ（１）〜（１００）が付与されている。

【０００４】従来、カセットの各スロットに対応するボ
ートのスロット（スロットナンバ）を指定し、ボートマ
ップに示されるウェハをカセットの各スロットへ割り当
てる（図６のボートマップテーブルより後述するカセッ
トマップテーブルを作成する）ウェハマップ指定方法に
は、指定をカセット単位で行う方法と、スロット単位で
行う方法の二つが知られている。

【０００５】カセット単位で指定する方法は、ボートの
スロットに挿入されるウェハの属性毎にカセットを準備
し、同じ属性を有するウェハは同じカセットの各スロッ
トに収納するようにしたものである。例えば、ウェハの
属性として、ダミー、プロダクト、モニタの３種類があ
る場合、それぞれの属性について専用のカセットを備
え、例えば、ダミー専用のカセットについては、そのス
ロットナンバの小さいものから順に、ダミーのウェハが
挿入されるボートのスロットのうち指定ナンバの小さい
ものを対応させる。

【０００６】また、スロット単位で指定する方法は、例
えば、図７のカセットマップテーブルに示されるよう
に、ボートの各スロットナンバを、そのスロットに挿入
されるウェハの属性と共に、カセットの各スロットにラ
ンダムに対応させる。なお、図７は図６のボートマップ
テーブルに対応して作成され、ウェハのボートのスロッ
トナンバをカセットの各スロットに割り当ててなるカセ
ットマップテーブルの一例を示したものである。この場
合、２５スロットのカセットを４個用意し、全部で１０
０スロットとし、各スロットがボートマップスロットの
１００スロット（図６に）のそれぞれに対応づけられて
いる（例えばカセットＣ１のスロット１〜２５はボート
スロット１〜２５、カセットＣ２のスロット２６〜５０
はボートスロット２６〜５０、カセットＣ３のスロット
５１〜７５はボートスロット５１〜７５、カセットＣ４
のボートスロット７６〜１００はボートスロット７６〜
１００）。

【０００７】このスロット単位での指定方法は、例え
ば、図８のフローチャートに示されるように、ステップ
Ｓ１でボートマップ側に設定されるウェハ属性を選択
し、ステップＳ２において、そのウェハ属性について、
必要なスロット数分の設定が未だ終わってない場合は、
ステップＳ３に進んで、カセットマップにおける未指定
の１スロットを選択して同じウェハ属性を指定するとと
もに、ステップＳ４でそのスロットにボート側のスロッ
トナンバを設定する。このステップＳ３、Ｓ４の処理
は、ステップＳ２において、ボートの各スロットに設定
された、上記ウェハ属性のスロット数分（ウェハ数分）
だけ繰り返される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このような従来のウェ
ハマップ指定方法において、前者のカセット単位で指定
する方法は、少なくとも、ウェハの属性の種類の数に対
応した数のカセットが必要であり、この場合、各カセッ
トの有するスロット数に余りが生じるような場合でも、
カセット数はウェハ属性の種類に応じて必要となるた
め、スロット数が大幅に余るカセットの使用状態が生じ
得る結果、カセットのスロットに対する有効利用が図れ
ず、ひいてはスペースの有効利用が図れない。一方、後
者のスロット単位でランダムに指定する方法は、カセッ
トのスロットについての有効利用が図れるものの、ボー
トの各スロットナンバを、そのスロットに挿入されるウ
ェハの属性と共に、カセットの各スロットに対応付けて
指定しなければならず、その入力操作が繁雑となり、作
業時間の増大を招くと共に、オペレーションミスを招く
恐れがある。

【０００９】この発明の目的は、かかる従来の問題点を
解決し、スペースの有効利用が図れると共に、入力操作
が容易で、作業時間の増大、オペレーションミスを招く
こともないウェハ処理装置のウェハマップ指定方法を提
供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、この発明は、ボート２とカセット４との間でウェ
ハを移載するウェハ移載機５を有し、それぞれ所定のウ
ェハ属性（例えば、ダミーＤ、モニタＭ、プロダクト
Ｐ）を有する複数のウェハをカセットとボート間で移載
する際に、カセットの各スロット（スロットナンバ）に
対して対応するボートのスロット（スロットナンバ）を
指定するウェハ処理装置のウェハマップ指定方法におい
て、前記ボートの各スロットに対し、挿入するウェハの
ウェハ属性を設定するステップ（ステップＳ１１）と、
前記設定されたウェハ属性の内、所望のウェハ属性を指
定するステップ（ステップＳ１２）と、前記指定された
ウェハ属性のウェハをカセットのスロットに位置付ける
ため、前記カセットのスロットの内、未指定の所望のス
ロットを指定するステップ（ステップＳ１４）と、指定
されたカセットのスロットのうち、同一ウェハ属性が指
定されたカセットのスロットについて、前記ボートの前
記同一ウェハ属性が設定されているスロットを所定の関
係に対応付けるステップ（ステップＳ１５、ステップＳ
２１〜２９）とを含むものである。なお、この所定の関
係は、実施の形態においては、ある一つの属性について
は、ボートのスロットナンバ（ｎ）の小さいものから順
に、指定されているカセットのスロットナンバの中から
小さいものに対応付けられるような関係とされている。

【００１１】このような構成によれば、オペレータは、
ボートに挿入されるウェハの所望のウェハ属性につい
て、そのウェハ属性を有するウェハ数分だけカセットの
未指定の所望のスロットに割り振るだけで、ボートに挿
入されるウェハのウェハ属性とスロットナンバを、カセ
ットのスロットに所定の関係（例えばスロットナンバ
順）を有するよう自動的に対応づける（指定する）こと
ができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
を用いて説明する。なお、実施の形態におけるウェハ移
載機構は図５に示したものと同じであり、制御装置への
ウェハマップの指定方法のみが異なっている。実施の形
態は、例えば、図６に示されたようなボートマップを作
成し、このボートマップをカセット側にどのように対応
づけることにより、例えば図７に示されるようなカセッ
トマップテーブルを作成するかについて説明する。この
カセットマップテーブルの作成は、カセット室へカセッ
ト搬送を行う前に行われるものである。

【００１３】図１は実施の形態におけるウェハマップ指
定方法を示すフローチャート、図２は図１のフローチャ
ートのステップに従って、どのようにカセットマップテ
ーブルが作成できるかを概念的に示す説明図である。ま
ず、図１のステップＳ１１において、図６に示されたよ
うなボートマップテーブルを作成する。これは、ボート
の各スロット（Ｎｏ１〜１００）に対し、挿入するウェ
ハの属性（図６の場合は、ダミーＤ、プロダクトＰ、モ
ニタＭ）を設定することにより作成される。

【００１４】次に、ステップＳ１２において、作成され
たボートマップに設定されたウェハの属性のうち、未指
定のウェハ属性を指定する。これは、例えば図６におい
て、まずダミーＤを指定することにより行われる。ステ
ップＳ１３においては、ステップＳ１２で指定されたウ
ェハ属性（例えばダミーＤ）について、ボートマップテ
ーブルに設定された同じウェハ属性を有するウェハ数分
（例えば４５）だけカセットのスロットが指定されたか
否かが判定され、指定されていない場合はステップＳ１
４に進み、ここでカセットのスロットのうち、未指定の
スロットであって、所望のスロット（例えばスロットナ
ンバ３）を指定する。これにより、指定されたスロット
（スロットナンバ）にステップＳ１２で指定された属性
のウェハが収納されることが指定される。この状態は例
えば図２の（Ａ）で示されるように、カセットＣ１の３
番目のスロットをダミーＤに指定した状態である。な
お、図２において、Ｄに付されたアンダーラインは、最
後に指定されたスロットを示し、また、括弧内の数字
は、次のソート処理（ステップＳ１５）の結果、対応付
けられるボートのスロットナンバを示している。このス
ロットナンバは、後述するように、ソート処理が繰り返
される度に変更され得る。

【００１５】次に、ステップＳ１５において、ソート処
理、すなわち、指定されたカセットのスロット（ここで
はナンバ３のみ）のうち、同一ウェハ属性（ダミーＤ）
が指定されたカセットのスロット（ナンバ３）につい
て、ボートの同一ウェハ属性（ダミーＤ）が設定されて
いるスロットを所定の関係に対応付ける処理を行う。こ
の実施の形態では、ある一つの属性については、ボート
のスロットナンバ（ｎ）の小さいものから順に、指定さ
れているカセットのスロットナンバの中から小さいもの
が対応付けられる。図２の（Ａ）の場合は、まだ指定数
が１なので、そのスロットに、ウェハ属性（ダミーＤ）
が設定されているボートのスロットナンバの一番小さい
もの（スロットナンバ１）が対応づけられる。

【００１６】図２の（Ｂ）には、第２回目のソート処理
（ステップＳ１５）の結果が示されており、この場合
は、ステップＳ１４において、スロットナンバ２のスロ
ットが指定されたことを示している。この場合、ステッ
プＳ１４により指定されたカセットのスロットナンバは
前回よりも小さい（前回はスロットナンバ３、今回はス
ロットナンバ２）ので、ソート処理の結果、カセットの
スロットナンバ２の方にボートのスロットナンバ（１）
が対応付けられ、カセットのスロットナンバ３の方には
ボートの次に小さいスロットナンバ（２）が対応付けら
れることとなる。

【００１７】図２の（Ｃ）には、第３回目のソート処理
の結果が示されており、この場合はステップＳ１４にお
いて、スロットナンバ５が指定されたことを示してい
る。この場合、指定されたカセットのスロットナンバは
前回までに指定されたものよりも大きいので、前回まで
に指定されたスロットナンバに変更はなく、カセットの
スロットナンバ５のスロットに、ボートのスロットナン
バ（３）が対応付けられる。

【００１８】以下、同様に図２の（Ｄ）はカセットのス
ロットナンバ４が指定され、スロットナンバ５のスロッ
トにおけるボートのスロットナンバが（３）から（４）
に変更され、スロットナンバ４のスロットにボートのス
ロットナンバ（３）が対応付けられることを示し、図２
の（Ｅ）はカセットのスロットナンバ１が指定され、さ
らに、この場合は、スロットナンバ１が前回までに指定
されたスロットナンバのどれよりも小さいので、ここに
ボートのスロットナンバの一番小さい（１）が対応付け
られ、カセットのスロットナンバ２〜５（小さい順）に
ついて、それぞれボートのスロットナンバ（２）〜
（５）（小さい順）が変更されて対応付けられることを
示している。

【００１９】図１に戻り、以上のようにカセットのスロ
ットの指定が進み、その指定数が、その属性についての
ウェハ数（ボートマップに設定されたウェハ数）に達す
ると、処理はステップＳ１３よりステップＳ１６に進
み、ここでボートマップに設定されたウェハ属性の全て
（例えば３種）を指定したか否かが判定され、指定され
ていない場合は、ステップＳ１２に戻り、次の未指定の
ウェハ属性（例えばプロダクトＰ）を指定し、以下同様
の処理を行う。

【００２０】図３は、図２で説明したソート処理を示す
フローチャートである。まず、ステップＳ２１におい
て、対象スロットの属性が判断され、プロダクトＰ、モ
ニタＭ、ダミーＤの場合はステップＳ２２に進み、カセ
ットマップの最初の対象属性（例えばダミーＤ）のスロ
ットナンバ（ここでは指定されているスロットナンバの
うち最も小さいもの）が検索されＭとされる。次にステ
ップＳ２３に進み、カセットマップの最後の対象属性の
スロットナンバ（ここでは指定されているスロットナン
バのうち最も大きいもの）が検索されＬとされる。次に
ステップＳ２４に進み、ボートマップにおける対象属性
の最初のスロットナンバが検索されＮとされる。

【００２１】ステップＳ２５では、Ｎの値がＭのボート
スロットナンバに設定される。ステップＳ２６では、Ｍ
がＬ以上か否か判定され、Ｌより小さい場合はステップ
Ｓ２７に進む。次にステップＳ２７では、カセットマッ
プにおける対象属性のスロットナンバについて次に小さ
いもの（２番目に小さいもの）が検索されてＭとされ、
またステップＳ２８において、ボートマップにおける対
象属性のスロットナンバについて次に小さいもの（２番
目に小さいもの）が検索されてＮとされ、ステップＳ２
５〜２８の動作をＭ≧Ｌとなるまで繰り返す。一方、ス
テップＳ２１において、対象スロットの属性がプロダク
トＰ、モニタＭ、ダミーＤのいずれでもない場合は、ス
テップＳ２９に進み、この場合は指定されているスロッ
トを無指定とする。このステップに既に何かの対象属性
が設定されている場合は、その設定をキャンセル（無指
定状態に戻す）とし、それ以降スロットに設定されてい
る上記対象属性に関するボートスロットナンバを１づつ
下げるシフトを行う（例えば図４（ｂ）参照）。

【００２２】図４は以上のようにして指定されたカセッ
トマップテーブル（カセットＣ４のみ）を示しており、
（ａ）はモニタ属性をスロットナンバ１から９（斜線で
示す）まで指定し、更にプロダクト属性についてスロッ
トナンバ１０から２１（白地で示す）まで指定してソー
ト処理を行った状態、（ｂ）は再指定時に、プロダクト
属性については同様に指定し、モニタ属性については、
スロットナンバ４についての指定を行わない状態でソー
ト処理を行った状態、この場合は、モニタ属性について
の指定スロットが一つ削除されて減ったため、それに伴
って、ボートのスロットナンバの最も大きなもの（１０
０）の指定が消えている。（ｃ）は（ｂ）の状態からさ
らにスロットナンバ２５についてモニタ属性を指定した
状態を示している。この場合、ボートのスロットナンバ
（１００）が再度指定されることとなる。これらの状態
に示されるように、いずれも同じ属性が指定されたスロ
ットにおいては、そのスロットナンバの小さいものから
順にボートのスロットナンバの小さいものが対応指定さ
れるようにソート処理されている。

【００２３】なお、実施の形態では、ソート処理につい
て、ボートスロットナンバとカセットスロットナンバと
の対応付けを、同じ属性が指定されたカセットスロット
においては、そのスロットナンバの小さいものから順に
ボートのスロットナンバの小さいものが対応指定される
ようにしたが、この関係は逆の関係でもよいし、あるい
は他の関係を有するようにしても良い。実施の形態のよ
うにボートのスロットナンバの小さいものから順にカセ
ットスロットナンバの小さいスロットに対応づけられる
ようにした場合は、ウェハの移載処理において、カセッ
ト移動装置６あるいはボート昇降装置３の駆動量を最小
限に抑えることができる。

【００２４】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、この発
明によれば、オペレータがボートに挿入されるウェハの
所望のウェハ属性について、そのウェハ属性を有するウ
ェハ数分だけカセットの未指定の所望のスロットに割り
振るだけで、ボートに挿入されるウェハのウェハ属性と
スロットナンバを、カセットのスロットに所定の関係を
有するよう自動的に対応づける（指定する）ことができ
るので、スロット単位で属性指定ができてスペースの有
効利用が図れると共に、入力操作が容易で作業時間の増
大、オペレーションミスを抑制することができるという
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態におけるウェハマップ指定方法を示
すフローチャートである。

【図２】カセットマップテーブルの作成手順を概念的に
示す説明図である。

【図３】ソート処理を示すフローチャートである。

【図４】ソート処理の結果を示すカセットマップの図で
ある。

【図５】ウェハ移載機構を示すブロック図である。

【図６】ボートマップテーブルを示す図である。

【図７】カセットマップテーブルを示す図である。

【図８】従来のウェハマップ指定方法の一例を示すフロ
ーチャートである。

【符号の説明】

１ 反応炉 ２ ボート ４ カセット ５ 移載機 ７ 制御装置 Ｓ１１ ボートマップの作成ステップ Ｓ１２ ボートマップより未指定のウェハ属性を指定す
るステップ Ｓ１４ 未指定の所望のカセットスロットを指定するス
テップ Ｓ１５ ソート処理ステップ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ボートとカセットとの間でウェハを移載
   するウェハ移載機を有し、それぞれ所定のウェハ属性を
   有する複数のウェハをカセットとボート間で移載する際
   に、カセットの各スロットに対して対応するボートのス
   ロットを指定するウェハ処理装置のウェハマップ指定方
   法において、 前記ボートの各スロットに対し、挿入するウェハのウェ
   ハ属性を設定するステップと、 前記設定されたウェハ属性の内、所望のウェハ属性を指
   定するステップと、 前記指定されたウェハ属性のウェハをカセットのスロッ
   トに位置付けるため、前記カセット内の未指定の所望の
   スロットを指定するステップと、 指定されたカセットのスロットのうち、同一ウェハ属性
   が指定されたカセットのスロットについて、前記ボート
   の前記同一ウェハ属性が設定されているスロットを所定
   の関係に対応付けるステップとを含むウェハ処理装置の
   ウェハマップ指定方法。