JPH03179503A - 生産ラインにおける装置管理システム - Google Patents
生産ラインにおける装置管理システムInfo
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- JPH03179503A JPH03179503A JP1319296A JP31929689A JPH03179503A JP H03179503 A JPH03179503 A JP H03179503A JP 1319296 A JP1319296 A JP 1319296A JP 31929689 A JP31929689 A JP 31929689A JP H03179503 A JPH03179503 A JP H03179503A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- Control By Computers (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［概要］
種々異なる工程の加工を行う各種加工装置及び被加工物
を一時保管する保管装置等の各種装置を並設した生産ラ
インにおける装置管理システムに関し、 装置の種類に関わらず各装置の管理方法を簡略化できる
とともに、装置管理の高速化及び高効率化を図ることが
できる生産ラインにおける装置管理システムを提供する
ことを目的とし、種々異なる工程の加工を行う各種加工
装置及び被加工物を一時保管する保管装置等の各種装置
を並設した生産ラインにおいて、前記各種装置の優先順
位を含む各装置データを記憶する第１の記憶手段と、前
記第１の記憶手段における各装置データのアドレスを指
示する各指示データを、前記各種装置の制御処理順序で
記憶する第２の記憶手段と、前記第２の記憶手段の先頭
の指示データを参照してその指示データが指示する前記
第１の記憶手段の装置データを読み出し、その読み出し
た装置データに対応する装置の制御を行うとともに、そ
の装置の制御完了に伴って当該装置データにおける優先
順位を書替える装置制御手段と、前記装置制御手段によ
り書替えられた装置データの優先順位と他の装置データ
の優先順位とに基づいて前記第２の記憶手段の各指示デ
ータの並び替えを行うデータ順序管理手段とを備えて構
成した。
を一時保管する保管装置等の各種装置を並設した生産ラ
インにおける装置管理システムに関し、 装置の種類に関わらず各装置の管理方法を簡略化できる
とともに、装置管理の高速化及び高効率化を図ることが
できる生産ラインにおける装置管理システムを提供する
ことを目的とし、種々異なる工程の加工を行う各種加工
装置及び被加工物を一時保管する保管装置等の各種装置
を並設した生産ラインにおいて、前記各種装置の優先順
位を含む各装置データを記憶する第１の記憶手段と、前
記第１の記憶手段における各装置データのアドレスを指
示する各指示データを、前記各種装置の制御処理順序で
記憶する第２の記憶手段と、前記第２の記憶手段の先頭
の指示データを参照してその指示データが指示する前記
第１の記憶手段の装置データを読み出し、その読み出し
た装置データに対応する装置の制御を行うとともに、そ
の装置の制御完了に伴って当該装置データにおける優先
順位を書替える装置制御手段と、前記装置制御手段によ
り書替えられた装置データの優先順位と他の装置データ
の優先順位とに基づいて前記第２の記憶手段の各指示デ
ータの並び替えを行うデータ順序管理手段とを備えて構
成した。
［産業上の利用分野］
本発明は種々異なる工程の加工を行う各種加工装置及び
被加工物を一時保管する保管装置等の各種装置を並設し
た生産ラインにおける装置管理システムに関するもので
ある。
被加工物を一時保管する保管装置等の各種装置を並設し
た生産ラインにおける装置管理システムに関するもので
ある。
近年の生産ライン、例えば、半導体装置の生産ラインに
おいては、ラインの拡大化に伴って、様々な装置を数多
く管理しなければならない。又、これらの装置には、例
えば、各種加工装置のように割り当てられた被加工物の
加工完了に伴って新たな被加工物の要求信号を出力する
能動的装置と、マガジン保管倉庫のように自らは信号を
出力しない受動的装置との２種類かあり、生産ラインに
は両者が混在しているのが一般的である。このため、こ
のような生産ラインにおいて装置管理の高速化及び高効
率化が要求されている。
おいては、ラインの拡大化に伴って、様々な装置を数多
く管理しなければならない。又、これらの装置には、例
えば、各種加工装置のように割り当てられた被加工物の
加工完了に伴って新たな被加工物の要求信号を出力する
能動的装置と、マガジン保管倉庫のように自らは信号を
出力しない受動的装置との２種類かあり、生産ラインに
は両者が混在しているのが一般的である。このため、こ
のような生産ラインにおいて装置管理の高速化及び高効
率化が要求されている。
［従来の技術］
従来の生産ラインにおける装置管理方法として、マガジ
ン保管倉庫のように自らは信号を出力しない受動的装置
に関しては、例えば現在保管しているマガジン数、生産
ラインに加わっているか等のデータよりなる各装置デー
タを順に参照して装置を制御する方法が考えられ、各種
加工装置のように割り当てられた被加工物の加工完了に
伴って新たな被加工物の要求信号を出力する能動的装置
に関しては、要求信号が出力された装置データを検索す
ることによりその装置データに対応する装置を制御する
方法が考えられる。又、受動的装置と能動的装置とが混
在している生産ラインでは、受動的装置群と能動的装置
群との処理を考慮して２種類の制御方法の同期を取る必
要があり、管理方法が複雑になる。
ン保管倉庫のように自らは信号を出力しない受動的装置
に関しては、例えば現在保管しているマガジン数、生産
ラインに加わっているか等のデータよりなる各装置デー
タを順に参照して装置を制御する方法が考えられ、各種
加工装置のように割り当てられた被加工物の加工完了に
伴って新たな被加工物の要求信号を出力する能動的装置
に関しては、要求信号が出力された装置データを検索す
ることによりその装置データに対応する装置を制御する
方法が考えられる。又、受動的装置と能動的装置とが混
在している生産ラインでは、受動的装置群と能動的装置
群との処理を考慮して２種類の制御方法の同期を取る必
要があり、管理方法が複雑になる。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、受動的装置と能動的装置とが混在してい
る生産ラインシステムで、各々の処理、又は装置に優先
順位をつけるためには、全ての装置データを最後まで参
照してどの装置を処理しなければならないかを、毎回チ
エツクする必要があり、処理のスループットが低下する
という問題点かある。
る生産ラインシステムで、各々の処理、又は装置に優先
順位をつけるためには、全ての装置データを最後まで参
照してどの装置を処理しなければならないかを、毎回チ
エツクする必要があり、処理のスループットが低下する
という問題点かある。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであ
って、その目的は装置の種類に関わらず各装置の管理方
法を簡略化できるとともに、装置管理の高速化及び高効
率化を図ることができる生産ラインにおける装置管理シ
ステムを提供することにある。
って、その目的は装置の種類に関わらず各装置の管理方
法を簡略化できるとともに、装置管理の高速化及び高効
率化を図ることができる生産ラインにおける装置管理シ
ステムを提供することにある。
［課題を解決するための手段］
第を図は本発明の原理説明図であって、各種装置１は、
種々異なる工程の加工を行う各種加工装置及び被加工物
を一時保管する保管装置等からなる。
種々異なる工程の加工を行う各種加工装置及び被加工物
を一時保管する保管装置等からなる。
第１の記憶手段２には各種装置１の優先順位を含む各装
置データが記憶され、第２の記憶手段３には第１の記憶
手段２における各装置データのアドレスを指示する各指
示データが、各種装置の制御処理順序で記憶されている
。
置データが記憶され、第２の記憶手段３には第１の記憶
手段２における各装置データのアドレスを指示する各指
示データが、各種装置の制御処理順序で記憶されている
。
装置制御手段４は第２の記憶手段３の先頭の指示データ
を参照してその指示データが指示する第１の記憶手段２
の装置データを読み出し、その読み出した装置データに
対応する装置の制御を行うとともに、その装置の制御完
了に伴って当該装置データにおける優先順位を書替える
ものである。
を参照してその指示データが指示する第１の記憶手段２
の装置データを読み出し、その読み出した装置データに
対応する装置の制御を行うとともに、その装置の制御完
了に伴って当該装置データにおける優先順位を書替える
ものである。
そして、データ順序管理手段５は装置制御手段４により
書替えられた装置データの優先順位と他の装置データの
優先順位とに基づいて前記第２の記憶手段３の各指示デ
ータの並び替えを行うものである。
書替えられた装置データの優先順位と他の装置データの
優先順位とに基づいて前記第２の記憶手段３の各指示デ
ータの並び替えを行うものである。
［作用］
装置制御手段４は第２の記憶手段３の先頭の指示データ
を参照してその指示データが指示する第１の記憶手段２
の装置データを読み出することにより、次に制御すべき
装置データの参照を行うので、装置の種類に関わらず、
次に制御すべき装置の検索を高速化することができる。
を参照してその指示データが指示する第１の記憶手段２
の装置データを読み出することにより、次に制御すべき
装置データの参照を行うので、装置の種類に関わらず、
次に制御すべき装置の検索を高速化することができる。
［実施例］
以下、本発明を半導体装置の生産ラインに具体化した一
実施例を第２〜５図に従って説明する。
実施例を第２〜５図に従って説明する。
第２図は本発明の一実施例における装置管理システムを
示す概略構成図、第３，４図は一実施例における作用説
明図、第５図は生産ラインの概略を示す模式図である。
示す概略構成図、第３，４図は一実施例における作用説
明図、第５図は生産ラインの概略を示す模式図である。
工場内には第５図に示すような軌道１１が複数ライン設
けられ、軌道１１の両側に近接して各種装置Ａ１〜Ａｎ
が設けられている。各種装置Ａ１〜Ａｎはダイスボンダ
、ワイヤボンダ、熱硬化装置等の各種加工装置、即ち被
加工物の加工完了に伴って新たな被加工物の要求信号を
出力する能動的装置と、マガジン保管倉庫のように自ら
は信号を出力しない受動的装置との２種類の装置が混在
している。又、軌道１１上には搬送装置１２が走行可能
に設けられ、この搬送装置１２は軌道■１の一端側に設
けられた搬送装置制御コンピュータ１３により走行制御
され、各装置Ａ１〜Ａｎ間及びマガジンステーション（
図示路）との間で被加工物としての多連リードフレーム
又はウェハ等を数十個収容したマガジンの受は渡しを行
なう。
けられ、軌道１１の両側に近接して各種装置Ａ１〜Ａｎ
が設けられている。各種装置Ａ１〜Ａｎはダイスボンダ
、ワイヤボンダ、熱硬化装置等の各種加工装置、即ち被
加工物の加工完了に伴って新たな被加工物の要求信号を
出力する能動的装置と、マガジン保管倉庫のように自ら
は信号を出力しない受動的装置との２種類の装置が混在
している。又、軌道１１上には搬送装置１２が走行可能
に設けられ、この搬送装置１２は軌道■１の一端側に設
けられた搬送装置制御コンピュータ１３により走行制御
され、各装置Ａ１〜Ａｎ間及びマガジンステーション（
図示路）との間で被加工物としての多連リードフレーム
又はウェハ等を数十個収容したマガジンの受は渡しを行
なう。
工程制御コンピュータ１４、搬送装置制御コンピュータ
１３及び各加工装置Ａｌ−Ａｎは光通信ライン１５にて
ネットワークされている。工程制御コンピュータ１４は
第２図に示すように装置制御手段としての装置制御処理
部１６、データ順序管理手段としてのデータテーブル管
理部１７、記憶装置１８とから構成されている。
１３及び各加工装置Ａｌ−Ａｎは光通信ライン１５にて
ネットワークされている。工程制御コンピュータ１４は
第２図に示すように装置制御手段としての装置制御処理
部１６、データ順序管理手段としてのデータテーブル管
理部１７、記憶装置１８とから構成されている。
記憶装置１８には各装置Ａ１〜Ａｎの装置データを記憶
する第１の記憶手段としてのデータブロックＤｉ〜Ｄｎ
と、その各データブロックＤ１〜Ｄｎのアドレスをそれ
ぞれ指示する各指示データを、各装置ＡＩ−Ａｎの制御
処理順序で記憶する第２の記憶手段としてのデータテー
ブルＴを備えている。各データブロックＤＩ−Ｄｎに記
憶された各装置データは対応する装置の装置制御処理部
１６による制御処理結果、即ち、装置制御処理部１６か
ら制御信号が良好に出力されたか否かを示すデータ、こ
の装置が次に装置制御処理部１６にて制御される優先順
位等のデータが記憶されている。
する第１の記憶手段としてのデータブロックＤｉ〜Ｄｎ
と、その各データブロックＤ１〜Ｄｎのアドレスをそれ
ぞれ指示する各指示データを、各装置ＡＩ−Ａｎの制御
処理順序で記憶する第２の記憶手段としてのデータテー
ブルＴを備えている。各データブロックＤＩ−Ｄｎに記
憶された各装置データは対応する装置の装置制御処理部
１６による制御処理結果、即ち、装置制御処理部１６か
ら制御信号が良好に出力されたか否かを示すデータ、こ
の装置が次に装置制御処理部１６にて制御される優先順
位等のデータが記憶されている。
そして、工程制御コンピュータ１４は、各データブロッ
クＤ１〜Ｄｎの各装置データ及びデータテーブルＴのデ
ータに基づいて軌道１１に沿う各装置Ａ１〜Ａｎ等を管
理する。即ち、装置制御処理部１６はデータテーブルＴ
の先頭の指示データを参照し、例えば先頭の指示データ
がデータブロックＤＩのアドレスを指示するものである
場合には、データブロックＤＩに記憶された装置データ
を読み出し、その読み出した装置データに基づいて第５
図に示す装置Ａ１に対して制御信号を出力する。そして
、装置制御処理部１６はその装置の制御完了に伴ってデ
ータブロックＤＩの装置データにおける制御処理結果、
即ち処理すべき装置Ａｌに対して良好に制御信号を出力
できたか否かを書替えるとともに、次に同処理部１６が
装置Ａｔを制御する優先順位を書替えるようになってい
る。
クＤ１〜Ｄｎの各装置データ及びデータテーブルＴのデ
ータに基づいて軌道１１に沿う各装置Ａ１〜Ａｎ等を管
理する。即ち、装置制御処理部１６はデータテーブルＴ
の先頭の指示データを参照し、例えば先頭の指示データ
がデータブロックＤＩのアドレスを指示するものである
場合には、データブロックＤＩに記憶された装置データ
を読み出し、その読み出した装置データに基づいて第５
図に示す装置Ａ１に対して制御信号を出力する。そして
、装置制御処理部１６はその装置の制御完了に伴ってデ
ータブロックＤＩの装置データにおける制御処理結果、
即ち処理すべき装置Ａｌに対して良好に制御信号を出力
できたか否かを書替えるとともに、次に同処理部１６が
装置Ａｔを制御する優先順位を書替えるようになってい
る。
データテーブル管理部１７は装置制御処理部１６により
書替えられたデータブロックＤＩの装置データにおける
制御処理結果、優先順位と、他のデータブロックの装置
データにおける制御処理結果、優先順位とに基づいてデ
ータテーブルＴにおける各指示データの並び替えを行う
ようになっている。即ち、制御処理結果が良好である場
合、第３図に示すように同管理部１７はデータブロック
Ｄｉを指示する指示データを、データブロックＤ１に記
憶された優先順位と同じ優先順位を持つデータブロック
を指示する指示データの末尾に挿入する。又、制御処理
結果が不良である場合、即ち装置制御処理部１６でのエ
ラー発生時には、同管理部１７はデータブロックＤ１を
指示する指示データをデータテーブルＴの先頭に挿入す
る。
書替えられたデータブロックＤＩの装置データにおける
制御処理結果、優先順位と、他のデータブロックの装置
データにおける制御処理結果、優先順位とに基づいてデ
ータテーブルＴにおける各指示データの並び替えを行う
ようになっている。即ち、制御処理結果が良好である場
合、第３図に示すように同管理部１７はデータブロック
Ｄｉを指示する指示データを、データブロックＤ１に記
憶された優先順位と同じ優先順位を持つデータブロック
を指示する指示データの末尾に挿入する。又、制御処理
結果が不良である場合、即ち装置制御処理部１６でのエ
ラー発生時には、同管理部１７はデータブロックＤ１を
指示する指示データをデータテーブルＴの先頭に挿入す
る。
このように、本実施例ではデータテーブル管理部１７が
装置制御処理部１６により書替えられた各データブロッ
クの制御処理結果、優先順位等に基づいてデータテーブ
ルＴ内の各指示データの並び替えを行い、装置制御処理
部１６が次に制御処理すべき装置を探す場合にはデータ
テーブルＴの先頭の指示データを参照するだけでよく次
処理の装置データの参照を行うことができるので、信号
を出力する各種加工装置（能動的装置）、又は自らは信
号を出力しないマガジン保管倉庫（受動的装置）等の装
置の種類を考慮する必要がなく、スループットを向上し
て装置管理の高速化及び高効率化を図ることができる。
装置制御処理部１６により書替えられた各データブロッ
クの制御処理結果、優先順位等に基づいてデータテーブ
ルＴ内の各指示データの並び替えを行い、装置制御処理
部１６が次に制御処理すべき装置を探す場合にはデータ
テーブルＴの先頭の指示データを参照するだけでよく次
処理の装置データの参照を行うことができるので、信号
を出力する各種加工装置（能動的装置）、又は自らは信
号を出力しないマガジン保管倉庫（受動的装置）等の装
置の種類を考慮する必要がなく、スループットを向上し
て装置管理の高速化及び高効率化を図ることができる。
第４図は複数のワイヤボンダＷＢＩ〜ＷＢｎが並設され
た生産ラインにおいて、各ワイヤボンダＷＢＩ〜ＷＢｎ
に対してマガジンの均等割当を行う場合を示したもので
あり、ワイヤボンダＷＢＩの制御処理が完了した後、デ
ータテーブル管理部１７により当該ワイヤボンダＷＢＩ
に対応する指示データはデータテーブルＴの末尾に挿入
される。
た生産ラインにおいて、各ワイヤボンダＷＢＩ〜ＷＢｎ
に対してマガジンの均等割当を行う場合を示したもので
あり、ワイヤボンダＷＢＩの制御処理が完了した後、デ
ータテーブル管理部１７により当該ワイヤボンダＷＢＩ
に対応する指示データはデータテーブルＴの末尾に挿入
される。
このように製造する品種等の条件が同じ場合には全ての
ワイヤボンダＷＢＩ〜ＷＢｎに均等にマガジンを運ばれ
、装置の稼働率を向上することができる。
ワイヤボンダＷＢＩ〜ＷＢｎに均等にマガジンを運ばれ
、装置の稼働率を向上することができる。
尚、本実施例では装置データについて取り上げたが、こ
れを被加工物の品種、ロットデータ等に置き換えて、被
加工物の製造順序等を管理するようにしてもよい。
れを被加工物の品種、ロットデータ等に置き換えて、被
加工物の製造順序等を管理するようにしてもよい。
［発明の効果］
以上詳述したように、本発明は、装置の種類に関わらず
各装置の管理方法を簡略化できるとともに、装置管理の
高速化及び高効率化を図ることができる優れた効果があ
る。
各装置の管理方法を簡略化できるとともに、装置管理の
高速化及び高効率化を図ることができる優れた効果があ
る。
第１図は本発明の原理説明図、
第２図は本発明の一実施例における装置管理システムを
示す概略構成図、 第３，４図は一実施例における作用説明図、第５図は生
産ラインの概略を示す模式図である。 図において、 ■は各種装置、 ２よ第１の記憶手段、 ３よ第２の記憶手段、 ４ま装置制御手段、 ５よデータ順序管理手段である。
示す概略構成図、 第３，４図は一実施例における作用説明図、第５図は生
産ラインの概略を示す模式図である。 図において、 ■は各種装置、 ２よ第１の記憶手段、 ３よ第２の記憶手段、 ４ま装置制御手段、 ５よデータ順序管理手段である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、種々異なる工程の加工を行う各種加工装置及び被加
工物を一時保管する保管装置等の各種装置（１）を並設
した生産ラインにおいて、 前記各種装置（１）の優先順位を含む各装置データを記
憶する第１の記憶手段（２）と、 前記第１の記憶手段（２）における各装置データのアド
レスを指示する各指示データを、前記各種装置の制御処
理順序で記憶する第２の記憶手段（３）と、 前記第２の記憶手段（３）の先頭の指示データを参照し
てその指示データが指示する前記第１の記憶手段（２）
の装置データを読み出し、その読み出した装置データに
対応する装置の制御を行うとともに、その装置の制御完
了に伴って当該装置データにおける優先順位を書替える
装置制御手段（４）と、 前記装置制御手段（４）により書替えられた装置データ
の優先順位と他の装置データの優先順位とに基づいて前
記第２の記憶手段（３）の各指示データの並び替えを行
うデータ順序管理手段（５）と を備えたことを特徴とする生産ラインにおける装置管理
システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1319296A JPH03179503A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 生産ラインにおける装置管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1319296A JPH03179503A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 生産ラインにおける装置管理システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03179503A true JPH03179503A (ja) | 1991-08-05 |
Family
ID=18108614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1319296A Pending JPH03179503A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 生産ラインにおける装置管理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03179503A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009135810A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Mitsubishi Electric Corp | 通信機器及び通信方法及び通信プログラム |
| CN103744367A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-04-23 | 武汉钢铁(集团)公司 | 一种生产线实绩信息处理方法、装置及系统 |
| CN104460587A (zh) * | 2014-10-21 | 2015-03-25 | 国家电网公司 | 一种电力设备信息的处理方法和手持终端 |
-
1989
- 1989-12-08 JP JP1319296A patent/JPH03179503A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009135810A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Mitsubishi Electric Corp | 通信機器及び通信方法及び通信プログラム |
| CN103744367A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-04-23 | 武汉钢铁(集团)公司 | 一种生产线实绩信息处理方法、装置及系统 |
| CN104460587A (zh) * | 2014-10-21 | 2015-03-25 | 国家电网公司 | 一种电力设备信息的处理方法和手持终端 |
| CN104460587B (zh) * | 2014-10-21 | 2017-05-10 | 国家电网公司 | 一种电力设备信息的处理方法和手持终端 |
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