JP2002341922A - ロット編成システム及びロット編成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各装置間でロットを搬送する搬送回数、及び
バッファへのロットの入出庫回数を低減して、製造のリ
ードタイムを短縮する。 【解決手段】 生産管理部１２によって、生産工程内の
各ロット及び各装置２及び搬送車４の情報を管理し、各
装置２及び搬送車４の駆動と、各ロットの編成とを決定
するため、ロットの搬送回数及びバッファ３へのロット
の入出庫回数を、それぞれ、低減することができ、製造
のリードタイムを短縮することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数枚の半導体基
板をロット単位で処理する半導体基板の生産工程に使用
されるロット編成システム及びロット編成方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から、半導体基板を生産する場合、
ロット編成装置などによって、複数枚（例えば、２０
枚）の基板を収納したカセットを１ロットとして編成
し、成膜、エッチング等の各種行程を行う生産装置にロ
ット単位で搬入するようになっている。

【０００３】生産装置では、カセットから基板を１枚ず
つ取り出して１枚ずつ基板の処理を行う枚葉処理及び複
数の基板を取り出して、取り出された全ての基板を同時
に処理を行うバッチ処理により各基板に対して所定の処
理を行う。そして、所定の処理が終了した基板は順次、
元のカセットに収納され、全ての基板が収納されると、
人手、自動搬送車等により次行程の処理を行うための装
置に搬送する。

【０００４】図４は、複数のロットを、複数の装置にて
各工程を行う流れを説明するタイムチャートである。

【０００５】第１装置２１及び第２装置２２は、それぞ
れ、搬入された基板に対して、成膜、エッチング等の各
種処理を行うものであり、第１装置２１から第２装置２
２の順に基板の処理工程が進行する。バッファ２３は、
第２装置２２が他のロットの処理が進行中等の場合に、
第１装置２１での処理が終了したロットを待機させるた
めに設けられている。なお、実際の半導体基板の生産工
程では、多段階の工程を経て、所望の半導体基板が生産
されるため、基板に対して処理を行う装置は、３以上あ
るのが通常であるが、ここでは、理解を簡単にするた
め、第１装置２１及び第２装置２２の２工程により半導
体基板が生産されるものとして説明する。

【０００６】複数のロットＡ〜Ｄは、それぞれ、所定枚
数の基板を収納したカセットである。各ロットＡ〜Ｄ
は、ロットＡからロットＤの順に第１装置２１及び第２
装置における処理を行うものとする。各装置２１及び２
２、バッファ２３間には、各ロットを搬送するための自
動搬送車等の搬送手段が設けられている。また。図４に
おいて、右方向に伸びる矢印は、時間軸を表わしてお
り、各矢印上の各ロットの長さは、各装置を占有してい
る時間を表わしている。

【０００７】図４において、時刻ｔ０で、第２装置２２
が、第１装置２１による処理を終えたロットＡの処理を
開始し、バッファ２３では、すでに第１装置２１による
処理を終えたロットＢが第２装置２２によるロットＡの
処理終了まで待機している。そして、第１装置２１で
は、時刻ｔ１でロットＣの処理を開始し、時刻ｔ２でロ
ットＤの処理を開始する。その後、第２装置２２による
全てのロットＡ〜Ｄが処理されて、時刻ｔ４で装置２２
によるロットＤの処理が終了する。

【０００８】この場合、第２装置２２でのロットＡの処
理が終了すると、ロットＡは、第２装置２２から搬出さ
れる。そして、ロットＡが搬出された後の第２装置２２
には、バッファ２３にて待機しているロットＢが搬入さ
れる。なお、バッファ２３でのロットＢの占有時間の終
了時と、第２装置２２でのロットＢの占有時間の開始時
とに、時間的な開きが生じているのは、バッファ２３か
らロットＢを出庫して、第２装置２２にロットＢを搬送
するために、所定の時間を要するためである。

【０００９】一方、時刻ｔ１でロットＣの処理が開始さ
れた第１装置２１では、ロットＣの処理が終了した時点
で、次工程の処理を行うべき第２装置２２がロットＢの
処理を行っているため、ロットＣは、バッファ２３に搬
送されて待機する。第２装置２２でのロットＢの処理が
終了すると、バッファ２３に待機されたロットＣが第２
装置２２に搬送されて、第２装置２２での処理を開始す
る。

【００１０】このように、第１装置２１におけるロット
の処理が終了した時点で、次工程を行うべき第２装置２
２が他のロットの処理中である場合には、バッファ２３
に搬送されて待機状態とされる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上記の半導体基板の生
産工程では、第１装置２１におけるロットの処理終了時
点と、第２装置２２におけるロットの処理終了時点とが
一致しない場合、第１装置２１での処理が終了したロッ
トは、バッファ２３に搬送される。このために、ロット
がバッファ２３に搬送される回数が多くなり、第１装置
２１からバッファ２３へ搬送される回数及びバッファ２
３から第２装置２２に搬送される回数と、バッファ２３
に各ロットを入出庫する回数が増加し、搬送に要する時
間及びバッファ２３からロットに入出庫するために所定
の時間を要することから、製造リードタイムが増加する
という問題がある。

【００１２】特開平７−１０６３９７号公報には、予め
計画されたロットの着工計画データーと、予め設定され
たロット編成計画パラメーターとに基づいて、予め収集
された工程内でのロットの仕掛りデーターである工程内
仕掛データーを検索し、着工計画データーに該当するロ
ットの組み合わせを工程内仕掛データーの中から割り当
てることにより、膨大な工程仕掛データーを検索し、着
工計画データーに該当するロットの組合せを自動的に割
り当てることができるロット編成装置が開示されてい
る。

【００１３】このロット編成装置は、仕掛かりロットと
着工計画とに基づくロットの再編成には有効であるが、
各装置間でロットを搬送する搬送回数、バッファへの出
庫回数を配慮したものではなく、ロットがバッファに搬
送される回数を減少して、製造リードタイムを減少させ
ることができるものではない。

【００１４】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、各装置間でロットを搬送する搬送回
数、及びバッファへのロットの入出庫回数を低減して、
製造のリードタイムを低減し得るロット編成システム及
びロット編成方法を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明のロット編成システムは、生産処理を行う
複数の装置と、ロットを待機させるバッファと、各装置
間及び各装置とバッファとの間にロットを搬送する搬送
手段とを備えた生産設備において、複数のワークによっ
て編成されるロットを管理・編成するロット編成システ
ムであって、前記生産設備内の各ロット及び各装置及び
搬送手段の情報を管理し、各装置及び搬送手段の駆動
と、各ロットの編成とを決定する生産管理手段を備えた
ことを特徴とするものである。

【００１６】上記本発明のロット編成システムにおい
て、前記各装置及びバッファを制御するとともに、各装
置及びバッファの情報を前記生産管理部に送信する装置
管理手段と、前記搬送手段を制御するとともに、前記搬
送手段の情報を前記生産管理手段に送信する搬送制御手
段とをさらに備えていることが好ましい。

【００１７】上記本発明のロット編成システムにおい
て、前記ワークの種類、各装置によるワークに対する処
理の種類、処理がなされたワークの枚数等に関するロッ
トの編成条件を格納する編成条件格納手段と、該編成条
件格納手段に格納されたロットの編成条件を入出力する
入出力手段とをさらに備えていることが好ましい。

【００１８】また、本発明のロット編成方法は、複数の
ワークによって編成されるロット単位で各ワークに対し
てそれぞれ所定の処理を連続して実施する第１及び第２
装置と、各装置による処理が実施されないロットを待機
させるバッファと、各装置間及び各装置とバッファとの
間においてロットを搬送させる搬送手段とを備えた生産
設備において、第２装置によって処理を実施するロット
を、第１装置にて処理が実施されているロットと、バッ
ファにて待機されているロットとから選択して、選択さ
れたロットを必要に応じて複数のロットに分割して再編
成する工程を包含することを特徴とするものである。

【００１９】上記本発明のロット編成方法において、前
記第２装置のロットとして、第１装置にて処理されてい
るロットが選択された際に、第１装置の稼働状態によっ
て、そのロットを再編成することが好ましい。

【００２０】上記本発明のロット編成方法において、前
記選択されたロットは、第１装置による処理が終了した
ワークによって新規なロットが再編成されることが好ま
しい。

【００２１】上記本発明のロット編成方法において、前
記選択されたロットは、第１装置による処理が終了して
いない残りのワークを、次に処理されるロットに統合し
て新規なロットを再編成することが好ましい。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明のロット編成システ
ム及びロット編成方法について、図面に基づいて説明す
る。

【００２３】図１は、本実施の形態のロット編成システ
ム１０を示す構成図である。

【００２４】半導体基板を生産する生産工程内には、種
々の生産処理を行う複数の装置２と、処理すべき装置が
他のロットの処理のために使用中、メンテナンス中、故
障中等のためにロットを導入できない場合にロットを格
納して待機させるバッファ３と、各装置間または各装置
２とバッファ３との間でロットを搬送する搬送車４とが
設置されている。

【００２５】本実施の形態のロット編成システム１０で
は、生産工程内に設置された複数の装置２、バッファ
３、搬送車４のそれぞれの駆動を管理するとともに、生
産工程内の全ロットのデータを管理する工程管理装置１
１が設けられている。

【００２６】工程管理装置１１は、生産工程内の各ロッ
トのデータを管理し、各ロットの再編成、各装置２の駆
動状況及び各搬送車４の状況を管理する生産管理部１２
を有している。この生産管理部１２は、生産工程内の各
ロットの編成・再編成を管理するとともに、各装置２の
処理の開始及び終了、バッファ３へのロットの入出庫を
管理する装置管理部１３と、生産工程内に設置された各
搬送車４の割付を行って、割り付けられた搬送車４によ
る各装置２間及び各装置２とバッファ３との間の各ロッ
トの搬送を管理する搬送制御部１４と、ロットの編成条
件を記憶する編成条件格納部１５とに接続されている。

【００２７】また、工程管理装置１１及び生産工程に
は、それぞれ、編成条件格納部１５に格納されるロット
の編成条件を参照、編集、新規登録するための入出力装
置１６が設置されている。

【００２８】装置管理部１３は、生産工程内の各装置２
に接続されており、各装置２から、ロットの処理開始及
び処理完了の処理結果、故障による装置の停止、故障か
らの復帰等の装置２の駆動状況が送信される。各装置２
の駆動状況が送信された装置管理部１３では、各装置２
から送信された駆動状況に基づいて、各装置２の状態の
変更、履歴を更新して、生産管理部１２に必要なデータ
を送信する。また、装置管理部１３からは、ロットを処
理するための処理条件等を各装置２に送信する。

【００２９】搬送制御部１４は、生産工程内の各搬送車
４に接続されており、各搬送車４から、ロットの搬送開
始及び搬送終了、故障による搬送車の停止、故障からの
復帰等のデータ、搬送車４が指定ポイントを通過した時
刻等のデータが送信される。各搬送車４のデータが送信
された搬送制御部１４では、各搬送車４から送信された
データに基づいて、各搬送車４の状態、現在位置の変
更、履歴を更新して、生産管理部１２に必要なデータを
送信する。また、搬送制御部１４からは、搬送するロッ
トのデータ、搬送元・搬送先等の搬送ルート等のデータ
を各搬送車４に送信する。

【００３０】図２は、本実施の形態のロット編成システ
ム１０を活用して、複数のロット毎に、第１装置２１及
び第２装置２２にてそれぞれ所定の処理を行う場合のタ
イムチャートである。

【００３１】第１及び第２の装置２１及び２２は、生産
工程に設置されて基板に各種処理を行う複数の装置２か
ら選ばれた２つの装置であり、第１装置２１によって基
板の処理が行われた後に第２装置２２によって基板の処
理が行われる。

【００３２】複数のロットＡ〜Ｄは、それぞれ、所定枚
数の基板によって編成されており、各ロットＡ〜Ｄは、
ロットＡからロットＤの順に、第１装置２１にて処理が
行われる。また、図２において、右方向に伸びる矢印
は、時間軸を表わしており、各矢印上の各ロットの長さ
は、各装置２１及び２２、バッファ３を占有している時
間を表わしている。

【００３３】図３は、本実施の形態のロット編成システ
ムによる処理手順を説明するためのフローチャートであ
る。ここで、各処理は、矢印に示す方向に進むものと
し、長方形の部分では、通常処理が行われ、ひし形の部
分では、条件判断をしていることを表わしている。

【００３４】以下、図２及び図３に基づいて、本実施の
形態のロット編成システム１０の処理手順について説明
する。

【００３５】図２では、ロットＡ及びＢは、それぞれ、
第１装置２１による処理が、その順に行われた状態にな
っており、時刻ｔ０で、第２装置２２がロットＡの処理
を開始し、バッファ３では、第１装置２１による処理が
終了したロットＢが待機している。そして、時刻ｔ１で
ロットＣが、時刻ｔ２でロットＤが、それぞれ、第１装
置２１による処理が開始され、時刻ｔ３において、全て
のロットＡ〜Ｄが、第１及び第２装置による処理が終了
した状態になっている。

【００３６】時刻ｔ０において、第２装置２２での処理
が開始されたロットＡの処理が終了すると、装置管理部
１３では、第２装置２２からロットＡの処理終了が送信
されたことを受けて、第２装置２２の駆動を停止して、
第２装置２２を待機状態として、ロットＡの処理結果を
生産管理部１２に送信する（ステップ１）。生産管理部
１２は、装置管理部１３から送信された処理結果からロ
ットＡの履歴を更新する（ステップ２）。

【００３７】次に、生産管理部１２は、ロットＡが同一
装置（ここでは第２装置２２）において分割されたロッ
トかどうかを判断する（ステップ３）。図２に示す例の
場合には、ロットＡは第２装置２２において分割された
ロットではないために、生産管理部１２は、搬送制御部
１４にロットＡの搬送を指示する（ステップ４）。生産
管理部１２からロットＡの搬送指示を受けた搬送制御部
１４は、各搬送車４の状態から、ロットの搬送に使用さ
れていない搬送車４を割り付けし（ステップ２１）、割
り付けられた搬送車４によって、ロットＡを第２装置２
２から搬送することを指示する（ステップ２２）。

【００３８】次に、生産管理部１２では、第１装置２１
で処理中のロットと、バッファ３で待機中のロットを検
索する（ステップ５）。この場合、第１装置２１では、
ロットＣが処理されており、また、バッファ３では、ロ
ットＢが待機状態になっていることから、いずれかのロ
ットが第２装置２２に搬送されるのに適しているかを判
断する。すなわち、第１装置２１における処理中のロッ
トＣの基板枚数及び処理が完了した基板の枚数に基づ
き、また、バッファ３で待機中のロットＢの待機時間に
基づいて、ロットＢとロットＣとから第２装置２２に搬
送するのが最適なロットを選択する（ステップ６）。図
２に示す例では、第１装置２１で処理中のロットＣが選
択されたとする。ロットＣが選択されると、選択された
ロットＣの種類、処理工程、編成条件等を編成条件格納
部１５から取得する（ステップ７）。

【００３９】次に、生産管理部１２により管理されてい
るロットＣの状態、基板枚数、処理完了枚数や編成条件
格納部１５から取得した編成条件等から、選択されたロ
ットＣが再編成条件を満たすかどうかを判断し、再編成
条件を満たす場合には、さらに、ロットＣを再編成する
ことを決定する（ステップ８）。図２に示す例の場合で
は、ロットＣは、第１装置２１による処理が終了してい
ない基板が残っていることから、ロットＣを再編成する
ことを決定し、ロットＣを、第１装置２１の処理が終了
した基板によるロットＣ’と、第１装置２１による処理
が終了していない基板によるロットＣ”とに編成する
（ステップ９）。そして、第１装置２１による処理が終
了していないロットＣ”に関しては、第１装置２１によ
る処理が継続される。

【００４０】次に、生産管理部１２は、新規に編成され
たロットＣ’を第２装置２２に搬送する搬送指示を搬送
制御部１４に送信する（ステップ１０）。搬送指示が送
信された搬送制御部１４では、全ての搬送車４の状態か
ら、待機状態の搬送車４をロットＣ’の搬送のために割
り付けし（ステップ２３）、割り付けられた搬送車４に
よりロットＣ’を第２装置２２へ搬送することを指示す
る（ステップ２４）。さらに、生産管理部１２は、ロッ
トＣ’の情報を装置管理部１３に送信する（ステップ１
１）。ロットＣ’の情報が送信された装置管理部１３で
は、この情報に基づいて、第２装置２２の処理条件等を
第２装置２２に送信する（ステップ１２）。これによ
り、第２装置２２は、搬送車４により搬送されたロット
Ｃ’について処理を開始する。

【００４１】第２装置２２でのロットＣ’の処理が終了
すると、装置管理部１３に第２装置２２によるロット
Ｃ’の処理が終了したことが送信されて、装置管理部１
３は第２装置２２の駆動を停止する（ステップ１）。そ
して、ロットＣ’の処理結果を装置管理部１３に送信
し、装置管理部１３は、ロットＣ’の履歴を更新する
（ステップ２）。次に、生産管理部１２は、ロットＣ’
が同一装置にて分割されたロットかどうかを判断する
（ステップ３）。図２に示す例の場合、ロットＣ’は、
第２装置２２において分割されたロットではないため
に、生産管理部１２は、搬送制御部１４にロットＣ’の
搬送を指示する（ステップ４）。生産管理部１２からロ
ットＣ’の搬送指示を受けた搬送制御部１４は、各搬送
車４の状態からロットの搬送に使用されていない搬送車
４を割り付けし（ステップ２１）、割り付けられた搬送
車４によって、ロットＣ’を第２装置２２から搬送する
事を指示する（ステップ２２）。

【００４２】次に、生産管理部１２では、第１装置２１
で処理中のロットと、バッファ３で待機中のロットを検
索する（ステップ５）。この時点では、第１装置２１で
は、ロットＣ”が処理されており、バッファ３では、ロ
ットＢが待機状態になっていることから、いずれのロッ
トが第２装置２２に搬送されるのに適しているかを判断
する（ステップ６）。ただし、この場合には、ステップ
６にて、最適のロットとしてロットＣ”が選択されて
も、ロットＣ”が分割されて再編成されたロットであ
り、ステップ８において、再編成条件を満たしていない
と判断されるため、ステップ６に戻って、最適ロットと
して、ロットＢが選択される。このように、ロットが同
一装置内ですでに分割されていた場合、このロットを更
に分割すると、生産工程内に存在するロット数が増加
し、搬送能力の負荷の増加につながり、結果的に生産効
率が低下してしまう。そこで、ステップ８において、ロ
ットを複数回にわたって分割することを、回避してい
る。

【００４３】ステップ６にて、ロットＢが選択される
と、このロットＢは、バッファ３で待機されたロットで
あるため、ステップ８における再編成条件により再編成
しない場合となり、ステップ１０の処理に進む。このよ
うに、ロットＢが再編成されないのは、ロットＢの基板
の全てが第１装置２１での処理を終了しており、ロット
を分割する必要がないからである。

【００４４】生産管理部１２は、バッファ３に待機され
たロットＢを第２装置２２に搬送する搬送指示を搬送制
御部１４に送信する（ステップ１０）。搬送指示が送信
された搬送制御部１４では、全ての搬送車４の状態か
ら、待機状態の搬送者４をロットＢの搬送のために割り
付けし（ステップ２３）、割り付けられた搬送車４によ
りロットＢを第２装置２２へ搬送することを指示する
（ステップ２４）。さらに、生産管理部１２は、ロット
Ｂの情報を装置管理部１３に送信する（ステップ１
１）。ロットＢの情報が送信された装置管理部１３で
は、この情報に基づいて、第２装置２２の処理条件等を
第２装置２２に送信する（ステップ１２）。これによ
り、第２装置２２は、搬送車４により搬送されたロット
Ｂについて処理を開始する。

【００４５】第１装置２１でのロットＣ”の処理が終了
すると、装置管理部１３に第１装置２１によるロット
Ｃ”の処理が終了したことが送信されて、装置管理部１
３は第１装置２１の駆動を停止する（ステップ１）。そ
して、ロットＣ”の処理結果を装置管理部１３に送信
し、装置管理部１３は、ロットＣ”の履歴を更新する
（ステップ２）。

【００４６】次に、生産管理部１２は、ロットＣ”が同
一装置（ここでは第１装置２１）において分割されたロ
ットかどうかを判断する（ステップ３）。図２に示す例
の場合には、ロットＣ”は第１装置２１において分割さ
れたロットであるため、ステップ５に進み、第１装置２
１で処理するロットを検索する。この場合、ロットＣ”
と再編成条件を満たすロットＤが選択され、第１装置２
１への搬送が指示される。ロットＣ”はそのまま第１装
置２１で待機し、ロットＤが第１装置２１へ到着した時
点で、ロットＣ”とロットＤを統合して、ロットＤ’に
再編成する。

【００４７】第２装置２２でのロットＢの処理が終了す
ると、装置管理部１３に第２装置２２によるロットＢの
処理が終了したことが送信されて、装置管理部１３は第
２装置２２の駆動を停止する（ステップ１）。そして、
ロットＢの処理結果を装置管理部１３に送信し、装置管
理部１３は、ロットＢの履歴を更新する（ステップ
２）。

【００４８】次に、生産管理部１２は、ロットＢが同一
装置（ここでは第２装置２２）において分割されたロッ
トかどうかを判断する（ステップ３）。図２に示す例の
場合には、ロットＢは第２装置２２において分割された
ロットではないために、生産管理部１２は、搬送制御手
段４にロットＢの搬送を指示する（ステップ４）。生産
管理部１２からロットＢの搬送指示を受けた搬送制御部
１４は、各搬送車４の状態から、ロットの搬送に使用さ
れていない搬送車４を割り付けし（ステップ２１）、割
り付けられた搬送車４にロットＢを第２装置２２からの
搬送を指示する（ステップ２２）。

【００４９】次に、生産管理部１２では、第１装置２１
で処理中のロットと、バッファ３で待機中のロットとを
検索する（ステップ５）。この場合、第１装置２１で
は、ロットＣ”とロットＤが統合されたロットＤ’の処
理が終了する寸前であり、バッファ３では、待機中のロ
ットが存在しないことから、ロットＤ’が待機される
（ステップ６）。選択されたロットＤ’の種類、処理工
程、編成条件等を編成条件格納部１５から取得する（ス
テップ７）。

【００５０】次に、生産管理部１２により管理されてい
るロットＤ’の状態、基板枚数、処理完了枚数や編成条
件格納部１５から取得した編成条件等から、選択された
ロットＤ’が再編成条件を満たすかどうか判断する（ス
テップ８）。この場合、ロットＤ’の処理は完了する寸
前で、処理前の基板枚数が少ないため、再編成条件を満
たさないと判断され、ステップ１０に進むことになる。
これは、処理完了枚数が少ない場合や処理前の基板の枚
数が少ない場合に、ロットを分割して再編成すると、搬
送回数は削減できるが、装置の稼動率が下がり、結果的
に製造リードタイムの増加につながるためである。

【００５１】次に、生産管理部１２は、再編成されたロ
ットＤ’を第２装置２２に搬送する搬送指示を搬送制御
部１４に送信する（ステップ１０）。搬送指示が送信さ
れた搬送制御部１４では、全ての搬送車４の状態から、
ロットＤ’の搬送に使用される搬送車４を割り付けし
（ステップ２３）、割り付けられた搬送車４にロット
Ｄ’の搬送を指示する（ステップ２４）。さらに、生産
管理部１２は、ロットＤ’の情報を装置管理部１３に送
信する（ステップ１１）。ロットＤ’の情報が送信され
た装置管理部１３では、この情報に基づいて、第２装置
２２の処理条件等を第２装置２２に送信する（ステップ
１２）。第２装置２２は、搬送車４に搬送されたロット
Ｄ’について処理を開始する。

【００５２】第２装置２２でのロットＤ’の処理が終了
すると、装置管理部１３に第２装置２２によるロット
Ｄ’の処理が終了したことが送信されて、装置管理部１
３は第２装置２２の駆動を停止する（ステップ１）。そ
して、ロットＤ’の処理結果を装置管理部１３に送信
し、装置管理部１３は、ロットＤ’の履歴を更新する
（ステップ２）。

【００５３】次に、生産管理部１２は、ロットＤ’が同
一装置（ここでは第２装置２２）において分割されたロ
ットかどうかを判断する（ステップ３）。図２に示す例
の場合には、ロットＤ’がロットＣ”とロットＤとを統
合して再編成したロットであり、第２装置２２において
分割されたロットではないために、生産管理部１２は、
搬送制御部１４にロットＤ’の搬送を指示する（ステッ
プ４）。生産管理部１２からロットＤ’の搬送指示を受
けた搬送制御部１４は、ロットＤ’の搬送に使用される
搬送車４を割り付けし（ステップ２１）、割り付けられ
た搬送車４にロットＤ’の第２装置２２からの搬送を指
示する（ステップ２２）。

【００５４】次に、生産管理部１２では、第１装置２１
で処理中のロットと、バッファ３で待機中のロットを検
索する（ステップ５）。しかし、この場合、第１装置２
１で処理中のロットはなく、バッファ３にて待機中のロ
ットも存在しないため、ステップ５において、検索され
たロットが存在しないことが判断され、ステップ１３に
進み、第２装置２２は、待機状態になる。

【００５５】以上の手順により、本実施の形態のロット
編成システム１０はロットＡ〜Ｄを処理する。

【００５６】次に、図２に示す本実施の形態のロット編
成システム１０の動作と、図３に示す従来のロット編成
システムの動作とを比較して説明する。

【００５７】なお、ここでは、時刻ｔ０からロットＤも
しくはロットＤ’の処理が終了する時刻ｔ３またはｔ４
までの時刻までについて説明する。したがって、ロット
Ａの装置２２への搬送、ロットＢのバッファ３への搬送
と入庫は、回数に入れないものとする。

【００５８】従来の半導体基板の生産工程を示した、図
４のフローチャートでは、その搬送回数は、第１装置２
１への搬送が２回（ロットＣ、Ｄ）、装置２１からバッ
ファ３への搬送が２回（ロットＣ、Ｄ）、バッファ３か
ら第２装置２２への搬送が３回（ロットＢ、Ｃ、Ｄ）、
第２装置２２からの搬送が４回（ロットＡ、Ｂ、Ｃ、
Ｄ）となり、搬送回数は、合計で１１回となる。

【００５９】これに対して、本実施の形態のロット編成
システムを利用した、図２のフローチャートでは、第１
装置２１への搬送が２回（ロットＣ、Ｄ）、第１装置２
１から第２装置２２への搬送が２回（ロットＣ’、
Ｄ’）、バッファ３から第２装置２２への搬送が１回
（ロットＢ）、第２装置２２からの搬送が４回（Ａ、
Ｃ’、Ｂ、Ｄ’）となり、搬送回数は、合計で９回とな
るため、従来のロット編成システムと比較すると、搬送
回数を２回、低減することができる。

【００６０】また、バッファ３にロットを入出庫する回
数は、従来の半導体基板の生産工程を示した、図４のフ
ローチャートでは、入庫が２回（ロットＣ、Ｄ）、出庫
が３回（ロットＢ、Ｃ、Ｄ）となり、入出庫回数は、合
計で５回となる。

【００６１】これに対して、本実施の形態のロット編成
システムを利用した、図２のフローチャートでは、ロッ
トＢを出庫する１回だけとなり、従来の半導体基板の生
産工程と比較すると、入出庫回数を４回低減することが
できる。

【００６２】したがって、ロットの搬送回数及びバッフ
ァ３へのロットの入出庫回数を、それぞれ低減すること
ができるため、製造のリードタイムを短縮することがで
きる。

【００６３】なお、本実施の形態のロット編成システム
では、第２装置２２におけるロットの処理が終了した時
点を、工程管理装置１１が処理を開始するタイミングと
している。しかし、工程管理装置１１が処理を開始する
時点は、上記タイミングに限定されず、他のタイミング
によって処理を開始するようにしてもよい。

【００６４】例えば、第２装置２２で処理中のロット
で、ロット内の処理が終了した基板が一定の枚数に達し
た時点、または、処理が終了していない基板数が一定の
枚数になった時点等の第２装置２２の稼働状態が一定の
条件を満たして時点を、図３の工程管理装置の処理を開
始するタイミングをしてもよい。

【００６５】

【発明の効果】本発明のロット編成システムは、生産管
理手段によって、生産工程内の各ロット及び各装置及び
搬送手段の情報を管理し、各装置及び搬送手段の駆動
と、各ロットの編成とを決定するため、ロットの搬送回
数及びバッファへのロットの入出庫回数を、それぞれ、
低減することができ、製造のリードタイムを短縮するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のロット編成システムの概略構成を説明
するブロック図である。

【図２】本発明のロット編成システムによるロットの処
理の流れを説明するタイムチャートである。

【図３】本発明のロット編成システムの処理手順を説明
するフローチャートである。

【図４】従来の半導体基板の生産工程におけるロットの
処理の流れを説明するタイムチャートである。

【符号の説明】

２ 装置 ３ バッファ ４ 搬送車 １０ ロット編成システム １１ 工程管理装置 １２ 生産管理部 １３ 装置管理部 １４ 搬送制御部 １５ 編成条件格納部 １６ 入出力装置 ２１ 第１装置 ２２ 第２装置

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 生産処理を行う複数の装置と、ロットを
   待機させるバッファと、各装置間及び各装置とバッファ
   との間にロットを搬送する搬送手段とを備えた生産設備
   において、複数のワークによって編成されるロットを管
   理・編成するロット編成システムであって、 前記生産設備内の各ロット及び各装置及び搬送手段の情
   報を管理し、各装置及び搬送手段の駆動と、各ロットの
   編成とを決定する生産管理手段を備えたことを特徴とす
   るロット編成システム。
2. 【請求項２】 前記各装置及びバッファを制御するとと
   もに、各装置及びバッファの情報を前記生産管理部に送
   信する装置管理手段と、 前記搬送手段を制御するとともに、前記搬送手段の情報
   を前記生産管理手段に送信する搬送制御手段とをさらに
   備えている、請求項１に記載のロット編成システム。
3. 【請求項３】 前記ワークの種類、各装置によるワーク
   に対する処理の種類、処理がなされたワークの枚数等に
   関するロットの編成条件を格納する編成条件格納手段
   と、 該編成条件格納手段に格納されたロットの編成条件を入
   出力する入出力手段とをさらに備えている、請求項２に
   記載のロット編成システム。
4. 【請求項４】 複数のワークによって編成されるロット
   単位で各ワークに対してそれぞれ所定の処理を連続して
   実施する第１及び第２装置と、各装置による処理が実施
   されないロットを待機させるバッファと、各装置間及び
   各装置とバッファとの間においてロットを搬送させる搬
   送手段とを備えた生産設備において、 第２装置によって処理を実施するロットを、第１装置に
   て処理が実施されているロットと、バッファにて待機さ
   れているロットとから選択して、選択されたロットを必
   要に応じて複数のロットに分割して再編成する工程を包
   含することを特徴とするロット編成方法。
5. 【請求項５】 前記第２装置のロットとして、第１装置
   にて処理されているロットが選択された際に、第１装置
   の稼働状態によって、そのロットを再編成する、請求項
   ４に記載のロット編成方法。
6. 【請求項６】 前記選択されたロットは、第１装置によ
   る処理が終了したワークによって新規なロットが再編成
   される、請求項５に記載のロット編成方法。
7. 【請求項７】 前記選択されたロットは、第１装置によ
   る処理が終了していない残りのワークを、次に処理され
   るロットに統合して新規なロットを再編成する、請求項
   ６に記載のロット編成方法。