JPH11111801A - 連続処理工程の搬送システム及びその制御方法 - Google Patents
連続処理工程の搬送システム及びその制御方法Info
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Abstract
らの工程間におけるロットの移動を、より簡単でしかも
確実に行うこと。 【解決手段】 同種品のグループであるロットを保管す
るストッカ1と、これらのロットの処理を行う複数の処
理装置7,9と、処理されたロットの検査を行う検査装
置8と、ストッカ及び処理装置の間を移動してロットの
授受を行う自動搬送車5と、ロットの処理工程を制御す
る管理コンピュータ10とを備えた、連続処理工程の搬
送システムにおいて、検査装置8の近傍に、自動搬送車
5との間でロットの授受を行う受け渡し装置20を、複
数のロットを同時に載置できるようにして設けた。
Description
等の連続処理工程の搬送システム及びその制御方法に関
するものである。
搬送システムの構成の一例を示したものである。図に示
すように、この搬送システムは、仕掛かり管理コンピュ
ータ10と、工程内の処理エリア12内にそれぞれ配置
された、仕掛かり管理コンピュータ端末11、処理(検
査を含む)しようとするロットを一時保管するストッカ
1、複数の処理装置7,9、各処理装置間を移動する工
程内自動搬送車5、及び検査装置8より構成されてい
る。仕掛かり管理コンピュータ10は、図8に示すよう
な、各工程毎の情報を有した工程情報テーブルと、図9
に示すような、各処理装置についての状況を管理する情
報を有した装置情報テーブルとを備えている。工程情報
テーブルは、処理工程毎に、処理可能装置と処理条件の
情報を持つ。また、装置情報テーブルは、処理装置毎
に、それを使用できるかどうかを示す使用可否フラグ、
その位置を示す所属ベイ番号、及びロットを受け入れる
ことができる場所を示す搬送可バッファ番号の各情報を
もつ。次に、この従来の搬送システムの動作を説明す
る。
ーからなるロットは、仕掛かり管理コンピュータ10の
判断と指令で、工程内自動搬送車5により、ストッカ1
から処理装置7、9へ搬送されて処理される。さらに、
処理された後のロットの流れを、図10のフローチャー
トに従って説明する。一つの処理工程が終了したロット
は(S1)、仕掛かり管理コンピュータ10によって、
次工程の処理可能装置を探し(S2)、その処理可能装
置にロットが搬入可能なバッファが有るかどうか判断し
て(S4,S5)、次工程の装置を搬送先に決定する
(S6)。すると、仕掛かり管理コンピュータ10は、
工程内自動搬送車5に搬送指示を出し(S8)、ロット
を指示された処理装置まで運ぶ。しかしながら、検査装
置8には処理可能装置は含まれていないので、次工程が
検査の場合に、ロットは常にストッカ1に搬送先が決定
され(S7)、ストッカ1に収納されている。検査の作
業者は、端末11で、ストッカ1内にある検査待ちの複
数ロットの中から次に検査するロットを選択し、ストッ
カ1からの出庫操作を行う。そして、ストッカ1よりロ
ットを取り出し、検査装置8で検査を行い、合格したロ
ットは再度ストッカ1に戻し、不合格したロットは救済
措置あるいは廃棄するための保管庫に運ぶという作業を
行っていた。
搬送システムでは、処理装置での処理が終了した検査待
ちのロットは、必ずストッカに搬送されるので、次のよ
うな問題があった。 (1)検査の作業者は端末機でストッカ内の在庫ロット
を検索し、検索表示されたロットの中から次工程が検査
のロットを探し、さらにそれらの中から次に検査すべき
ロットを選択するという、ストッカからの出庫操作をし
なければならず、その端末機での操作が必要であった。
この操作をなくすため、次の工程が検査のロットが工程
内入出庫口から入庫されたならば、自動的に作業者入出
庫口にそれを出庫する方法も考えられるが、作業者出庫
口はロットを1個づつ取り出す構造になっているため、
検査待ちの特急ロットがある場合でもそれをすぐに取り
出すことができないという、副次的な問題が発生して有
効ではなかった。 (2)ストッカの作業者出庫口は検査作業者だけでな
く、処理装置担当の作業者も利用することもあり、ロッ
トを取り違える可能性があった。本発明は、これらの課
題を解決するためになされたものである。
ムは、同種品のグループであるロットを保管するストッ
カと、これらのロットの処理を行う複数の処理装置と、
処理されたロットの検査を行う検査装置と、ストッカ及
び処理装置の間を移動して前記ロットの授受を行う自動
搬送車と、前記ロットの処理工程を制御する管理コンピ
ュータとを備えた、連続処理工程の搬送システムにおい
て、前記検査装置の近傍に、前記自動搬送車との間で前
記ロットの授受を行う受け渡し装置装置を、複数のロッ
トを同時に載置できるようにして設けたものである。
ットに関する情報を表示する機能を具備するものであ
る。
する情報を入力する手段を具備するものである。
同種品のグループであるロットを保管するストッカと、
これらのロットの処理を行う複数の処理装置と、処理さ
れたロットの検査を行う検査装置と、ストッカ及び処理
装置の間を移動して前記ロットの授受を行う自動搬送車
と、前記ロットの処理工程を制御する管理コンピュータ
と、前記検査装置の近傍に配置されて前記自動搬送車と
の間で前記ロットの授受を行う受け渡し装置とを備え、
各工程毎の情報を有した工程情報テーブルと、各処理装
置についての状況を管理する装置情報テーブルとに基づ
いて行う連続処理工程の搬送システムの制御方法におい
て、前記装置情報テーブルに前記受け渡し装置に関する
情報を持たせ、その受け渡し装置の情報に応じて搬送先
を決定するようにしたものである。
工程の処理可能装置についての装置情報テーブルに記述
された受け渡し装置を、ロットの搬送先として決定する
ようにしたものである。
在位置する処理装置についての装置情報テーブルに記述
された受け渡し装置を、ロットの搬送先として決定する
ようにしたものである。
図、図2は本発明で用いる受け渡し装置の外観図であ
る。図1からわかるように、本発明の搬送システムは、
従来のシステムの検査装置8の近傍に、工程内自動搬送
車5との間でロットの授受を行うことができる受け渡し
装置20を追加したものである。各機器及び装置は通信
ケーブルまたは無線装置により、ロットの処理工程を制
御する仕掛かり管理コンピュータ10と接続されて、デ
ータの送受を行っている。仕掛かり管理コンピュータ1
0は、従来例と同様に、工程情報テーブルと装置情報テ
ーブルを備えているが、装置情報テーブルには、図9の
内容に、さらに受け渡し装置を特定する受け渡し装置I
Dの情報が追加されている。
ロットが納められたカセット19を同時に複数載置でき
るバッファ22a〜22h、工程内自動搬送車5側から
作業者側ヘカセットを移動させるためのスライドテーブ
ル23、カセット19のロット情報を表示する表示器2
4、及びロットを特定するIDを入力するバーコードリ
ーダ25を備えている。受け渡し装置20は、さらに、
図3のブロック構成図に示すように、仕掛かり管理コン
ピュータ10とデータの送受を行うインターフェース3
1、仕掛かり管理コンピュータ10からのデータに基づ
いて表示器24にロット情報を表示させる処理をすると
ともに、バーコードリーダ25からの入力を処理して仕
掛かり管理コンピュータ10へ送るロット情報入出力処
理部32、仕掛かり管理コンピュータ10からのデータ
に基づいてスライドテーブル23を動作させるスライド
テーブル制御部33及びスライドテーブル駆動機構34
を備える。
送システムの動作を説明する。ストッカ1にある処理前
の複数枚のウェハーからなるロットは、仕掛かり管理コ
ンピュータ10の判断と指令で、工程内自動搬送車5に
より、ストッカ1から処理装置7,9へ搬送される。一
つの工程の処理終了(S11)後、次工程の工程情報テ
ーブルから処理可能な装置を探す(S12、S13)。
S13において、処理可能装置がないと判断すると、ス
トッカ1を搬送先に決定するが(S20)、処理可能装
置があれば、その処理可能装置の装置情報テーブルのベ
イ番号と、ロットが現在位置している処理装置の装置情
報テーブルのベイ番号を比較する(S14)。それが、
違っていれば、S12の処理に戻り、ベイ番号が一致す
るときは、その処理可能装置の装置情報テーブルから受
け渡し装置IDの有無を判断し(S15)、さらに、そ
の受け渡し装置の装置情報テーブルからロットが搬入可
能なバッファがあるかどうか判断する(S16)。搬入
可能なバッファがあると、受け渡し装置20を搬送先に
決定し(S17)、工程内自動搬送車5に搬送指示を出
し(S21)、工程内自動搬送車は対象ロットを受け渡
し装置20へ搬送する。なお、S15で受け渡し装置I
Dがないと判断すると、処理可能装置に搬送可能なバッ
ファがあるかどうか判断処理し(S18)、搬送可能な
バッファがあれば、次工程の処理可能装置を搬送先に決
定し(S19)、工程内自動搬送車5に搬送指示を出す
(S21)。
たカセットを複数個置くことができる。工程内自動搬送
車5が受け渡し装置20のバッファ22a〜22hの上
下及び横の移動機構を備えたスライドテーブル23にカ
セット19を置くと、スライドテーブル23の動作によ
り作業者側にカセット19が移動し、受け渡し装置20
の表示器24は、図5に示すようにロットID・工程I
D・作業優先度などのロット情報を表示する。作業者は
それらのデータを確認し、次に検査すべきものとして優
先度の高いロット、手前にある早く処理されたロットの
順序でロットを選択し、カセット19を任意のバッファ
から取り出して、検査作業を実施する。検査結果は端末
で確認入力され、合格であれば、ストッカ1に入庫し、
不合格であれば別の保管庫に入れる。
らストッカ1内にあるロット検索し、選択する必要がな
くなり、操作性向上の効果が期待できる。また、検査待
ちのロットだけが受け渡し装置に搬送されるので、検査
作業者が検査待ち以外のロットと検査待ちロットと取り
違えるミスをなくすという効果も有する。
け渡し装置20をストッカの代りに使うこともできる。
すなわち、前の工程から、運ばれてきたロットのカセッ
トを、作業者は、ストッカ1ではなくて、受け渡し装置
20の作業者側のバッファ22a〜22hのいずれかに
置く。ここで、そのカセットのロットIDを、バーコー
ドリーダ25を使って受け渡し装置20に入力する。受
け渡し装置20は、ロットIDを仕掛かり管理コンピュ
ータ10に通知することにより、対応する工程IDなど
のロット情報を仕掛かり管理コンピュータ10から受信
して、例えば、図6に示すように表示器24に表示す
る。作業者の確認キー押下により、受け渡し装置20
は、そのカセットをスライドテーブル23で工程内自動
搬送車5側のバッファ上に移動させ、同時にそのロット
IDの搬出要求を仕掛かり管理コンピュータ10に通知
する。仕掛かり管理コンピュータ10は、そのロットに
ついて、次の工程処理のための搬送先を決定し、工程内
自動搬送車5へ搬送指示を通知し、工程内自動搬送車5
がそのロットを目的の処理装置に搬送する。また、全て
の処理が終了したロットは、ストッカ1のトラブルを確
認している仕掛かり管理コンピュータ10の判断によ
り、受け渡し装置20に搬送され、先に説明したような
検査工程に入る。
したときでも、前工程からのロットを、受け渡し装置2
0にセットすることにより、工程内自動搬送車5を利用
した搬送を継続できるようになり、搬送システムの駆動
率向上が期待できる。また、受け渡し装置で、ロット情
報を確認できるようにしたので、ロットの取り違えミス
防止も図ることができる。
作フローチャートに基づいて説明する。なお、ストッカ
1にある処理前の複数枚のウェハーからなるロットが、
仕掛かり管理コンピュータ10の判断と指令で、工程内
自動搬送車5により、ストッカ1から処理装置7,9へ
搬送され、一つの処理が終了する(S31)までの工程
は、実施の形態1と同じである。ロットが現在位置する
処理装置についての装置情報テーブルから、受け渡し装
置IDを読み(S32)、受け渡し装置20の有無を判
断する(S33)。ここで、受け渡し装置20がないと
判断すると、図9で説明したと同様の搬送制御フローに
進む(S37〜S42)。一方、受け渡し装置IDがあ
れば、その受け渡し装置の装置情報テーブルからロット
を搬入可能なバッファがあるかどうか判断し(S3
4)、バッファないときは、図9で説明したと同様の搬
送制御フローに進む(S34)。搬入可能なバッファが
あるときは、そのロットの搬送先として、受け渡し装置
20の当該バッファを決定する(S35)。これによ
り、工程内自動搬送車5に搬送指示が出され(S3
6)、ロットが受け渡し装置20に搬送される。その後
の受け渡し装置20の動作は、既に説明したとおりであ
る。
システムの例を用いて説明したが、本発明は、半導体の
製造以外の処理装置と検査装置で連続処理するような製
造ラインでも用いることができる。
者が端末からストッカ内にあるロット検索し、選択する
必要がなくなり、操作性向上の効果が期待できる。ま
た、検査待ちのロットだけが受け渡し装置に搬送される
ので、検査作業者が検査待ち以外のロットと検査待ちロ
ットと取り違えるミスをなくすという効果も有する。ま
た、ストッカがトラブルで停止したときでも、前工程か
らのロットを、受け渡し装置にセットすることにより、
工程内自動搬送車を利用した搬送を継続できるようにな
り、搬送システムの駆動率向上が期待できる。さらに、
受け渡し装置に表示器を備え、ロット情報を確認できる
ようにしたので、ロットの取り違えミス防止も図ること
ができる。
構成図である。
る。
ある。
ローチャートである。
画面の例示図である。
画面の例示図である。
すフローチャートである。
報テーブルの例示図である。
報テーブルの例示図である。
チャートである。
構成図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 同種品のグループであるロットを保管す
るストッカと、これらのロットの処理を行う複数の処理
装置と、処理されたロットの検査を行う検査装置と、ス
トッカ及び処理装置の間を移動して前記ロットの授受を
行う自動搬送車と、前記ロットの処理工程を制御する管
理コンピュータとを備えた、連続処理工程の搬送システ
ムにおいて、 前記検査装置の近傍に、前記自動搬送車との間で前記ロ
ットの授受を行う受け渡し装置装置を、複数のロットを
同時に載置できるようにして設けたことを特徴とする搬
送システム。 - 【請求項2】 前記受け渡し装置が、載置されたロット
に関する情報を表示する機能を具備することを特徴とす
る請求項1記載の搬送システム。 - 【請求項3】 前記受け渡し装置が、ロットを特定する
情報を入力する手段を具備することを特徴とする請求項
1記載の搬送システム。 - 【請求項4】 同種品のグループであるロットを保管す
るストッカと、これらのロットの処理を行う複数の処理
装置と、処理されたロットの検査を行う検査装置と、ス
トッカ及び処理装置の間を移動して前記ロットの授受を
行う自動搬送車と、前記ロットの処理工程を制御する管
理コンピュータと、前記検査装置の近傍に配置されて前
記自動搬送車との間で前記ロットの授受を行う受け渡し
装置とを備え、各工程毎の情報を有した工程情報テーブ
ルと、各処理装置についての状況を管理する装置情報テ
ーブルとに基づいて行う連続処理工程の搬送システムの
制御方法において、 前記装置情報テーブルに前記受け渡し装置に関する情報
を持たせ、その受け渡し装置の情報に応じて搬送先を決
定することを特徴とする制御方法。 - 【請求項5】 ロットの次工程の処理可能装置について
の装置情報テーブルに記述された受け渡し装置を、ロッ
トの搬送先として決定することを特徴とする請求項4記
載の制御方法。 - 【請求項6】 ロットが現在位置する処理装置について
の装置情報テーブルに記述された受け渡し装置を、ロッ
トの搬送先として決定することを特徴とする請求項4記
載の制御方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002076087A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | 抜き取り検査管理システム |
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US7151980B2 (en) * | 2004-03-26 | 2006-12-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Transport management system and method thereof |
JP2007317944A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Toshiba Corp | 局所クリーン化ロボット搬送工場及びロボット搬送式製造方法 |
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Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US5189624A (en) * | 1989-09-29 | 1993-02-23 | General Electric Company | Intelligent machining workstation operating logic |
US5668056A (en) * | 1990-12-17 | 1997-09-16 | United Microelectronics Corporation | Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system |
JPH07297258A (ja) * | 1994-04-26 | 1995-11-10 | Tokyo Electron Ltd | 板状体の搬送装置 |
US5867388A (en) * | 1995-03-17 | 1999-02-02 | Nippondenso Co., Ltd. | Controller of conveyance system |
JPH0926176A (ja) * | 1995-07-07 | 1997-01-28 | Canon Inc | 処理システムとこれを用いたデバイス生産方法 |
US5842917A (en) * | 1996-01-11 | 1998-12-01 | United Microelectronics Corproration | Automated manufacturing plant for semiconductor devices |
JP3501896B2 (ja) * | 1996-03-21 | 2004-03-02 | トーヨーエイテック株式会社 | ウェハ製造装置 |
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