JPH11111801A - 連続処理工程の搬送システム及びその制御方法 - Google Patents

連続処理工程の搬送システム及びその制御方法

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JPH11111801A
JPH11111801A JP9270692A JP27069297A JPH11111801A JP H11111801 A JPH11111801 A JP H11111801A JP 9270692 A JP9270692 A JP 9270692A JP 27069297 A JP27069297 A JP 27069297A JP H11111801 A JPH11111801 A JP H11111801A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 処理工程と検査工程が連続する場合に、それ
らの工程間におけるロットの移動を、より簡単でしかも
確実に行うこと。 【解決手段】 同種品のグループであるロットを保管す
るストッカ１と、これらのロットの処理を行う複数の処
理装置７，９と、処理されたロットの検査を行う検査装
置８と、ストッカ及び処理装置の間を移動してロットの
授受を行う自動搬送車５と、ロットの処理工程を制御す
る管理コンピュータ１０とを備えた、連続処理工程の搬
送システムにおいて、検査装置８の近傍に、自動搬送車
５との間でロットの授受を行う受け渡し装置２０を、複
数のロットを同時に載置できるようにして設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体前処理工程
等の連続処理工程の搬送システム及びその制御方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１１は、従来の半導体前処理工程内の
搬送システムの構成の一例を示したものである。図に示
すように、この搬送システムは、仕掛かり管理コンピュ
ータ１０と、工程内の処理エリア１２内にそれぞれ配置
された、仕掛かり管理コンピュータ端末１１、処理（検
査を含む）しようとするロットを一時保管するストッカ
１、複数の処理装置７，９、各処理装置間を移動する工
程内自動搬送車５、及び検査装置８より構成されてい
る。仕掛かり管理コンピュータ１０は、図８に示すよう
な、各工程毎の情報を有した工程情報テーブルと、図９
に示すような、各処理装置についての状況を管理する情
報を有した装置情報テーブルとを備えている。工程情報
テーブルは、処理工程毎に、処理可能装置と処理条件の
情報を持つ。また、装置情報テーブルは、処理装置毎
に、それを使用できるかどうかを示す使用可否フラグ、
その位置を示す所属ベイ番号、及びロットを受け入れる
ことができる場所を示す搬送可バッファ番号の各情報を
もつ。次に、この従来の搬送システムの動作を説明す
る。
【０００３】ストッカ１にある処理前の複数枚のウェハ
ーからなるロットは、仕掛かり管理コンピュータ１０の
判断と指令で、工程内自動搬送車５により、ストッカ１
から処理装置７、９へ搬送されて処理される。さらに、
処理された後のロットの流れを、図１０のフローチャー
トに従って説明する。一つの処理工程が終了したロット
は（Ｓ１）、仕掛かり管理コンピュータ１０によって、
次工程の処理可能装置を探し（Ｓ２）、その処理可能装
置にロットが搬入可能なバッファが有るかどうか判断し
て（Ｓ４，Ｓ５）、次工程の装置を搬送先に決定する
（Ｓ６）。すると、仕掛かり管理コンピュータ１０は、
工程内自動搬送車５に搬送指示を出し（Ｓ８）、ロット
を指示された処理装置まで運ぶ。しかしながら、検査装
置８には処理可能装置は含まれていないので、次工程が
検査の場合に、ロットは常にストッカ１に搬送先が決定
され（Ｓ７）、ストッカ１に収納されている。検査の作
業者は、端末１１で、ストッカ１内にある検査待ちの複
数ロットの中から次に検査するロットを選択し、ストッ
カ１からの出庫操作を行う。そして、ストッカ１よりロ
ットを取り出し、検査装置８で検査を行い、合格したロ
ットは再度ストッカ１に戻し、不合格したロットは救済
措置あるいは廃棄するための保管庫に運ぶという作業を
行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
搬送システムでは、処理装置での処理が終了した検査待
ちのロットは、必ずストッカに搬送されるので、次のよ
うな問題があった。 （１）検査の作業者は端末機でストッカ内の在庫ロット
を検索し、検索表示されたロットの中から次工程が検査
のロットを探し、さらにそれらの中から次に検査すべき
ロットを選択するという、ストッカからの出庫操作をし
なければならず、その端末機での操作が必要であった。
この操作をなくすため、次の工程が検査のロットが工程
内入出庫口から入庫されたならば、自動的に作業者入出
庫口にそれを出庫する方法も考えられるが、作業者出庫
口はロットを１個づつ取り出す構造になっているため、
検査待ちの特急ロットがある場合でもそれをすぐに取り
出すことができないという、副次的な問題が発生して有
効ではなかった。 （２）ストッカの作業者出庫口は検査作業者だけでな
く、処理装置担当の作業者も利用することもあり、ロッ
トを取り違える可能性があった。本発明は、これらの課
題を解決するためになされたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る搬送システ
ムは、同種品のグループであるロットを保管するストッ
カと、これらのロットの処理を行う複数の処理装置と、
処理されたロットの検査を行う検査装置と、ストッカ及
び処理装置の間を移動して前記ロットの授受を行う自動
搬送車と、前記ロットの処理工程を制御する管理コンピ
ュータとを備えた、連続処理工程の搬送システムにおい
て、前記検査装置の近傍に、前記自動搬送車との間で前
記ロットの授受を行う受け渡し装置装置を、複数のロッ
トを同時に載置できるようにして設けたものである。
【０００６】また、前記受け渡し装置が、載置されたロ
ットに関する情報を表示する機能を具備するものであ
る。
【０００７】また、前記受け渡し装置が、ロットを特定
する情報を入力する手段を具備するものである。
【０００８】本発明に係る搬送システムの制御方法は、
同種品のグループであるロットを保管するストッカと、
これらのロットの処理を行う複数の処理装置と、処理さ
れたロットの検査を行う検査装置と、ストッカ及び処理
装置の間を移動して前記ロットの授受を行う自動搬送車
と、前記ロットの処理工程を制御する管理コンピュータ
と、前記検査装置の近傍に配置されて前記自動搬送車と
の間で前記ロットの授受を行う受け渡し装置とを備え、
各工程毎の情報を有した工程情報テーブルと、各処理装
置についての状況を管理する装置情報テーブルとに基づ
いて行う連続処理工程の搬送システムの制御方法におい
て、前記装置情報テーブルに前記受け渡し装置に関する
情報を持たせ、その受け渡し装置の情報に応じて搬送先
を決定するようにしたものである。
【０００９】また、上記制御方法において、ロットの次
工程の処理可能装置についての装置情報テーブルに記述
された受け渡し装置を、ロットの搬送先として決定する
ようにしたものである。
【００１０】また、上記制御方法において、ロットが現
在位置する処理装置についての装置情報テーブルに記述
された受け渡し装置を、ロットの搬送先として決定する
ようにしたものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
実施の形態１ 図１は本発明の搬送システムの各装置の配置を示す構成
図、図２は本発明で用いる受け渡し装置の外観図であ
る。図１からわかるように、本発明の搬送システムは、
従来のシステムの検査装置８の近傍に、工程内自動搬送
車５との間でロットの授受を行うことができる受け渡し
装置２０を追加したものである。各機器及び装置は通信
ケーブルまたは無線装置により、ロットの処理工程を制
御する仕掛かり管理コンピュータ１０と接続されて、デ
ータの送受を行っている。仕掛かり管理コンピュータ１
０は、従来例と同様に、工程情報テーブルと装置情報テ
ーブルを備えているが、装置情報テーブルには、図９の
内容に、さらに受け渡し装置を特定する受け渡し装置Ｉ
Ｄの情報が追加されている。
【００１２】受け渡し装置２０は、図２に示すように、
ロットが納められたカセット１９を同時に複数載置でき
るバッファ２２ａ〜２２ｈ、工程内自動搬送車５側から
作業者側ヘカセットを移動させるためのスライドテーブ
ル２３、カセット１９のロット情報を表示する表示器２
４、及びロットを特定するＩＤを入力するバーコードリ
ーダ２５を備えている。受け渡し装置２０は、さらに、
図３のブロック構成図に示すように、仕掛かり管理コン
ピュータ１０とデータの送受を行うインターフェース３
１、仕掛かり管理コンピュータ１０からのデータに基づ
いて表示器２４にロット情報を表示させる処理をすると
ともに、バーコードリーダ２５からの入力を処理して仕
掛かり管理コンピュータ１０へ送るロット情報入出力処
理部３２、仕掛かり管理コンピュータ１０からのデータ
に基づいてスライドテーブル２３を動作させるスライド
テーブル制御部３３及びスライドテーブル駆動機構３４
を備える。
【００１３】次に、図４の制御フローに従って、この搬
送システムの動作を説明する。ストッカ１にある処理前
の複数枚のウェハーからなるロットは、仕掛かり管理コ
ンピュータ１０の判断と指令で、工程内自動搬送車５に
より、ストッカ１から処理装置７，９へ搬送される。一
つの工程の処理終了（Ｓ１１）後、次工程の工程情報テ
ーブルから処理可能な装置を探す（Ｓ１２、Ｓ１３）。
Ｓ１３において、処理可能装置がないと判断すると、ス
トッカ１を搬送先に決定するが（Ｓ２０）、処理可能装
置があれば、その処理可能装置の装置情報テーブルのベ
イ番号と、ロットが現在位置している処理装置の装置情
報テーブルのベイ番号を比較する（Ｓ１４）。それが、
違っていれば、Ｓ１２の処理に戻り、ベイ番号が一致す
るときは、その処理可能装置の装置情報テーブルから受
け渡し装置ＩＤの有無を判断し（Ｓ１５）、さらに、そ
の受け渡し装置の装置情報テーブルからロットが搬入可
能なバッファがあるかどうか判断する（Ｓ１６）。搬入
可能なバッファがあると、受け渡し装置２０を搬送先に
決定し（Ｓ１７）、工程内自動搬送車５に搬送指示を出
し（Ｓ２１）、工程内自動搬送車は対象ロットを受け渡
し装置２０へ搬送する。なお、Ｓ１５で受け渡し装置Ｉ
Ｄがないと判断すると、処理可能装置に搬送可能なバッ
ファがあるかどうか判断処理し（Ｓ１８）、搬送可能な
バッファがあれば、次工程の処理可能装置を搬送先に決
定し（Ｓ１９）、工程内自動搬送車５に搬送指示を出す
（Ｓ２１）。
【００１４】受け渡し装置２０には、ロットが収納され
たカセットを複数個置くことができる。工程内自動搬送
車５が受け渡し装置２０のバッファ２２ａ〜２２ｈの上
下及び横の移動機構を備えたスライドテーブル２３にカ
セット１９を置くと、スライドテーブル２３の動作によ
り作業者側にカセット１９が移動し、受け渡し装置２０
の表示器２４は、図５に示すようにロットＩＤ・工程Ｉ
Ｄ・作業優先度などのロット情報を表示する。作業者は
それらのデータを確認し、次に検査すべきものとして優
先度の高いロット、手前にある早く処理されたロットの
順序でロットを選択し、カセット１９を任意のバッファ
から取り出して、検査作業を実施する。検査結果は端末
で確認入力され、合格であれば、ストッカ１に入庫し、
不合格であれば別の保管庫に入れる。
【００１５】従って、検査作業のために作業者が端末か
らストッカ１内にあるロット検索し、選択する必要がな
くなり、操作性向上の効果が期待できる。また、検査待
ちのロットだけが受け渡し装置に搬送されるので、検査
作業者が検査待ち以外のロットと検査待ちロットと取り
違えるミスをなくすという効果も有する。
【００１６】実施の形態２ ストッカ１がトラブルで使用できない場合には、この受
け渡し装置２０をストッカの代りに使うこともできる。
すなわち、前の工程から、運ばれてきたロットのカセッ
トを、作業者は、ストッカ１ではなくて、受け渡し装置
２０の作業者側のバッファ２２ａ〜２２ｈのいずれかに
置く。ここで、そのカセットのロットＩＤを、バーコー
ドリーダ２５を使って受け渡し装置２０に入力する。受
け渡し装置２０は、ロットＩＤを仕掛かり管理コンピュ
ータ１０に通知することにより、対応する工程ＩＤなど
のロット情報を仕掛かり管理コンピュータ１０から受信
して、例えば、図６に示すように表示器２４に表示す
る。作業者の確認キー押下により、受け渡し装置２０
は、そのカセットをスライドテーブル２３で工程内自動
搬送車５側のバッファ上に移動させ、同時にそのロット
ＩＤの搬出要求を仕掛かり管理コンピュータ１０に通知
する。仕掛かり管理コンピュータ１０は、そのロットに
ついて、次の工程処理のための搬送先を決定し、工程内
自動搬送車５へ搬送指示を通知し、工程内自動搬送車５
がそのロットを目的の処理装置に搬送する。また、全て
の処理が終了したロットは、ストッカ１のトラブルを確
認している仕掛かり管理コンピュータ１０の判断によ
り、受け渡し装置２０に搬送され、先に説明したような
検査工程に入る。
【００１７】このように、ストッカ１がトラブルで停止
したときでも、前工程からのロットを、受け渡し装置２
０にセットすることにより、工程内自動搬送車５を利用
した搬送を継続できるようになり、搬送システムの駆動
率向上が期待できる。また、受け渡し装置で、ロット情
報を確認できるようにしたので、ロットの取り違えミス
防止も図ることができる。
【００１８】実施の形態３ さらに、別の搬送システムの搬送制御方法を、図７の動
作フローチャートに基づいて説明する。なお、ストッカ
１にある処理前の複数枚のウェハーからなるロットが、
仕掛かり管理コンピュータ１０の判断と指令で、工程内
自動搬送車５により、ストッカ１から処理装置７，９へ
搬送され、一つの処理が終了する（Ｓ３１）までの工程
は、実施の形態１と同じである。ロットが現在位置する
処理装置についての装置情報テーブルから、受け渡し装
置ＩＤを読み（Ｓ３２）、受け渡し装置２０の有無を判
断する（Ｓ３３）。ここで、受け渡し装置２０がないと
判断すると、図９で説明したと同様の搬送制御フローに
進む（Ｓ３７〜Ｓ４２）。一方、受け渡し装置ＩＤがあ
れば、その受け渡し装置の装置情報テーブルからロット
を搬入可能なバッファがあるかどうか判断し（Ｓ３
４）、バッファないときは、図９で説明したと同様の搬
送制御フローに進む（Ｓ３４）。搬入可能なバッファが
あるときは、そのロットの搬送先として、受け渡し装置
２０の当該バッファを決定する（Ｓ３５）。これによ
り、工程内自動搬送車５に搬送指示が出され（Ｓ３
６）、ロットが受け渡し装置２０に搬送される。その後
の受け渡し装置２０の動作は、既に説明したとおりであ
る。
【００１９】上記各実施の形態では、半導体工場の搬送
システムの例を用いて説明したが、本発明は、半導体の
製造以外の処理装置と検査装置で連続処理するような製
造ラインでも用いることができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、検査作業のために作業
者が端末からストッカ内にあるロット検索し、選択する
必要がなくなり、操作性向上の効果が期待できる。ま
た、検査待ちのロットだけが受け渡し装置に搬送される
ので、検査作業者が検査待ち以外のロットと検査待ちロ
ットと取り違えるミスをなくすという効果も有する。ま
た、ストッカがトラブルで停止したときでも、前工程か
らのロットを、受け渡し装置にセットすることにより、
工程内自動搬送車を利用した搬送を継続できるようにな
り、搬送システムの駆動率向上が期待できる。さらに、
受け渡し装置に表示器を備え、ロット情報を確認できる
ようにしたので、ロットの取り違えミス防止も図ること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の半導体前処理工程内の搬送システムの
構成図である。
【図２】本発明で使用する受け渡し装置の外観図であ
る。
【図３】本発明で使用する受け渡し装置のブロック図で
ある。
【図４】本発明による搬送システムの制御方法を示すフ
ローチャートである。
【図５】受け渡し装置の表示器におけるロット情報表示
画面の例示図である。
【図６】受け渡し装置の表示器におけるロットＩＤ入力
画面の例示図である。
【図７】本発明による搬送システムの他の制御方法を示
すフローチャートである。
【図８】仕掛かり管理コンピュータに記録される工程情
報テーブルの例示図である。
【図９】仕掛かり管理コンピュータに記録される装置情
報テーブルの例示図である。
【図１０】従来の搬送システムの制御方法を示すフロー
チャートである。
【図１１】従来の半導体前処理工程内の搬送システムの
構成図である。
【符号の説明】
１ ストッカ ５ 工程内自動搬送車 ７ 処理装置Ａ ８ 検査装置 ９ 処理装置Ｂ ２０ 受け渡し装置 ２２ａ〜２２ｈ バッファ ２３ スライドテーブル ２４ 表示器 ２５ バーコードリーダ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 同種品のグループであるロットを保管す
    るストッカと、これらのロットの処理を行う複数の処理
    装置と、処理されたロットの検査を行う検査装置と、ス
    トッカ及び処理装置の間を移動して前記ロットの授受を
    行う自動搬送車と、前記ロットの処理工程を制御する管
    理コンピュータとを備えた、連続処理工程の搬送システ
    ムにおいて、 前記検査装置の近傍に、前記自動搬送車との間で前記ロ
    ットの授受を行う受け渡し装置装置を、複数のロットを
    同時に載置できるようにして設けたことを特徴とする搬
    送システム。
  2. 【請求項２】 前記受け渡し装置が、載置されたロット
    に関する情報を表示する機能を具備することを特徴とす
    る請求項１記載の搬送システム。
  3. 【請求項３】 前記受け渡し装置が、ロットを特定する
    情報を入力する手段を具備することを特徴とする請求項
    １記載の搬送システム。
  4. 【請求項４】 同種品のグループであるロットを保管す
    るストッカと、これらのロットの処理を行う複数の処理
    装置と、処理されたロットの検査を行う検査装置と、ス
    トッカ及び処理装置の間を移動して前記ロットの授受を
    行う自動搬送車と、前記ロットの処理工程を制御する管
    理コンピュータと、前記検査装置の近傍に配置されて前
    記自動搬送車との間で前記ロットの授受を行う受け渡し
    装置とを備え、各工程毎の情報を有した工程情報テーブ
    ルと、各処理装置についての状況を管理する装置情報テ
    ーブルとに基づいて行う連続処理工程の搬送システムの
    制御方法において、 前記装置情報テーブルに前記受け渡し装置に関する情報
    を持たせ、その受け渡し装置の情報に応じて搬送先を決
    定することを特徴とする制御方法。
  5. 【請求項５】 ロットの次工程の処理可能装置について
    の装置情報テーブルに記述された受け渡し装置を、ロッ
    トの搬送先として決定することを特徴とする請求項４記
    載の制御方法。
  6. 【請求項６】 ロットが現在位置する処理装置について
    の装置情報テーブルに記述された受け渡し装置を、ロッ
    トの搬送先として決定することを特徴とする請求項４記
    載の制御方法。
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