JPH06267809A - ウェハｉｄ読み取り機能付きマルチチャンバ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被処理ウェハの処理条件の設定および進行状
況の管理を自動的に行うことができるウェハＩＤ読み取
り機能付きマルチチャンバ装置を提供する。 【構成】 複数のプロセスチャンバ内に順にウェハを挿
入してプロセス処理を一貫して行う半導体製造工程に用
いられ、ドッキングチャンバを有しないマルチチャンバ
装置とされ、ウェハ搬送チャンバ１に、４台のプロセス
チャンバ２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウェハ
アンローダチャンバ７が接続され、これらは管理システ
ム８により制御される構成となっている。そして、プロ
セスチャンバ２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウ
ェハアンローダチャンバ７には、それぞれウェハ９のウ
ェハＩＤを読み取るウェハＩＤ読み取り部２ａ〜７ａな
どが備えられ、ウェハ９上の特定位置に刻印されたウェ
ハＩＤがウェハ９の搬入時と搬出時に光学的に読み取ら
れるようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程に用い
られるマルチチャンバ装置に関し、特にウェハ搬送チャ
ンバに、複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャン
バおよびウェハアンローダチャンバが接続される場合
に、被処理ウェハの処理条件の設定および進行状況の管
理の自動化が可能とされるウェハＩＤ（Identificatio
n：識別コード）読み取り機能付きマルチチャンバ装置
に適用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＬＳＩの高集積化とデバイスの微
細化の進行に併せて、半導体製造装置にも新しい観点か
らの技術が要求されるようになってきており、複数工程
にわたるマルチチャンバ装置もその一つである。このマ
ルチチャンバ装置は、以下に示す理由により、今後の半
導体製造装置の発展形態の１つとして、１９８０年代の
後半から国内外の半導体装置メーカーにより提案、製作
されている。

【０００３】(1).マルチチャンバシステムは、真空ある
いは不活性ガス雰囲気でのウェハの一貫処理ができるの
で、各層を形成するときに外界からの汚染などを防ぎ、
品質向上を図ることができ、さらに品質の安定化を図る
ことも可能である。

【０００４】(2).マルチチャンバシステム内での一貫処
理であるため、ウェハ搬送に要する時間の削減ができ、
全体としての工程短縮を図ることができる。

【０００５】(3).マルチチャンバにおいては、新プロセ
スに対応するために、マルチチャンバを構成している１
つのプロセスチャンバだけを新規に製作し、ウェハ搬送
ロボット部、ロードロック室などは従来のものをそのま
ま利用できるので、半導体製造のための装置費用を削減
することができる。

【０００６】次に、マルチチャンバ装置の概要を説明す
ると、たとえばこれまで製作されてきたマルチチャンバ
装置は、ウェハ搬送装置に複数のプロセス処理装置を接
続させて、一部のプロセス処理の一貫処理を目的とした
ものである。

【０００７】そして、マルチチャンバの基本構成は、基
幹となるウェハ搬送チャンバとその周辺に接続されたプ
ロセスチャンバ、ロードロックチャンバであり、このよ
うなマルチチャンバ装置を利用することによって、たと
えば薄膜形成であれば前処理から薄膜デポまでの一貫し
た連続処理を実行することができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のよう
な従来技術においては、下記のような問題がある。

【０００９】(1).半導体製造において、プロセス処理を
実行する場合に、プロセス処理装置に対して処理条件を
入力する必要があり、現状のマルチチャンバ装置におい
ては、作業者が被処理ウェハのＩＤを確認して装置へ処
理条件を入力する必要がある。つまり、従来のマルチチ
ャンバ装置では、ウェハの搬送は自動化されているもの
の、プロセス処理における条件入力に関しては自動化さ
れておらず、従って処理条件待ちの無駄な時間が発生す
る。

【００１０】(2).人手による装置条件入力では、入力ミ
スが発生する可能性がある。そのために、入力ミスを防
ぐための対策が必要である。

【００１１】(3).マルチチャンバ装置で処理条件を作業
者が入力する場合、次の作業が正しく実行されるよう
に、処理終了後にこの内容を記録しておく必要がある。
しかし、人手による記録作業はミスを生じ易く、その記
録ミスのために次の工程で被処理ウェハが正しく処理さ
れない可能性が生じる。

【００１２】(4).マルチチャンバ装置がドッキングチャ
ンバで複数台数接続される場合、作業者が複数の被処理
ウェハの処理条件を確認して、該当する条件を正しく入
力することは一般に困難である。

【００１３】以上のように、従来のマルチチャンバ装置
においては、被処理ウェハの処理条件における設定入力
の問題、自動化への要求などに対して良好に適用できな
いという問題がある。

【００１４】そこで、本発明の目的は、ウェハＩＤ読み
取り機能によって被処理ウェハの処理条件の設定および
進行状況の管理を自動的に行うことができるウェハＩＤ
読み取り機能付きマルチチャンバ装置を提供することに
ある。

【００１５】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００１７】すなわち、本発明のウェハＩＤ読み取り機
能付きマルチチャンバ装置は、ウェハ搬送チャンバに、
複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよび
ウェハアンローダチャンバが接続され、これらの複数の
プロセスチャンバ内に順にウェハを挿入してプロセス処
理を一貫して行う半導体製造工程に用いられるマルチチ
ャンバ装置であって、複数のプロセスチャンバ、ウェハ
ローダチャンバおよびウェハアンローダチャンバにウェ
ハＩＤ読み取り部を設けるものである。

【００１８】この場合に、前記ウェハＩＤ読み取り部
を、複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバお
よびウェハアンローダチャンバが接続されるウェハ搬送
チャンバ側に設けるようにしたものである。

【００１９】また、前記ウェハＩＤ読み取り部をウェハ
の搬送経路の上部に配設し、ウェハ上のウェハＩＤを光
学的に読み取り、この読み取り情報をウェハ処理情報フ
ァイルの内容と照合して、プロセスチャンバの各々が実
行すべきプロセス内容をプロセスチャンバに伝達するよ
うにしたものである。

【００２０】さらに、前記ウェハ処理情報ファイルに保
存されているウェハ処理条件をウェハＩＤによって把握
し、ウェハの進行状況と処理内容とをウェハＩＤで検索
するようにしたものである。

【００２１】さらに、前記ウェハ処理情報ファイルのウ
ェハの進行状況の内容を、ウェハＩＤで更新するように
したものである。

【００２２】

【作用】前記したウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチ
ャンバ装置によれば、ウェハＩＤ読み取り部が、複数の
プロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェハ
アンローダチャンバ側、またはウェハ搬送チャンバ側に
設けられることにより、ウェハＩＤ読み取り部により読
み取られたウェハＩＤから各プロセスチャンバでの処理
条件を設定することができ、かつ処理後にこのウェハの
進行状況を更新することができる。

【００２３】たとえば、ウェハ処理情報ファイルとし
て、被処理ウェハの処理条件を有するファイルとウェハ
の進行状況を管理するファイルとを持つ上位のシステム
と連動させ、処理条件の設定および進行状況の更新を自
動的に実行させるアルゴリズムにより可能となる。

【００２４】すなわち、マルチチャンバ装置の各プロセ
スチャンバにおいては、ウェハがウェハ搬送チャンバか
らプロセスチャンバへ搬送されるときに、そのウェハＩ
Ｄを読み取り、その読み取ったウェハＩＤを用いて上位
のシステムから処理条件を収集してプロセス処理条件を
自動的に決め、またウェハを処理した後では、その正常
終了情報を上位のシステムに返してウェハの進行状況を
自動的に更新することができる。

【００２５】これにより、被処理ウェハの処理条件の設
定を自動的に行うことができ、さらにウェハの進行状況
の管理も自動化が可能となり、その上ウェハが次の処理
のプロセスチャンバに送られたときに、その処理工程で
の正常処理の実行を可能とすることができる。

【００２６】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるウェハＩＤ読
み取り機能付きマルチチャンバ装置を示す概略構成図、
図２は本実施例のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチ
ャンバ装置のウェハＩＤ読み取り部を詳細に示す断面
図、図３は本実施例における処理手順を示すフロー図で
ある。

【００２７】まず、図１により本実施例のウェハＩＤ読
み取り機能付きマルチチャンバ装置の構成を説明する。

【００２８】本実施例のウェハＩＤ読み取り機能付きマ
ルチチャンバ装置は、たとえば複数のプロセスチャンバ
内に順にウェハを挿入してプロセス処理を一貫して行う
半導体製造工程に用いられ、ドッキングチャンバを有し
ないマルチチャンバ装置とされ、ウェハ搬送チャンバ１
に、４台のプロセスチャンバ２〜５、ウェハローダチャ
ンバ６およびウェハアンローダチャンバ７が接続され、
これらは管理システム８により制御される構成となって
いる。

【００２９】ウェハ搬送チャンバ１は、たとえば関節的
に屈曲されて伸縮自在なウェハ搬送用腕１ａと、ウェハ
９を搭載するウェハ搬送用試料台１ｂと、ウェハ搬送用
腕１ａを駆動する駆動制御部１ｃとを備え、ウェハ搬送
用腕１ａの先端にウェハ搬送用試料台１ｂが固定され、
このウェハ搬送用試料台１ｂに搭載されたウェハ９が、
駆動制御部１ｃの制御に基づいてプロセスチャンバ２〜
５、ウェハローダチャンバ６およびウェハアンローダチ
ャンバ７との間で搬入／搬出される。

【００３０】プロセスチャンバ２〜５は、それぞれウェ
ハ９のウェハＩＤを読み取るウェハＩＤ読み取り部２ａ
〜５ａと、ウェハ９を搭載するウェハ用試料台２ｂ〜５
ｂと、ウェハ用試料台２ｂ〜５ｂを駆動する駆動制御部
２ｃ〜５ｃとを備え、ウェハ用試料台２ｂ〜５ｂに搭載
されたウェハ９が駆動制御部２ｃ〜５ｃの制御に基づい
てプロセス処理される。たとえば、薄膜形成であれば、
前処理から薄膜デポまでの一貫した連続処理のうちのそ
れぞれの処理が各プロセスチャンバ２〜５内において行
われる。

【００３１】また、ウェハＩＤ読み取り部２ａ（３ａ〜
５ａ）は、図２に示すようにウェハ搬送チャンバ１との
接続部近傍に、プロセスチャンバ２（３〜５）内のウェ
ハ９の搬送経路の上部に配設され、このウェハＩＤ読み
取り部２ａ（３ａ〜５ａ）によってウェハ上の特定位置
に刻印されたウェハＩＤ９ａが、たとえばウェハ９の搬
入時と搬出時に光学的に読み取られるようになってい
る。

【００３２】ウェハローダチャンバ６は、プロセスチャ
ンバ２〜５と同様に、ウェハローダチャンバ６内のウェ
ハ９の搬送経路の上部に配設され、ウェハ９の搬入時お
よび搬出時にウェハＩＤ９ａを読み取るウェハＩＤ読み
取り部６ａと、ウェハ９を搭載するウェハ用試料台６ｂ
と、ウェハ用試料台６ｂを駆動する駆動制御部６ｃとを
備え、外部から搬送されるウェハ９がウェハローダチャ
ンバ６を通じてマルチチャンバ装置内に搬入される。

【００３３】ウェハアンローダチャンバ７は、プロセス
チャンバ２〜５と同様に、ウェハアンローダチャンバ７
内のウェハ９の搬送経路の上部に配設され、ウェハ９の
搬入時および搬出時にウェハＩＤ９ａを読み取るウェハ
ＩＤ読み取り部７ａと、ウェハ９を搭載するウェハ用試
料台７ｂと、ウェハ用試料台７ｂを駆動する駆動制御部
７ｃとを備え、マルチチャンバ装置内で一貫処理された
ウェハ９がウェハアンローダチャンバ７を通じて外部に
搬出される。

【００３４】管理システム８は、マルチチャンバ装置の
全体的な制御機能の他に、ウェハ搬送チャンバ１、プロ
セスチャンバ２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウ
ェハアンローダチャンバ７の演算処理系を内蔵し、これ
らの全体的な制御が予めプログラムされたアルゴリズム
に従って自動的に実行される。

【００３５】また、管理システム８には、ウェハ処理情
報ファイルとしてのウェハ処理条件ファイル１０および
ウェハ進行管理ファイル１１が接続され、各プロセスチ
ャンバ２〜５におけるウェハ９の処理条件がウェハ処理
条件ファイル１０から収集されて自動的に決められ、ま
たウェハ９の処理後は、その正常終了情報によりウェハ
進行管理ファイル１１の進行状況の内容が自動的に更新
されるようになっている。

【００３６】なお、以上のような構成において、ウェハ
ＩＤ９ａを光学的に読み取ることは現状の技術で可能で
あり、さらにシステム間通信によりウェハ処理情報を送
受信すること、また進行状況に合わせて特定工程を識別
するアルゴリズムを含ませることなども容易に可能であ
る。

【００３７】次に、本実施例の作用について、実際にウ
ェハ９の自動処理を行う場合を図３の処理フローに基づ
いて説明する。図３において、列方向の各欄の処理は上
方に記載の各構成要素により実行されることを表す。

【００３８】始めに、処理すべきウェハ９はウェハロー
ダチャンバ６内のウェハ用試料台６ｂに設置されている
ものとする。

【００３９】まず、作業者が開始スイッチ（図示せず）
を押すなどの操作をすると、管理システム８が開始命令
を発する（ステップ３０１）。すると、管理システム８
からウェハ搬送チャンバ１内のウェハ搬送用腕１ａをウ
ェハローダチャンバ６へ移動させる指示がでる。これ
は、ウェハ搬送チャンバ１の欄にあるウェハローダチャ
ンバ６への移動である（ステップ３０２）。

【００４０】さらに、管理システム８からのウェハ搬送
指示に従い、ウェハ搬送チャンバ１の駆動制御部１ｃは
ウェハ搬送用腕１ａをウェハローダチャンバ６に挿入
し、ウェハ用試料台６ｂの上に設置されている被処理用
のウェハ９をウェハ搬送用腕１ａのウェハ搬送用試料台
１ｂに載せて、ウェハ搬送用腕１ａをウェハ搬送チャン
バ１内に引き出す。

【００４１】このウェハ９を引き出す作業途中に、ウェ
ハ９がウェハローダチャンバ６のウェハＩＤ読み取り部
６ａを通過する。このとき、ウェハＩＤ読み取り部６ａ
は、ウェハ９の特定位置に刻印されているウェハＩＤ９
ａを読み取ることができる。これは、ウェハローダチャ
ンバ６の欄にあるウェハＩＤ９ａの読み取りである（ス
テップ３０３）。

【００４２】そして、読み取られたウェハＩＤ９ａがウ
ェハＩＤ読み取り部６ａから管理システム８に送られ、
ウェハＩＤ９ａを管理システム８の制御下にあるウェハ
進行管理ファイル１１と照らし合わせて、次工程の内容
を確認する。これは、ウェハローダチャンバ６の欄にあ
る進行確認である（ステップ３０４）。

【００４３】この情報を得て、管理システム８はいずれ
かのプロセスチャンバ２〜５の選択命令を実行する（ス
テップ３０５）。すなわち、管理システム８から命令を
受けたウェハ搬送チャンバ１は、ウェハ搬送用腕１ａを
指示された特定プロセスチャンバ、たとえばプロセスチ
ャンバ２へ移動させる。これは、特定のプロセスチャン
バ２への移動である（ステップ３０６）。

【００４４】なお、他のプロセスチャンバ３〜５にも同
様にして移動させることができ、これによって一般性を
失うことはない。以上の処理により、ウェハ９はプロセ
スチャンバ２の入り口で待機している状態になる。

【００４５】続いて、管理システム８は、管理システム
８の欄のウェハ９の挿入命令を発する（ステップ３０
７）。その結果、ウェハ搬送チャンバ１の駆動制御部１
ｃはウェハ９をウェハ搬送用試料台１ｂに載せられた状
態でプロセスチャンバ２へ搬入する。

【００４６】このウェハ９がプロセスチャンバ２に搬入
される途中で、ウェハ９がウェハＩＤ読み取り部２ａを
通過する。このとき、ウェハＩＤ読み取り部２ａは、ウ
ェハＩＤ９ａの読み取りを実行する（ステップ３０
８）。これは、ステップ３０３のＩＤ読み取りと同等で
ある。

【００４７】そして、管理システム８は、ウェハＩＤ読
み取り部２ａが読み取ったウェハＩＤ９ａをもとに、管
理システム８の管理下にあるウェハ進行管理ファイル１
１の内容を参照し、このプロセスチャンバ２が正しい選
択であることを確認する。

【００４８】さらに、ウェハ９の処理条件の読み取りを
実行する（ステップ３０９）。すなわち、管理システム
８の制御下にあるウェハ処理条件ファイル１０からこの
工程に相当する処理条件を選択する。これによって、自
動的にプロセス処理を実行することができる。これが、
プロセスチャンバ２におけるプロセス処理である（ステ
ップ３１０）。

【００４９】プロセス処理後、管理システム８はウェハ
９の取り出し命令を発する（ステップ３１１）。この命
令によって、ウェハ搬送チャンバ１の欄にある特定のプ
ロセスチャンバ２への移動を実行する（ステップ３１
２）。

【００５０】そして、管理システム８の指示によって、
ウェハ搬送チャンバ１の駆動制御部１ｃはウェハ搬送用
腕１ａをプロセスチャンバ２へ移動し、プロセスチャン
バ２内にあるウェハ９を取り出す。プロセスチャンバ２
からウェハ９を引き出すときに、プロセスチャンバ２の
欄にあるウェハＩＤ９ａの読み取りを実行する（ステッ
プ３１３）。

【００５１】このとき、管理システム８を通して得たウ
ェハＩＤ９ａと、管理システム８の制御下にあるウェハ
進行管理ファイル１１を参照し、この処理が終了したこ
とをウェハ進行管理ファイル１１内の進行状況において
更新すると同時に、次の工程が処理可能かどうかを判断
する。これが、管理システム８の欄にある終了判定であ
る（ステップ３１４）。

【００５２】さらに、マルチチャンバ装置のプロセスチ
ャンバ３〜５で処理が続行できるときには、ステップ３
０４の進行確認に進み、以下同様の処理を実行する。ま
た、プロセスチャンバ３〜５で処理ができないときには
このマルチチャンバ装置での処理が完了となり、管理シ
ステム８は完了命令を発する（ステップ３１５）。

【００５３】そして、完了命令が発っせられると、管理
システム８はウェハ９をウェハアンローダチャンバ７に
設置して外部に搬出できる状態にし、ウェハ搬送用腕１
ａを初期状態にして作業を一旦停止状態にする。

【００５４】以上のようにして、ウェハ９がウェハロー
ダチャンバ６から搬入され、さらに各プロセスチャンバ
２〜５を通じて一貫処理され、最後にウェハアンローダ
チャンバ７を通じて外部に搬出される。

【００５５】従って、本実施例のウェハＩＤ読み取り機
能付きマルチチャンバ装置によれば、プロセスチャンバ
２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウェハアンロー
ダチャンバ７にウェハＩＤ読み取り部２ａ〜７ａを設け
ることにより、ウェハ９が前工程のプロセスチャンバ２
〜５からウェハ搬送チャンバ１内に引き出されるときに
ウェハＩＤ９ａを読み取り、次工程の処理に対応するプ
ロセスチャンバ２〜５を選択し、さらに選択されたプロ
セスチャンバ２〜５にウェハ９が挿入されたときに再び
ウェハＩＤ９ａを読み取って選択の正当性を確認した後
に処理を自動的に実行することができる。

【００５６】また、処理の実行後は、次工程の処理に対
応するプロセスチャンバ２〜５を選択すると同時に、終
了した処理の進行状況を自動的に更新することができ
る。

【００５７】さらに、ウェハローダチャンバ６からウェ
ハ搬送チャンバ１に搬入されるとき、ウェハ搬送チャン
バ１からウェハアンローダチャンバ７に搬出されるとき
も同様にウェハＩＤ９ａを読み取ることができるので、
マルチチャンバ装置における一貫したプロセス処理の自
動化に対応することができる。

【００５８】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５９】たとえば、本実施例のウェハＩＤ読み取り
機能付きマルチチャンバ装置については、プロセスチャ
ンバ２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウェハアン
ローダチャンバ７側にウェハＩＤ読み取り部２ａ〜７ａ
が設けられる場合について説明したが、本発明は前記実
施例に限定されるものではなく、ウェハＩＤ読み取り部
をウェハ搬送チャンバ側に設ける場合について適用可能
である。

【００６０】さらに、前記実施例においては、ウェハＩ
Ｄ９ａの読み取りは、プロセスチャンバ２〜５にウェハ
９が搬入されるとき、およびウェハ９をプロセスチャン
バ２〜５から搬出するときの両方で実施しているが、搬
入または搬出のどちらか一方の場合にウェハＩＤを読み
取ることも可能である。

【００６１】また、ウェハ搬送チャンバ１の形状および
プロセスチャンバ２〜５の数量などについては、半導体
製造工程のプロセス処理などに合わせて、これ以下また
はこれ以上の多くのプロセスチャンバが接続される場
合、さらにドッキングチャンバを有する構成など、種々
の接続構成に適用可能であることはいうまでもない。

【００６２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００６３】(1).複数のプロセスチャンバ、ウェハロー
ダチャンバおよびウェハアンローダチャンバにウェハＩ
Ｄ読み取り部を設けることにより、ウェハＩＤ読み取り
部によりウェハＩＤを自動的に読み取ることができるの
で、たとえばウェハ処理情報ファイルに保存されている
ウェハの進行状況と処理内容とをウェハＩＤで検索し、
各プロセスチャンバでの処理条件を設定することがで
き、かつ処理後にこのウェハの進行状況を更新すること
が可能となる。

【００６４】(2).ウェハＩＤ読み取り部をウェハ搬送チ
ャンバ側に設けることにより、前記(1) と同様に処理条
件の設定および進行状況の更新を自動的に行うことがで
きると同時に、従来のプロセスチャンバを流用すること
が可能となる。

【００６５】(3).前記(1) および(2) により、被処理ウ
ェハの処理条件の設定を自動的に行うことができるの
で、従来のような人手による被処理ウェハの処理条件に
おける設定入力ミスなどの問題が解決され、ＬＳＩの高
集積化とデバイスの微細化の進行に対応した処理工程で
の正常処理の実行が可能とされるマルチチャンバ装置を
得ることができる。

【００６６】(4).前記(1) および(2) により、処理条件
の設定に加えて進行状況の管理も自動的に行うことがで
きるので、ウェハの自動搬入、連続したプロセス処理、
さらにウェハの自動搬出までの自動一貫処理の基本形態
の実現が可能とされるマルチチャンバ装置を得ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるウェハＩＤ読み取り機
能付きマルチチャンバ装置を示す概略構成図である。

【図２】本実施例のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチ
チャンバ装置のウェハＩＤ読み取り部を詳細に示す断面
図である。

【図３】本実施例における処理手順を示すフロー図であ
る。

【符号の説明】

１ ウェハ搬送チャンバ １ａ ウェハ搬送用腕 １ｂ ウェハ搬送用試料台 １ｃ 駆動制御部 ２〜５ プロセスチャンバ ２ａ〜５ａ ウェハＩＤ読み取り部 ２ｂ〜５ｂ ウェハ用試料台 ２ｃ〜５ｃ 駆動制御部 ６ ウェハローダチャンバ ６ａ ウェハＩＤ読み取り部 ６ｂ ウェハ用試料台 ６ｃ 駆動制御部 ７ ウェハアンローダチャンバ ７ａ ウェハＩＤ読み取り部 ７ｂ ウェハ用試料台 ７ｃ 駆動制御部 ８ 管理システム ９ ウェハ ９ａ ウェハＩＤ １０ ウェハ処理条件ファイル １１ ウェハ進行管理ファイル

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハ搬送チャンバに、複数のプロセス
   チャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェハアンロー
   ダチャンバが接続され、該複数のプロセスチャンバ内に
   順にウェハを挿入してプロセス処理を一貫して行う半導
   体製造工程に用いられるマルチチャンバ装置であって、
   前記複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバお
   よびウェハアンローダチャンバにウェハＩＤ読み取り部
   を設けることを特徴とするウェハＩＤ読み取り機能付き
   マルチチャンバ装置。
2. 【請求項２】 前記ウェハＩＤ読み取り部を、前記複数
   のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェ
   ハアンローダチャンバが接続される前記ウェハ搬送チャ
   ンバ側に設けることを特徴とする請求項１記載のウェハ
   ＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置。
3. 【請求項３】 前記ウェハＩＤ読み取り部を前記ウェハ
   の搬送経路の上部に配設し、該ウェハ上のウェハＩＤを
   光学的に読み取り、該読み取り情報をウェハ処理情報フ
   ァイルの内容と照合して、前記プロセスチャンバの各々
   が実行すべきプロセス内容を該プロセスチャンバに伝達
   することを特徴とする請求項１または２記載のウェハＩ
   Ｄ読み取り機能付きマルチチャンバ装置。
4. 【請求項４】 前記ウェハ処理情報ファイルに保存され
   ているウェハ処理条件を前記ウェハＩＤによって把握
   し、前記ウェハの進行状況と処理内容とを該ウェハＩＤ
   で検索することを特徴とする請求項３記載のウェハＩＤ
   読み取り機能付きマルチチャンバ装置。
5. 【請求項５】 前記ウェハ処理情報ファイルのウェハの
   進行状況の内容を、前記ウェハＩＤで更新することを特
   徴とする請求項４記載のウェハＩＤ読み取り機能付きマ
   ルチチャンバ装置。