JP2015170833A - 基板処理装置のスケジュール作成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板を１枚ずつ処理する枚葉処理ユニットで処理した基板を、複数枚の基板を一括して処理するバッチ処理ユニットに搬送して処理する基板処理において、スループットを向上させることができる基板処理装置のスケジュール作成方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始確定時刻Ｔ１３と基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始確定時刻Ｔ２３は同じ時刻になるので、基板Ｗ１のバッチ処理と基板Ｗ２のバッチ処理とを一括して行うことができる。これにより、基板Ｗ１の枚葉処理が開始されてから基板Ｗ２のバッチ処理が終了するまで期間を短縮することができる。その結果、基板処理装置１０のスループットを向上させることができる。
【選択図】図５

Description

本発明は、基板処理装置のスケジュール作成方法に関し、特に、半導体装置用のウエハや液晶表示装置用のガラス基板等に施す基板処理装置のスケジュール作成方法に関する。

従来、基板に所定の処理を施す基板処理装置において、基板が投入されてから処理が終了するまでの基板の待機時間を短くしてスループットを向上させるために、基板処理装置の動作を制御するためのスケジュールがあらかじめ作成されていた。例えば、特許文献１には、搬送作業に必要なリソースを使用するとともに、搬送作業に伴うブランチリソースを、搬送作業の直前のリソースの使用と並行して使用するためのスケジュール作成方法が記載されている。このスケジュール作成方法によれば、搬送作業に直接関係しない作業を搬送作業の直前に行うので、搬送作業を迅速に行うことができ、スループットを向上させることができる。

特開２００３−５１４３４号公報

しかし、枚葉処理を行った基板を、次にバッチ処理を行うためにバッチ処理ユニットに搬送する際に、基板を搬送するタイミングによっては、バッチ処理を行うための待機時間が長くなり、スループットが低下する場合がある。これはブランチリソースの使用によって生じる問題ではないため、特許文献１に記載されたスケジュール作成方法を適用しても、スループットを向上させることはできない。

そこで、本発明は、基板を１枚ずつ処理する枚葉処理ユニットで処理した基板を、複数枚の基板を一括して処理するバッチ処理ユニットに搬送して処理する基板処理において、スループットを向上させることができる基板処理装置のスケジュール作成方法を提供することを目的とする。

本発明の第１の発明は、基板処理装置のスケジュール作成方法において、
基板の処理手順を定めるレシピーに基づいて処理され、待機時間を設けることが許されない複数の単位処理を行う際に、前記基板を１枚ずつ処理する第１単位処理を行うための第１処理ユニットと、複数枚の基板を一括処理する第２単位処理を行うための第２処理ユニットと、前記第１処理ユニットで処理された前記基板を前記第２処理ユニットに搬送するための第３処理ユニットとを備える基板処理装置のスケジュール作成方法であって、
前記基板処理装置内にあらかじめ準備された処理計画表に、前記基板毎に先行して処理すべき単位処理工程から順にかつ連続して開始予定時刻を書き込むことにより基本スケジュールを作成するスケジュール作成ステップと、
前記基本スケジュールに基づき、前記先行して処理すべき単位処理工程から順に処理するために、前記単位処理工程の開始時刻を前記基板の間で調整するスケジュール調整ステップとを備え、
前記スケジュール調整ステップは、前記第２処理ユニットによって処理する第２単位処理工程のうち先行して処理する先行単位処理工程の処理時間と、前記先行単位処理工程から遅れて処理する後続単位処理工程の処理時間とが重複している場合、前記先行単位処理工程の前記開始予定時刻を前記後続単位処理工程の前記開始予定時刻まで遅らせて開始時刻とすることを特徴とする、基板処理装置のスケジュール作成方法。

本発明の第２の発明は、本発明の第１の発明において、
前記スケジュール調整ステップは、前記第２処理ユニットによって処理する第２単位処理工程のうち先行して処理する前記先行単位処理工程の処理時間と、前記先行単位処理工程から遅れて処理する前記後続単位処理工程の処理時間とが重複していない場合、前記先行単位処理工程の前記開始予定時刻を開始時刻とするステップを含むことを特徴とする。

本発明の第３の発明は、本発明の第１または第２の発明において、
前記スケジュール調整ステップは、前記第２処理ユニットにおいて２枚以上の基板を処理し、かつそれらの前記単位処理工程の処理時間が互いに重複している場合、前記２枚以上の基板の前記単位処理工程のうち前記開始予定時刻が最も遅い前記単位処理工程を除くすべての前記単位処理工程の前記開始予定時刻を、前記開始時刻が最も遅い基板の前記単位処理工程の前記開始予定時刻まで遅らせて前記開始時刻とするステップを含むことを特徴とする。

本発明の第４の発明は、本発明の第１から第３のいずれかの発明において、
前記スケジュール調整ステップは、前記第１処理ユニットで先行して処理された基板を搬送する搬送処理工程の前記開始時刻がすでに確定している場合、前記先行して処理された基板に遅れて処理された基板を搬送する前記搬送処理工程の前記開始予定時刻を前記開始時刻が確定している前記搬送処理工程の終了時刻まで遅らせるステップを含むことを特徴とする。

本発明の第５の発明は、本発明の第１から第４のいずれかの発明において、
前記スケジュール調整ステップは、前記処理計画表に書き込まれた前記開始予定時刻が同一の複数の単位処理工程がある場合、前記複数の単位処理工程のうち、前記開始予定時刻が最先の単位処理工程、工程が最も遅れている単位処理工程、前記基板が最先に処理ユニットに入った単位処理工程の順に前記開始時刻の候補となる前記開始予定時刻を選定してスケジュールを調整するステップを含むことを特徴とする。

上記第１の発明によれば、スケジュール調整ステップにおいて、第２処理ユニットによって処理する第２単位処理工程のうち先行して処理する先行単位処理工程の処理時間と、先行単位処理工程から遅れて処理する後続単位処理工程の処理時間とが重複している場合、先行単位処理工程の開始予定時刻を後続単位処理工程の開始予定時刻まで遅らせて開始時刻とする。これにより、先行単位処理と後続単位処理とを一括して処理することが可能になるので、第１単位処理工程の開始時刻から第２単位処理工程の終了時刻までの期間を短縮することができる。その結果、基板処理装置のスループットを向上させることができる。

上記第２の発明によれば、第２処理ユニットによって処理する第２単位処理工程のうち先行して処理する先行単位処理工程の処理時間と、先行単位処理工程から遅れて処理する後続単位処理工程の処理時間とが重複していない場合、先行単位処理工程の開始予定時刻を開始時刻として、先行単位処理工程を先に処理することができる。このように、先行単位処理工程の処理時間と、先行単位処理工程から遅れて処理する後続単位処理工程の処理時間とが重複していない場合にも、第１単位処理工程の開始時刻から第２単位処理工程の終了時刻までの期間を短縮することができる。

上記第３の発明によれば、第２処理ユニットにおいて２枚以上の基板を処理し、かつそれらの単位処理工程の処理時間が互いに重複している場合、各基板の単位処理工程の開始予定時刻を、開始予定時刻が最も遅い基板の単位処理工程の開始予定時刻まで遅らせて開始時刻とする。これにより、第２処理ユニットですべての基板を一括して処理することができるので、第１単位処理工程の開始時刻から第２単位処理工程の終了時刻までの期間を短縮することができる。

上記第４の発明によれば、第１処理ユニットで先行して処理された基板を搬送する搬送処理工程の開始時刻がすでに確定している場合、先行して処理された基板に遅れて処理された基板を搬送する搬送処理工程の開始予定時刻を開始時刻が確定している搬送処理工程の終了時刻まで遅らせる。これにより、先行して処理された基板の搬送処理が終了後直ちに、遅れて処理された基板の搬送処理が開始されるので、第１単位処理工程の開始時刻から第２単位処理工程の終了時刻までの期間を短縮することができる。

上記第５の発明によれば、処理計画表に書き込まれた開始予定時刻が同一の複数の単位処理工程がある場合に、開始時刻の候補となる開始予定時刻を、第１単位処理工程の開始時刻から第２単位処理工程の終了時刻までの期間の短縮しやすい順に選定することができるので、開始予定時刻の選定が容易になる。これにより、基板処理装置のスループットを向上させることができる。

本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置のスケジュール作成方法に使用される基板処理装置の構成を示す平面図である。 図１に示す基板処理装置のブロック図である。 第１の実施形態の比較例における２枚の基板Ｗ１および基板Ｗ２を処理するためのタイミングチャートであり、より詳細には、（Ａ）は基板Ｗ１および基板Ｗ２の基本スケジュールのタイミングチャートであり、（Ｂ）は基板Ｗ１および基板Ｗ２を順に搬送して処理する場合のタイミングチャートである。 本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置のスケジュール作成方法を示すタイミングチャートであり、より詳細には、（Ａ）は基板Ｗ１および基板Ｗ２の基本スケジュールのタイミングチャートであり、（Ｂ）は基板処理装置のスケジュール作成方法の順序を示すタイミングチャートである。 本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置のスケジュール作成方法を示すタイミングチャートであり、より詳細には、（Ａ）および（Ｂ）は基板処理装置のスケジュール作成方法の順序を示すタイミングチャートである。 本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置のスケジュール作成方法のうち、処理計画表を作成するまでのフローチャートである。 本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置のスケジュール作成方法のうち、選択候補となる単位工程処理を選択するまでのフローチャートである。 本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置のスケジュール作成方法のうち、部分的に重なる単位処理工程の開始時刻を確定するまでのフローチャートである。 第１の実施形態の比較例における３枚の基板Ｗ１〜基板Ｗ３を処理するためのタイミングチャートであり、より詳細には、（Ａ）は基板Ｗ１〜基板Ｗ３の基本スケジュールのタイミングチャートであり、（Ｂ）は基板Ｗ１〜基板Ｗ３を順に搬送して処理する場合のタイミングチャートである。本発明の第３の実施形態に係る液晶表示装置の回路構成を示すブロック図である。 本発明の第２の実施形態に係る基板処理装置のスケジュール作成方法を示すタイミングチャートであり、より詳細には、（Ａ）は基板Ｗ１〜基板Ｗ３の基本スケジュールのタイミングチャートであり、（Ｂ）は基板処理装置のスケジュール作成方法の順序を示すタイミングチャートである。 本発明の第２の実施形態に係る基板処理装置のスケジュール作成方法を示すタイミングチャートであり、より詳細には、（Ａ）および（Ｂ）は基板処理装置のスケジュール作成方法の順序を示すタイミングチャートである。 本発明の第２の実施形態に係る基板処理装置のスケジュール作成方法を示すタイミングチャートであり、より詳細には、基板処理装置のスケジュール作成方法の順序を示すタイミングチャートである。 本発明の第２の実施形態の変形例に係る基板処理装置のスケジュール作成方法を示すタイミングチャートであり、より詳細には、（Ａ）は基板Ｗ１〜基板Ｗ３の基本スケジュールのタイミングチャートであり、（Ｂ）は本変形例により作成された基板処理装置のスケジュールのタイミングチャートである。

＜１．第１の実施形態＞
＜１．１ 基板処理装置の構成＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置１０のスケジュール作成方法に使用される基板処理装置１０の構成を示す平面図であり、図２は、図１に示す基板処理装置１０のブロック図である。図１に示すように、基板処理装置１０は、投入部２０と処理部３０とを備えている。投入部２０には、カセットに収納された基板を基板処理装置１０に投入するためのローダ部２１と、処理部３０から排出された基板をカセットに収納するためのアンローダ部２２と、ローダ部２１のカセットから基板を取り出したりアンローダ部２２のカセットに基板を収納したりする第１搬送用ロボット２５と、投入部２０と処理部３０との間で基板を受け渡しするための基板受渡台２６とが設けられている。

処理部３０は、１台の第２搬送用ロボット３５と３台の枚葉処理ユニット３１〜３３と１台のバッチ処理ユニット３４を含む。第２搬送用ロボット３５は処理部３０の中央に設置されており、枚葉処理ユニット３１〜３３とバッチ処理ユニット３４は第２搬送用ロボット３５を囲むように配置されている。第２搬送用ロボット３５は、基板受渡台２６に置かれた基板を枚葉処理ユニット３１〜３３のいずれかに搬送したり、枚葉処理が終了した基板を枚葉処理ユニット３１〜３３からバッチ処理ユニット３４に搬送したり、バッチ処理ユニット３４から基板受渡台２６に搬送したりする。なお、基板処理装置１０には、第２搬送用ロボット３５は１台しか設置されていないので、例えば枚葉処理ユニット３１〜３３のいずれかに基板を搬送しているときには、他の枚葉処理ユニット３１〜３３やバッチ処理ユニット３４に基板を搬送したり、それらから基板を取り出して搬送したりすることはできない。また、枚葉処理ユニット３１〜３３は、基板を１枚ずつ処理することができるユニットであり、バッチ処理ユニット３４は複数枚の基板を一括して処理することができるユニットである。なお、本明細書の「基板」には、半導体装置用のウエハや液晶表示装置用のガラス基板等が含まれる。また、枚葉処理ユニット３１〜３３、第２搬送用ロボット３５およびバッチ処理ユニット３４の上位概念として「処理ユニット」と呼ぶ場合がある。また、枚葉処理ユニット３１〜３３を「第１処理ユニット」、バッチ処理ユニット３４を「第２処理ユニット」、第２搬送用ロボット３５を「第３処理ユニット」とそれぞれ呼ぶ場合がある。

次に、基板処理装置１０の動作について説明する。作業者が、複数枚の基板を収納したカセットをローダ部２１にセットすると、第１搬送用ロボット２５は、カセットから基板を１枚ずつ取り出し、基板受渡台２６に置く。第２搬送用ロボット３５が、基板受渡台２６に置かれた基板を枚葉処理ユニット３１〜３２のいずれかに搬送してセットする。基板がセットされた枚葉処理ユニット３１〜３３は順次基板の処理を開始する。同様にして、第２搬送用ロボット３５は、空いている枚葉処理ユニット３１〜３３のいずれかに基板を搬送してセットし、枚葉処理ユニット３１〜３３はセットされた基板の処理を開始する。

次に、第２搬送用ロボット３５は、基板の処理が終了した枚葉処理ユニット３１〜３３から順に基板を取り出し、バッチ処理ユニット３４に搬送してセットする。バッチ処理ユニット３４は複数枚の基板を同時に処理することができるが、枚葉処理ユニット３１〜３３毎に枚葉処理の終了時刻が異なる。そこで、枚葉処理ユニット３１〜３３の終了時刻とバッチ処理ユニット３４の開始時刻と、第２搬送用ロボット３５による搬送処理が可能な時間とをあらかじめ調整し、基板処理装置１０のスループットを最も向上させることができるスケジュールをあらかじめ作成しておく。これにより、バッチ処理ユニット３４は、作成されたスケジュールに従って決められた枚数の基板がセットされるまで待機し、当該枚数の基板がセットされると処理を開始する。

バッチ処理ユニット３４による基板の処理が終了すると、第２搬送用ロボット３５は、バッチ処理ユニット３４から基板を取り出し、基板受渡台２６に置く。第１搬送用ロボット２５は、基板受渡台２６に置かれた基板を１枚ずつ受け取って、アンローダ部２２にセットされたカセットに収納する。このようにして、基板処理装置１０は、投入された複数枚の基板をまず枚葉処理ユニット３１〜３３で１枚ずつ処理し、次にバッチ処理ユニット３４で複数枚の基板を同時に処理して排出する。

図２に示すように、基板処理装置１０は制御部４０を含み、制御部４０には記憶部４１が接続されている。記憶部４１には、第１および第２搬送用ロボット２５、３５（搬送処理部）、３台の枚葉処理ユニット３１〜３３（枚葉処理部）、およびバッチ処理ユニット３４（バッチ処理部）での処理手順をそれぞれ定めたレシピーが書き込まれている。制御部４０は、各処理部を処理手順に従ってそれぞれ動作させるために、記憶部４１からレシピーを読み出し、レシピーに基づいて各処理部の動作を制御する。このとき、制御部４０は、複数枚の基板を各処理部で順に処理する際に、各処理部での基板の待機時間をできるだけ短くするように、あらかじめ作成されたスケジュールに従って各処理部を制御する。

＜１．２ スケジュールの作成方法＞
本明細書においてスケジュール作成方法の説明を行う際に使用する用語を以下にまとめて説明する。レシピーに基づく処理中に待機時間を設けることが許されない工程を「単位処理工程」と呼ぶ。スケジュールは単位処理工程を組み合わせることによって作成される。この単位処理工程には、枚葉処理ユニット３１〜３２を使用して枚葉処理を行う枚葉処理工程と、第２搬送用ロボット３５を使用して搬送処理を行う搬送処理工程と、バッチ処理ユニット３４を使用してバッチ処理を行うバッチ処理工程とが含まれ、枚葉処理工程を「第１単位処理工程」、バッチ処理工程を「第２単位処理工程」とそれぞれ呼ぶ場合がある。

また、基板毎に、単位処理工程を他の基板とは無関係に連続して配置することにより作成したスケジュールを「基本スケジュール」と呼ぶ。基本スケジュールでは、各単位処理工程の未確定の開始時刻および終了時刻をそれぞれ「開始予定時刻」および「終了予定時刻」と呼び、各単位処理工程の確定した開始時刻である「開始（確定）時刻」、および終了時刻である「終了（確定）時刻」と区別する。

＜１．２．１ 比較例＞
本実施形態の基板処理装置１０のスケジュール作成方法について説明する前に、従来の基板処理装置のスケジュール作成方法を比較例として説明する。図３は、比較例における２枚の基板Ｗ１および基板Ｗ２を処理するためのタイミングチャートであり、より詳細には、図３（Ａ）は基板Ｗ１および基板Ｗ２の基本スケジュールのタイミングチャートであり、図３（Ｂ）は基板Ｗ１および基板Ｗ２を順に搬送して処理する場合のタイミングチャートである。

本比較例では、２枚の基板Ｗ１および基板Ｗ２を処理する場合について説明する。この場合、基板処理装置１０において、２台の枚葉処理ユニット３１、３２と、１台の第２搬送用ロボット３５と、１台のバッチ処理ユニット３４を使用する。また、バッチ処理ユニット３４は最大で２枚の基板Ｗ１、Ｗ２を同時に処理することができる。

図３（Ａ）に示す基本スケジュールでは、２枚の基板Ｗ１、Ｗ２のそれぞれについて、枚葉処理を行う枚葉処理工程Ｆ１、Ｆ２と、搬送処理を行う搬送処理工程Ｃ１、Ｃ２と、バッチ処理を行うバッチ処理工程Ｇ１、Ｇ２をそれぞれ連続して行うことが示されている。まず、基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１の開始予定時刻ｔ１１に、枚葉処理ユニット３１を使用して基板Ｗ１の枚葉処理が開始される。少し遅れて、基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２の開始予定時刻ｔ２１に、枚葉処理ユニット３２を使用して基板Ｗ２の枚葉処理が開始される。基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１の開始予定時刻ｔ１２に基板Ｗ１の枚葉処理が終了し、第２搬送用ロボット３５を使用して基板Ｗ１の搬送処理が開始される。少し遅れて、基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻ｔ２２に基板Ｗ２の枚葉処理が終了し、基板Ｗ２の搬送処理が開始される。最後に、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３に基板Ｗ１の搬送処理が終了し、バッチ処理ユニット３４を使用して基板Ｗ１のバッチ処理が開始される。少し遅れて、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３に基板Ｗ２の搬送処理が終了し、バッチ処理ユニット３４を使用して基板Ｗ２のバッチ処理が開始される。その後、まず基板Ｗ１のバッチ処理時間の終了予定時刻ｔ１４に基板Ｗ１のバッチ処理が終了し、次に基板Ｗ２のバッチ処理時間の終了予定時刻ｔ２４に基板Ｗ２のバッチ処理が終了する。

しかし、基板処理装置１０には、第２搬送用ロボット３５およびバッチ処理ユニット３４はそれぞれ１台ずつしか設置されていない。このため、図３（Ａ）の基本スケジュールに示すように、基板Ｗ１の搬送処理を行っているときにさらに基板Ｗ２の搬送処理を行ったり、基板Ｗ１のバッチ処理を行っているときにさらに基板Ｗ２のバッチ処理を行ったりすることはできない。

そこで、基板Ｗ１と基板Ｗ２を順に搬送して処理する方法を説明する。図３（Ｂ）に示すように、時刻Ｔ１１において枚葉処理ユニット３１を使用して基板Ｗ１の枚葉処理が開始され、次に少し遅れて時刻Ｔ２１に枚葉処理ユニット３２を使用して基板Ｗ２の枚葉処理が開始される。時刻Ｔ１２で基板Ｗ１の枚葉処理が終了し搬送処理が開始される。

基板Ｗ２の枚葉処理が終了した時刻には、第２搬送用ロボット３５は、基板Ｗ１の搬送処理を行っているので、枚葉処理が終了した基板Ｗ２の搬送処理を直ちに行うことはできない。そこで、基板Ｗ１の搬送処理が終了するまで基板Ｗ２は枚葉処理ユニット３２で待機する。

時刻Ｔ１３において基板Ｗ１の搬送処理が終了しても、基板Ｗ２はまだ枚葉処理ユニット３１〜３２で待機しているので、バッチ処理ユニット３４を使用して基板Ｗ１のバッチ処理が開始される。なお、基板Ｗ１のバッチ処理が開始される時刻Ｔ１３には、第２搬送用ロボット３５は空いているが、第２搬送用ロボット３５はバッチ処理が終了した基板Ｗ１をバッチ処理ユニット３４から先に取り出す必要があるので、時刻Ｔ１３において基板Ｗ２の搬送処理を開始することはできない。時刻Ｔ１４において基板Ｗ１のバッチ処理（バッチ処理ユニット３４からの基板Ｗ１の搬送も含む）が終了すると、時刻Ｔ２２に待機していた基板Ｗ２が枚葉処理ユニット３２からバッチ処理ユニット３４に搬送され、搬送処理が終了した時刻Ｔ２３に基板Ｗ２のバッチ処理が開始される。その後、時刻Ｔ２４に基板Ｗ２のバッチ処理が終了する。

このように、基板処理装置１０では、基板Ｗ２の枚葉処理が終了してから搬送処理が開始されるまでの待機時間が長くなるので、基板Ｗ１の枚葉処理が開始されてから基板Ｗ２のバッチ処理が終了するまで期間（時刻Ｔ１１から時刻Ｔ２４までの期間）が長くなり、スループットが低下するという問題がある。

＜１．２．２ 本実施形態のスケジュール作成方法＞
次に、本実施形態に係る基板処理装置１０のスケジュール作成方法について説明する。図４および図５は、本実施形態に係る基板処理装置１０のスケジュール作成方法を示すタイミングチャートである。より詳細には、図４（Ａ）は基板Ｗ１および基板Ｗ２の基本スケジュールのタイミングチャートであり、図４（Ｂ）、図５（Ａ）および図５（Ｂ）は基板処理装置１０のスケジュール作成方法の順序を示すタイミングチャートである。

また、本実施形態では、図４（Ａ）に示すように、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１と基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２とが部分的に重なっている。なお、図４（Ａ）〜図５（Ｂ）において、実線で囲んだ各単位処理工程は開始時刻が確定した工程を示し、点線で囲んだ各単位処理工程は開始時刻が未確定の工程を示す。なお、図４（Ａ）に示す基本スケジュールのタイミングチャートは、図３（Ａ）に示す基本スケジュールのタイミングチャートと同じであるため、その説明を省略する。

図４（Ｂ）に示すように、基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１の開始予定時刻ｔ１１と基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２の開始予定時刻ｔ２１とを比較し、開始予定時刻が早い基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１において複数枚の基板を同時に処理することはできない。また、基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１と部分的に重なる開始時刻が確定した他の単位処理工程はない。そこで、基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１の開始予定時刻ｔ１１を開始時刻Ｔ１１として確定する。

次に、基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１の開始予定時刻ｔ１２と基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２の開始予定時刻ｔ２１とを比較し、開始予定時刻が早い基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２において複数枚の基板を同時に処理することはできない。また、基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２と部分的に重なる開始時刻が確定した他の単位処理工程はない。そこで、基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２の開始予定時刻ｔ２１を開始時刻Ｔ２１として確定する。

図５（Ａ）に示すように、基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１の開始予定時刻ｔ１２と基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻ｔ２２とを比較し、開始予定時刻が早い基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１において複数枚の基板を同時に処理することはできない。また、基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１と部分的に重なる開始時刻が確定した他の単位処理工程はない。そこで、基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１の開始予定時刻ｔ１２を開始時刻Ｔ１２として確定する。

次に、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３と基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻ｔ２２とを比較し、開始予定時刻が早い基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２において複数枚の基板を同時に処理することはできない。また、基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２は、開始時刻Ｔ１２がすでに確定している基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１と重なっている。そこで、基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻を開始予定時刻ｔ２２よりも遅らせ、基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１の終了時刻すなわち基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３と同じ時刻にする。その結果、基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻と基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３は同じ時刻になる。次に、基板Ｗ１と基板Ｗ２の工程を比較し、遅れている基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２において複数枚の基板を同時に処理することができず、また基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２と重なる基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始時刻は未確定である。そこで、遅らせた基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻ｔ２２を基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始時刻Ｔ２２として確定する。

図５（Ｂ）に示すように、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３と基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３とを比較し、開始予定時刻が早い基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１において複数枚の基板を同時に処理することができる。また、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１は、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２と部分的に重なっている。そこで、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３を基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３まで遅らせ、遅らせた開始予定時刻ｔ１３を基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始時刻Ｔ１３として確定する。

次に、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３を確定する必要がある。この時点で基板Ｗ１の各単位処理工程の開始時刻はすべて確定しているので、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３が早いか否を比較することはできない。この場合、基板Ｗ２は、基板Ｗ１に比べて工程が遅れているので、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２において複数枚の基板を同時に処理することができる。また、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３は基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の遅らせた開始予定時刻ｔ１３と同じ時刻である。そこで、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３を基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始時刻Ｔ２３として確定する。この開始確定時刻Ｔ２３は開始確定時刻Ｔ１３と同じ時刻である。これにより、２枚の基板Ｗ１、Ｗ２は開始確定時刻Ｔ１３にバッチ処理が同時に開始され、終了確定時刻Ｔ１４にバッチ処理が同時に終了する。

次に、本実施形態のスケジュールの作成方法を、フローチャートを用いて説明する。図６〜図８は、本実施形態に係る基板処理装置１０のスケジュール作成方法を示すフローチャートである。

まず図６に示すように、ステップＳ１１において、基板処理装置１０で処理する基板を選択し、ステップＳ１２において、選択した基板の単位処理工程を記憶部４１内に設けた処理計画表４１ａに書き込む。

次に、ステップＳ１３において、すべての単位処理工程について処理計画表４１ａへの書き込みが終了したか否かを判定する。その結果、「ＮＯ」と判定された場合、すなわち処理計画表４１ａへの書き込みが終了していない単位処理工程があると判定された場合にはステップＳ１２に戻る。一方、「ＹＥＳ」と判定された場合、すなわちすべての単位処理工程が処理計画表４１ａへの書き込みが終了していると判定された場合にはステップＳ１４に進む。

次に、ステップＳ１４において、基板処理装置１０で処理するすべての基板について処理計画表４１ａへの単位処理工程の書き込みが終了し、処理計画表４１ａの作成が終了したか否かを判定する。その結果、「ＮＯ」と判定された場合、すなわちすべての基板について処理計画表４１ａの作成が終了していないと判定された場合にはステップＳ１１に戻る。一方、「ＹＥＳ」と判定された場合、すなわちすべての基板について処理計画表４１ａの作成が終了していると判定された場合にはステップＳ１５に進む。これにより、基板処理装置１０で処理するすべての基板について、単位固定処理が連続して書き込まれた基本スケジュールが完成する。

ステップＳ１５において、開始時刻が未確定の単位処理工程が複数あるか否かを判定する。その結果、「ＮＯ」と判定された場合、すなわち開始時刻が未確定の単位処理工程が１つしかないと判定された場合には、ステップＳ１６において、その単位処理工程を選択候補とし、後述するステップＳ２２に進む。一方、「ＹＥＳ」と判定された場合、すなわち開始時刻が未確定の単位処理工程が複数あると判定された場合にはステップＳ１７に進む。

ステップＳ１７において、開始時刻が未確定の複数の単位処理工程のうち、開始予定時刻が最先の単位処理工程があるか否かを判定する。その結果、「ＹＥＳ」と判定された場合、すなわち開始予定時刻が最先の単位処理工程があると判定された場合には、ステップＳ１８において、その単位処理工程を選択候補とし、後述するステップＳ２２に進む。一方、「ＮＯ」と判定された場合、すなわち開始予定時刻が最先の単位処理工程がなく、各単位処理工程の開始予定時刻が同じであると判定された場合には、ステップＳ１９に進む。

ステップＳ１９において、工程が最も遅れている基板があるか否かを判定する。その結果、「ＹＥＳ」と判定された場合、すなわち工程が最も遅れている基板があると判定された場合には、ステップＳ２０において、その基板の単位処理工程を選択候補とし、後述するステップＳ２２に進む。一方、「ＮＯ」と判定された場合、すなわち工程が最も遅れている基板はなく、各基板の工程は同じであると判定された場合には、ステップＳ２１に進む。

ステップＳ２１において、基板が処理ユニットに先に入った単位処理工程を選択候補とする。次に、ステップＳ２２において、選択候補となった単位処理工程において複数枚の基板を同時に処理することが可能か否かを判定する。その結果、「ＮＯ」と判定された場合、すなわち選択候補となった単位処理工程において複数枚の基板を同時に処理することができないと判定された場合には、後述するステップＳ２４に進む。一方、「ＹＥＳ」と判定された場合、すなわち選択候補となった単位処理工程において複数枚の基板を同時に処理することができると判定された場合には、ステップＳ２３に進む。

ステップＳ２３において、選択候補の単位処理工程の処理時間は、同一工程である他の単位処理工程の処理時間と重複しているか否かを判定する。その結果、「ＮＯ」と判定された場合、すなわち選択候補の単位処理工程の処理時間は、同一工程である他の単位処理工程の処理時間と重複していないと判定された場合には、後述するステップＳ２２に進む。一方、「ＹＥＳ」と判定された場合、すなわち選択候補の単位処理工程の処理時間は、同一工程である他の単位処理工程の処理時間と重複していると判定された場合には、ステップＳ２４に進む。

ステップＳ２４において、選択候補となった単位処理工程の開始予定時刻を、開始予定時刻が最も遅い単位処理工程の開示予定時刻まで遅らせ、遅らせた開始予定時刻を開始時刻として確定し、後述するステップＳ２７に進む。

ステップＳ２５において、選択候補となった単位処理工程の開始予定時刻が、開始時刻が確定している他の単位処理工程と部分的に重なっているか否かを判定する。その結果、「ＹＥＳ」と判定された場合、すなわち選択候補となった単位処理工程が、開始時刻が確定している他の単位処理工程と部分的に重なっていると判定された場合には、ステップＳ２６に進む。ステップＳ２６において、選択候補の単位処理工程の開始予定時刻を、開始時刻が確定している他の単位処理工程の終了確定時刻まで遅らせ、ステップＳ１９に戻る。

一方、ステップＳ２５において「ＮＯ」と判定された場合、すなわち選択候補となった単位処理工程が、開始時刻が確定している他の単位処理工程と全く重なっていないと判定された場合には、ステップＳ２６に進む。ステップＳ２７において、選択候補となる単位処理工程の開始予定時刻を開始時刻として確定し、ステップＳ２８に進む。

ステップＳ２８では、開始時刻が未確定の単位処理工程がまだ他にあるか否かを判定する。その結果、「ＹＥＳ」と判定された場合、すなわち開始時刻が未確定の単位処理工程がまだ他にあると判定された場合には、ステップＳ１５に戻る。一方、「ＮＯ」と判定された場合、すなわち開始時刻が未確定の単位処理工程がないと判定された場合には、処理を終了する。

＜１．３ 効果＞
本実施形態によれば、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始確定時刻Ｔ１３と基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始確定時刻Ｔ２３は同じ時刻になるので、基板Ｗ１のバッチ処理と基板Ｗ２のバッチ処理とを一括して行うことができる。これにより、基板Ｗ１の枚葉処理が開始されてから基板Ｗ２のバッチ処理が終了するまで期間（時刻Ｔ１１から時刻Ｔ２４までの期間）を、比較例の場合に比べて短縮することができる。その結果、基板処理装置１０のスループットを向上させることができる。

＜２．第２の実施形態＞
本発明の第２の実施形態に係る基板処理装置１０のスケジュール作成方法について説明する。本実施形態の基板処理装置１０のスケジュール作成に使用される基板処理装置１０の構成は、図１および図２に示す第１の実施形態に係る基板処理装置１０の構成と同じであるので、それらの説明を省略する。本実施形態では、第１の実施形態と異なり、３枚の基板Ｗ１〜基板Ｗ３を処理する場合について説明する。

＜２．１ スケジュールの作成方法＞
＜２．１．１ 比較例＞
本実施形態に係る基板処理装置１０のスケジュール作成方法について説明する前に、従来の基板処理装置のスケジュール作成方法を比較例として説明する。図９は、比較例における３枚の基板Ｗ１〜基板Ｗ３を処理するためのタイミングチャートであり、より詳細には、図９（Ａ）は基本スケジュールのタイミングチャートであり、図９（Ｂ）は基板Ｗ１〜基板Ｗ３を順に搬送して処理する場合のタイミングチャートである。

本比較例では、３枚の基板Ｗ１〜基板Ｗ３を処理する場合について説明する。この場合、基板処理装置１０において、３台の枚葉処理ユニット３１〜３３と、１台の第２搬送用ロボット３５と、１台のバッチ処理ユニット３４を使用する。また、バッチ処理ユニット３４は最大で３枚の基板Ｗ１〜基板Ｗ３を同時に処理することができる。

図９（Ａ）に示す基本スケジュールでは、３枚の基板Ｗ１〜基板Ｗ３のそれぞれについて、枚葉処理を行う枚葉処理工程と、搬送処理を行う搬送処理工程と、バッチ処理を行うバッチ処理工程を連続して行うことが示されている。図９（Ａ）は、基板Ｗ３の基本スケジュールが追加されていることを除き、図３（Ａ）に示された基本スケジュールと同じであるので、その説明を省略する。

基板処理装置１０には、第２搬送用ロボット３５およびバッチ処理ユニット３４はそれぞれ１台ずつしか設置されていないので、図３（Ａ）に示す基本スケジュールの場合と同様に、基板Ｗ１の搬送処理を行っているときにさらに基板Ｗ２や基板Ｗ３の搬送処理を行ったり、基板Ｗ１のバッチ処理を行っているときにさらに基板Ｗ２や基板Ｗ３のバッチ処理を行ったりすることはできない。

そこで、図９（Ｂ）に示すように、まず、時刻Ｔ１１において基板Ｗ１の枚葉処理を開始し、次に少し遅れて時刻Ｔ２１で基板Ｗ２の枚葉処理が開始され、さらに少し遅れて時刻Ｔ３１で基板Ｗ３の枚葉処理が開始される。時刻Ｔ１２に基板Ｗ１の枚葉処理が終了すれば、直ちに基板Ｗ１の搬送処理が開始される。時刻Ｔ１３に基板Ｗ１の搬送処理が終了すれば直ちにバッチ処理が開始される。基板Ｗ１の搬送処理を行っているときに、基板Ｗ２および基板Ｗ３の枚葉処理が順に終了するが、第２搬送用ロボット３５は基板Ｗ１の搬送処理を行っているので、基板Ｗ２および基板Ｗ３は枚葉処理の終了後も枚葉処理ユニット３２、３３でそれぞれ待機する。

時刻Ｔ１４に基板Ｗ１のバッチ処理（バッチ処理ユニット３４からの基板Ｗ１の搬送も含む）が終了すれば、直ちに基板Ｗ２の搬送処理が開始される。すなわち、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の終了時刻Ｔ１４と同一の時刻である時刻Ｔ２２に、待機している基板Ｗ２を枚葉処理ユニット３２から取り出し、バッチ処理ユニット３４に搬送する搬送処理が開始される。さらに、時刻Ｔ２３に基板Ｗ２の搬送処理が終了すれば、直ちに基板Ｗ２のバッチ処理が開始される。

同様に、時刻Ｔ２４に基板Ｗ２のバッチ処理（バッチ処理ユニット３４からの基板Ｗ２の搬送も含む）が終了すれば、直ちに基板Ｗ３の搬送処理が開始される。すなわち、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の終了時刻Ｔ２４と同一の時刻である時刻Ｔ３２に、待機している基板Ｗ３を枚葉処理ユニット３３から取り出し、バッチ処理ユニット３４に搬送する搬送処理が開始される。さらに、時刻Ｔ３３に基板Ｗ３の搬送処理が終了すれば、直ちに基板Ｗ３のバッチ処理が開始される。そして、時刻Ｔ３４に基板Ｗ３のバッチ処理が終了すれば、基板Ｗ１〜基板Ｗ３について、枚葉処理、搬送処理およびバッチ処理の一連の処理が終了する。

このように、基板Ｗ１〜基板Ｗ３を順に搬送して処理する場合も、基板Ｗ２および基板Ｗ３の待機時間が長くなるので、基板Ｗ１の枚葉処理が開始されてから基板Ｗ３のバッチ処理が終了するまで期間（時刻Ｔ１１から時刻Ｔ３４までの期間）が長くなり、スループットが低下するという問題がある。

＜２．１．２ 本実施形態のスケジュール作成方法＞
次に、本実施形態に係る基板処理装置１０のスケジュール作成方法について説明する。図１０〜図１２は、本実施形態に係る基板処理装置１０のスケジュール作成方法を示すタイミングチャートである。より詳細には、図１０（Ａ）は基板Ｗ１〜基板Ｗ３の基本スケジュールのタイミングチャートであり、図１０（Ｂ）、図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）および図１２は基板処理装置１０のスケジュール作成方法の順序を示すタイミングチャートである。

また、本実施形態では、図１０（Ａ）に示すように、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１と、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２と、基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３とが部分的に重なっている。図１０（Ａ）〜図１２において、実線で囲んだ単位処理工程は開始時刻が確定した工程を示し、点線で囲んだ単位処理工程は開始時刻が未確定の工程を示す。なお、図１０（Ａ）に示す基本スケジュールのタイミングチャートは、図９（Ａ）に示す基本スケジュールのタイミングチャートと同じであるため、その説明を省略する。

図１０（Ｂ）に示すように、基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１の開始予定時刻ｔ１１と、基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２の開始予定時刻ｔ２１と、基板Ｗ３の枚葉処理工程Ｆ３の開始予定時刻ｔ１１とを比較し、開始予定時刻が最も早い基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１において複数枚の基板を同時に処理することはできない。また、基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１と部分的に重なる開始時刻が確定した他の単位処理工程はない。そこで、基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１の開始予定時刻ｔ１１を開始時刻Ｔ１１として確定する。

次に、基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１の開始予定時刻ｔ１２と、基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２の開始予定時刻ｔ２１と、基板Ｗ３の枚葉処理工程Ｆ３の開始予定時刻ｔ３１とを比較し、開始予定時刻が最も早い基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２において複数枚の基板を同時に処理することはできない。また、基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２と部分的に重なる開始時刻が確定した他の単位処理工程はない。そこで、基板Ｗ２の枚葉処理工程Ｆ２の開始予定時刻ｔ２１を開始時刻Ｔ２１として確定する。

次に、基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１の開始予定時刻ｔ１２と、基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻ｔ２２と、基板Ｗ３の枚葉処理工程Ｆ３の開始予定時刻ｔ３１とを比較し、開始予定時刻が最も早い基板Ｗ３の枚葉処理工程Ｆ３を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ３の枚葉処理工程Ｆ３において複数枚の基板を同時に処理することはできない。また、基板Ｗ３の枚葉処理工程Ｆ３と部分的に重なる開始時刻が確定した他の単位処理工程はない。そこで、基板Ｗ３の枚葉処理工程Ｆ３の開始予定時刻ｔ３１を開始時刻Ｔ３１として確定する。

図１１（Ａ）に示すように、基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１の開始予定時刻ｔ１２と、基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻ｔ２２と、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始予定時刻ｔ３２とを比較し、開始予定時刻が最も早い基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１において複数枚の基板を同時に処理することはできない。また、基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１と部分的に重なる開始時刻が確定した他の単位処理工程はない。そこで、基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１の開始予定時刻ｔ１２を開始時刻Ｔ１２として確定する。

次に、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３と、基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻ｔ２２と、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始予定時刻ｔ３２とを比較し、開始予定時刻が最も早い基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２において複数枚の基板を同時に処理することはできない。また、基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２は、開始時刻が確定している基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ２と重なっている。そこで、基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻ｔ２２を、開始時刻が確定している基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１の終了確定時刻まで遅らせ、基板Ｗ１の搬送処理工程Ｃ１の終了時刻すなわち基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３と同じ時刻にする。その結果、基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻ｔ２２と基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３は同じ時刻になる。次に、基板Ｗ１と基板Ｗ２の工程を比較し、遅れている基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２において複数枚の基板を同時に処理することができず、また基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２と重なる開始時刻が確定した他の単位処理工程はない。そこで、遅らせた基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始予定時刻ｔ２２を基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の開始時刻Ｔ２２として確定する。

次に、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３と、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３と、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始予定時刻ｔ３２とを比較し、開始予定時刻が最も早い基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３において複数枚の基板を同時に処理することはできない。また、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３は、開始時刻が確定している基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２と重なっている。そこで、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始予定時刻ｔ３２を、開始時刻が確定している基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の終了確定時刻まで遅らせ、基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２の終了時刻すなわち基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３と同じ時刻にする。その結果、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始予定時刻と基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ２３は同じ時刻になる。次に、基板Ｗ２と基板Ｗ３の工程を比較し、遅れている基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３において複数枚の基板を同時に処理することができず、また基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３と重なる開始時刻が確定した他の単位処理工程はない。そこで、遅らせた基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始予定時刻ｔ２３を基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始時刻Ｔ３２として確定する。

図１１（Ｂ）に示すように、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３と、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３と、基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３の開始予定時刻ｔ３３とを比較し、開始予定時刻が最も早い基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１において複数枚の基板を同時に処理することができる。また、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１は、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２および基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３と部分的に重なっている。そこで、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３を、開始予定時刻が最も遅い基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３の開始予定時刻ｔ３３まで遅らせ、遅らせた開始予定時刻ｔ１３を基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始時刻Ｔ１３として確定する。

次に、基板Ｗ１の各単位処理工程の開始時刻が確定したので、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３と基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３の開始予定時刻ｔ３３とを比較し、開始予定時刻が早い基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２において複数枚の基板を同時に処理することができる。また、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２は、基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３と部分的に重なっている。そこで、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３を、開始予定時刻が遅い基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３の開始予定時刻ｔ３３まで遅らせ、遅らせた開始予定時刻ｔ２３を基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始時刻Ｔ２３として確定する。

次に、基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３の開始予定時刻ｔ３３を確定する必要がある。図１２に示すように、この時点で基板Ｗ１および基板Ｗ２の各単位処理工程の開始時刻はすべて確定しているので、基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３の開始予定時刻ｔ３３が早いか否を比較することはできない。この場合、基板Ｗ３は、基板Ｗ１および基板Ｗ２に比べて工程が遅れているので、基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３において複数枚の基板を同時に処理することができる。また、また、基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３の開始予定時刻ｔ３３は基板Ｗ１および基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ１、Ｇ２の遅らせた開始予定時刻ｔ１３、ｔ２３と同じ時刻である。そこで、基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３の開始予定時刻ｔ３３を開始時刻Ｔ３３として確定する。これらの開始確定時刻Ｔ２３、Ｔ３３は開始確定時刻Ｔ１３と同じ時刻である。これにより、３枚の基板Ｗ１〜Ｗ３は開始確定時刻Ｔ１３にバッチ処理が同時に開始され、終了確定時刻Ｔ１４にバッチ処理が同時に終了する。

＜２．２ 効果＞
本実施形態によれば、枚葉処理が終了した３枚の基板Ｗ１〜Ｗ３について、基板Ｗ３のバッチ処理が可能になる時刻まで基板Ｗ１および基板Ｗ２を待機させ、基板Ｗ１〜基板Ｗ３のバッチ処理を同時に行う。すなわち、基板Ｗ１〜基板Ｗ３のバッチ処理の各開始確定時刻Ｔ１３、Ｔ２３、Ｔ３３を同じ時刻にする。これにより、基板Ｗ１の枚葉処理を開始してから基板Ｗ３のバッチ処理が終了するまでの期間（基板Ｗ１の開始確定時刻Ｔ１１から基板Ｗ３の終了確定時刻Ｔ３４までの期間）を比較例の期間に比べて短縮できるので、基板処理装置１０のスループットを向上させることができる。

＜２．３ 変形例＞
図１３は、本変形例に係る基板処理装置１０のスケジュール作成方法を示すタイミングチャートである。より詳細には、図１３（Ａ）は基板Ｗ１〜基板Ｗ３の基本スケジュールのタイミングチャートであり、図１３（Ｂ）は本変形例により作成された基板処理装置１０のスケジュールのタイミングチャートである。

本変形例も３枚の基板Ｗ１〜基板Ｗ３を処理する。しかし、図１０（Ａ）に示す基本スケジュールと異なり、図１３（Ａ）に示すように、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１と基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２工程とは部分的に重なっているが、基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３は、バッチ処理工程Ｇ１、Ｇ２のいずれとも全く重なっていない。このため、図１３（Ｂ）に示すタイミングチャートのうち、基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１から基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２までの各開始時刻を確定する手順は、上記本実施形態の場合と同じであるが、その後の手順は本実施形態の場合と異なる。そこで、基板Ｗ１の枚葉処理工程Ｆ１から基板Ｗ２の搬送処理工程Ｃ２までの各開始時刻を確定する手順は省略し、その後の手順について説明する。

基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３と、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３と、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始予定時刻ｔ３２とを比較し、開始予定時刻が最も早い基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１において複数枚の基板を同時に処理することができる。また、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１は、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２と部分的に重なっている。そこで、基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始予定時刻ｔ１３を、開始予定時刻が最も遅い基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３まで遅らせ、遅らせた開始予定時刻ｔ１３を基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の開始時刻Ｔ１３として確定する。

次に基板Ｗ１の各単位処理工程の開始時刻はすべて確定したので、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３と、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始予定時刻ｔ３２とを比較し、開始予定時刻が早い基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２において複数枚の基板を同時に処理することができる。また、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３は開始予定時刻が最も遅いバッチ処理工程である。そこで、基板Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ２の開始予定時刻ｔ２３をバッチ処理工程Ｇ２の開始時刻Ｔ２３として確定する。この開始確定時刻Ｔ２３は開始確定時刻Ｔ１３と同じ時刻である。これにより、３枚の基板Ｗ１〜Ｗ３のうち２枚の基板Ｗ１、Ｗ２は、開始確定時刻Ｔ１３にバッチ処理が同時に開始され、終了確定時刻Ｔ１４に同時に終了する。

次に、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始予定時刻ｔ３２を確定する必要がある。図１３（Ｂ）に示すように、この時点で基板Ｗ１および基板Ｗ２の各単位処理工程の開始時刻はすべて確定しているので、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始予定時刻ｔ３２が早いか否を比較することはできない。この場合、基板Ｗ３は、基板Ｗ１および基板Ｗ２に比べて工程が遅れているので、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３において複数枚の基板を同時に処理することができない。また、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３は、開始時刻が確定した基板Ｗ１、Ｗ２のバッチ処理工程Ｇ１、Ｇ２と重なる。そこで、基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始予定時刻ｔ３２を基板Ｗ１のバッチ処理工程Ｇ１の終了確定時刻Ｔ１４まで遅らせ、遅らせた開始予定時刻ｔ３２を基板Ｗ３の搬送処理工程Ｃ３の開始時刻Ｔ３２として確定する。

次に、基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３を選択候補とする。選択候補となる基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｇ３において複数枚の基板を同時に処理することができる。しかし、バッチ処理工程Ｇ３と重複する他の単位処理工程はない。そこで、基板Ｗ３のバッチ処理工程Ｂ３の開始予定時刻ｔ３３を開始時刻Ｔ３３として確定する。これにより、基板Ｗ３の搬送処理およびバッチ処理は基板Ｗ１、Ｗ２のバッチ処理の終了確定時刻Ｔ１４後に単独で行われる。

本変形例によれば、基板Ｗ１の枚葉処理を開始してから基板Ｗ３のバッチ処理が終了するまでの期間（基板Ｗ１の開始確定時刻Ｔ１１から基板Ｗ３の終了確定時刻Ｔ３４までの期間）は、本実施例の場合の期間に比べて長くなるが、比較例の期間よりも短縮できるので、基板処理装置１０のスループットを向上させることができる。

＜３．その他＞
上記実施形態では、基板を１枚ずつ処理する枚葉処理を行い、次に基板を搬送して複数枚の基板を同時に処理するバッチ処理を行う場合について説明した。しかし、枚葉処理の代わりに複数枚の基板を同時に処理する第１バッチ処理を行い、バッチ処理の代わりに、第１バッチ処理よりも多くの基板を同時に処理する第２バッチ処理を行ってもよい。この場合、第１バッチ処理から第２バッチ処理に基板を搬送する搬送処理では、第１バッチ処理で同時に処理可能な基板の枚数と同じ枚数またはそれ以下の枚数の基板が同時に搬送される。

１０ … 基板処理装置
２０ … 投入部
２５ … 第１搬送用ロボット
３０ … 処理部
３１〜３３ … 枚葉処理ユニット（第１処理ユニット）
３４ … バッチ処理ユニット（第２処理ユニット）
３５ … 第２搬送用ロボット（第３処理ユニット）
４０ … 制御部
４１ … 記憶部
４１ａ … 処理計画表

Claims (5)

1. 基板の処理手順を定めるレシピーに基づいて処理され、待機時間を設けることが許されない複数の単位処理を行う際に、前記基板を１枚ずつ処理する第１単位処理を行うための第１処理ユニットと、複数枚の基板を一括処理する第２単位処理を行うための第２処理ユニットと、前記第１処理ユニットで処理された前記基板を前記第２処理ユニットに搬送するための第３処理ユニットとを備える基板処理装置のスケジュール作成方法であって、
   前記基板処理装置内にあらかじめ準備された処理計画表に、前記基板毎に先行して処理すべき単位処理工程から順にかつ連続して開始予定時刻を書き込むことにより基本スケジュールを作成するスケジュール作成ステップと、
   前記基本スケジュールに基づき、前記先行して処理すべき単位処理工程から順に処理するために、前記単位処理工程の開始時刻を前記基板の間で調整するスケジュール調整ステップとを備え、
   前記スケジュール調整ステップは、前記第２処理ユニットによって処理する第２単位処理工程のうち先行して処理する先行単位処理工程の処理時間と、前記先行単位処理工程から遅れて処理する後続単位処理工程の処理時間とが重複している場合、前記先行単位処理工程の前記開始予定時刻を前記後続単位処理工程の前記開始予定時刻まで遅らせて開始時刻とすることを特徴とする、基板処理装置のスケジュール作成方法。
2. 前記スケジュール調整ステップは、前記第２処理ユニットによって処理する第２単位処理工程のうち先行して処理する前記先行単位処理工程の処理時間と、前記先行単位処理工程から遅れて処理する前記後続単位処理工程の処理時間とが重複していない場合、前記先行単位処理工程の前記開始予定時刻を開始時刻とするステップを含むことを特徴とする、請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法。
3. 前記スケジュール調整ステップは、前記第２処理ユニットにおいて２枚以上の基板を処理し、かつそれらの前記単位処理工程の処理時間が互いに重複している場合、前記２枚以上の基板の前記単位処理工程のうち前記開始予定時刻が最も遅い前記単位処理工程を除くすべての前記単位処理工程の前記開始予定時刻を、前記開始時刻が最も遅い基板の前記単位処理工程の前記開始予定時刻まで遅らせて前記開始時刻とするステップを含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法。
4. 前記スケジュール調整ステップは、前記第１処理ユニットで先行して処理された基板を搬送する搬送処理工程の前記開始時刻がすでに確定している場合、前記先行して処理された基板に遅れて処理された基板を搬送する前記搬送処理工程の前記開始予定時刻を前記開始時刻が確定している前記搬送処理工程の終了時刻まで遅らせるステップを含むことを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法。
5. 前記スケジュール調整ステップは、前記処理計画表に書き込まれた前記開始予定時刻が同一の複数の単位処理工程がある場合、前記複数の単位処理工程のうち、前記開始予定時刻が最先の単位処理工程、工程が最も遅れている単位処理工程、前記基板が最先に処理ユニットに入った単位処理工程の順に前記開始時刻の候補となる前記開始予定時刻を選定してスケジュールを調整するステップを含むことを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法。

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