JP2009289819A - 塗布、現像装置及び塗布、現像方法並びに記憶媒体 - Google Patents

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Abstract

【課題】検査モジュールのトラブルが解消された後に、速やかに製品用基板を当該検査モジュールに搬送して検査を行なうこと。
【解決手段】前記製品用基板が搬送経路における前記検査モジュールよりもｎ個前の基準モジュールを通過するときに、前記検査モジュールに対して、当該製品用基板が属するロットについて検査を行なうための検査予約信号を出力し、前記検査モジュールにトラブルが発生している間においては、前記製品用基板に対する検査予約信号の出力を禁止して、当該検査モジュールへ搬送される予定の製品用基板を当該検査モジュールの次の搬送順序のモジュールに搬送する。当該検査モジュールのトラブルが解消し、確認検査用基板を優先的に検査モジュールに搬送するときには、前記確認検査用基板に対する検査予約信号を出力して前記検査モジュールに搬送し、当該検査モジュールの確認検査を行なう。
【選択図】図８

Description

本発明は、例えば半導体ウエハやＬＣＤ基板（液晶ディスプレイ用ガラス基板）などの基板に対してレジスト液の塗布処理及び露光後の現像処理を行う塗布、現像装置及び塗布、現像方法並びに記憶媒体に関する。
半導体デバイスやＬＣＤ基板等の基板に対してレジスト液を塗布し、このレジストを所定のパターンで露光した後に、現像処理を行なうことにより基板上に所望のレジストパターンを作成する一連の処理は、一般にレジスト液の塗布処理や現像処理を行う塗布、現像装置に、露光装置を接続したシステムを用いて行われる。このシステムは、基板をなす半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）が収納されたウエハカセットが載置され、このウエハカセットに対してウエハの受け渡しを行う受け渡しアームを備えたキャリアブロックと、キャリアブロックから搬送されたウエハに対してレジスト液の塗布処理や現像処理を行う処理ブロックと、この処理ブロックと露光装置とを接続するインターフェイスブロックと、を一列に配列して構成されている。
ところでレジストパターンが形成されたウエハに対しては、所定の検査、例えばレジストパターンの線幅、レジストパターンと下地パターンとの重なり具合、及び現像欠陥などの検査が行なわれ、合格と判定されたウエハのみが次工程に行われる。この際、塗布、現像装置内に検査モジュールを設けるインラインシステムを採用した方が便利であることから、本発明者らは、図１０に示すように、キャリアブロックＢ１と処理ブロックＢ３との間に複数の検査モジュール１１を備えた検査ブロックＢ２を介在させる構成を採用している。図中Ｂ４はインターフェイスブロック、Ｂ５は露光装置である。
このようなシステムにおいては、前記ウエハカセット１０内のウエハは、キャリアブロックＢ１から検査ブロックＢ２を素通りして処理ブロックＢ３に搬送され、ここでレジスト液の塗布処理が行われた後、インターフェイスブロックＢ４を介して露光装置Ｂ５に搬送され、所定の露光処理が行われる。そして露光後のウエハは処理ブロックＢ３にて現像処理が行われた後、検査ブロックＢ２にて所定の検査が行なわれるようになっている。一方検査を行なわないウエハに対しては、処理ブロックＢ３にて現像処理が行われた後、検査ブロックＢ２を素通りしてキャリアブロックＢ１に戻されるようになっている。
この際、例えばロット毎に、当該ロット内のウエハに対して、検査を行なうか否かや、検査を行なう場合はその検査の種類が予め決められている。そして例えば検査を行なう場合には、ウエハカセット１０内からウエハがキャリアブロックＢ１の受け渡しアーム（図示せず）により取り出される際に、塗布、現像装置の制御を行なう制御部（図示せず）から検査を行なう検査モジュールに対して検査予約信号が出力され、検査モジュールでは検査予約信号を受け付けたウエハに対して、検査予約信号の受け付け順に検査を行なうようになっている。
このように検査モジュール１１にウエハを搬送する前に、当該検査モジュール１１に対して予め検査予約信号を出力するのは、搬送プログラムの作成を容易にするためであり、また検査モジュール１１の準備に所定の時間がかかるため、ウエハに対するレジストパターン形成処理と並行して検査モジュールの準備を行うことで、前記処理後のウエハが検査ブロックＢ２に搬送されたときには直ちに検査を行なうようにして、スループットの低下を抑えるためである。
ところで検査モジュール１１にトラブルが発生したときには、当該検査モジュール１１を用いて検査を行なう予定のウエハに対しては、検査モジュール１１のトラブルが解消され、復帰するまでバイパス搬送することが行なわれている。このバイパス搬送とは、当該検査モジュール１１に搬送する代わりに検査ブロックＢ２に設けられたバッファモジュール１２にウエハを一旦搬送し、ここから当該検査モジュールの次の搬送先例えばキャリアブロックＢ１に搬送するということである。
また検査モジュール１１のトラブルが解消したときには、確認検査用のウエハをキャリアブロックＢ１から直接検査ブロックＢ２に搬送し、前記検査モジュール１１で前記確認検査用のウエハに対して検査を行ない、当該検査モジュール１１が正常であるか否かを確認するための確認検査を行なっている。この確認検査用ウエハは当該検査モジュール１１における検査が終了した後、再びキャリアブロックＢ１に戻される。
しかしながら、上述の構成では、検査モジュール１１のトラブルが解消し、使用できる状態になったにも係わらず、検査モジュール１１に搬送されず、検査を受けることができないウエハが多いという問題がある。この点について図１１を用いて具体的に説明する。図１１中横軸は時間であり、図１１中１段目はキャリアブロックＢ１においてウエハカセット１０からウエハが取り出されるタイミングと、当該ウエハカセット１０にウエハが戻されるタイミングを示している。また図１１中２段目は、検査モジュール１１におけるウエハの処理状態を示し、３段目はバッファモジュール１２へのウエハの搬送状態を示している。
先ず１段目について、１ロットが２５枚のウエハにより設定され、各ロットＡ〜Ｆのウエハを１つの検査モジュール１１にて検査した後、次の搬送先であるキャリアブロックＢ１に戻す場合を例にして説明する。各ロットＡ〜Ｆの左端の時刻は、キャリアブロックＢ１において当該ロットＡ〜Ｆのウエハカセット１０から最初のウエハが取り出される時刻であり、各ロットＡ〜Ｆの右端の時刻は、検査を含む全ての処理が終了した当該ロットＡ〜Ｆの最後のウエハが当該ウエハカセット１０に戻されるタイミングを示している。つまり時刻Ｔ１は、ロットＡの最初のウエハＡ１がウエハカセット１０Ａから取り出される時刻を示し、時刻Ｔ４はロットＡの最後のウエハＡ２５がウエハカセット１０Ａに戻される時刻を示している。そして各ロットＡ〜Ｆでは、ウエハカセット１０から最初のウエハＷ１が取り出されるときに、ウエハの検査を行なう予定の検査モジュール１１に制御部から検査予約信号が出力されるようになっている。つまりロットＡでは、最初のウエハＡ１がウエハカセット１０Ａから取り出される時刻Ｔ１に検査予約信号ａが出力される。
また２段目について説明すると、各ロットＡ〜Ｆの左端の時刻は、各ロットＡ〜Ｆの最初のウエハが当該検査モジュール１１に搬入される時刻に相当し、各ロットＡ〜Ｆの右端の時刻は、当該ロットＡ〜Ｆの最後のウエハが当該検査モジュール１１から搬出される時刻に相当する。例えば時刻Ｔ２はロットＡの最初のウエハＡ１が検査モジュール１１に搬入されるタイミング、時刻Ｔ４はロットＡの最後のウエハＡ２５が検査モジュール１１から搬出されると共に、次のロットＢの最初のウエハＢ１が当該検査モジュール１１に搬入されるタイミングを示している。
ここで検査モジュール１１に対しては、検査ブロックＢ２に設けられた搬送手段によりウエハの受け渡しが行われるが、この搬送手段は例えば２本のアームを備えており、一方のアームで検査モジュール１１から検査後のウエハＡ２５を取り出し、続いて他方のアームにて保持されている検査前のウエハＢ１を当該検査モジュール１１に受け渡すようになっている。従ってウエハＡ２５の取り出しとウエハＢ１の受け渡しとの間には若干のタイムラグが存在するが、その時間は極めて短いため、ここでは図示の便宜上同じ時刻にて示している。また時刻Ｔ４は１段目にて、当該ウエハＡ２５がウエハカセット１０Ａに戻される時刻に相当するが、検査モジュール１１から取り出されたウエハＡ２５は直ちにキャリアブロックＢ１に搬送されるので、この図では便宜上これらを同じ時刻で表している。以下も同様である。
また時刻Ｔ３は使用予定の検査モジュール１１にトラブルが発生した時刻、時刻Ｔ５は当該検査モジュール１１のトラブルが解消し、使用できるようになった時刻を夫々示している。この例ではロットＡのウエハを検査している途中で当該検査モジュール１１にトラブルが発生したことになる。
ところで既述のように、ロットＡ〜Ｆの最初のウエハがウエハカセット１０から取り出されるときに、検査モジュール１１に検査予約信号が出力されるが、検査モジュール１１にトラブルが発生し、使用できない場合には、制御部ではこの検査予約信号の出力を禁止する。従ってこの例では、時刻Ｔ３と時刻Ｔ５との間は検査モジュール１１がトラブルにより使用できない状態であり、ロットＤとロットＥについてはこのトラブル発生中に最初のウエハがウエハカセット１０から取り出されるため、制御部ではこれらのロットＤ，Ｅに対しての検査予約信号を出力しない。
そして検査モジュール１１のトラブルが解消され、使用できるようになったときに、確認検査用のウエハＣＷをウエハカセット１０から払い出すが、この検査確認用ウエハＣＷに対してもウエハカセット１０から払い出されたときに、検査モジュール１１に検査予約信号ｗを出力する。このため確認検査用ウエハＣＷの検査予約信号ｗは、ロットＣの検査予約信号ｃの後の順番として検査モジュール１１に受け付けられる。
ところで、検査モジュール１１が使用できない時間（時刻Ｔ３から時刻Ｔ５までの時間）では、このときに当該検査モジュール１１に搬送されるウエハであって、検査モジュール１１にトラブルが発生する前に検査予約信号が出力されたウエハ、この例ではロットＡの途中から最後までのウエハ、ロットＢ及びロットＣのウエハは、既に検査モジュール１１に搬送される状態であるため、検査モジュール１１の代わりに検査ブロックＢのバッファモジュール１２にバイパス搬送される。この際この例ではロットＣの途中で検査モジュール１１のトラブルは解消されるが、ロットＣの全ウエハについて検査予約信号ｃが予め出力されているので、ロットＣの全ウエハはバッファモジュール１２にバイパス搬送される。
一方ロットＤ，Ｅの全ウエハのように、検査予約信号が出力されないウエハに対しては、検査が行なわれないウエハと同様に扱われ、スキップ搬送が行なわれる。このスキップ搬送とは、検査を行なわないウエハのように、当該検査モジュール１１の次の搬送先この例ではキャリアブロックＢ１に搬送することをいう。
ここで前記確認用ウエハＣＷの検査予約信号ｗは、ロットＣのウエハＷの検査予約信号ｃの後に受け付けられているので、確認ウエハＷはロットＣのウエハＷをバイパス搬送した後に検査モジュール１１に搬送され、当該検査モジュール１１にて確認検査が行なわれることになる。
そしてこの確認用ウエハＣＷによる確認検査が終了してから、当該検査モジュール１１によるロットのウエハに対する検査が再開されるが、既にロットＤ、ロットＥのウエハＷはスキップ搬送されることが決定しているため、この例では、ロットＦのウエハから検査モジュール１１に搬送され、当該モジュール１１にて検査が行われる。
このように、時刻Ｔ５にて検査モジュール１１のトラブルが解消され、タイミング的にはロットＣの途中からは検査ができるようになったにも関わらず、ロットＤ，ロットＥについてはスキップ搬送されてしまうため、これらロットＤ,Ｅのウエハのように検査を行なうことができないウエハが多くなってしまう。
また重ね合わせ検査を行なう重なり検査モジュール１３では、一日一回定期検査（メンテナンス）を行っており、この定期検査中は当該重なり検査モジュール１３にはウエハＷを搬送できず、確認用ウエハＣＷによる当該重なり検査モジュール１３の確認検査が行なわれてから定期検査を終了しているため同様の問題が発生する。この問題点について、具体的に図１２を用いて説明する。図１２も既述の図１１と同様に記載されており、図１２中横軸は時間を示し、図１２中１段目はキャリアブロックＢ１においてウエハカセット１０からウエハが取り出されるタイミングと、当該ウエハカセット１０にウエハが戻されるタイミングを示している。また図中２段目は重なり検査モジュール１３におけるウエハの処理状態を示し、３段目はバッファモジュール１２へのウエハの搬送状態を示している。
この場合も各ロットＡ〜Ｆでは、ウエハカセット１０から最初のウエハが取り出されるときに、重なり検査モジュール１３に検査予約信号を出力するようになっている。この例では、時刻Ｔ１３〜時刻Ｔ１５の間が定期検査時間であり、この定期検査は、確認用ウエハＣＷによる当該重なり検査モジュール１３の確認検査の時間も含まれている。
ここで重なり検査モジュール１３の定期検査時間内は前記制御部ではロットのウエハに対する検査予約信号の出力を禁止しているため、この例では、前記定期検査時間内にキャリアブロックＢ１から払い出されるロットＤ、ロットＥのウエハについては検査予約信号が出力されない。そして検査予約信号が出力されたロットＡ〜ＣのウエハＷについて、定期検査中に当該検査モジュール１３に搬送予定のウエハはバイパス搬送され、検査予約信号が出力されないロットＤ，ロットＥのウエハＷについてはスキップ搬送されるようになっている。
そして前記確認用ウエハＣＷの検査予約信号ｗは、ロットＣの検査予約信号ｃの後に当該重なり検査モジュール１３に受け付けられるため、ロットＣのウエハのバイパス搬送後に当該重なり検査モジュール１３に搬送される。従ってロットＤのスキップ搬送中に当該検査モジュール１３に搬送されて確認検査が行なわれ、当該検査が終了して当該検査モジュール１３から搬出されたタイミングで定期検査終了となる。そしてこの定期検査が終了してから、重なり検査モジュール１３によるロットのウエハに対する検査が再開されるため、この例では、ロットＦのウエハから重なり検査モジュール１３にて検査が行われることになる。
従ってこの例においては、重なり検査モジュール１３では確認用ウエハＣＷが受けられる状態になったとしても、当該確認用ウエハＣＷはロットＣのバイパス搬送後に搬送されるため、確認検査の開始が遅れ、その分定期検査時間が長引いてしまうという問題や、時刻Ｔ１５にて重なり検査モジュール１３の定期検査が終了したにも関わらず、ロットＤ，ロットＥのウエハＷについてはスキップ搬送されてしまうため、検査を行なうことができないウエハが多くなってしまうという問題が発生する。
ところで特許文献１には、カセットステーションと処理ステーションとの間に複数の検査装置を備えた検査ブロックを介在させた構成が記載されている。ここに記載されているシステムは、カセットステーションから検査ステーションを介して処理ステーションにウエハを搬送し、処理を終えたウエハを一旦キャリアステーションのキャリア内に戻した後、ここからウエハを検査ステーションに搬送して検査を行なうリスタート制御と呼ばれる搬送制御を行うものである。しかしながらこの特許文献１には、検査装置にトラブルが発生した場合や、検査装置のメンテナンスを行う場合のウエハの搬送制御については考慮されておらず、この特許文献１の構成によっても、本発明の課題を解決することはできない。
特開２００５−１７５０５２号公報
本発明は、このような事情の下になされたものであり、その目的は、検査モジュールのトラブルが解消された後に、当該検査モジュールに製品用基板と確認検査用基板のどちらを優先的に搬送できるか選択することにより、処理の自由度を高めると共に、確認検査を行なう場合でも速やかに製品用基板を当該検査モジュールに搬送して検査を行なうことができる技術を提供することにある。また本発明の他の目的は、検査モジュールにおける定期検査に要する時間を短縮し、かつこの定期検査後に速やかに前記製品用基板を当該検査モジュールに搬送して検査を行なうことができる技術を提供することにある。
このため本発明は、複数枚の製品用基板がロット毎に収納された製品用キャリアが載置され、前記キャリアと隣接するブロックとの間で基板の受け渡しを行う受け渡し手段を備えたキャリアブロックと、前記キャリアブロックから受け渡された製品用基板に対するレジストの塗布処理、及びレジストが塗布されかつ露光された製品用基板に対する現像処理を行うためのモジュールを含む複数のモジュールと、これらモジュールに対して製品用基板の受け渡しを行うための第１の基板搬送手段と、を備えた処理ブロックと、現像処理された製品用基板について検査予約の受け付け順に検査を行なうための検査モジュールと、この検査モジュールに対して基板の受け渡しを行う第２の基板搬送手段と、を含む検査ブロックと、前記検査モジュールが正常であるか否かを確認するための確認検査用基板を収納する収納部と、トラブルが発生した前記検査モジュールに、このトラブルが解消した後前記製品用基板と前記確認検査用基板のどちらを優先的に搬送するかをオペレータが選択するための選択手段と、前記受け渡しアーム及び第２の基板搬送手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記製品用基板が搬送経路における前記検査モジュールよりもｎ（ｎは１以上の整数）個前の基準モジュールを通過するときに、前記検査モジュールに対して、当該製品用基板が属するロットについて検査を行なうための検査予約信号を出力するステップと、前記検査モジュールにトラブルが発生している間においては、前記製品用基板に対する検査予約信号の出力を禁止して、当該検査モジュールへ搬送される予定の製品用基板を当該検査モジュールの次の搬送順序のモジュールに搬送するステップと、当該検査モジュールのトラブルが解消し、前記選択手段により製品用基板が選択されているときには、前記製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除するステップと、当該検査モジュールのトラブルが解消し、前記選択手段により確認検査用基板が選択されているときには、前記収納部から前記確認検査用基板を搬出すると共に、この確認検査用基板に対する検査予約信号を出力するステップと、前記確認検査用基板による前記検査モジュールの確認検査が終了した後に、前記製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除するステップと、を含むプログラムを備えたことを特徴とする。
また本発明の他の発明は、複数枚の製品用基板がロット毎に収納された製品用キャリアが載置され、前記キャリアと隣接するブロックとの間で基板の受け渡しを行う受け渡し手段を備えたキャリアブロックと、前記キャリアブロックから受け渡された製品用基板に対するレジストの塗布処理、及びレジストが塗布されかつ露光された製品用基板に対する現像処理を行うためのモジュールを含む複数のモジュールと、これらモジュールに対して製品用基板の受け渡しを行うための第１の基板搬送手段と、を備えた処理ブロックと、現像処理された製品用基板について検査予約の受け付け順に検査を行なうための検査モジュールと、この検査モジュールに対して基板の受け渡しを行う第２の基板搬送手段と、を含む検査ブロックと、前記検査モジュールが正常であるか否かを確認するための確認検査用基板を収納する収納部と、前記受け渡しアーム及び第２の基板搬送手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記製品用基板が搬送経路における前記検査モジュールよりもｎ（ｎは１以上の整数）個前の基準モジュールを通過するときに、前記検査モジュールに対して、当該製品用基板が属するロットについて検査を行なうための検査予約信号を出力するステップと、前記検査モジュールの定期検査が行なわれている間においては、製品用基板に対する検査予約信号の出力を禁止して、当該検査モジュールへ搬送される予定の製品用基板を当該検査モジュールの次の搬送順序のモジュールに搬送するステップと、当該検査モジュールの定期検査が終了する前に、前記収納部から前記確認検査用基板を搬出すると共に、この確認検査用基板に対する検査予約信号を出力するステップと、前記確認検査用基板による前記検査モジュールの確認検査が終了した後に、前記製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除するステップと、を含むプログラムを備えたことを特徴とする。
ここで前記検査ブロックはキャリアブロックと処理ブロックとの間に設けられるように構成することができる。また前記収納部は確認検査用基板が収納されたキャリアであり、このキャリアは前記キャリアブロックに載置されるように構成してもよい。さらに前記基準モジュールを通過するときに前記検査予約信号が出力される製品用基板は、当該製品用基板が属するロットの先頭の製品用基板とすることができる。さらにまた前記製品用基板が基準モジュールを通過するときとは、前記製品用基板が前記基準モジュールに搬入又は搬出されるときとすることができる。
さらにまた本発明の塗布、現像方法は、キャリアブロックから受け渡された製品用基板に対して処理ブロックにてレジストの塗布処理、及びレジストが塗布された露光された製品用基板に対する現像処理を行い、この現像処理された製品用基板に対して検査モジュールにて検査を行なってからキャリアブロックに戻すと共に、確認検査用基板により前記検査モジュールが正常であるか否かを確認するための確認検査が行なわれる塗布、現像方法において、
前記製品用基板が搬送経路における前記検査モジュールよりもｎ（ｎは１以上の整数）個前の基準モジュールを通過するときに、前記検査モジュールに対して、当該製品用基板が属するロットについて検査を行なうための検査予約信号を出力する工程と、前記検査モジュールにて前記製品用基板に対して、検査予約信号の受け付け順に検査を行なう工程と、トラブルが発生した前記検査モジュールに、このトラブルが解消した後前記製品用基板と前記確認検査用基板のどちらを優先的に搬送するかをオペレータが選択する工程と、前記検査モジュールにトラブルが発生している間においては、製品用基板に対する検査予約信号の出力を禁止して、当該検査モジュールへ搬送される予定の製品用基板を当該検査モジュールの次の搬送順序のモジュールに搬送する工程と、当該検査モジュールのトラブルが解消し、優先的に搬送される基板として製品用基板が選択されているときには、製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除する工程と、当該検査モジュールのトラブルが解消し、優先的に搬送される基板として確認検査用基板が選択されているときには、前記確認検査用基板に対する検査予約信号を出力して、この確認検査用基板を当該検査モジュールに搬送する工程と、前記確認検査用基板による前記検査モジュールの確認検査が終了した後に、製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除する工程と、を含むことを特徴とする。
また本発明の他の塗布、現像方法は、キャリアブロックから受け渡された製品用基板に対して処理ブロックにてレジストの塗布処理、及びレジストが塗布された露光された製品用基板に対する現像処理を行い、この現像処理された製品用基板に対して検査モジュールにて検査を行なってからキャリアブロックに戻すと共に、確認検査用基板により前記検査モジュールが正常であるか否かを確認するための確認検査が行なわれる塗布、現像方法において、
前記製品用基板が搬送経路における前記検査モジュールよりもｎ（ｎは１以上の整数）個前の基準モジュールを通過するときに、前記検査モジュールに対して、当該製品用基板が属するロットについて検査を行なうための検査予約信号を出力する工程と、前記検査モジュールにて前記製品用基板に対して、検査予約信号の受け付け順に検査を行なう工程と、前記検査モジュールの定期検査が行なわれている間においては、製品用基板に対する検査予約信号の出力を禁止して、当該検査モジュールへ搬送される予定の製品用基板を当該検査モジュールの次の搬送順序のモジュールに搬送する工程と、当該検査モジュールの定期検査が終了する前に、前記確認検査用基板に対する検査予約信号を出力して、この確認検査用基板を当該検査モジュールに搬送する工程と、前記確認検査用基板による前記検査モジュールの確認検査が終了した後に、製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除する工程と、を含むことを特徴とする。
さらに本発明の記憶媒体は、製品用基板に対してレジスト液を塗布し、レジスト液が塗布され露光された製品用基板に対して現像処理を行う塗布、現像装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、前記コンピュータプログラムは、前記塗布、現像方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする。
検査モジュールにトラブルが発生した場合には、このトラブル解消後に当該検査モジュールに製品用基板をと確認検査用基板のどちらを優先的に搬送するかを選択することができ、処理の自由度が高まる。また前記検査モジュールに、確認検査用基板を優先的に搬送する場合には、製品用基板については検査予約信号の出力が禁止されているので、確認検査用基板の検査予約信号が検査モジュールに優先的に受け付けられる。このため当該検査モジュールでは速やかに確認検査が実施され、この確認検査の後に検査が再開される製品用基板の検査を速やかに行なうことができる。
また他の例においては、検査モジュールに対して定期検査が行なわれる場合には、この定期検査中は各製品用基板について検査予約信号の出力が禁止されているので、確認検査用基板の検査予約信号が検査モジュールに優先的に受付けられる。このため当該検査モジュールでは速やかに確認検査基板による確認検査が実施されるため定期検査時間が短縮され、この確認検査の後に検査が再開される製品用基板の検査を速やかに行なうことができる。
先ず本発明の一実施の形態に係る塗布、現像装置２について図１の平面図及び図２の斜視図を参照しながら説明する。この塗布、現像装置２には、塗布、現像処理を行うための製品用基板であるウエハＷが収納される製品ウエハ用キャリアＣ１及び、確認検査用基板である確認用ウエハＣＷが収納される確認ウエハ用キャリアＣ２が、塗布、現像装置２の外部から不図示の搬送機構により搬入出される。ここで前記確認用ウエハ用キャリアＣ２は収納部に相当する。図中２１は前記キャリアＣ１，Ｃ２が載置されるキャリアブロックである。例えば製品ウエハＷ用キャリアＣ１にはウエハＷが例えば２５枚密閉収納され、キャリアＣ１毎にウエハＷのロットが異なっている。ここでロットとは、処理の種別毎にグループに纏められた基板群である。
前記キャリアブロック２１には、前記キャリアＣ１，Ｃ２を載置する載置部２２と、この載置部２２から見て前方の壁面に設けられる開閉部２３と、開閉部２３を介してキャリアＣ１，Ｃ２からウエハＷを取り出すための受け渡し手段をなす受け渡しアーム２４とが設けられている。この受け渡しアーム２４は、アームが昇降自在、左右、前後に移動自在かつ鉛直軸まわりに回転自在に構成されていて、後述する制御部１００からの指令に基づいて制御されるようになっている。
前記キャリアブロック２１の奥側には、各々筐体にて周囲を囲まれる検査ブロック４０及び処理ブロックＳ１がこの順に接続されている。検査ブロック４０は、例えば図３に示すように、例えば２個の受け渡しステージＴＲＳ１，ＴＲＳ２と、例えば３個の検査モジュールＩＭ１〜ＩＭ３と、これらステージＴＲＳ１，ＴＲＳ２と、検査モジュールＩＭ１〜ＩＭ３及び、後述する処理ブロックＳ１の受け渡しステージＴＲＳ３,ＴＲＳ４との間でウエハの受け渡しを行う第２の基板搬送手段である搬送アーム４と、処理ブロックＳ１から検査ブロック４０に搬入されたウエハＷを一時的に滞留させるバッファモジュールＢとを備えている。前記受け渡しステージＴＲＳ１，ＴＲ２は例えば上下に積層されており、また検査モジュールＩＭ１〜ＩＭ３も上下に積層されている。前記搬送アーム４は２本のアームを備えており、前記アームが昇降自在、左右、前後に移動自在かつ鉛直軸まわりに回転自在に構成されていて、後述する制御部１００からの指令に基づいて制御されるようになっている。
前記受け渡しステージＴＲＳ１は、例えばキャリアＣ１，Ｃ２から取り出され、これから処理ブロックＳ１に払い出されるウエハが載置されるためのものであり、受け渡しステージＴＲＳ２は検査ブロック４０からキャリアブロック２１に搬送されるウエハが載置されるためのものである。
またこの例では、検査モジュールＩＭ１は、ウエハ上のマクロ欠陥を検出するマクロ検査モジュールであり、検査モジュールＩＭ２はウエハ上に形成された膜の厚みやパターンの線幅を測定する膜厚・線幅検査モジュールであり、検査モジュールＩＭ３は、露光の重ね合わせのずれつまり今回形成されたパターンと下地パターンとの位置ずれを検出する重ね合わせ検査モジュールである。これら各検査モジュールは、夫々後述する制御部１００から出力される検査予約信号を受け付ける予約信号受付部４１，４２，４３を備えており、検査予約信号を受け付けた順番でウエハ（製品用ウエハＷ及び確認用ウエハＣＷ）に対して所定の検査を行なうようになっている。
さらに各検査モジュールＩＭ１〜ＩＭ３は、夫々信号送受信部４４，４５，４６を備えており、何らかのトラブルが発生したときに所定のアラームを出力すると共に、このトラブルが解消されたときに前記制御部１００にトラブル解消信号や、確認検査受付可能信号、定期検査終了信号等を出力したり、制御部１００からの定期検査指令を受信したりすることが行なわれている。前記アラームは、警報やランプの点灯、後述する制御部１００の表示画面への表示等により出力される。
処理ブロックＳ１には、手前側から順に加熱・冷却系の処理モジュールを多段化した３個の棚モジュール２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃと、後述する液処理モジュールとのウエハＷの受け渡しを行うための２個の第１の基板搬送手段であるメインアーム２６Ａ，２６Ｂとが交互に配列して設けられている。前記メインアーム２６Ａ，２６Ｂは、いずれも２本のアームを備えており、前記アームが昇降自在、左右、前後に移動自在かつ鉛直軸まわりに回転自在に構成されていて、後述する制御部１００からの指令に基づいて制御されるようになっている。
前記棚モジュール２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ及びメインアーム２６Ａ，２６Ｂはキャリアブロック２１側から見て前後一列に配列されており、各々の接続部位Ｇには図示しないウエハ搬送用の開口部が形成されていて、ウエハＷは処理ブロックＳ１内において、一端側の棚モジュール２５Ａから他端側の棚モジュール２５Ｃまで自由に移動できるようになっている。またメインアーム２６Ａ，２６Ｂは、キャリアブロック２１から見て前後方向に配列される棚モジュール２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ側の一面側と、例えば右側の液処理モジュール側の一面側と、左側の一面をなす背面部とで構成される区画壁により囲まれる空間内に置かれている。
メインアーム２６Ａ，２６ＢによりウエハＷの受け渡しが行われる位置には、レジストを塗布する塗布装置（ＣＯＴ）や、現像処理を行なう現像装置（ＤＥＶ）等の液処理装置を多段化した液処理モジュール２８Ａ，２８Ｂが設けられている。この液処理モジュール２８Ａ，２８Ｂは例えば図２に示すように、各液処理装置が収納される処理容器２９が複数段例えば５段に積層された構成とされている。
また前記棚モジュール２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃについては、ウエハＷの受け渡しを行うための受け渡しステージ（ＴＲＳ）や、現像処理後にウエハＷの加熱処理を行うための加熱モジュール（ＬＨＰ）や、レジスト液の塗布の前後や現像処理の前にウエハＷの冷却処理を行うための冷却モジュール（ＣＰＬ）の他、レジスト液の塗布後、露光処理前のウエハＷの加熱処理を行う加熱モジュール（ＰＡＢ）や露光処理後のウエハＷの加熱処理を行う加熱モジュール（ＰＥＢ）などが例えば上下１０段に割り当てられている。ここで前記受け渡しステージＴＲＳ３，ＴＲＳ４は、キャリアブロック２１と処理ブロックＳ１との間でウエハＷの受け渡しを行うために用いられる。
処理ブロックＳ２における棚モジュール２５Ｃの奥側には第１のインターフェイスブロックＳ２及び第２のインターフェイスブロックＳ３を介して露光装置Ｓ４が接続されている。前記第１のインターフェイスブロックＳ２は、前記処理ブロックＳ１の棚モジュール２５Ｃの冷却モジュールＣＰＬや加熱モジュールＰＥＢに対してウエハＷの受け渡しを行う受け渡しアーム３１と、周辺露光装置やバッファカセット等が多段に配置された棚モジュール３２Ａと、ウエハＷの受け渡しステージや高精度温調モジュール等が多段に配置された棚モジュール３２Ｂと、を備えている。
また前記第２のインターフェイスブロックＳ３には、受け渡しアーム３３が設けられており、これにより第１のインターフェイスブロックＳ２の棚モジュール３２Ｂや露光装置Ｓ４のインステージ３４及びアウトステージ３５に対してウエハＷの受け渡しを行うようになっている。
ここでメインアーム２６Ａ，２６Ｂは、受け渡し対象のモジュールに置かれているウエハＷを取り出し、次いで保持している次のウエハＷを当該モジュールに対して受け渡すように構成されている。そしてメインアーム２６Ａ，２６Ｂは、予め作成された搬送スケジュール（ウエハＷを搬送するモジュールの順番）に従って、各モジュールに置かれたウエハＷを次のモジュールに１枚ずつ移し替えていく。ここでモジュールとはウエハＷが置かれる個所であり、前記各種処理モジュールのみならず、キャリアや受け渡しステージ、バッファカセットも含まれる。
この塗布、現像装置２は、例えばコンピュータを含む制御部１００を備えており、図４にその構成を示している。図中５０はバスであり、各種演算を行うためのＣＰＵ５１及びワークメモリ５２、プログラム格納部５３が接続されている。前記プログラム格納部５３には、後述するような塗布、現像装置２の作用、つまりウエハの処理やウエハの受け渡しの制御などが実施されるように命令が組まれた例えばソフトウェアからなるプログラムが格納される。そして当該プログラムが制御部１００に読み出されることにより、制御部１００は受け渡しアーム２４や搬送アーム４、メインアーム２６Ａ，２６Ｂ等に指令を出力し、後述する塗布、現像装置２の作用を制御する。なおこのプログラムは、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスク、メモリーカード等の記憶媒体に収納された状態でプログラム格納される。
さらに制御部１００には、ホストコンピュータ１０１が接続されており、このホストコンピュータ１０１は、例えば塗布、現像装置２に搬送されるキャリアＣ１毎に塗布、現像処理後に検査を行なうロットが入っているか、また検査を行なう場合にはどの検査モジュールを使用するか、複数の検査モジュールを使用する場合にはどのような順序で使用するか等という処理のレシピの情報を含む識別コードを設定し、また各キャリアＣ１が塗布、現像装置２に搬入されるタイミングを管理している。キャリアＣ１が塗布、現像装置２に搬送されるまでにホストコンピュータ１０１は、その識別コードに対応する信号を制御部１００に送信し、制御部１００がその信号に基づいてプログラムを読み出し、読み出されたプログラムにより、受け渡しアーム２４や搬送アーム４等の搬送動作も含めて一連の処理工程が制御されるようになっている。
さらにまた制御部１００には、各ロットの個々のウエハＷについて、塗布、現像装置２内のどの場所に位置しているかを把握するためのウエハ監視部５４と、検査予約信号出力部５５と、オペレータが操作する検査除外ボタン５６と、表示部５７と、確認検査部５８と、アーム制御部５９とを備えている。
前記検査予約信号出力部５５は、ウエハＷが搬送経路における使用予定の検査モジュールよりもｎ（ｎは１以上の整数）個前の基準モジュールを通過するときに、前記検査モジュールに対して当該ウエハＷが属するロットについて検査を行なうための検査予約信号を出力したり、当該検査予約信号の出力禁止や出力禁止解除を行う手段であり、確認用ウエハＣＷが搬送経路における確認検査予定の検査モジュールよりもｎ（ｎは１以上の整数）個前の検査用基準モジュールを通過するときに、前記検査モジュールに対して検査予約信号を出力する。
ここでウエハＷが前記基準モジュールを通過するときとは、ウエハＷがメインアーム２６Ａ，２６Ｂ又は搬送アーム４により前記基準モジュールに受け渡されるとき、又はウエハＷが前記基準モジュールからメインアーム２６Ａ，２６Ｂ又は搬送アーム４に受け渡されるときが含まれる。また確認用ウエハＣＷが前記検査用基準モジュールを通過するときとは、確認用ウエハＣＷが受け渡しアーム２４、搬送アーム４、メインアーム２６Ａ、２６Ｂにより前記検査用基準モジュールに受け渡されるとき、又は確認検査用ウエハＷが前記検査用基準モジュールから受け渡しアーム２４、搬送アーム４、メインアーム２６Ａ，２６Ｂに受け渡されるときが含まれる。
また前記整数ｎが大き過ぎると、前記基準モジュールから検査モジュールに搬送するまでの工程数が多くなるので、前記検査モジュールの準備時間が長くなる一方、前記整数ｎが小さいほど、後述のように検査モジュールのトラブル解消後に速やかに当該検査モジュールにて製品用ウエハＷの検査を行なうことができる。さらに確認用ウエハＣＷは後述するようにキャリアブロック２１から直接検査ブロック４０に搬送され、前記検査用基準モジュールから当該検査モジュールに搬送するまでの工程数がもともと少ないため、前記整数ｎは１以上１０以下であることが好ましく、さらには製品用ウエハＷ及び確認用ウエハＣＷについては検査モジュールに搬送される直前に当該検査モジュールに対する検査予約信号が出力されることが好ましいことから、前記整数ｎは１以上５以下であることが特に好ましい。
前記検査除外ボタン５６は選択手段をなすものであり、例えば押されると検査除外指定される状態になり、この検査除外ボタン５６を復帰させると検査除外指定が解除されるようになっている。ここで検査除外指定を行う場合とは、検査モジュールのトラブルが解消した後、確認用ウエハＣＷを優先的に当該検査モジュールに搬送する場合をいい、検査除外指定が行なわれた状態では検査モジュールのトラブルが解消されても、制御部１００からの製品用ウエハＷに対する前記検査予約信号の出力が禁止される。またこの検査除外ボタン５６を復帰させると検査除外指定が解除され、これにより製品用ウエハＷに対する前記検査予約信号の出力禁止が解除される。前記検査除外指定を行なわない場合とは、検査モジュールのトラブルが解消した後、製品用ウエハＷを優先的に当該検査モジュールに搬送する場合をいう。
また表示部５７には、検査モジュールからのアラーム信号や、トラブル解消信号、確認用ウエハＣＷによる確認検査終了の旨などが表示されるようになっている。また確認検査部５８は、検査モジュールのトラブルが解消されたときに、確認用ウエハＣＷのキャリアブロック２１からの払い出し指令を出力し、確認用ウエハＣＷを前記検査モジュールに搬送して、当該検査モジュールの確認検査を行なうように制御する手段である。前記アーム制御部５９は、受け渡しアーム２４や搬送アーム４、メインアーム２６Ａ、２６Ｂ、インターフェイスアーム３１，３３を制御する手段である。
続いて本発明の作用について、検査モジュールＩＭ１によりウエハＷに対して所定の検査を行なう場合を例にして説明する。
検査モジュールＩＭにトラブルが発生しないときは、ウエハＷは図５に示す経路で搬送される。先ず外部からキャリアＣ１がキャリアブロック２１に搬入されると、開閉部２３が開かれると共にキャリアＣ１の蓋体が外されて受け渡しアーム２４によりウエハＷが取り出される。そしてウエハＷは受け渡しアーム２４により受け渡しステージＴＲＳ１に受け渡され、検査モジュール４０の搬送アーム４により受け渡しステージＴＲＳ３に搬送される。次いでメインアーム２６Ａが受け渡しステージＴＲＳ３からウエハＷを受け取り、この後メインアーム２６Ａ及び２６Ｂにより、冷却モジュールＣＰＬ→塗布装置ＣＯＴ→加熱モジュールＰＡＢ→冷却モジュールＣＰＬの経路で搬送されて、レジスト液の塗布が行なわれたウエハＷは第１のインターフェイスブロックＳ２に送られる。
そして第１のインターフェイスブロックＳ２内においては、ウエハＷは周辺露光装置や高精度温調モジュールに搬送されて、棚モジュール３２Ｂの受け渡しステージを介して第２のインターフェイスブロックＳ３に搬送される。その後ウエハＷは受け渡しアーム３３により露光装置Ｓ４のインステージ３４を介して露光装置Ｓ４に搬送されて、露光処理が行われる。
露光処理後のウエハＷは、アウトステージ３５→第２のインターフェイスブロックＳ３→第１のインターフェイスブロックＳ２の順に搬送された後、受け渡しアーム３１を介して処理ブロックＳ２の棚モジュール２５Ｃの加熱モジュールＰＥＢ（図示せず）に搬送される。然る後、ウエハＷは、冷却モジュールＣＰＬ→現像装置ＤＥＶ→加熱モジュールＬＨＰ→受け渡しステージＴＲＳ４の経路で搬送され、こうして現像装置にて所定の現像処理が行われて、所定のレジストパターンが形成される。
続いて受け渡しステージＴＲＳ４のウエハＷは、検査ブロック４０の搬送アーム４により受け取られて、検査ブロック４０の所定の検査モジュールこの例では検査モジュールＩＭ１に搬送される。この検査は、例えば同じロットに属する製品用ウエハＷに対しては同じ検査を行なうようになっている。この際検査予約信号出力部５５から、例えば当該ロットの先頭のウエハが、前記基準モジュールを通過するときに、当該検査モジュールＩＭ１の予約信号受付部４１に検査予約信号が出力される。この例では前記基準モジュールは、前記搬送経路において当該検査モジュールＩＭ１よりも１個前のモジュールである受け渡しステージＴＲＳ４とし、メインアーム２６Ａがこの受け渡しステージＴＲＳ４に前記先頭のウエハＷを受け渡しときに検査予約信号が出力されるようになっている。
こうして検査モジュールＩＭ１では、検査予約信号の受け付け順に製品用ウエハＷに対して所定の検査が行われる。ここでは検査予約信号はロット毎に出力されるため、検査予約信号を受け付けたロット順に、ロット内のウエハＷの順番に沿って所定の検査が行われる。こうして検査が行なわれたウエハＷは、当該検査モジュールＩＭ１の次の搬送先である受け渡しステージＴＲＳ２に搬送され、この後受け渡しアーム２４により例えばキャリアブロック２１の元のキャリアＣ１に戻されるようになっている。
一方検査モジュールＩＭ１においてトラブルが発生した場合には、ウエハＷは図６に示す経路で搬送される。この場合には検査モジュールＩＭ１においてトラブルが発生すると、信号送受信部４４から制御部１００にアラーム信号が出力される。これにより制御部１００では、検査予約信号出力部５５からの製品用ウエハに対する検査予約信号の出力が禁止され、またオペレータは検査除外指定を行なうか否かを判断し、検査除外指定を行なう場合には、検査除外ボタン５６を押す。
先ず検査除外指定を行う場合について先に説明する。この場合には、制御部１００からの製品用ウエハに対する検査予約信号の出力が禁止されるので、当該検査予約信号の出力禁止中に前記基準モジュールを先頭ウエハが通過するロットに対しては検査予約信号が出力されない。また検査モジュールＩＭ１にて既に検査予約信号を受け付けたウエハＷであっても、当該検査モジュールＩＭ１への搬送が停止され、次の搬送先この例では受け渡しステージＴＲＳ４に搬送するように、搬送アーム４等に指令が出力される（スキップ搬送）。また検査予約信号の出力が禁止されたロットのウエハＷについても、同様に検査モジュールＩＭ１の次の搬送先である受け渡しステージＴＲＳ４へスキップ搬送される。
一方当該検査モジュールＩＭ１のトラブルが解消すると、検査モジュールＩＭ１の信号送受信部４４から制御部１００にトラブル解消信号を出力し、これに基づいて制御部１００の確認検査部５８から確認用ウエハＣＷの払い出し指令が出力され、この確認用ウエハＣＷは、例えば図７に示す経路で搬送される。つまり確認用ウエハＣＷはキャリアブロック２１のキャリアＣ２から受け渡しアーム２４により取り出されて検査ブロック４０の受け渡しステージＴＲＳ１に置かれ、次いで搬送アーム４により検査モジュールＩＭ１に搬送される。
この際その搬送経路における搬送順序が当該検査モジュールＩＭ１よりも１個前の検査用基準モジュールである受け渡しステージＴＲＳ１を通過するときに、検査予約信号出力部５５から当該検査モジュールＩＭ１に対して当該確認用ウエハＣＷの検査予約信号が出力される。この例では前記確認用ウエハＣＷが受け渡しアーム２４により受け渡しステージＴＲＳ１に受け渡されたときに検査予約信号が出力されるようになっている。
ここで検査除外指定された状態では、既述のように製品用ウエハに対する検査予約信号の出力が禁止されているので、この確認用ウエハＣＷの検査予約信号は優先的に検査モジュールＩＭ１に受け付けられる。従って確認用ウエハＣＷは、他のロットのウエハＷの搬送を待つことなく、速やかにこの検査モジュールＩＭ１に搬送され、当該検査モジュールＩＭ１の確認検査を行なう。この確認検査とは、当該検査モジュールＩＭ１にて前記確認用ウエハＣＷについて所定の検査を行なうことにより、当該検査モジュールＩＭが正常であるか否かを確認するための検査をいう。こうして確認検査を行なった確認用ウエハＣＷは搬送アーム４→受け渡しステージＴＲＳ２→受け渡しアーム２４→キャリアＣ２の経路で搬送され、検査ブロック４０からキャリアブロック２１に戻される。
このようにして検査モジュールＩＭ１の確認検査を行なった後、オペレータが検査除外ボタン５６を復帰させて、検査除外指定を解除する。これにより制御部１００では製品用ウエハＷに対する検査予約信号の出力禁止が解除され、この後に、基準モジュールに先頭ウエハが搬送されるロットについては検査予約信号が出力され、検査予約信号の受け付け順に製品用ウエハＷを前記検査モジュールＩＭ１に順次搬送し、所定の検査を行なう。
一方、検査除外指定を行わない場合については、オペレータは検査除外ボタン５６を押さず、制御部１００からは既述のように製品用ウエハに対する検査予約信号の出力が禁止されるので、当該検査予約信号の出力禁止中に前記基準モジュールを先頭ウエハが通過するロットに対しては検査予約信号が出力されない。また検査モジュールＩＭ１にて既に検査予約信号を受け付けたウエハＷであっても、当該検査モジュールＩＭ１への搬送が停止され、次の搬送先この例では受け渡しステージＴＲＳ４にスキップ搬送される。また検査予約信号の出力が禁止されたロットのウエハＷについても、同様に検査モジュールＩＭ１の次の搬送先である受け渡しステージＴＲＳ４へスキップ搬送される。
そして検査モジュールＩＭ１のトラブルが解消すると、検査モジュールＩＭ１から制御部１００にトラブル解消信号が出力され、これに基づいて制御部１００では検査予約信号出力部５５において製品ウエハＷの検査予約信号の出力禁止を解除する。これにより、前記トラブル解消後に先頭ウエハＷ１が前記基準モジュールを通過するロットに対しては検査予約信号が出力され、当該ロットの製品用ウエハは検査予約信号の受け付け順に検査モジュールＩＭ１に搬送され、当該検査モジュールＩＭ１にて検査が行なわれる。
本発明のウエハＷの搬送について、検査除外指定を行なう場合を例にして図８を用いてさらに具体的に説明する。この図８は、背景技術の欄にて説明した図１１に対応するものであるので、ここでは図１１と異なる点について説明する。この図においても横軸は時間、１段目はキャリアブロック２１においてキャリアＣ１から製品用ウエハＷが取り出されるタイミングと、当該キャリアＣ１に前記ウエハＷが戻されるタイミングを示し、２段目は検査モジュールＩＭ１におけるウエハの処理状態を示している。
先ず１段目における、図１１と異なる点については、各ロットＡ〜Ｆでは、検査モジュールＩＭ１に搬送される直前のタイミングつまりロットの先頭のウエハＷが受け渡しステージＴＲＳ４（基準モジュール）に受け渡されるときに、検査モジュールＩＭ１に検査予約信号を出力するようになっていることである。つまりロットＡでは先頭のウエハＡ１が検査モジュールＩＭ１に搬送される時刻Ｔ２の直前に検査予約信号ａが出力される。
また２段目については、図１１の場合と同様に、時刻Ｔ３は検査モジュールＩＭ１にトラブルが発生した時刻、時刻Ｔ５は当該検査モジュールＩＭ１のトラブルが解消し、使用できるようになった時刻を夫々示している。このトラブル発生の間は制御部１００から検査モジュールＩＭ１への検査予約信号の出力が禁止されるので、この時間（時刻Ｔ３と時刻Ｔ５との間）に先頭ウエハが前記受け渡しステージＴＲＳ４を通過するロットＢ、ロットＣ、ロットＤに対しては検査予約信号が出力されない。そしてオペレータにより検査除外ボタン５６が押されて検査除外指定した時刻を時刻Ｔａとする。オペレータはトラブル発生のアラームを確認した後、検査除外指定を行なうか否かを判断するので、トラブル発生と検査除外指定のタイミングは少しずれている。
そして時刻Ｔ５にトラブルが解消されると、検査モジュールＩＭ１からトラブル解消信号が制御部１００に出力され、制御部１００からの確認用ウエハＣＷの払い出し指令に基づいて、キャリアブロック２１から前記確認用ウエハＣＷを払い出す。この確認用ウエハＣＷが検査モジュールＩＭ１に搬送される直前、つまり受け渡しステージＴＲＳ１（検査用基準モジュール）に受け渡された時刻Ｔ６において制御部１００から当該確認用ウエハＣＷの検査予約信号ｗが前記検査モジュールＩＭ１に出力される。
ここで検査モジュールＩＭ１のトラブル発生中は、制御部１００からの製品用ウエハＷに対する検査予約信号の出力が禁止されていることから、この確認用ウエハの検査予約信号ｗは、ロットＡの検査予約信号ａの後に優先的に当該検査モジュールＩＭ１に受け付けられる。このため確認用ウエハＣＷは、ロットＡのウエハＷの搬送後、他のロットの搬送を待つことなく、直ちに検査モジュールＩＭ１に搬送される。
一方検査予約信号が出力されないロットＢ〜ロットＤの全ウエハ及び、トラブル発生後に当該検査モジュールＩＭ１に搬送される予定のウエハについてはスキップ搬送が行なわれ、処理ブロックＢ３から当該検査モジュールＩＭ１の次の搬送先である受け渡しステージＴＲＳ４に直接搬送される。
そして前記確認用ウエハＣＷによる当該検査モジュールＩＭ１の確認検査が終了すると、例えばその旨が表示部５７に表示され、オペレータが検査除外ボタン５６を再度押し、これにより検査除外指定を解除する。ここでは時刻Ｔｂが検査除外指定を解除した時刻に相当する。これにより制御部１００では製品用ウエハＷに対する検査予約信号の出力禁止が解除され、これ以降に先頭ウエハが前記基準モジュールを通過するロットＥ、ロットＦについては検査予約信号が出力される。そしてこれらロットＥ，ロットＦの製品用ウエハＷについては、検査モジュールＩＭ１に順次搬送され、当該検査モジュールＩＭ１では検査予約信号の受け付け順に検査が行われる。
このように本発明によれば、オペレータにより検査除外指定を行なうか否かを選択できるようにしたので、検査モジュールＩＭ１のトラブル解消後に製品ウエハＷを優先的に検査モジュールＩＭ１にて検査させるか、確認検査用ウエハＣＷを先に搬送するかを選択することができ、処理の自由度が高められる。
そして確認用ウエハＣＷを優先的に搬送する場合には、既述のようにトラブルが発生してから１番の優先順位で確認用ウエハＣＷの検査予約信号ｗが検査モジュールＩＭ１に受け付けられるので、検査モジュールＩＭのトラブルが解消された後、直ちに確認検査ウエハを検査モジュールＩＭに搬送して当該検査モジュールＩＭの確認検査を行なうことができる。このため当該確認検査後の再開される検査モジュールＩＭ１の使用開始時刻を、図１１に示す従来例に比べて早めることができる。従って、製品用ウエハＷを検査モジュールＩＭ１に速やかに搬送することができ、この例ではロットＥの製品用ウエハＷから当該検査モジュールＩＭ１にて検査を行なうことができることから、従来に比べて検査モジュールＩＭ１に搬送されずに次の搬送先に搬送されてしまう製品用ウエハＷの枚数が少なくなり、より多くの製品用ウエハＷについては検査を行なうことができる。
続いて本発明の他の実施の形態について説明する。この実施の形態は、重ね合わせ検査を行なう重ね合わせ検査モジュールＩＭ３で、一日一回行われる定期検査（メンテナンス）を行う場合に、この定期検査中は製品用ウエハＷに対する検査予約信号の出力を禁止して、確認用ウエハＣＷの検査予約信号を優先的に受け付けるようにしたものである。
この定期検査は、１日一回ホストコンピュータ１０１から制御部１００を介して当該検査モジュールＩＭ３に対して、定期検査を行なうように指令が出力され、これに基づいて行われる。そしてこの定期検査の間は、制御部１００の検査予約信号出力部５５では製品用ウエハに対する検査予約信号の出力を禁止する。一方検査モジュールＩＭ３では定期検査を実行している間に所定のタイミングで、制御部１００に対して確認用検査受付可能信号を出力する。これに基づいて制御部１００では確認検査部５８において確認用ウエハＣＷの払い出し指令を出力し、確認用ウエハＣＷをキャリアブロックＳ２１から払い出し、検査モジュールＩＭ３に搬送する。そしてこの確認用ウエハＣＷが受け渡しステージＴＲＳ１（検査用基準モジュール）に受け渡されるタイミングで当該確認用ウエハＣＷの検査予約信号を出力し、この確認用ウエハＣＷによる当該検査モジュールＩＭ３の確認検査が実施される。こうして確認用ウエハＣＷによる確認検査が終了した時点で定期検査が終了されることになる。
定期検査が終了すると、当該検査モジュールＩＭ３から制御部１００へ定期検査終了信号を出力し、これに基づいて制御部１００の検査予約信号出力部５５において製品ウエハに対する検査予約信号の出力禁止を解除する。これにより定期検査終了後に先頭ウエハＷが前記基準モジュールに搬送されるロットに対しては検査予約信号が出力される。
この際、当該検査モジュールＩＭ３の定期検査中は、当該検査モジュールＩＭ３にて既に検査予約信号を受け付けたウエハＷであっても、また検査予約信号の出力が停止されたロットのウエハＷについても、次の搬送先である受け渡しステージＴＲＳ２へスキップ搬送される。このスキップ搬送では、製品用ウエハＷは当該検査モジュールＩＭ３を追い越して次の搬送先に搬送されるので、確認用ウエハＣＷは製品用ウエハＷのスキップ搬送と並行して当該検査モジュールＩＭ３に搬送される。このため他のロットの搬送を待つことなく、直ちに検査モジュールＩＭ３に搬送され、確認検査が速やかに行なわれる。
この実施の形態について図９を用いてさらに具体的に説明する。この図９は、背景技術の欄にて説明した図１２に対応するものであるので、ここでは図１２と異なる点について説明する。この図においても横軸は時間、１段目はキャリアブロック２１においてキャリアＣ１から製品用ウエハＷが取り出されるタイミングと、当該キャリアＣ１に製品用ウエハＷが戻されるタイミングを示し、２段目は検査モジュールＩＭ３におけるウエハＷの処理状態を示している。
先ず１段目における、図１２と異なる点は、各ロットＡ〜Ｆでは、検査モジュールＩＭ３に搬送される直前、つまりロットの先頭ウエハが受け渡しステージＴＲＳ４（基準モジュール）に受け渡されるタイミングにて、重ね合わせ検査モジュールＩＭ３に検査予約信号を出力するようになっていることである。つまりロットＡでは、最初のウエハＡ１が検査モジュールＩＭ３に搬送される時刻Ｔ１２の直前に検査予約信号ａが出力される。
また２段目については、図１２の場合と同様に、時刻Ｔ１３は使用予定の検査モジュールＩＭ３の定期検査が開始された時刻、時刻Ｔ１５´は定期検査が終了し、当該検査モジュールＩＭ３が使用できるようになった時刻を夫々示している。そして当該実施の形態では、検査モジュールＩＭ３の定期検査の間は、制御部１００から製品用ウエハＷに対する検査予約信号の出力が禁止されるので、この定期検査中に先頭ウエハが前記基準モジュールに搬送されるロットＢに対しては検査予約信号が出力されない。そして定期検査がある程度進行したタイミングで検査モジュールＩＭ３から制御部１００へ確認検査受付可能信号が出力され、これに基づいて制御部１００では確認検査部５８により前記確認用ウエハＣＷが払い出され、検査モジュールＩＭ３に搬送される。この確認用ウエハＣＷは、受け渡しステージＴＲＳ１（検査用基準モジュール）に受け渡されるタイミングにて制御部１００から検査モジュールＩＭ３に検査予約信号ｗが出力される。この定期検査の間は既述のように製品用ウエハの検査予約信号の出力が禁止されていることから、この確認用ウエハＣＷの検査予約信号ｗは、ロットＡの検査予約信号ａの後の順番に優先的に当該検査モジュールＩＭ３に受け付けられる。このため確認用ウエハＣＷは、他のロットの搬送を待つことなく、直ちに検査モジュールＩＭ３に搬送されて、確認検査が行なわれる。
一方検査予約信号の出力が停止されたロットＢの全ウエハ及び、検査予約信号が出力され検査モジュールＩＭ３に搬送される予定のロットＡの残りのウエハについてはスキップ搬送が行なわれ、当該検査モジュールＩＭ３の次の搬送先である受け渡しステージＴＲＳ２に直接搬送される。この際既述のように確認用ウエハＣＷはこのスキップ搬送と並行して検査モジュールＩＭ３に搬送される。
そして前記確認検査用ウエハＣＷによる確認検査が終了すると、この確認検査終了信号が制御部１００に出力されて定期検査が終了され、制御部１００では製品ウエハに対する検査予約信号の出力禁止が解除される。そしてこの後に先頭ウエハが前記基準モジュールに搬送されるロットＣ，ロットＤ，ロットＥ，ロットＦのウエハＷについては、検査モジュールＩＭ３に対して検査予約信号が出力され、当該検査モジュールＩＭ３では検査予約信号の受け付け順に、製品用ウエハＷの検査が行われる。
このように、本実施の形態によれば、検査予約信号を検査モジュールＩＭ３に搬送する直前に出力させ、かつ検査モジュールＩＭ３の定期検査の間は、製品ウエハに対する検査予約信号の出力を禁止すると共に、確認用ウエハＣＷを製品用ウエハＷのスキップ搬送と並行して検査モジュールＩＭ３に搬送し、確認検査を行っているので、当該検査モジュールＩＭ３にて確認用ウエハＣＷの受け付け可能となったタイミングで直ちに確認検査ウエハＣＷを検査モジュールＩＭ３に搬送できる。このため定期検査時間を従来例に比べて短縮することができる。これにより従来に比べてスキップ搬送される製品用ウエハＷの枚数が少なくなり、より多くの製品用ウエハＷについて検査を行なうことができる。
以上において、検査ブロック４０において、検査モジュールＩＭ１→検査モジュールＩＭ２→検査モジュールＩＭ３の経路で搬送して検査を行なう場合であって、検査モジュールＩＭ１にトラブルが発生したときには、スキップ搬送により次の搬送先である検査モジュールＩＭ２に搬送される。
また確認用ウエハＣＷを収納する収納部はキャリアＣ２に限らず、例えばバッファ等により構成して、検査ブロック４０や処理ブロックＳ１内に設けるようにしてもよい。さらに検査除外指定を行なう場合には、トラブル発生前に行なっていてもよい。例えば予めトラブルが発生したときには検査除外指定を行なうように、例えば処理の開始時に指定しておき、例えばトラブル発生と同時に検査除外指定が行なわれ、確認用ウエハＣＷによる検査モジュールＩＭの確認検査が終了した段階で検査除外指定が解除されるように設定してもよい。
以上において本発明の塗布、現像装置は、上述の例に限らず、レジスト液を塗布するためのブロックと、現像処理を行なうブロックとが異なる構成であってもよいし、検査ブロックの位置も上述の例に限らない。また本発明における基板としては、半導体ウエハＷの他、ＦＰＤ基板等であってもよい。
本発明に係る塗布、現像装置の一実施の形態を示す平面図である。 前記塗布、現像装置を示す外観斜視図である。 前記塗布、現像装置を示す縦断側面図である。 前記塗布、現像装置の制御部の構成図である。 前記塗布、現像装置における搬送経路図である。 前記塗布、現像装置における搬送経路図である。 前記塗布、現像装置における搬送経路図である。 前記塗布、現像装置の作用を説明するための説明図である。 前記塗布、現像装置の作用を説明するための説明図である。 従来の塗布、現像装置における搬送経路を示す外略図である。 従来の塗布、現像装置の作用を説明するための説明図である。 従来の塗布、現像装置の作用を説明するための説明図である。
符号の説明
Ｃ１，Ｃ２ キャリア
ＩＭ１，ＩＭ２，ＩＭ３ 検査モジュール
Ｓ１ 処理ブロック
Ｗ 半導体ウエハ
２ 塗布、現像装置
２１ キャリアブロック
４０ 検査ブロック
１００ 制御部

Claims (9)

  1. 複数枚の製品用基板がロット毎に収納された製品用キャリアが載置され、前記キャリアと隣接するブロックとの間で基板の受け渡しを行う受け渡し手段を備えたキャリアブロックと、
    前記キャリアブロックから受け渡された製品用基板に対するレジストの塗布処理、及びレジストが塗布されかつ露光された製品用基板に対する現像処理を行うためのモジュールを含む複数のモジュールと、これらモジュールに対して製品用基板の受け渡しを行うための第１の基板搬送手段と、を備えた処理ブロックと、
    現像処理された製品用基板について検査予約の受け付け順に検査を行なうための検査モジュールと、この検査モジュールに対して基板の受け渡しを行う第２の基板搬送手段と、を含む検査ブロックと、
    前記検査モジュールが正常であるか否かを確認するための確認検査用基板を収納する収納部と、
    トラブルが発生した前記検査モジュールに、このトラブルが解消した後前記製品用基板と前記確認検査用基板のどちらを優先的に搬送するかをオペレータが選択するための選択手段と、
    前記受け渡しアーム及び第２の基板搬送手段を制御する制御手段と、を備え、
    前記制御手段は、前記製品用基板が搬送経路における前記検査モジュールよりもｎ（ｎは１以上の整数）個前の基準モジュールを通過するときに、前記検査モジュールに対して、当該製品用基板が属するロットについて検査を行なうための検査予約信号を出力するステップと、
    前記検査モジュールにトラブルが発生している間においては、前記製品用基板に対する検査予約信号の出力を禁止して、当該検査モジュールへ搬送される予定の製品用基板を当該検査モジュールの次の搬送順序のモジュールに搬送するステップと、
    当該検査モジュールのトラブルが解消し、前記選択手段により製品用基板が選択されているときには、前記製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除するステップと、
    当該検査モジュールのトラブルが解消し、前記選択手段により確認検査用基板が選択されているときには、前記収納部から前記確認検査用基板を搬出すると共に、この確認検査用基板に対する検査予約信号を出力するステップと、
    前記確認検査用基板による前記検査モジュールの確認検査が終了した後に、前記製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除するステップと、を含むプログラムを備えたことを特徴とする塗布、現像装置。
  2. 複数枚の製品用基板がロット毎に収納された製品用キャリアが載置され、前記キャリアと隣接するブロックとの間で基板の受け渡しを行う受け渡し手段を備えたキャリアブロックと、
    前記キャリアブロックから受け渡された製品用基板に対するレジストの塗布処理、及びレジストが塗布されかつ露光された製品用基板に対する現像処理を行うためのモジュールを含む複数のモジュールと、これらモジュールに対して製品用基板の受け渡しを行うための第１の基板搬送手段と、を備えた処理ブロックと、
    現像処理された製品用基板について検査予約の受け付け順に検査を行なうための検査モジュールと、この検査モジュールに対して基板の受け渡しを行う第２の基板搬送手段と、を含む検査ブロックと、
    前記検査モジュールが正常であるか否かを確認するための確認検査用基板を収納する収納部と、
    前記受け渡しアーム及び第２の基板搬送手段を制御する制御手段と、を備え、
    前記制御手段は、前記製品用基板が搬送経路における前記検査モジュールよりもｎ（ｎは１以上の整数）個前の基準モジュールを通過するときに、前記検査モジュールに対して、当該製品用基板が属するロットについて検査を行なうための検査予約信号を出力するステップと、
    前記検査モジュールの定期検査が行なわれている間においては、製品用基板に対する検査予約信号の出力を禁止して、当該検査モジュールへ搬送される予定の製品用基板を当該検査モジュールの次の搬送順序のモジュールに搬送するステップと、
    当該検査モジュールの定期検査が終了する前に、前記収納部から前記確認検査用基板を搬出すると共に、この確認検査用基板に対する検査予約信号を出力するステップと、
    前記確認検査用基板による前記検査モジュールの確認検査が終了した後に、前記製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除するステップと、を含むプログラムを備えたことを特徴とする塗布、現像装置。
  3. 前記検査ブロックはキャリアブロックと処理ブロックとの間に設けられることを特徴とする請求項１又は２記載の塗布、現像装置。
  4. 前記収納部は確認検査用基板が収納されたキャリアであり、このキャリアは前記キャリアブロックに載置されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一に記載の塗布、現像装置。
  5. 前記基準モジュールを通過するときに前記検査予約信号が出力される製品用基板は、当該製品用基板が属するロットの先頭の製品用基板であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一に記載の塗布、現像装置。
  6. 前記製品用基板が基準モジュールを通過するときとは、前記製品用基板が前記第１の基板搬送手段又は第２の基板搬送手段から前記基準モジュールに受け渡されるとき又は、前記製品用基板が前記基準モジュールから前記第１の基板搬送手段又は第２の基板搬送手段に受け渡されるときであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一に記載の塗布、現像装置。
  7. キャリアブロックから受け渡された製品用基板に対して処理ブロックにてレジストの塗布処理、及びレジストが塗布された露光された製品用基板に対する現像処理を行い、この現像処理された製品用基板に対して検査モジュールにて検査を行なってからキャリアブロックに戻すと共に、確認検査用基板により前記検査モジュールが正常であるか否かを確認するための確認検査が行なわれる塗布、現像方法において、
    前記製品用基板が搬送経路における前記検査モジュールよりもｎ（ｎは１以上の整数）個前の基準モジュールを通過するときに、前記検査モジュールに対して、当該製品用基板が属するロットについて検査を行なうための検査予約信号を出力する工程と、
    前記検査モジュールにて前記製品用基板に対して、検査予約信号の受け付け順に検査を行なう工程と、
    トラブルが発生した前記検査モジュールに、このトラブルが解消した後前記製品用基板と前記確認検査用基板のどちらを優先的に搬送するかをオペレータが選択する工程と、
    前記検査モジュールにトラブルが発生している間においては、製品用基板に対する検査予約信号の出力を禁止して、当該検査モジュールへ搬送される予定の製品用基板を当該検査モジュールの次の搬送順序のモジュールに搬送する工程と、
    当該検査モジュールのトラブルが解消し、優先的に搬送される基板として製品用基板が選択されているときには、製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除する工程と、
    当該検査モジュールのトラブルが解消し、優先的に搬送される基板として確認検査用基板が選択されているときには、前記確認検査用基板に対する検査予約信号を出力して、この確認検査用基板を当該検査モジュールに搬送する工程と、
    前記確認検査用基板による前記検査モジュールの確認検査が終了した後に、製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除する工程と、を含むことを特徴とする塗布、現像方法。
  8. キャリアブロックから受け渡された製品用基板に対して処理ブロックにてレジストの塗布処理、及びレジストが塗布された露光された製品用基板に対する現像処理を行い、この現像処理された製品用基板に対して検査モジュールにて検査を行なってからキャリアブロックに戻すと共に、確認検査用基板により前記検査モジュールが正常であるか否かを確認するための確認検査が行なわれる塗布、現像方法において、
    前記製品用基板が搬送経路における前記検査モジュールよりもｎ（ｎは１以上の整数）個前の基準モジュールを通過するときに、前記検査モジュールに対して、当該製品用基板が属するロットについて検査を行なうための検査予約信号を出力する工程と、
    前記検査モジュールにて前記製品用基板に対して、検査予約信号の受け付け順に検査を行なう工程と、
    前記検査モジュールの定期検査が行なわれている間においては、製品用基板に対する検査予約信号の出力を禁止して、当該検査モジュールへ搬送される予定の製品用基板を当該検査モジュールの次の搬送順序のモジュールに搬送する工程と、
    当該検査モジュールの定期検査が終了する前に、前記確認検査用基板に対する検査予約信号を出力して、この確認検査用基板を当該検査モジュールに搬送する工程と、
    前記確認検査用基板による前記検査モジュールの確認検査が終了した後に、製品用基板に対する検査予約信号の出力禁止を解除する工程と、を含むことを特徴とする塗布、現像方法。
  9. 製品用基板に対してレジスト液を塗布し、レジスト液が塗布され露光された製品用基板に対して現像処理を行う塗布、現像装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
    前記コンピュータプログラムは、請求項７又は８記載の塗布、現像方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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