CN101630632B - 涂敷、显影装置及涂敷、显影方法 - Google Patents

涂敷、显影装置及涂敷、显影方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供涂敷、显影装置及涂敷、显影方法以及存储介质。在解除检查模块的故障后，迅速将制品用基板输送至该检查模块并进行检查。当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号。在所述检查模块发生故障的期间，禁止输出针对所述制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块。当该检查模块的故障被解除且将用于确认检查的基板优先输送至检查模块时，输出针对所述用于确认检查的基板的检查预约信号，并输送至所述检查模块，进行该检查模块的确认检查。

Description

涂敷、显影装置及涂敷、显影方法
技术领域
本发明涉及例如对半导体晶圆(wafer)或LCD基板(液晶显示器用玻璃基板)等基板进行抗蚀剂液的涂敷处理以及曝光后的显影处理的涂敷、显影装置及涂敷、显影方法以及存储介质。 
背景技术
对半导体器件或LCD基板等基板涂敷抗蚀剂液，并将该抗蚀剂按规定图案曝光后，进行显影处理，从而在基板上作成所希望的抗蚀剂图案，这一连串的处理，一般采用在进行抗蚀剂液的涂敷处理或显影处理的涂敷、显影装置上连接曝光装置的系统来进行。该系统将以下功能块排列成一列而构成，该功能块是：承载块(carrier block)，载放收容了构成基板的半导体晶圆(以下称为“晶圆”)的晶圆输送盒(wafer cassette)，具备对该晶圆输送盒进行晶圆交接的交接臂；处理块，对从承载块输送的晶圆进行抗蚀剂液的涂敷处理或显影处理；以及接口块(interface block)，连接该处理块和曝光装置。 
可是，对于形成了抗蚀剂图案的晶圆，进行规定检查例如抗蚀剂图案的线宽、抗蚀剂图案和基底图案的重叠度、以及显影缺陷等的检查，仅对判定为合格的晶圆进行下个工序。这时，若采用在涂敷、显影装置内设置检查模块的联机(in-line)系统则更加便利，因此如图10所示，本发明人采用在承载块B1和处理块B3之间隔着具备多个检查模块11的检查块B2的结构。图中B4是接口块，B5是曝光装置。 
在这种系统中，所述晶圆输送盒10内的晶圆从承载块B1过检查块B2而不停地输送至处理块B3，在此进行抗蚀剂液的涂敷处理后，经由接口块B4输送至曝光装置B5，进行规定曝光处理。然后，曝光 后的晶圆在处理块B3中进行显影处理，然后，在检查块B2中进行规定检查。另一方面，对于不进行检查的晶圆，在处理块B3中进行显影处理之后，使之过检查块B2而不停地返回到承载块B1。 
这时，例如逐批地预先决定对该批内的晶圆是否进行检查或在进行检查时该检查的种类。然后例如在进行检查的场合，若承载块B1的交接臂(未图示)从晶圆输送盒10内取出晶圆，则从控制涂敷、显影装置的控制部(未图示)向进行检查的检查模块输出检查预约信号，在检查模块中对接受检查预约信号的晶圆按接受检查预约信号的顺序进行检查。 
如此在向检查模块11输送晶圆之前，预先向该检查模块11输出检查预约信号的原因在于容易制作输送程序，此外还有这样的原因，即，由于检查模块11的准备需要规定时间，所以通过与对晶圆形成抗蚀剂图案的处理并行进行检查模块的准备，来输送所述处理后的晶圆至检查块B2时立即进行检查，从而抑制生产量的降低。 
可是检查模块11发生故障(trouble)时，对于用该检查模块11进行检查的预定晶圆，进行旁路输送，直到解除检查模块11的故障，并恢复。该旁路输送指的是将晶圆暂且输送至设于检查块B2的缓冲模块12，以取代向该检查模块11的输送，由此输送到该检查模块的下个输送目的地例如承载块B1。 
此外，当解除了检查模块11的故障时，将用于确认检查的晶圆从承载块B1直接输送至检查块B2，在所述检查模块11中对所述用于确认检查的晶圆进行检查，进行用于确认该检查模块11是否正常的确认检查。该用于确认检查的晶圆在结束该检查模块11中的检查后，再回到承载块B1。 
但是，在上述结构中，尽管解除检查模块11的故障，并成为能够使用的状态，但是还存在不会输送至检查模块11而不能接受检查的晶圆多的问题。对这一点，借助图11进行具体说明。图11中横轴是时间，图11中第1级表示承载块B1中从晶圆输送盒10取出晶圆 的定时和晶圆返回到该晶圆输送盒10的定时。此外，图11中第2级表示检查模块11中的晶圆的处理状态，第3级表示晶圆对缓冲模块12的输送状态。 
首先对于第1级，以这种场合为例进行说明，即，1批由25块晶圆设定，将各批A～F的晶圆在一个检查模块11中进行检查后，使之返回到下个输送目的地即承载块B1的场合。各批A～F左端的时刻是承载块B1中从该批A～F的晶圆输送盒10取出最初晶圆的时刻，各批A～F右端的时刻表示包括检查在内的所有处理结束的该批A～F的最后晶圆返回到该晶圆输送盒10的定时。即，时刻T1表示批A的最初晶圆(A1)从晶圆输送盒10被取出的时刻，时刻T4表示批A的最后晶圆(A25)返回到晶圆输送盒10的时刻。又，在各批A～F中，从晶圆输送盒10取出最初晶圆时，从控制部向检查晶圆的预定的检查模块11输出检查预约信号。即，批A中，在最初晶圆(A1)从晶圆输送盒10被取出的时刻T1输出检查预约信号a。 
此外，若对第2级进行说明，则各批A～F左端的时刻相当于各批A～F的最初晶圆搬入该检查模块11的时刻，各批A～F右端的时刻相当于该批A～F的最后晶圆被从该检查模块11搬出的时刻。例如时刻T2表示批A的最初晶圆(A1)搬入检查模块11的定时，时刻T4表示批A的最后晶圆(A25)从检查模块11搬出，同时下一批B的最初晶圆(B1)搬入该检查模块11的定时。 
在此，对于检查模块11，通过设于检查块B2的输送部件来进行晶圆交接，该输送部件例如具备2个臂，用一个臂从检查模块11取出检查后的晶圆(A25)，接着将保持在另一臂上的检查前的晶圆(B1)交接到该检查模块11。因而，在晶圆(A25)取出与晶圆(B1)交接之间存在若干时滞(time lag)，但是该时间极短，因此在这里为了方便图示而用相同的时刻来表示。此外，时刻T4相当于第1级中该晶圆(A25)返回到晶圆输送盒10的时刻，但是从检查模块11被取出的晶圆(A25)立即输送至承载块B1，因此在该图中为了方便说明用 相同的时刻来表示。以下也同样。 
此外，时刻T3表示预定使用的检查模块11上发生故障的时刻，时刻T5表示该检查模块11的故障被解除并且成为能够使用的时刻。该例中，正在检查批A的晶圆的中途在该检查模块11上发生故障。 
可是如已做说明的那样，当批A～F的最初晶圆从晶圆输送盒10被取出时，检查预约信号输出至检查模块11，但是检查模块11上发生故障且无法使用的情况下，控制部禁止输出该检查预约信号。因而在该例中，时刻T3与时刻T5之间检查模块11因故障而处于无法使用的状态，对于批D和批E，在这发生故障的情况下，最初晶圆从晶圆输送盒10被取出，因此控制部不输出针对这些批D、E的检查预约信号。 
然后检查模块11的故障被解除且成为能够使用时，从晶圆输送盒10给出用于确认检查的晶圆CW，即使对于该用于检查确认的晶圆CW，也在从晶圆输送盒10给出时，向检查模块11输出检查预约信号w。因此检查模块11接受用于确认检查的晶圆CW的检查预约信号w，作为批C的检查预约信号c之后的序号。 
可是，在检查模块11无法使用的时间(从时刻T3到时刻T5的时间)，这时向该检查模块11输送的晶圆即在检查模块11上发生故障之前已输出检查预约信号的晶圆、该例中为从批A的中途至最后的晶圆、批B及批C的晶圆，已经处于向检查模块11输送的状态，因此旁路输送至检查块B2的缓冲模块12，以取代检查模块11。这时该例中在批C的中途检查模块11的故障被解除，对于批C的全部晶圆预先输出了检查预约信号c，因此批C的全部晶圆旁路输送至缓冲模块12。 
另一方面，如批D、E的全部晶圆那样，对于没有输出检查预约信号的晶圆，以不进行检查的晶圆同样处理，进行跳跃(skip)输送。该跳跃输送指的是如不做检查的晶圆那样输送至该检查模块11的下个输送目的地，该例中输送至承载块B1。 
在此，所述确认用晶圆CW的检查预约信号w是批C的晶圆W的检查预约信号c之后被接受的，因此确认晶圆W在将批C的晶圆W旁路输送之后输送至检查模块11，在该检查模块11中进行确认检查。 
然后，自该确认用晶圆CW的确认检查结束之后，再开始该检查模块11对批的晶圆的检查，但已经决定跳跃输送批D、批E的晶圆W，因此在该例中，从批F的晶圆输送至检查模块11，在该模块11中进行检查。 
如此，尽管在时刻T5解除了检查模块11的故障，且定时上可从批C的中途进行检查，但是对于批D、批E会进行跳跃输送，因此如这些批D、E的晶圆那样，不能进行检查的晶圆会增多。 
此外，进行重叠检查的重叠检查模块中，进行一日一次定期检查(维护)，在该定期检查过程中不能将晶圆W输送至该重叠检查模块，自确认用晶圆CW的该重叠检查模块的确认检查进行之后结束定期检查，因此发生同样的问题。对于这个问题，具体借助图12进行说明。图12也与已做描述的图11同样地记载，图12中横轴表示时间，图12中第1级表示承载块B1中晶圆从晶圆输送盒10被取出的定时和晶圆返回到该晶圆输送盒10的定时。此外，图中第2级表示重叠检查模块中的晶圆的处理状态，第3级表示晶圆对缓冲模块12的输送状态。 
该场合，各批A～F成为从晶圆输送盒10取出最初晶圆时，向重叠检查模块输出检查预约信号。在该例中，时刻T13～时刻T15之间为定期检查时间，该定期检查还包含确认用晶圆CW的该重叠检查模块的确认检查时间。 
在此，重叠检查模块的定期检查时间内，所述控制部禁止输出对批的晶圆的检查预约信号，因此在该例中，对于在所述定期检查时间内从承载块B1给出的批D、批E的晶圆，不会输出检查预约信号。然后对于输出了检查预约信号的批A～C的晶圆W，在定期检查中预定向该检查模块输送的晶圆被旁路输送，对于没有输出检查预约信号 的批D、批E的晶圆W要进行跳跃输送。 
然后，在批C的检查预约信号c之后该重叠检查模块所接受所述确认用晶圆CW的检查预约信号w，因此在批C的晶圆旁路输送后输送至该重叠检查模块。因而在批D的跳跃输送过程中输送至该检查模块而进行确认检查，在该检查结束后从该检查模块搬出的定时结束定期检查。然后，自该定期检查结束后，再开始重叠检查模块对批的晶圆的检查，因此在该例中，从批F的晶圆开始在重叠检查模块中进行检查。 
因而在该例中，即使重叠检查模块处于接受确认用晶圆CW的状态，该确认用晶圆CW也在批C旁路输送后被输送，因此发生确认检查的开始较慢，相应地会延长定期检查时间的问题，或者不管时刻T15是否结束重叠检查模块的定期检查，对于批D、批E的晶圆W都会进行跳跃输送，因此发生不能进行检查的晶圆会变多的问题。 
可是在专利文献1中，记载了在输送盒工位(cassette station)和处理工位之间隔着具备多个检查装置的检查块的结构。这里所记载的系统，从输送盒工位经由检查工位将晶圆输送至处理工位，使结束处理的晶圆暂且回到承载工位的托架(carrier)内后，由此进行将晶圆输送至检查工位进行检查的称为重新起动(restart)控制的输送控制。但是在该专利文献1中，没有考虑检查装置上发生故障时或进行检查装置的维护时对晶圆的输送控制，根据该专利文献1的结构也不能解决本发明的课题。 
专利文献1：日本特开2005-175052号公报 
发明内容
本发明鉴于这些事实构思而成，其目的在于提供这样的技术，即，在解除了检查模块的故障之后，通过选择向该检查模块能够优先输送制品用基板和用于确认检查的基板中的哪一个，来提高处理自由度，同时在进行确认检查的场合也能迅速将制品用基板输送至该检查模 块而进行检查的技术。此外，本发明的其它目的是提供缩短检查模块中定期检查所花的时间且在该定期检查后能够迅速将所述制品用基板输送至该检查模块而进行检查的技术。 
为此本发明提供一种逐批对多块制品用基板进行处理的涂敷、显影装置，其特征在于具备：承载块，载放逐批收容多块制品用基板的制品用托架，且具有在与所述托架邻接的块之间进行基板交接的交接部件；处理块，包括多个模块和第一基板输送部件，所述多个模块中包含用于对从所述承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理以及对涂敷了抗蚀剂且已曝光的制品用基板进行显影处理的模块，所述第一基板输送部件对这些模块进行制品用基板的交接；检查块，包括用于对显影处理的制品用基板按接受检查预约的顺序进行检查的检查模块和对该检查模块进行基板交接的第二基板输送部件；收容部，收容用于确认所述检查模块是否正常的用于确认检查的基板；选择部件，由操作员对发生故障的所述检查模块进行选择，以选择在解除故障后优先输送所述制品用基板和所述用于确认检查的基板中的哪一个；以及控制部件，控制所述交接部件及第二基板输送部件， 
所述控制部件执行以下步骤：当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n(n为1以上的整数)个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的步骤；在所述检查模块发生故障的期间，禁止输出针对所述制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的步骤；当该检查模块的故障解除且所述选择部件选择了制品用基板时，解除针对所述制品用基板的检查预约信号的输出禁止的步骤；以及当该检查模块的故障被解除且所述选择部件选择了用于确认检查的基板时，从所述收容部搬出所述用于确认检查的基板，并输出针对该用于确认检查的基板的检查预约信号，同时在借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查结束后，解除针对所述制品用基板的检查预约信号的输出禁 止的步骤。 
此外，本发明的另一发明是一种逐批对多块制品用基板进行处理的涂敷、显影装置，其特征在于具备：承载块，载放逐批收容多块制品用基板的制品用托架，且具有在与所述托架邻接的块之间进行基板交接的交接部件；处理块，包括多个模块和第一基板输送部件，所述多个模块中包含用于对从所述承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理以及对涂敷了抗蚀剂且已曝光的制品用基板进行显影处理的模块，所述第一基板输送部件对这些模块进行制品用基板的交接；检查块，包括用于对显影处理的制品用基板按接受检查预约的顺序进行检查的检查模块和对该检查模块进行基板交接的第二基板输送部件；收容部，收容用于确认所述检查模块是否正常的用于确认检查的基板；以及控制部件，控制所述交接部件及第二基板输送部件， 
所述控制部件执行以下步骤：当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n(n为1以上的整数)个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的步骤；在进行所述检查模块的定期检查的期间，禁止输出针对所述制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的步骤；在该检查模块的定期检查结束之前，从所述收容部搬出所述用于确认检查的基板，并输出针对该用于确认检查的基板的检查预约信号的步骤；以及在借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查结束后，解除针对所述制品用基板的检查预约信号的输出禁止的步骤。 
在此，所述检查块可构成为设置在承载块与处理块之间。此外，所述收容部可为收容用于确认检查的基板的托架，且该托架可构成为载放在所述承载块上。而且，当通过所述基准模块时输出所述检查预约信号的制品用基板可为该制品用基板所属的批的前头制品用基板。还有，所述制品用基板通过基准模块的时候可为所述制品用基板搬入或搬出所述基准模块的时候。 
还有，本发明的涂敷、显影方法是在处理块对从承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理及对已涂敷抗蚀剂且曝光的制品用基板进行显影处理，并在检查模块对该显影处理的制品用基板进行检查之后返回承载块，并通过用于确认检查的基板进行用于确认所述检查模块是否正常的确认检查的逐批处理多块制品基板的涂敷、显影方法，其特征在于包含： 
当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n(n为1以上的整数)个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的工序；在所述检查模块对所述制品用基板按检查预约信号的接受顺序进行检查的工序；在故障解除后，操作员选择向发生故障的所述检查模块优先输送所述制品用基板和所述用于确认检查的基板中的哪一个的工序；在所述检查模块发生故障的期间，禁止输出针对制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的工序；当该检查模块的故障被解除且选择制品用基板作为优先输送的基板时，解除针对制品用基板的检查预约信号的输出禁止的工序；以及当该检查模块的故障解除且选择用于确认检查的基板作为优先输送的基板时，输出针对所述用于确认检查的基板的检查预约信号，将该用于确认检查的基板输送至该检查模块，并在结束借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查后，解除针对制品用基板的检查预约信号的输出禁止的工序。 
此外，本发明的另一种涂敷、显影方法是在处理块对从承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理及对已涂敷抗蚀剂且曝光的制品用基板进行显影处理，并在检查模块对该显影处理的制品用基板进行检查之后返回承载块，并通过用于确认检查的基板进行用于确认所述检查模块是否正常的确认检查的逐批处理多块制品基板的涂敷、显影方法，其特征在于包含： 
当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n(n 为1以上的整数)个的基准模块时，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的工序；在所述检查模块对所述制品用基板按检查预约信号的接受顺序进行检查的工序；在进行所述检查模块的定期检查的期间，禁止输出针对制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的工序；在结束该检查模块的定期检查之前，输出针对所述用于确认检查的基板的检查预约信号，将该用于确认检查的基板输送至该检查模块的工序；以及在结束借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查后，解除针对制品用基板的检查预约信号的输出禁止。 
再有，本发明的存储介质是用于对制品用基板涂敷抗蚀剂液并对涂敷了抗蚀剂液且曝光的制品用基板进行显影处理的涂敷、显影装置且存放了在计算机上工作的计算机程序的存储介质，其特征在于：所述计算机程序编排步骤，以实施所述涂敷、显影方法。 
在检查模块发生故障的情况下，能够在该故障解除后选择优先向该检查模块输送制品用基板和用于确认检查的基板中的哪一个，提高了处理自由度。此外，优先向所述检查模块输送用于确认检查的基板的场合，就制品用基板而言禁止输出检查预约信号，因此检查模块优先接受用于确认检查的基板的检查预约信号。因此，在该检查模块中迅速实施确认检查，能够在该确认检查之后迅速进行再开始检查的制品用基板的检查。 
此外，在其它例中，对检查模块进行定期检查的场合，该定期检查过程中对各制品用基板而言禁止输出检查预约信号，因此检查模块优先接受用于确认检查的基板的检查预约信号。因此在该检查模块中迅速实施借助确认检查基板的确认检查，所以缩短了定期检查时间，能够在该确认检查之后迅速进行再开始检查的制品用基板的检查。 
附图说明
图1是表示本发明涂敷、显影装置的一实施方式的平面图。 
图2是表示所述涂敷、显影装置的外观斜视图。 
图3是表示所述涂敷、显影装置的纵剖侧视图。 
图4是所述涂敷、显影装置的控制部的结构图。 
图5是所述涂敷、显影装置中的输送路径图。 
图6是所述涂敷、显影装置中的输送路径图。 
图7是所述涂敷、显影装置中的输送路径图。 
图8是用于说明所述涂敷、显影装置的作用的说明图。 
图9是用于说明所述涂敷、显影装置的作用的说明图。 
图10是表示传统涂敷、显影装置中的输送路径的概略图。 
图11是是用于说明传统涂敷、显影装置的作用的说明图。 
图12是用于说明传统涂敷、显影装置的作用的说明图。 
具体实施方式
首先，参照图1的平面图及图2的斜视图，就本发明一实施方式的涂敷、显影装置2进行说明。该涂敷、显影装置2中，收容用于进行涂敷、显影处理的制品用基板即晶圆W的制品晶圆用托架C1及收容用于确认检查的基板即确认用晶圆CW的确认晶圆用托架C2，通过输送机构(未图示)从涂敷、显影装置2外部搬入搬出。在此，所述确认用晶圆用托架C2相当于收容部。图中21是载放所述托架C1、C2的承载块。例如在制品晶圆W用托架C1中密封收容例如25块晶圆W，每个托架C1中晶圆W的批不同。这里批指的是按处理种类汇集成组的基板群。 
所述承载块21中设有载放所述托架C1、C2的载置部22、在从该载置部22看时设于前方壁面的开合部23、和形成经由开合部23从托架C1、C2取出晶圆W的交接部件的交接臂24。该交接臂24构成为使臂自由升降、自由向左右、前后移动且绕竖直轴自由旋转，根据来自后述控制部100的指令进行控制。 
在所述承载块21背侧，分别由框体将周围包围的检查块40及处理块51按此顺序连接。例如图3所示，检查块40具备：例如2个交接台TRS1、TRS2；例如3个检查模块IM1～IM3；在该交接台TRS1、TRS2、检查模块IM1～IM3及后述处理块S1的交接台TRS3、TRS4之间进行晶圆交接的第二基板输送部件即输送臂4；以及使从处理块S1搬入检查块40的晶圆W暂时滞留的缓冲模块B。所述交接台TRS1、TR2例如上下层叠，此外检查模块IM1～IM3也上下层叠。所述输送臂4具有2个臂，所述臂构成为自由升降、自由向左右、前后移动且绕竖直轴自由旋转，且根据来自后述控制部100的指令进行控制。 
所述交接台TRS1载放例如从托架C1、C2取出并由此向处理块S1给出的晶圆，交接台TRS2载放从检查块40输送至承载块21的晶圆。 
此外，该例中，检查模块IM1是检测晶圆上的宏观(macro)缺陷的宏观检查模块，检查模块IM2是测定晶圆上形成的膜的厚度或图案的线宽的膜厚/线宽检查模块，检查模块IM3是检测曝光的重叠偏移即这次形成的图案与基底图案的位置偏差的重叠检查模块。各检查模块分别具备接受从后述控制部100输出的检查预约信号的预约信号接受部41、42、43，按接受检查预约信号的序号对晶圆(制品用晶圆W及确认用晶圆CW)进行规定检查。 
再有，各检查模块IM1～IM3分别具备信号收发部44、45、46，当发生一些故障时输出规定警报，并且在解除了该故障时向所述控制部100输出故障解除信号或可接受确认检查的信号、定期检查结束信号等，或接收来自控制部100的定期检查指令。所述警报通过警报或灯的点亮、后述控制部100对显示画面的显示等来输出。 
在处理块S1中，交互地排列设置从跟前侧依次将加热/冷却系统的处理模块多级化的3个货架模块25A、25B、25C和用于进行与后述液体处理模块的晶圆W交接的2个第一基板输送部件即主臂26A、26B。所述主臂26A、26B都具备2个臂，且所述臂构成为自由升降、 自由向左右、前后移动且绕竖直轴自由旋转，根据来自后述控制部100的指令进行控制。 
所述货架模块25A、25B、25C及主臂26A、26B从承载块21侧看排列成前后一列，各连接部位G上形成未图示的用于输送晶圆的开口部，晶圆W在处理块S1内，可从一端侧的货架模块25A自由移动到另一端侧的货架模块25C。此外，从承载块21看，主臂26A、26B置于由在前后方向排列的货架模块25A、25B、25C侧的一面侧和例如右侧的液体处理模块侧的一面侧和构成左侧一面的背面部构成的分区壁所围成为空间内。 
在利用主臂26A、26B进行晶圆W的交接的位置上，设有将涂敷抗蚀剂的涂敷装置(COT)或进行显影处理的显影装置(DEV)等液体处理装置多级化的液体处理模块28A、28B。例如图2所示，该液体处理模块28A、28B为收容各液体处理装置的处理容器29层叠成多级例如5级的结构。 
此外，对于所述货架模块25A、25B、25C，除了分配用于进行晶圆W的交接的交接台(TRS)或在显影处理后用于进行晶圆W的加热处理的加热模块(LHP)或在涂敷抗蚀剂液前后或进行显影处理之前用于进行晶圆W的冷却处理的冷却模块(CPL)以外，还分配在涂敷抗蚀剂液之后进行曝光处理前的晶圆W的加热处理的加热模块(PAB)或进行曝光处理后的晶圆W的加热处理的加热模块(PEB)等，例如上下分配10级。在此，所述交接台TRS3、TRS4用于在承载块21与处理块S1之间进行晶圆W的交接。 
在处理块S1的货架模块25C的背侧，经由第一接口块S2及第二接口块S3连接曝光装置S4。所述第一接口块S2具备：对所述处理块S1的货架模块25C的冷却模块CPL或对加热模块PEB进行晶圆W的交接的交接臂31；周边曝光装置或缓冲输送盒等多级排列的货架模块32A和晶圆W的交接台或高精度调温模块等多级配置的货架模块32B。 
此外，在所述第二接口块S3中，设有交接臂33，从而第一接口块S2的货架模块32B或对曝光装置S4的内台34及外台35进行晶圆W交接。 
在此，主臂26A、26B构成为取出置于交接对象的模块上的晶圆W，接着将保持的下个晶圆W交接给该模块。然后，主臂26A、26B根据预先作成的输送计划表(输送晶圆W的模块的序号)，将置于各模块的晶圆W逐块地向下个模块转移。这里模块指的是放置晶圆W的部位，不仅包含所述各种处理模块，而且还包含托架或交接台、缓冲输送盒。 
该涂敷、显影装置2具备例如包含计算机的控制部100，在图4中示出该结构。图中50为总线，连接了用于进行各种运算的CPU51及工作存储器52、程序存放部53。所述程序存放部53中存放了编排命令以实施后述那样的涂敷、显影装置2的作用，即晶圆的处理或晶圆的交接控制等的例如由软件构成的程序。然后，控制部100读出该程序，从而控制部100向交接臂24或输送臂4、主臂26A、26B等输出指令，控制后述涂敷、显影装置2的作用。此外，该程序以收容在例如硬盘、小型光盘、磁光盘、存储卡等存储介质的状态被存放。 
再有，控制部100上连接主计算机101，该主计算机101设定包含例如向涂敷、显影装置2输送的每个托架C1在涂敷、显影处理后是否进入进行检查的批，或进行检查的场合使用哪个检查模块，或在使用多个检查模块的场合以什么样的顺序使用等处理的流程(recipe)信息的识别码，并管理各托架C1搬入涂敷、显影装置2的定时。在托架C1输送至涂敷、显影装置2之前，主计算机101向控制部100发送与该识别码对应的信号，控制部100根据该信号读出程序，通过读出的程序，控制包括交接臂24或输送臂4等的输送动作在内的一连串的处理工序。 
再者，控制部100中具备：用于掌握各批的各晶圆W位于涂敷、显影装置2内的哪个场所的晶圆监视部54；检查预约信号输出部55； 操作员操作的除检查外按钮56；显示部57；确认检查部58；以及臂控制部59。 
所述检查预约信号输出部55是这样的部件，即，在晶圆W通过比输送路径上预定使用的检查模块超前n(n为1以上的整数)个的基准模块时，对所述检查模块输出用于对该晶圆W所属的批进行检查的检查预约信号，或者禁止输出该检查预约信号或解除输出禁止的部件，当确认用晶圆CW通过比输送路径上预定确认检查的检查模块超前n(n为1以上的整数)个的检查用基准模块时，对所述检查模块输出检查预约信号。 
这里，晶圆W通过所述基准模块的时候包含晶圆W借助主臂26A、26B或输送臂4交接到所述基准模块的时候，或晶圆W从所述基准模块交接到主臂26A、26B或输送臂4的时候。此外，确认用晶圆CW通过所述检查用基准模块的时候包含确认用晶圆CW借助交接臂24、输送臂4、主臂26A、26B交接到所述检查用基准模块的时候，或用于确认检查的晶圆W从所述检查用基准模块交接到交接臂24、输送臂4、主臂26A、26B的时候。 
此外，如果所述整数n过大，从所述基准模块输送到检查模块的工序数就会变多，因此一方面延长所述检查模块的准备时间，但所述整数n却越小时，如后所述，在检查模块的故障解除后可迅速在该检查模块中进行制品用晶圆W的检查。而且，确认用晶圆CW如后所述，从承载块21直接输送至检查块40，从所述检查用基准模块输送到该检查模块的工序数最少，因此所述整数n优选1以上且10以下，而且优选向检查模块输送之前对该检查模块输出关于制品用晶圆W及确认用晶圆CW的检查预约信号，因此所述整数n特别优选1以上且5以下。 
所述除检查外按钮56形成选择部件，例如按压时成为除检查外指定的状态，如果恢复该除检查外按钮56就会解除除检查外指定。在此，进行除检查外指定的场合指的是在检查模块的故障被解除后，将 确认用晶圆CW优先输送至该检查模块的场合，在进行除检查外指定的状态下，即使检查模块的故障被解除，也禁止控制部100输出针对制品用晶圆W的所述检查预约信号。此外，如果使该除检查外按钮56恢复，就会解除除检查外指定，从而解除针对制品用晶圆W的所述检查预约信号的输出禁止。不进行所述除检查外指定的场合指的是在解除检查模块的故障后，向该检查模块优先输送制品用晶圆W的场合。 
此外，显示部57中显示来自检查模块的警报信号或故障解除信号、借助确认用晶圆CW的确认检查结束的用意等。此外，确认检查部58是进行如下控制的部件，即，在解除了检查模块的故障时，输出确认用晶圆CW的来自承载块21的给出指令，将确认用晶圆CW输送至所述检查模块，进行该检查模块的确认检查。所述臂控制部59是控制交接臂24或输送臂4、主臂26A、26B、接口臂31、33的部件。 
接着，就本发明的作用，以通过检查模块IM1来对晶圆W进行规定检查的场合为例进行说明。 
当检查模块IM中没有发生故障时，按照图5所示的路径输送晶圆W。首先，如果从外部向承载块21搬入托架C1，开合部23就会打开，同时托架C1的盖体被揭开，利用交接臂24取出晶圆W。然后晶圆W通过交接臂24交接到交接台TRS1，并通过检查模块40的输送臂4输送至交接台TRS3。接着，主臂26A从交接台TRS3接受晶圆W，然后通过主臂26A及26B，按照冷却模块CPL→涂敷装置COT→加热模块PAB→冷却模块CPL的路径输送，进行了抗蚀剂液涂敷的晶圆W被送至第一接口块S2。 
然后在第一接口块S2内，晶圆W被输送至周边曝光装置或高精度调温模块，且经由货架模块32B的交接台输送至第二接口块S3。然后晶圆W借助交接臂33经由曝光装置S4的内台34输送至曝光装置S4，进行曝光处理。 
曝光处理后的晶圆W以外台35→第二接口块S3→第一接口块S2的顺序被输送后，经由交接臂31输送至处理块S1的货架模块25C的 加热模块PEB(未图示)。然后，晶圆W按照冷却模块CPL→显影装置DEV→加热模块LHP→交接台TRS4的路径被输送，如此在显影装置中进行规定显影处理，形成规定抗蚀剂图案。 
接着，检查块40的输送臂4接受交接台TRS4的晶圆W，输送至检查块40的规定检查模块，该例中输送至检查模块IM1。该检查例如对于属于相同的批的制品用晶圆W要进行相同的检查。这时例如该批的前头晶圆通过所述基准模块时，从检查预约信号输出部55向该检查模块IM1的预约信号接受部41输出检查预约信号。在该例中所述基准模块设为所述输送路径中比该检查模块IM1超前1个的模块即交接台TRS4，当主臂26A向该交接台TRS4交接所述前头晶圆W时输出检查预约信号。 
如此，在检查模块IM1中，按接受检查预约信号的顺序对制品用晶圆W进行规定检查。在此，检查预约信号逐批输出，按接受检查预约信号的批顺序，沿着批内的晶圆W的序号进行规定检查。如此，进行检查的晶圆W输送至该检查模块IM1的下个输送目的地即交接台TRS2，然后通过交接臂24来返回到例如承载块21的原来的托架C1。 
另一方面，在检查模块IM1中发生故障的情况下，晶圆W按图6所示的路径被输送。这时若在检查模块IM1中发生故障，则从信号收发部44向控制部100输出警报信号。从而控制部100禁止检查预约信号输出部55输出针对制品用晶圆的检查预约信号，此外操作员判断是否要进行除检查外指定，要进行除检查外指定的场合，按压除检查外按钮56。 
首先，先对进行除检查外指定的场合进行说明。该场合，禁止控制部100输出针对制品用晶圆的检查预约信号，因此在该检查预约信号的输出被禁止的过程中对于前头晶圆通过所述基准模块的批不会输出检查预约信号。此外，即使在检查模块IM1中已经接受检查预约信号的晶圆W，也停止向该检查模块IM1的输送，向输送臂4等输出指令(跳跃输送)，以输送至下个输送目的地，该例中为交接台TRS4。 此外，对于禁止检查预约信号的输出的批的晶圆W，也同样地向检查模块IM1的下个输送目的地即交接台TRS4进行跳跃输送。 
另一方面，一旦解除该检查模块IM1的故障，从检查模块IM1的信号收发部44向控制部100输出故障解除信号，基于该故障解除信号，控制部100的确认检查部58输出确认用晶圆CW的给出指令，该确认用晶圆CW按例如图7所示的路径被输送。即，交接臂24从承载块21的托架C2取出确认用晶圆CW，并置于检查块40的交接台TRS1上，接着用输送臂4来输送到检查模块IM1。 
这时如果通过该输送路径上输送顺序比该检查模块IM1提前1个的检查用基准模块即交接台TRS1，检查预约信号输出部55向该检查模块IM1输出该确认用晶圆CW的检查预约信号。该例中，当利用交接臂24来向交接台TRS1交接所述确认用晶圆CW时，输出检查预约信号。 
在此，被除检查外指定的状态下，如已做的说明，禁止针对制品用晶圆的检查预约信号的输出，因此检查模块IM1优先接受该确认用晶圆CW的检查预约信号。因而确认用晶圆CW不等其它批的晶圆W输送而迅速输送至该检查模块IM1，进行该检查模块IM1的确认检查。该确认检查指的是通过在该检查模块IM1中对所述确认用晶圆CW进行规定检查，确认该检查模块IM是否正常的检查。如此，进行确认检查的确认用晶圆CW按输送臂4→交接台TRS2→交接臂24→托架C2的路径被输送，并从检查块40返回到承载块2。 
如此在进行检查模块IM1的确认检查之后，操作员恢复除检查外按钮56，解除除检查外指定。从而控制部100解除针对制品用晶圆W的检查预约信号的输出禁止，然后，关于前头晶圆输送至基准模块的批，输出检查预约信号，按照接受检查预约信号的顺序，将制品用晶圆W依次输送至所述检查模块IM1，进行规定检查。 
另一方面，在不进行除检查外指定的情况下，操作员不会按压除检查外按钮56，而控制部100如已做说明的那样禁止输出针对制品用 晶圆的检查预约信号，因此在该检查预约信号的输出被禁止的情况下，对于前头晶圆通过所述基准模块的批不会输出检查预约信号。此外，即使在检查模块IM1中已经接受检查预约信号的晶圆W，也停止向该检查模块IM1输送，而跳跃输送至下个输送目的地，该例中为交接台TRS4。此外，对于检查预约信号的输出被禁止的批的晶圆W，也同样跳跃输送至检查模块IM1的下个输送目的地即交接台TRS4。 
然后，一旦解除检查模块IM1的故障，检查模块IM1就会向控制部100输出故障解除信号，基于该故障解除信号，控制部100解除检查预约信号输出部55中制品晶圆W的检查预约信号的输出禁止。从而，对于在所述故障解除后前头晶圆W1通过所述基准模块的批，输出检查预约信号，该批的制品用晶圆按接受检查预约信号的顺序输送至检查模块IM1，在该检查模块IM1中进行检查。 
以进行除检查外指定的场合为例并借助图8，对本发明的晶圆W的输送进行具体说明。该图8对应于背景技术中说明的图11，在此对与图11的不同点进行说明。该图中横轴也表示时间，第1级表示承载块21中制品用晶圆W从托架C1被取出的定时和所述晶圆W返回到该托架C1的定时，第2级表示检查模块IM1中的晶圆的处理状态。 
首先第1级中与图11的不同点在于：在各批A～F中，要输送到检查模块IM1之前的定时即批的前头晶圆W交接到交接台TRS4(基准模块)时，向检查模块IM1输出检查预约信号。即，批A中前头晶圆A1输送到检查模块IM1的时刻T2之前输出检查预约信号a。 
此外，对于第2级，与图11的场合相同，时刻T3表示检查模块IM1中发生故障的时刻，时刻T5表示该检查模块IM1的故障被解除且成为能够使用的时刻。在该故障发生的期间从控制部100到检查模块IM1的检查预约信号的输出被禁止，因此在该时间(时刻T3和时刻T5之间)对于前头晶圆通过所述交接台TRS4的批B、批C、批D，不输出检查预约信号。然后操作员按压除检查外按钮56进行除检查外指定的时刻设为时刻Ta。操作员在确认故障发生的警报后，判断是 否进行除检查外指定，因此故障发生与除检查外指定的定时稍错开。 
然后在时刻T5故障一旦被解除，就从检查模块IM1向控制部100输出故障解除信号，基于来自控制部100的确认用晶圆CW的给出指令，从承载块21给出所述确认用晶圆CW。在该确认用晶圆CW要输送到检查模块IM1之前，即交接到交接台TRS1(检查用基准模块)的时刻T6，控制部100向所述检查模块IM1输出该确认用晶圆CW的检查预约信号w。 
在此，检查模块IM1的故障发生的情况下，禁止控制部100输出针对制品用晶圆W的检查预约信号，因此该确认用晶圆的检查预约信号w在批A的检查预约信号a之后优先被该检查模块IM1接受。因此确认用晶圆CW在批A的晶圆W被输送后，不等其它批的输送而立即输送至检查模块IM1。 
另一方面，对于不会输出检查预约信号的批B～批D的全部晶圆以及在发生故障后输送到该检查模块IM1的预定的晶圆，进行跳跃输送，从处理块S1直接输送至该检查模块IM1的下个输送目的地即交接台TRS2。 
然后，如果结束借助所述确认用晶圆CW的该检查模块IM1的确认检查，例如该用意显示于显示部57上，操作员就会再次按压除检查外按钮56，从而解除除检查外指定。在此，时刻Tb相当于解除除检查外指定的时刻。从而控制部100解除对制品用晶圆W的检查预约信号的输出禁止，关于这以后的前头晶圆通过所述基准模块的批E、批F，输出检查预约信号。然后这些批E、批F的制品用晶圆W依次输送至检查模块IM1，而在该检查模块IM1中按接受检查预约信号的顺序进行检查。 
如此依据本发明，可通过操作员选择是否进行除检查外指定，因此能够在检查模块IM1的故障被解除后选择优先在检查模块IM1中检查制品晶圆W还是先输送用于确认检查的晶圆CW，提高了处理自由度。 
然后，在优先输送确认用晶圆CW的场合，如已做说明的那样，自发生故障后检查模块IM1以第1的优先顺序接受确认用晶圆CW的检查预约信号w，因此在解除了检查模块IM的故障后，能够立即将确认检查晶圆输送至检查模块IM，进行该检查模块IM的确认检查。因此，能够使该确认检查后再开始的检查模块IM1的开始使用时刻早于图11所示的传统例。因而，能够将制品用晶圆W迅速输送至检查模块IM1，在该例中，能够用批E的制品用晶圆W在该检查模块IM1中进行检查，因此与以往相比，减少不会输送到检查模块IM1而会输送到下个输送目的地的制品用晶圆W的块数，能够对更多的制品用晶圆W进行检查。 
接着对本发明的其它实施方式进行说明。该实施方式中，进行重叠检查的重叠检查模块IM3进行一日一次的定期检查(维护)的场合，进行该定期检查过程中禁止输出针对制品用晶圆W的检查预约信号，使得优先接受确认用晶圆CW的检查预约信号。 
该定期检查是基于1日一次从主计算机101经由控制部100输出至该检查模块IM3令它做定期检查的指令来进行的。然后进行该定期检查的期间，控制部100的检查预约信号输出部55禁止输出针对制品用晶圆的检查预约信号。另一方面，检查模块IM3在执行定期检查的期间以规定定时向控制部100输出可接受确认用检查的信号。基于该信号，控制部100在确认检查部58中输出确认用晶圆CW的给出指令，从承载块21给出确认用晶圆CW，并输送至检查模块IM3。然后在向交接台TRS1(检查用基准模块)交接该确认用晶圆CW的定时，输出该确认用晶圆CW的检查予约信号，实施该检查模块IM3借助该确认用晶圆CW的确认检查。如此在借助确认用晶圆CW的确认检查结束的时刻结束定期检查。 
若结束定期检查，则从该检查模块IM3向控制部100输出定期检查结束信号，基于该定期检查结束信号，在控制部100的检查预约信号输出部55中解除针对制品晶圆的检查预约信号的输出禁止。从而 在定期检查结束后对前头晶圆W输送至所述基准模块的批输出检查预约信号。 
这时，在进行该检查模块IM3的定期检查的过程中，即使在该检查模块IM3已经接受检查预约信号的晶圆W，并且已停止了检查预约信号的输出的批的晶圆W，也向下个输送目的地即交接台TRS2跳跃输送。该跳跃输送中，制品用晶圆W越过该检查模块IM3而输送至下个输送目的地，因此确认用晶圆CW与制品用晶圆W的跳跃输送并行地输送至该检查模块IM3。因此无需等待其它批的输送而立即输送至检查模块IM3，迅速进行确认检查。 
对于该实施方式，借助图9进行更具体的说明。该图9与背景技术中说明的图12对应，在此对与图12的不同点进行说明。该图中横轴也表示时间，第1级表示承载块21中从托架C1取出制品用晶圆W的定时和制品用晶圆W回到该托架C1的定时，第2级表示检查模块IM3中的晶圆W的处理状态。 
首先第1级中与图12的不同点在于：各批A～F中要输送到检查模块IM3之前，即批的前头晶圆交接到交接台TRS4(基准模块)的定时，向重叠检查模块IM3输出检查预约信号。即，批A中，在最初晶圆A1输送至检查模块IM3的时刻T12之前输出检查预约信号a。 
此外，对于第2级，与图12的场合相同，时刻T13表示预定使用的检查模块IM3的定期检查开始的时刻，时T15’表示定期检查结束且该检查模块IM3成为能够使用的时刻。然后，在该实施方式中，在进行检查模块IM3的定期检查的期间，禁止控制部100输出针对制品用晶圆W的检查预约信号，因此该定期检查中对于前头晶圆输送至所述基准模块的批B不会输出检查预约信号。然后定期检查进行至某一程度的定时，从检查模块IM3向控制部100输出可接受确认检查的信号，基于该信号，控制部100通过确认检查部58给出所述确认用晶圆CW，并输送至检查模块IM3。该确认用晶圆CW在交接到交接台TRS1(检查用基准模块)的定时，从控制部100向检查模块IM3 输出检查预约信号w。在该定期检查的期间，如已做说明的那样，禁止输出制品用晶圆的检查预约信号，因此该检查模块IM3以批A的检查预约信号a之后的序号优先接受该确认用晶圆CW的检查预约信号w。因此确认用晶圆CW不等其它批的输送而立即输送到检查模块IM3，进行确认检查。 
另一方面，对于停止了检查预约信号的输出的批B的全部晶圆以及输出了检查预约信号且向检查模块IM3输送的预定的批A的剩下晶圆进行跳跃输送，直接输送至该检查模块IM3的下个输送目的地即交接台TRS2。这时如已做说明的那样，确认用晶圆CW与该跳跃输送并行地输送至检查模块IM3。 
若结束借助所述确认检查用晶圆CW的确认检查，则该确认检查结束信号输出至控制部100，结束定期检查，控制部100解除针对制品晶圆的检查预约信号的输出禁止。然后，对于前头晶圆输送至所述基准模块的批C、批D、批E、批F的晶圆W，向检查模块IM3输出检查预约信号，在该检查模块IM3中按接受检查预约信号的顺序进行制品用晶圆W的检查。 
如此，依据本实施方式，使检查预约信号在输送至检查模块IM3之前输出，且在进行检查模块IM3的定期检查的期间，禁止输出针对制品晶圆的检查预约信号，并将确认用晶圆CW与制品用晶圆W的跳跃输送并行地输送至检查模块IM3，进行确认检查，因此以能够在该检查模块IM3中接受确认用晶圆CW的定时，能够立即将确认检查晶圆CW输送至检查模块IM3。因此能够比传统例缩短定期检查时间。从而与以往相比，减少跳跃输送的制品用晶圆W的块数，能够对更多的制品用晶圆W进行检查。 
以上，在检查块40中，以检查模块IM1→检查模块IM2→检查模块IM3的路径输送并进行检查的情况下，检查模块IM1中发生故障时，通过跳跃输送来输送至下个输送目的地即检查模块IM2。 
此外，收容确认用晶圆CW的收容部并不限于托架C2，例如可 由缓冲器等构成，并设于检查块40或处理块S1内。再者，进行除检查外指定的场合，可在故障发生前进行。例如可以预先在发生故障进进行除检查外指定的方式，例如先指定开始处理时，例如与故障发生同时进行除检查外指定，并设定在借助确认用晶圆CW的检查模块IM的确认检查结束的阶段解除除检查外指定。 
以上说明的本发明的涂敷、显影装置并不限于上述的例子，涂敷抗蚀剂液的块和进行显影处理的块可为不同结构，并且检查块的位置也不限于上述的例子。此外，本发明中的基板除了半导体晶圆W外，还可以是FPD基板等。 

Claims (8)

1.一种逐批对多块制品用基板进行处理的涂敷、显影装置，其特征在于具备：
承载块，载放逐批收容多块制品用基板的制品用托架，且具有在与所述托架邻接的块之间进行基板交接的交接部件；
处理块，包括多个模块和第一基板输送部件，所述多个模块中包含用于对从所述承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理以及对涂敷了抗蚀剂且已曝光的制品用基板进行显影处理的模块，所述第一基板输送部件对这些模块进行制品用基板的交接；
检查块，包括用于对显影处理的制品用基板按接受检查预约的顺序进行检查的检查模块和对该检查模块进行基板交接的第二基板输
送部件；
收容部，收容用于确认所述检查模块是否正常的用于确认检查的基板；
选择部件，对于发生故障的所述检查模块，在解除故障后由操作员选择优先输送所述制品用基板和所述用于确认检查的基板中的哪一个；以及
控制部件，控制所述交接部件及第二基板输送部件，
所述控制部件执行以下步骤：
当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n个的基准模块时，其中n为1以上的整数，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的步骤；
在所述检查模块发生故障的期间，禁止输出针对所述制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的步骤；
当该检查模块的故障解除且所述选择部件选择了制品用基板时，解除针对所述制品用基板的检查预约信号的输出禁止的步骤；以及
当该检查模块的故障被解除且所述选择部件选择了用于确认检查的基板时，从所述收容部搬出所述用于确认检查的基板，并输出针对该用于确认检查的基板的检查预约信号，同时在借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查结束后，解除针对所述制品用基板的检查预约信号的输出禁止的步骤。
2.一种逐批对多块制品用基板进行处理的涂敷、显影装置，其特征在于具备：
承载块，载放逐批收容多块制品用基板的制品用托架，且具有在与所述托架邻接的块之间进行基板交接的交接部件；
处理块，包括多个模块和第一基板输送部件，所述多个模块中包含用于对从所述承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理以及对涂敷了抗蚀剂且已曝光的制品用基板进行显影处理的模块，所述第一基板输送部件对这些模块进行制品用基板的交接；
检查块，包括用于对显影处理的制品用基板按接受检查预约的顺序进行检查的检查模块和对该检查模块进行基板交接的第二基板输送部件；
收容部，收容用于确认所述检查模块是否正常的用于确认检查的基板；以及
控制部件，控制所述交接部件及第二基板输送部件，
所述控制部件执行以下步骤：
当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n个的基准模块时，其中n为1以上的整数，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的步骤；
在进行所述检查模块的定期检查的期间，禁止输出针对所述制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的步骤；
在该检查模块的定期检查结束之前，从所述收容部搬出所述用于确认检查的基板，并输出针对该用于确认检查的基板的检查预约信号的步骤；以及
在借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查结束后，解除针对所述制品用基板的检查预约信号的输出禁止的步骤。
3.如权利要求1或2所述的涂敷、显影装置，其特征在于：所述检查块设于承载块和处理块之间。
4.如权利要求1或2所述的涂敷、显影装置，其特征在于：所述收容部是收容用于确认检查的基板的托架，该托架载放于所述承载块上。
5.如权利要求1或2所述的涂敷、显影装置，其特征在于：当通过所述基准模块时，输出了所述检查预约信号的制品用基板是该制品用基板所属的批的前头制品用基板。
6.如权利要求1或2所述的涂敷、显影装置，其特征在于：所述制品用基板通过基准模块的时候是所述制品用基板从所述第一基板输送部件或第二基板输送部件交接到所述基准模块的时候，或者所述制品用基板从所述基准模块交接到所述第一基板输送部件或第二基板输送部件的时候。
7.一种逐批处理多块制品基板的涂敷、显影方法，在处理块对从承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理及对已涂敷抗蚀剂且曝光的制品用基板进行显影处理，并在检查模块对该显影处理的制品用基板进行检查之后返回承载块，并通过用于确认检查的基板进行用于确认所述检查模块是否正常的确认检查，其特征在于包含：当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n个的基准模块时，其中n为1以上的整数，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的工序；在所述检查模块对所述制品用基板按检查预约信号的接受顺序进行检查的工序；
在故障解除后，操作员选择向发生故障的所述检查模块优先输送所述制品用基板和所述用于确认检查的基板中的哪一个的工序；
在所述检查模块发生故障的期间，禁止输出针对制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的工序；
当该检查模块的故障被解除且选择制品用基板作为优先输送的基板时，解除针对制品用基板的检查预约信号的输出禁止的工序；以及
当该检查模块的故障解除且选择用于确认检查的基板作为优先输送的基板时，输出针对所述用于确认检查的基板的检查预约信号，将该用于确认检查的基板输送至该检查模块，并在结束借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查后，解除针对制品用基板的检查预约信号的输出禁止的工序。
8.一种逐批处理多块制品基板的涂敷、显影方法，在处理块对从承载块交接的制品用基板进行抗蚀剂的涂敷处理及对已涂敷抗蚀剂且曝光的制品用基板进行显影处理，并在检查模块对该显影处理的制品用基板进行检查之后返回承载块，并通过用于确认检查的基板进行用于确认所述检查模块是否正常的确认检查，其特征在于包含：
当所述制品用基板通过比输送路径上的所述检查模块超前n个的基准模块时，其中n为1以上的整数，对所述检查模块，输出用于对该制品用基板所属的批进行检查的检查预约信号的工序；
在所述检查模块对所述制品用基板按检查预约信号的接受顺序进行检查的工序；
在进行所述检查模块的定期检查的期间，禁止输出针对制品用基板的检查预约信号，将向该检查模块输送的预定的制品用基板输送至该检查模块的下个输送顺序的模块的工序；
在结束该检查模块的定期检查之前，输出针对所述用于确认检查的基板的检查预约信号，将该用于确认检查的基板输送至该检查模块的工序；以及
在结束借助所述用于确认检查的基板的所述检查模块的确认检查后，解除针对制品用基板的检查预约信号的输出禁止。
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