JP4749197B2 - 基板処理装置の制御方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）等の基板を処理する基板処理装置の制御方法に関する。

従来、この種の方法として、複数枚の基板を一つの処理単位としたロットを搬入する搬入部と、搬入されたロットを一時的に載置しておく載置部とを備えるとともに、薬液による処理を行う薬液処理部と、純水による洗浄を行う洗浄処理部と、乾燥処理を行う乾燥処理部等の各処理部を備えた基板処理装置において、各処理部に沿って配設された搬送機構がイベント駆動型の制御で複数個のロットを各処理部に順次に搬送する制御方法が挙げられる（例えば、特許文献１参照）。

「イベント駆動型」とは、現在の処理部における処理が終わり、かつ次の処理部における先行ロットの処理が終わったことを受けて、搬送機構が次の処理部に対して次のロットの搬送を開始するとともに、次の処理部が次のロットに対する処理の準備を開始するという、現在の処理が完了したことを受けて次なる処理が開始されるという方式である。因みに、このイベント駆動型に対して、処理の開始前に全ての処理部における処理の時刻が予め決定される方式があるが、これは「スケジュール方式」と称される。

上述したような「イベント駆動型」によると、ロットが搬入部に搬入された時点において、各処理部における処理の手順を規定したレシピが装置のオペレータによって指示され、ここで対応付けられたレシピに基づいて、各処理部においてロットに対する処理が順次に行われる。このような制御方法によると、例えば、図１１（ａ）のように処理が進むことになる。

すなわち、ロットＬ１が載置部において待機し（Ｌ１−１）、次に、第１槽における処理（Ｌ１−２）、第２槽における処理（Ｌ１−３）、第３槽における処理（Ｌ１−４）、第４槽における処理（Ｌ１−５）がされる。次に、ロットＬ１が載置部から搬送された後、次なるロットＬ２が投入されて載置部において待機し（Ｌ２−１）、次に、ロットＬ１の第１槽における処理（Ｌ１−２）が完了した後に、ロットＬ２が第１槽において処理され（Ｌ２−２）、第２槽において処理される（Ｌ２−３）。しかし、ロットＬ２に対する第２槽における処理が終わったとしても、ロットＬ１に対する第３槽における処理が終わっていないので、ロットＬ２は、第２槽における処理を終えた状態で、次の第３槽が空くまで待機時間ｗｔだけ待つ必要が生じる。このように、槽でロットＬ２を待たせるという不適切な待機は、基板に対する悪影響を考えると極力避ける必要がある。

上記のような待機時間ｗｔを回避するために、投入されるロットとレシピが対応付けられた時点で、例えば、図１１（ｂ）のように、各槽への「到着予想時刻」を求めることが行われる。
すなわち、最初のロットＬ１が搬入部に搬入された時点で、ロットＬ１が載置部を出て第１槽に到着する到着予想時刻ｔ１−２と、第２槽に到着する到着予想時刻ｔ１−３と、第３槽に到着する到着予想時刻ｔ１−４と、第４槽に到着する到着予想時刻ｔ１−５が求められる。これらの到着予想時刻を勘案し、ロットＬ２について上記の待ち時間ｗｔが生じないようにロットＬ２に対する処理を開始すればよい。つまり、上記で処理が重なった第３槽における処理が重複しないように、ロットＬ１の第３槽への到着予想時刻とそのレシピを考慮して、ロットＬ２を時刻ｔ２−２で第１槽に投入すればよい。また、ロットＬ２についても各槽への到着予想時刻（ｔ２−２，ｔ２−３，ｔ２−４，ｔ２−５）を求めておく。これにより槽での待機がなくなり、槽内待機による基板への悪影響を回避することができる。
特開平１０−２９４３５３号公報（図１）

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の方法は、各槽への到着予想時刻が、搬送機構による「最大搬送時間」を考慮してある。この「最大搬送時間」とは、最も離れた位置に搬送機構が位置していることを想定し、そこから搬送機構が移動してきてロットの搬送を開始し、次の槽までロットを搬送し、かつ、搬送機構における昇降等の各動作に要する「最大の時間」を勘案して決められている時間である。これは、各槽で処理を順次に行うにあたり、搬送機構によるロットの搬送に最も時間がかかったとしても各槽や次なるロットの処理に悪影響が及ばないように、十分な余裕がもてるように予め固定的に決められている。したがって、実際には、最大搬送時間よりも短い時間で搬送が完了するにもかかわらず、「到着予想時刻」に応じて各ロットの処理を進めるので、各ロットの処理が長くなるという問題がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、到着予想時刻の更新頻度を多くすることにより、不適切な待機を減らしつつも処理時間を短くすることができる基板処理装置の制御方法を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、処理液で基板に処理を行う複数個の処理部と前記処理部に対する制御を行う制御部とを備え、複数のロットを搬送機構により各処理部に順次に移動しつつ処理を行う基板処理装置の制御方法において、前記制御部は、複数のロットを順次に搬入するとともに、ロットに対応付けられたレシピに対して搬送機構による最大搬送時間を考慮し、ロットが各処理部へ到着する時刻を到着予想時刻として求め、次なるロットに対応付けられたレシピに対して搬送機構による最大搬送時間を考慮するとともに、先行するロットの各処理部における到着予想時刻を考慮し、次なるロットが各処理部へ到着する時刻を到着予想時刻として求める過程と、各ロットが搬送機構によって搬送されて更新ポイントに移動してくるごとに、各ロットについて各処理部への実際の到着時刻を考慮して前記到着予想時刻を再計算する過程と、を実行し、前記到着予想時刻を求める過程は、前記制御部が、求められた到着予想時刻を各処理部に対して送信する過程を含み、前記最大搬送時間は、搬送の経時変化、および余裕時間を加えた時間であることを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項1に記載の発明によれば、制御部は、複数のロットを順次に搬入するとともに、最大搬送時間を考慮してロットが各処理部へ到着する時刻を一旦は到着予想時刻として求め、次なるロットについても最大搬送時間を考慮するとともに、先行するロットの到着予想時刻を考慮して、次なるロットが各処理部へ到着する時刻を一旦は到着予想時刻として求める。さらに、各ロットが搬送機構によって搬送されて更新ポイントに移動してくるごとに、各ロットについて実際の到着時刻を考慮して、先に求めた各到着予想時刻を再計算して更新する。このように、ロットが更新ポイントに移動するごとに、実際の到着時刻に応じて到着予想時刻を更新するので、最大搬送時間よりも短時間で搬送が行われたことを反映させることができる。したがって、到着予想時刻の更新頻度を多くすることで、不適切な待機を減らしつつもロットの処理時間を短くすることができる。また、到着予想時刻を受け取った各処理部は、例えば、所定の使用回数や所定の使用時間が経過した時点で薬液を新たなものに交換するという管理を行っている場合に、予め薬液交換などの比較的長時間を要するメンテナンスをどの時点で行えばよいかを予め判断することができ、薬液交換に伴うロットの不適切な待機時間が生じることを防止できる。

また、本発明において、更新ポイントは、搬入されたロットを一時的に載置しておく載置部と、薬液による処理を行う薬液処理部と、純水による洗浄を行う洗浄処理部と、乾燥処理を行う乾燥処理部におけるロットの払出位置であることが好ましい（請求項２）。載置部と、薬液処理部と、洗浄処理部と、乾燥処理部を経て一通りの処理が行われることが多いので、これらの各処理部においてロットが払い出された位置を更新ポイントとすることにより、最大搬送時間の短縮分を細かく反映させることができる。

（削除）

さらに、本発明において、薬液処理部は、送信されてきた到着予想時刻に基づき薬液交換の処理を行うことが好ましい（請求項３）。到着予想時刻により、薬液交換のタイミングを予め設定することができ、効率よく薬液交換ができる。

さらに、本発明において、前記薬液処理部が複数個ある場合、前記各薬液処理部は、前記制御部の制御の下で互いに異なるタイミングで薬液が交換され、かつ、その交換タイミングは、各々が記憶している前回の薬液交換時点からの経過時間に基づき決められることが好ましい（請求項４）。複数個の薬液処理部の薬液交換タイミングをずらしておき、かつ各薬液処理部が記憶している、前回の薬液交換時点からの経過時間に基づき薬液交換を行うことにより、薬液の使用時間に応じて交換を行う「ライフタイム」で管理している場合であっても、待ち時間を抑制することができるので、効率よく処理を行うことができる。

本発明に係る基板処理装置の制御方法によれば、制御部は、ロットが更新ポイントに移動するごとに、ロットの実際の到着時刻に応じて到着予想時刻を更新するので、最大搬送時間よりも短時間で搬送が行われたことを反映させることができる。したがって、到着予想時刻の更新頻度を多くすることで、不適切な待機を減らしつつもロットの処理時間を短縮することができる。また、到着予想時刻を受け取った各処理部は、例えば、所定の使用回数や所定の使用時間が経過した時点で薬液を新たなものに交換するという管理を行っている場合に、予め薬液交換などの比較的長時間を要するメンテナンスをどの時点で行えばよいかを予め判断することができ、薬液交換に伴うロットの不適切な待機時間が生じることを防止できる。

以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明する。
図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図であり、図２は、基板処理装置の制御系を示すブロック図である。

基板処理装置１は複数個の処理部を備えており、具体的には、搬入部３と、搬送機構５と、ストッカ７と、載置部９と、主搬送機構１０と、第１薬液槽１１と、第１純水槽１３と、第２薬液槽１５と、第２純水槽１７と、乾燥室１９と、載置部２１と、ストッカ２３と、搬送機構２５と、搬出部２７とを備えている。特に、載置部９と、主搬送機構１０と、第１薬液槽１１と、第１純水槽１３と、第２薬液槽１５と、第２純水槽１７と、乾燥室１９と、載置部２１とは、ロットＬが搬送されていく方向に並設されている。

搬入部３は、ロットＬに相当する複数枚の未処理の基板ＷをカセットＣに搭載した状態で搬入されるものであり、その隣接する位置には、オペレータによってレシピを指示したり、レシピを入力・編集したりするための操作部２９が配設されている。搬入部３の奥側には、搬入部３とストッカ７との間及びストッカ７と載置部９との間でロットＬを搬送する搬送機構５が備えられている。ストッカ７は、未処理の複数のロットＬを一時的に収納するバッファのような役割を備えている。載置部９は、ストッカ７から搬送されてきたロットＬを載置するとともに、カセットＣから基板Ｗだけを搬送できるように処理する機能を備えている。

主搬送機構１０は、載置部９と、第１薬液槽１１と、第１純水槽１３と、第２薬液槽１５と、第２純水槽１７と、乾燥室１９と、載置部２１に沿って移動可能に構成されている。主搬送機構１０は、昇降可能に構成された一対のアーム１０ａを備えており、一対のアーム１０ａで複数枚の基板Ｗを挟持し、載置部９，２１及び後述する昇降機構３１との間でロットＬを受け渡す機能を備えている。

第１薬液槽１１は、槽内に薬液を貯留可能であり、この薬液にロットＬをレシピに応じた時間だけ浸漬させて薬液処理を行うものである。また、槽内と槽の上方にわたって昇降自在に構成された昇降機構３１を備えており、昇降機構３１と主搬送機構１０との間でロットＬの受け渡しを行う。

第１純水槽１３は、槽内に純水を貯留可能であり、この純水にロットＬをレシピに応じた時間だけ浸漬させて純水処理を行うものである。また、第１薬液槽１１と同様に、昇降機構３１を備えている。

第２薬液槽１５と第２純水槽１７は、それぞれ上述した第１薬液槽１１及び第１純水槽１３と同様の構成である。

なお、上述した第１薬液槽１１と第２薬液槽１５が本発明における薬液処理部に相当し、第１純水槽１３と第２純水槽１７が本発明における洗浄処理部に相当する。

本発明における乾燥処理部に相当する乾燥室１９は、純水から引き上げられて搬送されてきたロットＬを乾燥させる機能を有する。載置部２１は、乾燥されたロットＬをカセットＣに収容するとともに、一時的にロットを載置しておく。ストッカ２３は、処理済みの複数のロットＬを一時的に載置するバッファのような役割を備える。搬送機構２５は、載置部２１とストッカ２３との間及びストッカ２３と搬出部２７との間でロットＬを搬送する機能を備えている。

上述した装置は、次のような制御系を備えている。

本発明における制御部に相当する主制御部３３は、ＣＰＵ等を内蔵しており、後述する各部を統括的に制御する機能を備えている。なお、その制御は、前の処理が完了したことに基づき次の処理に移行するという、いわゆる「イベント駆動型」と呼ばれるものである。メモリ３５は、レシピ、制御プログラム、後述する最大搬送時間や、複数箇所の更新ポイント等を予め記憶している。記憶されているレシピの編集や指示、新たに入力されるレシピの設定等は、操作部２９から行われる。

搬送機構制御部３７は、主制御部３３の制御の下で、搬送機構５による未処理のロットＬの搬送を司る。ストッカ制御部３９は、ストッカ７に収容された未処理のロットＬの管理等を担う。載置部シーケンサ４１と、第１薬液槽シーケンサ４３と、第１純水槽シーケンサ４５と、第２薬液槽シーケンサ４７と、第２純水槽シーケンサ４９と、乾燥室シーケンサ５１と、載置部シーケンサ５３とは、それぞれ第１薬液槽１１、第１純水槽１３、第２薬液槽１５、第２純水槽１７、乾燥室１９、載置部２１における薬液や純水等の管理・制御を主制御部３３の制御に応じて行う。また、第１薬液槽シーケンサ４３と第２薬液槽シーケンサ４７は、薬液の寿命を使用時間（ライフタイム）や使用回数（ライフカウント）で管理しており、いずれかがアップしたことに基づき行う薬液の交換処理の制御も行う。主搬送機構制御部５５は、主制御部３３の制御の下で、主搬送機構１０の水平移動や、一対のアーム１０ａの昇降及び開閉等を制御する。ストッカ制御部５７は、ストッカ２３に収容された、処理済みのロットＬの管理等を担う。搬送機構制御部５９は、主制御部３３の制御の下で、搬送機構２５によるロットＬの搬送を制御する。

主制御部３３は、搬入部３にロットＬが載置され、オペレータによって操作部２９からレシピが指示された時点で、そのレシピの内容をメモリ３５から参照するとともに、ストッカ７、載置部９、第１薬液槽１１、第１純水槽１３、第２薬液槽１５、第２純水槽１７、乾燥室１９、載置部２１、ストッカ２３の各部にロットＬが到着する時刻を「到着予想時刻」として算出し、これらをそのロットＬの到着予想時刻としてメモリ３５に記憶する。その後、ロットＬがレシピに応じて搬送されてゆくが、複数箇所設定してある「更新ポイント」にロットＬが到達する度に、到達予想時刻を再計算して新たな到達予想時刻を求め、メモリ３５の当該時刻を更新する。ここでいう「更新ポイント」とは、例えば、載置部９からロットＬが搬送され始める位置、換言すると処理部におけるロットＬの「払出位置」のことである。また、各処理部にロットＬを移動する際には、搬送処理が伴うが、例えば、主搬送機構１０によって第１薬液槽１１から第１純水槽１３へロットＬが移動する際には、主制御部３３は「最大搬送時間」を考慮する。

上記の「最大搬送時間」とは、搬送機構５、主搬送機構１０、搬送機構２５がロットＬを搬送するのに要する最大の時間である。好ましくは、経時変化を見込んでさらに余裕時間を加えた時間である。例えば、同じ位置における搬送に伴う動作であっても常に同じ時間で搬送が完了することはなく、一般的にはある程度のバラツキがある。これらのうち最長の時間を見込んだものが最大搬送時間であり、装置の構成に応じて予め固定的に設定されている。特に、主搬送機構１０は、載置部９から載置部２１までの間における全ての搬送を担っている関係上、搬送を指示された時点でどの位置にあるかによって搬送を始めるまでの時間にも差異が生じる。そのため到着予想時刻を求める際には、最も時間がかかる、例えば、載置部９からロットＬを払い出す際に、主搬送機構１０が載置部２１との間で搬送を行う位置にあった場合に要する時間に加え、余裕時間を足したものを最大搬送時間として予め固定設定してある。

また、主制御部３３は、先行するロットＬに続いて投入されたロットＬについても、指示されたレシピ及び最大搬送時間を考慮し、さらに先行するロットＬの処理と重複しないように到着予想時刻を算出し、これらをメモリ３５に記憶する。そして、処理が進行する中で、更新ポイントにロットＬが移動すると、先に求めた到着予想時刻を再計算して更新する。

次に、図３を参照して、具体的な制御について説明する。なお、図３は、ロットを処理する際の制御方法を示すフローチャートである。

ステップＳ１、Ｓ２
処理対象の未処理の基板Ｗを複数枚有するロットＬが搬入部３に載置され、ロットＬの投入が行われる。装置のオペレータは、そのロットＬに応じたレシピを操作部２９から指示する。

ステップＳ３
主制御部３３は、メモリ３５を参照し、指示されたレシピに応じて各部への到着予想時刻を計算してメモリ３５に記憶する。その計算は、上述した最大搬送時間を含めたものである。各到着予想時刻のうち、第１薬液槽１１と第２薬液槽１５への到着予想時刻は、それぞれ第１薬液槽シーケンサ４３と第２薬液槽シーケンサ４７へ送信される。

ステップＳ４
各部は、レシピに応じた制御を開始するために、搬送を含む制御を開始する。最初のロットＬが搬送されて処理が開始されると、上記ステップＳ１、Ｓ２のように次なるロットＬが投入され、上記同様に到着予想時刻が求められるが、それらはレシピ及び先行するロットとの処理が重複しないようにされる。

ステップＳ５〜Ｓ７
ロットＬに対する処理が進められる中、各ロットＬが更新ポイントに位置した場合には、当該ロットＬの到着予想時刻を再度計算して、メモリ３５に記憶されている先の時刻を更新する。すなわち、到着予想時刻は、最大搬送時間を含むものであるので、通常は、それよりも短い時間で処理が完了する。更新ポイントで再計算して、到着予想時刻を更新することにより、実際の到着時刻に応じて到着予想時刻を更新するので、最大搬送時間よりも短時間で搬送が行われたことを反映させることができる。更新ポイントでない場合には、レシピを参照して処理が終了か否かに応じて処理を分岐する。

次に、具体的なロットの処理について説明する。図４〜７は、ロットを処理する際の制御方法を示すタイムチャートである。なお、理解を容易にするために、処理を簡易化し、搬入部３、載置部９、第１薬液槽１１、第１純水槽１３、第２薬液槽１５、第２純水槽１７を順に利用した処理に限定して説明する。また、更新ポイントは、第１薬液槽１１を含む、これよりも下流の処理部であるとする。

まず、最初のロットＬ１が投入された時点について説明する。なお、この時点を図４中に符号ｐｔ１で表す。

ロットＬ１は、載置部９への到着予想時刻ｔ１−２と、第１薬液槽１１への到着予想時刻ｔ１−３と、第１純水槽１３への到着予想時刻ｔ１−４と、第２薬液槽１５への到着予想時刻ｔ１−５と、第２純水槽１７への到着予想時刻ｔ１−６が算出される。そして、搬入部３からロットＬ１が搬送されてレシピに応じた処理が開始される。これらの各到着予想時刻通りにロットＬ１が搬送され、レシピに応じて処理が進行したとすると、図４に縦線でハッチングしたブロックのように処理が進行することになる。なお、図中のブロックは、例えば、レシピに応じた第１薬液槽１１における実質の処理の前後に、未処理ロットの受け入れ準備及び受け入れ動作と、処理済みロットの搬出準備及び搬出動作などを含むものとする。

ここで、ロットＬ１が載置部９に搬送され第１薬液槽１１へ搬送が開始された時点ｐｔ２になり、ロットＬ２が投入されたとする。そして、各部への到着予想時刻として、先行するロットＬ１との処理が重複することを回避しつつ、レシピを考慮して到着予想時刻ｔ２−２、ｔ２−３、ｔ２−４、ｔ２−５、ｔ２−６が求められたとする。これらの各到着予想時刻通りにロットＬ２が搬送され、レシピに応じて処理が進行したとすると、図４に横線でハッチングしたブロックのように処理が進行することになる。同様に、ロットＬ３が投入され、現在時刻が時点ｐｔ３となったものとする。そして、先行するロットＬ１、Ｌ２との重複を回避しつつレシピを考慮すると、各部への到着予想時刻ｔ３−２、ｔ３−３、ｔ３−４、ｔ３−５、ｔ３−６が算出される。これらの各到着予想時刻通りにロットＬ３が搬送され、レシピに応じて処理が進行したとすると、図４に黒塗りで示したブロックのように処理が進行することになる。

図５を参照する。
上述したように各ロットＬ１〜Ｌ３について各部への到着予想時刻が算出され、各処理が実際に進行してゆくが、ここで現在時点ｐｔ４においてロットＬ１の第１薬液槽１１での処理が完了して、予定より早く更新ポイントに到達したとする（処理Ｌ１−３の一部点線分だけ早く完了）。

この時点ｐｔ４で、主制御部３３は各到達予定時刻を再計算し、現在時刻時点ｐｔ４以降のロットＬ１の各到着予想時刻を更新する。すると、図５中に示すように、処理Ｌ１−４、処理Ｌ１−５、処理Ｌ１−６についての到着予想時刻ｔ１−４〜ｔ１−６が前倒しに更新されることになる。なお、比較のために、更新される前の各到着予定時刻を括弧内に示しておく。

図６を参照する。
上記ロットＬ１についての更新と同様に、時点ｐｔ４で、ロットＬ２についても各到達予定時刻の更新を行う。具体的には、ロットＬ２の処理Ｌ２−２を含む以降の処理Ｌ２−３〜Ｌ２−６への到達予定時刻ｔ２−２〜ｔ２−６が全て前倒しとなる。但し、現在時点ｐｔ４よりも前となる更新は不可能であるので、現在時点ｐｔ４よりも僅かに後の時刻に合わせるように各到着予定時刻が前倒しとされる。

図７を参照する。
上記ロットＬ１、Ｌ２についての更新と同様に、ロットＬ３についても各到達予定時刻ｔ３−２〜ｔ３−６を再計算して更新する。具体的には、処理Ｌ３−２〜Ｌ３−６への到達予定時刻ｔ３−２〜ｔ３−６が全て前倒しとなる。

上記の場合は、ロットＬ１が第１薬液槽１１の更新ポイントに位置した場合の更新であるが、ロットＬ１が第１純水槽１３の更新ポイントに位置した場合も同様に更新が行われる。またそれ以降の各処理部の更新ポイントに位置した場合であっても同様である。さらに、その他のロットＬ２、Ｌ３が同様の更新ポイントに移動するごとに、全てのロットについて到達予定時刻が更新されてゆく。

上述したように、各ロットＬ１〜Ｌ３が更新ポイントに移動するごとに、実際の到着時刻に応じて到着予想時刻を更新するので、最大搬送時間よりも短時間で搬送が行われたことを反映させることができる。したがって、到着予想時刻の更新頻度を多くすることで、不適切な待機を減らしつつも各ロットＬ１〜Ｌ３の処理時間を短くすることができる。

＜薬液交換＞（ライフカウント）
次に、図８，９を参照して薬液交換について説明する。なお、図８は、液交換（ライフカウント）を行う際の制御方法を示すタイムチャートであり、図９は、液交換を行う際の従来の制御方法を示すタイムチャートである。

ここでは、第１薬液槽１１において薬液が２回使用されると、薬液の交換が必要になるものとする（いわゆる「ライフカウント」による管理）。本実施例では、各到着予想時刻を求めるとともに、第１薬液槽シーケンサ４３と第２薬液槽シーケンサ４７に各ロットＬ１〜Ｌ３の到着予想時刻が送信されているので、ロットＬ１〜Ｌ３が搬入部３に載置されてレシピが指示された時点で、液交換のタイミングを設定することができる。具体的には、図８中でロットＬ３が搬入部３に載置された時点から、二点鎖線矢印で示すように、液交換の開始時刻ｅｘを計算することができる。このように、薬液交換のタイミングを予め設定することができるので、効率よく薬液交換を行うことができる。もちろん、上述したようにロットＬ１とロットＬ２の処理が前倒しになった場合には、それに応じて液交換の開始時刻ｅｘが更新されることになる。

ここで従来技術と比較する。
図９は従来技術の場合を示すが、従来の場合には、到着予想時刻を第１薬液槽シーケンサ４３と第２薬液槽シーケンサ４７に各ロットＬ１〜Ｌ３の到着予想時刻を送信していないので、液交換ｅｘを開始できるのは、ロットＬ３が載置部９に到着し、第１薬液槽１１へのロットＬ３の払出が可能となった時点となる（図中の白三角矢付二点鎖線）。そのため、第１薬液槽シーケンサ４３は、それを受けて初めて液交換を開始することになる。その結果、液交換のタイミングが遅くなり、ロットＬ３の処理がその分遅れることになって、液交換の効率が悪化する。

＜薬液交換＞（ライフタイム）
次に、薬液が生成されてからの経過時間に応じて薬液の交換を行う、いわゆる「ライフタイム」による薬液の管理を行っている場合の例について説明する。なお、ここでは、第１薬液槽１１と第２薬液槽１５とで同じ薬液が使用されており、それぞれライフタイムで薬液の管理がされているものとする。

上述した第１薬液槽シーケンサ４３と第２薬液槽シーケンサ４７とは、それぞれ薬液を交換した時点からの経過時間を記憶するタイマを備えている（図示省略）。そして、どの時点でライフタイムに達するかを予め判断することができ、主制御部３３から送られてくる到着予想時刻と合わせて、主制御部３３の制御の下で薬液交換を互いに異なるタイミングで行う。但し、ライフタイムがアップする時点より後にあたる時刻に、次なるロットの到着予想時刻が送られてこない場合には、薬液が無駄にならないように薬液交換を行わない。薬液の交換は、あくまで次にロットが来ることが分かってから開始すればよい。具体的には、搬入部３にロットが載置され、装置のオペレータがレシピを操作部２９から指示し、到着予想時刻が送られてきてからである。そして、その到着予想時刻を基準にして、薬液交換を到着予想時刻より前に開始する。

上記の手順を簡易的に示すと、図１０のタイムチャートのようになる。なお、図１０は、液交換（ライフタイム）を行う際の制御方法を示すタイムチャートである。

すなわち、同じレシピで処理されるロットＬ１とロットＬ２が投入される際に、ロットＬ１の処理Ｌ１−３には第１薬液槽１１が使われ、ロットＬ２の処理Ｌ２−３には第２薬液槽１５が使われるものとする。そして、ロットＬ１の第１薬液槽１１への到着予想時刻が時点ｔ１−１０であり、ロットＬ２の第２薬液槽１５への到着予想時刻が時点ｔ２−１１であったとする。そのとき、第１薬液槽１１の薬液のライフタイムがｔｕ１時点でアップし、第２薬液槽１５の薬液のライフタイムがｔｕ２時点でアップすると分かった場合には、処理Ｌ１−３が開始される時点ｔ１−１０を基準にして、そこで薬液交換が終了しているように、主制御部３３の制御の下、ｅｘ１時点から薬液交換を開始する。また、処理Ｌ２−３が開始される時点ｔ２−１１を基準にして、主制御部３３の制御の下、ｅｘ２時点から第２薬液槽１５の薬液交換を開始する。もちろん、上述したようにロットＬ１の処理が前倒しになった場合には、それに応じて液交換の開始時刻ｅｘ１，ｅｘ２が更新されることになる。

このように、第１薬液槽１１及び第２薬液槽１５といった複数個の薬液処理部の薬液交換タイミングをずらしておき、かつ第１薬液槽シーケンサ４３及び第２薬液槽シーケンサ４７が記憶している、前回の薬液交換時点からの経過時間に基づき薬液交換を行うことにより、薬液の使用時間に応じて交換を行う「ライフタイム」で管理している場合であっても、待ち時間を抑制することができるので、効率よく処理を行うことができる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した実施例では、更新ポイントとして第１薬液槽１１から下流の処理部、具体的には、第１純水槽１３、第２薬液槽１５、第２純水槽１７としたが、例えば、第１薬液槽１１と第２薬液槽１５の二箇所だけとしてもよい。このようにしても、従来は一度求めて固定であった到着予想時刻が二箇所で更新されるので、不適切な待機を減らしつつもロットの処理時間を短縮することができる。また、上述した実施例よりも多くの更新ポイントを設定して、より細かく到着予想時刻を更新するようにしてもよい。

（２）上述した実施例では、図１に示す基板処理装置の構成を例に採ったが、複数個の処理部を備え、イベント駆動型の制御により複数のロットを搬送機構で各処理部に順次に移動しつつ処理を行うものであれば、このような構成に限定されるものではない。

（３）上述した実施例では、到着予想時刻を第１薬液槽シーケンサ４３と第２薬液槽シーケンサ４７へ送信しているが、液交換のような比較的長時間の処理を割り込ませる必要がない装置では、必ずしも到着予想時刻を送信する必要はない。

実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。 基板処理装置の制御系を示すブロック図である。 ロットを処理する際の制御方法を示すフローチャートである。 ロットを処理する際の制御方法を示すタイムチャートである。 ロットを処理する際の制御方法を示すタイムチャートである。 ロットを処理する際の制御方法を示すタイムチャートである。 ロットを処理する際の制御方法を示すタイムチャートである。 液交換（ライフカウント）を行う際の制御方法を示すタイムチャートである。 液交換を行う際の従来の制御方法を示すタイムチャートである。 液交換（ライフタイム）を行う際の制御方法を示すタイムチャートである。 （ａ）、（ｂ）は従来技術の制御方法を示すタイムチャートである。

符号の説明

１ … 基板処理装置
Ｌ … ロット
Ｗ … 基板
３ … 搬入部
５ … 搬送機構
７ … ストッカ
９ … 載置部
１０ … 主搬送機構
１１ … 第１薬液槽
１３ … 第１純水槽
１５ … 第２薬液槽
１７ … 第２純水槽
１９ … 乾燥室
２１ … 載置部
２３ … ストッカ
２５ … 搬送機構
２７ … 搬出部
２９ … 操作部
３１ … 昇降機構

Claims (4)

1. 処理液で基板に処理を行う複数個の処理部と前記処理部に対する制御を行う制御部とを備え、複数のロットを搬送機構により各処理部に順次に移動しつつ処理を行う基板処理装置の制御方法において、
   前記制御部は、複数のロットを順次に搬入するとともに、ロットに対応付けられたレシピに対して搬送機構による最大搬送時間を考慮し、ロットが各処理部へ到着する時刻を到着予想時刻として求め、次なるロットに対応付けられたレシピに対して搬送機構による最大搬送時間を考慮するとともに、先行するロットの各処理部における到着予想時刻を考慮し、次なるロットが各処理部へ到着する時刻を到着予想時刻として求める過程と、
   各ロットが搬送機構によって搬送されて更新ポイントに移動してくるごとに、各ロットについて各処理部への実際の到着時刻を考慮して前記到着予想時刻を再計算する過程と、を実行し、
   前記到着予想時刻を求める過程は、前記制御部が、求められた到着予想時刻を各処理部に対して送信する過程を含み、
   前記最大搬送時間は、搬送の経時変化、および余裕時間を加えた時間であることを特徴とする基板処理装置の制御方法。
2. 請求項１に記載の基板処理装置の制御方法において、
   前記更新ポイントは、搬入されたロットを一時的に載置しておく載置部と、薬液による処理を行う薬液処理部と、純水による洗浄を行う洗浄処理部と、乾燥処理を行う乾燥処理部におけるロットの払出位置であることを特徴とする基板処理装置の制御方法。
3. 請求項２に記載の基板処理装置の制御方法において、
   前記薬液処理部は、送信されてきた到着予想時刻に基づき薬液交換の処理を行うことを特徴とする基板処理装置の制御方法。
4. 請求項３に記載の基板処理装置の制御方法において、
   前記薬液処理部が複数個ある場合、
   前記各薬液処理部は、前記制御部の制御の下で互いに異なるタイミングで薬液が交換され、かつ、その交換タイミングは、各々が記憶している前回の薬液交換時点からの経過時間に基づき決められることを特徴とする基板処理装置の制御方法。

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