TWI408727B - 基板處理裝置之排程作成方法及資訊記錄媒體 - Google Patents

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TWI408727B
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Description

基板處理裝置之排程作成方法及資訊記錄媒體
本發明為有關於對半導體晶圓或液晶顯示裝置用之玻璃基板(以下簡稱為基板)施加洗淨、乾燥等指定處理之基板處理裝置之排程作成方法及程式，特別有關於在實行處理前預先作成排程之技術。
先前技術之此種方法是預先決定各批(lot)之處理順序，基板處理裝置具備有多個之對基板施加處理之處理部，利用該基板處理裝置處理多個批時，控制部根據包含多個處理步驟之處方(recipe)而操作搬運部，將各批搬運到各個處理部並且依序進行處理(例如，參照日本專利特開2002－341923號公報)。
此種之基板處理裝置之排程作成方法，因為是在實際對該批開始處理之前，決定那一個批在那一個處理部於那一個時點進行處理，所以可以有效地配置該批，可以提高基板處理裝置之工作效率。
但是，在各個處理之間，與處方無關之「動態處理」會被追加成為排程。例如，將基板搬運到各個處理部之共用的搬運部，在接受並搬運完成利用藥液等處理液之處理之基板後，將浸漬到處理液前之基板等保持原狀時，附著在搬運部之基板保持部之處理液會附著在該基板，並造成不良影響。因此，在搬運部之基板保持部接觸到處理液之後，於接受到下一個基板前，將水洗乾燥基板保持部之「水 洗乾燥處理」追加作為動態處理之排程。
但是，在具有此種構造之先前技術例之情況，會有下面所述之問題。
亦即，先前技術之方法是當配置一個批時，在基板保持部被沾濕時，於先前之搬運完成後，在搬運部搬運下一個基板前，一律追加水洗乾燥處理。但是，一般來說，很少每次只處理一個批，一般是將多個批依序投入。因此，即使基板保持部已被沾濕，亦一律在搬運之前追加水洗乾燥處理，而不管成為其後之搬運對象之其他批，不需要水洗乾燥處理之情況。例如，從純水洗淨處理部接受到第1批時，在基板保持部附著純水，但是在第2批為被其他之純水洗淨處理部處理過之基板的情況，於第1批之搬運後，在第2批之搬運前，亦配置動態處理，用來水洗乾燥基板搬運部。其結果是在排程中變成配置有不需要之水洗乾燥處理，會有基板處理之生產量降低之問題。
本發明針對此種問題，其目的是提供基板處理裝置之排程作成方法及程式，根據前後之處理之組合彈性地進行動態處理之配置，可以用來提高基板處理之生產量。
本發明是一種基板處理裝置之排程作成方法，用來預先決定各批之處理順序，藉以利用具備有多個之用以對基板進行處理之處理部之基板處理裝置，其在處理多個批時，控制部根據包含有多個處理步驟之處方，操作具備有用以授受基板之基板保持部之搬運部，將各個批搬運到各個處 理部並依序進行處理；上述方法包含有以下之步驟：上述控制部在配置處理步驟中之進行動態處理之特定處理步驟時，根據先前之特定處理步驟之搬運源的處理步驟，和該特定處理步驟之搬運源的處理步驟之組合，決定在該特定處理步驟之前是否配置動態處理之步驟。
控制部在配置處理步驟中之進行動態處理之特定處理步驟時，根據先前之特定處理步驟之搬運源的處理步驟，和該特定處理步驟之搬運源的處理步驟之組合，決定在該特定處理步驟之前是否配置動態處理之步驟。因此，不需要一律配置動態處理，因為可以依照各批之處理步驟之配置狀況，彈性地進行動態處理之配置，所以不會有浪費之動態處理之配置，而可以提高基板處理裝置之生產量。
另外，上述「特定處理步驟」，例如，在利用搬運基板之搬運部之批之搬運處理步驟，該種情況之「動態處理」，例如，為洗淨基板保持部並使其乾燥之水洗乾燥處理(亦稱為夾具(chuck)洗淨)。另外，其他之「動態處理」為原點回復維護處理，為能維持搬運之位置精確度而進行，使搬運部暫時回到原點位置而進行位置對準。
另外，在本發明中，上述控制部，最好在該特定處理步驟未存在有先前之特定處理步驟之情況時，係參照記憶基板保持部之最後狀態之狀態記憶部，使基板保持部之最後狀態成為先前特定處理步驟之搬運源的處理步驟而進行處理。
經由參照記憶部，即使在先前之特定處理步驟未存在於 排程上之情況時，亦可以進行適當之判斷。
另外，在本發明中，上述控制部，最好在先前特定處理步驟之搬運源的處理步驟為使用藥液之處理，和在該特定處理步驟之搬運源的處理步驟為利用純水之基板之水洗處理、基板之水洗乾燥處理、基板之搬入/搬出處理之任一個之情況時，配置動態處理。
在該等之處理步驟組合之情況時，經由進行動態處理，可以防止由於藥液對基板造成不良之影響。
下面根據圖式用來說明本發明之較佳實施例。
圖1是平面圖，用來表示實施例之基板處理裝置之概略構造，圖2是方塊圖，用來表示實施例之基板處理裝置之概略構造。
該基板處理裝置，例如，成為對基板W施加藥液處理和洗淨處理及乾燥處理之裝置。基板W以多片(例如25片)對卡匣1呈起立姿勢而被收納。收納有未處理之基板W之卡匣1被載置在投入部3。投入部3具備有二個載置有卡匣1之載置台5。在鄰接投入部3之位置配備有排出部7。該排出部7用來將完成處理之基板W收納在卡匣1，並將每一個卡匣1排出。具有此種功能之排出部7，與投入部3同樣地，具備有用以載置卡匣1之二個載置台9。
在沿著投入部3和排出部7之位置，配置有構建成可以在該等之間移動之第1搬運機構11。第1搬運機構11從被載置在載置台5之卡匣1取出多片基板W，將其搬運到 第2搬運機構13。
第2搬運機構13將多片基板W搬運到第3搬運機構WTR。然後，在接受到來自第3搬運機構WTR之完成處理之基板W之後，將其搬運到第1搬運機構11。第3搬運機構WTR構建成可以朝向基板處理裝置之長度方向移動，和具備有用以保持多片基板W之夾具部15。
另外，上述第3搬運機構WTR相當於本發明之搬運部，上述夾具部15相當於本發明之基板保持部。
在上述第3搬運機構WTR之移動方向之最近前側，配備有乾燥處理部LPD，用來將多片基板W收納在低壓之處理室內並使其乾燥。
在第3搬運機構WTR之移動方向之鄰接上述乾燥處理部LPD之位置，配備有第1處理部19。該第1處理部19具備有對多片基板W施加純水洗淨處理之純水洗淨處理部ONB1，和利用處理液對多片基板W施加藥液處理之藥液處理部CHB1。另外，純水洗淨處理部ONB1具備有升降機LF1，在與第3搬運機構WTR之間進行基板W之授受，和構建成在純水洗淨處理部ONB1內之處理位置和其上方之授受位置之間，可以自由升降。同樣地，藥液處理部CHB1具備有升降機LF2。
在鄰接第1處理部19之位置配備有第2處理部21。該第2處理部21具有與上述第1處理部19同樣之構造。亦即，具備有純水洗淨處理部ONB2、藥液處理部CHB2和升降機LF3、LF4。
在鄰接載置台9之位置配備有夾具洗淨部CHCL。該夾具洗淨部CHCL所具備之功能是在利用純水等洗淨第3搬運機構WTR之夾具部15之後，進行乾燥處理。
以上述方式構成之基板處理裝置，如圖2之方塊圖所示，利用控制部31統一控制。
控制部31由CPU等構成，具備有排程部33和處理實行指示部37。連接到控制部31之記憶部39預先儲存有：處方，由該基板處理裝置之使用者等預先作成，包含有規定基板如何處理之多個處理步驟；排程作成程式；和處理程式等，用來實行所作成之排程。另外，亦預先記憶有對照表，用來表示前後搬運源的處理步驟之組合和是否需要動態處理(詳細部份於後面說明)。
排程部33作成排程，將被收容在卡匣1而被載置在投入部3之多片基板W作為一批地處理，依照裝置操作員之指示，以被預先記憶在記憶部39之處方，在實際開始處理之前，可以在時間系列上有效地配置每一批之處理步驟。
另外，排程部33在每次作成排程時，參照被記憶在記憶部39之對照表。然後，根據該對照表在配置進行動態處理之特定處理步驟(在此處是利用第3搬運機構WTR之處理步驟而配置搬運處理)時，在搬運處理之前，決定是否配置「動態處理」之夾具部15之水洗乾燥處理。該對照表有如圖3所示者。該對照表表示被配置在從此配置之第3搬運機構WTR之搬運處理(在本發明中為「該特定處 理步驟」)之前之第3搬運機構WTR之搬運處理之搬運源(在本發明中為「先前之特定處理步驟之搬運源」)之處理步驟，和從此配置之第3搬運機構WTR之搬運處理之搬運源(在本發明中為「該特定處理步驟之搬運源」)之處理步驟之組合，和表示在該組合之每一個是否需要夾具洗淨部CHCL之夾具部15之水洗乾燥處理(在本發明中為「動態處理」)。圖3中之「○」表示需要，「×」表示不需要。
具體來說，當先前之特定處理步驟之搬運源為藥液處理部CHB1之「藥液處理」、和該特定處理步驟之搬運源的處理步驟為藥液處理部CHB2之「藥液處理」、純水洗淨處理部ONB1、ONB2之「水洗處理」、第1搬運機構11或第2搬運機構13之「搬入/搬出處理」或乾燥處理部LPD之「水洗乾燥處理」之情況時，在任一情況均進行夾具部15之水洗乾燥處理。在接受到藥液處理後之基板W後，可以防止由於藥液殘留在夾具部15，直接接受其他之基板W時，藥液對基板W造成之不良之影響。
另外，當先前特定處理步驟搬運源的處理步驟為藥液處理部CHB2之「藥液處理」、該特定處理步驟搬運源的處理步驟為藥液處理部CHB1之「藥液處理」、純水洗淨處理部ONB1、ONB2之「水洗處理」、第1搬運機構11或第2搬運機構13之「搬入/搬出處理」或乾燥處理部LPD之「水洗乾燥處理」之情況時，與上述同樣地，進行夾具部15之水洗乾燥處理。
另外，當先前之特定處理步驟之搬運源的處理步驟為純 水洗淨處理部ONB1、ONB2之「水洗處理」之情況時，只有在該特定處理步驟之搬運源的處理步驟為乾燥處理部LPD之「水洗乾燥處理」之情況時，才進行夾具部15之水洗乾燥處理。當接受到完成水洗處理之基板W時，在純水附著於夾具部15之狀態，因為會造成完成水洗乾燥處理之基板W再度被沾溼，所以要防止此種問題。
另外，在先前特定處理步驟搬運源的處理步驟成為第1搬運機構11或第2搬運機構13之「搬入/搬出處理」之情況時，或成為純水洗淨處理部ONB1、ONB2之「水洗處理」之情況時，同樣地，只有在該特定處理步驟之搬運源的處理步驟成為乾燥處理部LPD之「水洗乾燥處理」之情況時，才進行夾具部15之水洗乾燥處理。
另外，在控制部31連接有狀態記憶部41。該狀態記憶部41記憶第3搬運機構WTR之夾具部15之最後狀態。具體來說，在開始排程以前，記憶成為最後處理之第3搬運機構WTR之搬運處理之搬運源的處理步驟。
處理實行指示部37利用排程部33作成，根據被記憶在記憶部39之排程，以適當之時序進行各個處理部等之處理之相關動作指示。
其次，參照圖4至8用來說明具體之排程。另外，圖4是表示動作之流程圖，圖5至8是表示排程之作成過程之時序圖。
在以下說明中，考慮到有效之配置，控制部31依照將多個之處理步驟當作一個區塊地進行處理之處方進行排 程。在具體例中，如圖5至8所示，當利用第1搬運機構11和第2搬運機構13進行之搬入/搬出處理為處理步驟a，利用第3搬運機構WTR進行之搬運處理為處理步驟b，利用藥液處理部CHB1進行之藥液處理為處理步驟c，利用純水洗淨處理部ONB1進行之水洗處理為處理步驟d，利用乾燥處理部LPD進行之水洗乾燥處理為處理步驟e之情況時，區塊A在處理步驟a~c作為一個地處理，區塊B在處理步驟b和d作為一個地處理。另外，圖5至8中之「數字－英文字」以最初之數字表示處理批，以後面之英文字表示區塊。
[步驟S1、S2]
排程部33在有成為排程對象之區塊之情況時，轉移到步驟S2，檢索可以配置之位置。另外一方面，當未存在有成為排程對象之區塊之情況時，就使處理結束。
[步驟S3]
排程部33配置排程對象之區塊。
具體來說，如圖5所示，將第1批之區塊A(圖中之符號1－A)配置在可以配置之位置。
[步驟S4]
依照在被配置之區塊A之前或後是否有別的區塊使處理分支。
具體來說，對於被配置之第1批之區塊A(符號1－A)，檢查在其時間上之前後是否有本區塊以外之區塊。當有其他之區塊之情況時，就轉移到步驟S5，另外一方面，當 沒有其他之區塊之情況時，就轉移到步驟S6。
[步驟S6]
在此處因為在被配置之第1批之區塊A(符號1－A)之前後未存在有其他之區塊，所以夾具洗淨部CHCL之夾具部15是否需要水洗乾燥處理以下面所述之方式進行判斷。
亦即，排程部33參照狀態記憶部41，在開始排程以前，讀出成為最後處理之利用第3搬運機構WTR之搬運處理之搬運源的處理步驟。然後，根據該處理步驟，該處理步驟之搬運源的處理步驟a(搬入/搬出處理)，和記憶部39之對照表(圖3)，判斷是否需要動態處理。在此處當在狀態記憶部41記憶有搬入/搬出處理時，使搬入/搬出處理間之比較，從圖3之對照表可以判斷為不需要動態處理。因此，使處理從步驟S6分支到步驟S1。
從步驟S1再度實行上述處理，但是在步驟S2和S3，第1批之區塊B(圖6中之符號1－B)被配置成如圖6所示。如此一來，在步驟S4，因為在本區塊B之前已配置有第1批之區塊A，所以轉移到步驟S5之處理。
[步驟S5]
排程部33使第1批之區塊B(圖6中之符號1－B)和第1批之區塊A(圖6中之符號1－A)成為比較對象，根據圖3之對照表判斷先前特定處理步驟之搬運源的處理步驟a(搬入/搬出處理)和該特定處理步驟之搬運源的處理步驟c(藥液處理)是否需要動態處理。在此處判斷為不需要動態處理，所以分支到步驟S1。
其次實行如上述方式之從步驟S1起之處理，如圖7所示配置有第2批之區塊A(符號2－A)。如此一來，使處理從步驟S4轉移到步驟S5。
[步驟S5]
排程部33根據先前特定處理步驟之搬運源的處理步驟c(藥液處理)、該特定處理步驟之搬運源的處理步驟a(搬入/搬出處理)、和圖3之對照表，判定第2批之區塊A(符號2－A)和第1批之區塊B(符號1－B)之間是否需要動態處理。在此處因為需要動態處理，所以轉移到步驟S7。
[步驟S7]
排程部33如圖8所示，在該特定處理步驟之前配置動態處理。亦即，在第2批之區塊A(符號2－A)中，在處理步驟b之搬運處理之前，配置夾具部15之「水洗乾燥處理」作為動態處理dp。
[步驟S8~S12]
配置第2批之區塊A(符號2－A)作為連續動態處理dp之處理。這時，當各個區塊可以配置在原來位置之情況時，經由步驟S9、S10轉移到步驟S1。另外一方面，當與其他區塊之關係，不能配置在原來位置之情況時，經由步驟S11、S12將動態處理暫時削除、檢索可以配置之位置、並配置於該位置之後，轉移到步驟S3。
在依照上述方式作成排程之後，將該排程記憶在記憶部39，利用處理實行指示部37實行，而進行實際之處理。
如上述方式，依照本實施例時，控制部31在配置處理 步驟中之有進行動態處理之特定處理步驟b時，根據先前之特定處理步驟b之搬運源的處理步驟、該特定處理步驟b之搬運源的處理步驟、和圖3之對照表(搬運源的處理步驟之組合)，決定在該特定處理步驟b之前是否配置成為動態處理之水洗乾燥處理。因此，不需要一律配置動態處理，因為可以依照各批之處理步驟之配置狀況，彈性地進行成為動態處理之水洗乾燥處理之配置，所以不會有浪費之動態處理之配置，而可以提高基板處理裝置之生產量。
另外，如進行配置第1批之區塊A時之方式，藉由參照記憶部39，即使在先前之特定處理步驟b未存在於排程上之情況，亦可以進行適當之判斷。
本發明不只限於上述實施形態，亦可以有下列方式之變化實施。
(1)在上述實施例中，所說明之實例是採用第3搬運機構WTR之夾具部15之水洗乾燥處理，作為「動態處理」，但是除此之外，亦可以進行第3搬運機構WTR之回復原點位置之維護處理等，用來維持搬運之位置精確度。
(2)在上述實施例中，當先前之特定處理步驟未存在於排程上之情況時，參照狀態記憶部41進行判斷，但是在未具備有狀態記憶部41之情況時，亦可以成為必須配置動態處理。
(3)在上述實施例中，使用作為搬運源處理步驟之組合 對照表之圖3所示者之判斷，但是本發明並不只限於該表，亦可以利用依照特定處理步驟而用來適當判斷之對照表。
(4)在上述實施例中，將多個之處理步驟作為一個區塊地處理，並進行排程，但是亦可以一個之處理步驟作為一個區塊地處理。
本發明在不脫離其精神和本質之範圍內可以其他之具體之形式實施，因此表示發明之範圍者不是以上之說明，而是應該參照所附之申請專利範圍。
1‧‧‧卡匣
3‧‧‧投入部
5、9‧‧‧載置台
7‧‧‧排出部
11‧‧‧第1搬運機構
13‧‧‧第2搬運機構
15‧‧‧夾具部
19‧‧‧第1處理部
21‧‧‧第2處理部
31‧‧‧控制部
33‧‧‧排程部
37‧‧‧處理實行指示部
39‧‧‧記憶部
41‧‧‧狀態記憶部
CHB1、CHB2‧‧‧藥液處理部
CHCL‧‧‧夾具洗淨部
LF1、LF2、LF3、LF4‧‧‧升降機
LPD‧‧‧乾燥處理部
ONB1、ONB2‧‧‧純水洗淨處理部
W‧‧‧基板
WTR‧‧‧第3搬運機構
為能說明發明，圖中顯示現在被認為較佳之數個形態，但是宜理解本發明並不只限於如圖所示之構造和手段。
圖1是平面圖，用來表示實施例之基板處理裝置之概略構造。
圖2是方塊圖，用來表示實施例之基板處理裝置之概略構造。
圖3是對照表，用來表示前後之處理步驟之組合與是否需要動態處理。
圖4是表示動作之流程圖。
圖5是時序圖，用來表示排程之作成過程。
圖6是時序圖，用來表示排程之作成過程。
圖7是時序圖，用來表示排程之作成過程。
圖8是時序圖，用來表示排程之作成過程。
11‧‧‧第1搬運機構
13‧‧‧第2搬運機構
CHB1‧‧‧藥液處理部
LPD‧‧‧乾燥處理部
ONB1‧‧‧純水洗淨處理部
WTR‧‧‧第3搬運機構

Claims (6)

  1. 一種基板處理裝置之排程作成方法，用來預先決定各批(lot)之處理順序，藉以在利用具備有多個用以對基板進行處理之處理部之基板處理裝置處理多個批時，控制部根據包含有多個處理步驟之處方(recipe)，操作具備有用以授受基板之基板保持部之搬運部，將各批搬運到各個處理部，並且依序進行處理；上述方法包含有以下之步驟：上述控制部在處理步驟中配置利用上述搬運部進行批次搬運之搬運處理步驟時，在先前搬運處理步驟之搬運源的處理步驟為使用藥液之處理，且該搬運處理步驟之搬運源的處理步驟為僅在利用純水進行基板水洗處理、基板水洗乾燥處理、基板搬入/搬出處理之任一種情況時，在該搬運處理步驟之前配置水洗乾燥處理之步驟。
  2. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置之排程作成方法，其中，上述控制部，在對該搬運處理步驟未存在有先前搬運處理步驟之情況時，係參照記憶有基板保持部之最後狀態之狀態記憶部，進行使基板保持部之最後狀態作為先前搬運處理步驟之搬運源的處理步驟來處理。
  3. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置之排程作成方法，其中，上述控制部，在未具備有記憶基板保持部之最後狀態之狀態記憶部，並對該搬運處理步驟未存在有先前搬運處理步驟之情況時，在該搬運處理步驟之前，配置水洗乾燥處理。
  4. 一種電腦可讀取之資訊記錄媒體，其記錄有基板處理 裝置之排程作成程式，用來預先決定各批之處理順序，藉以在利用具備有多個用以對基板進行處理之處理部之基板處理裝置處理多個批時，控制部根據包含有多個處理步驟之處方，操作具備有用以授受基板之基板保持部之搬運部，將各批搬運到各個處理部，並且依序進行處理；其在上述程式包含有以下之處理：上述控制部在處理步驟中配置利用上述搬運部進行批次搬運之搬運處理步驟時，在先前搬運處理步驟之搬運源的處理步驟為使用藥液之處理，且該搬運處理步驟之搬運源的處理步驟為僅在利用純水進行基板水洗處理、基板水洗乾燥處理、基板搬入/搬出處理之任一種情況時，在該搬運處理步驟之前配置水洗乾燥處理之處理。
  5. 如申請專利範圍第4項之資訊記錄媒體，其中，上述控制部，在對該搬運處理步驟未存在有先前搬運處理步驟之情況時，係參照記憶有基板保持部之最後狀態之狀態記憶部，進行使基板保持部之最後狀態作為先前搬運處理步驟之搬運源的處理步驟來處理。
  6. 如申請專利範圍第4項之資訊記錄媒體，其中，上述控制部，在未具備有記憶基板保持部之最後狀態之狀態記憶部，並對該搬運處理步驟未存在有先前搬運處理步驟之情況時，在該搬運處理步驟之前，配置水洗乾燥處理。
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