CN115815202B - 光伏硅片清洗工艺优化方法及设备布置顺序调整方法 - Google Patents

光伏硅片清洗工艺优化方法及设备布置顺序调整方法 Download PDF

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Abstract

本申请涉及一种光伏硅片清洗工艺优化方法及设备布置顺序调整方法,属于光伏硅片生产设备技术领域,通过对所有清洗装置均先于所有干燥装置的判断保证了光伏硅片必须先清洗再干燥,对位置靠前的清洗装置和干燥装置是否早于位置靠后的清洗装置和干燥装置的判断,保证了机械手在工作过程中的移动顺序只能是从前往后,避免了机械手前后往复运动,所有过渡段对应的清洗装置和干燥装置中的至少一个清洗装置或干燥装置均需要处于输送顺序中,使得所有的过渡段里的清洗装置或者干燥装置都有花篮进入,以便于整个挂篮搬运装置顺利地在过渡段里完成不同输送段机械手的交接。通过上述条件下的自动化调整,提高了在工艺设定时的效率。

Description

光伏硅片清洗工艺优化方法及设备布置顺序调整方法
技术领域
本申请属于光伏硅片生产设备技术领域,尤其是涉及光伏硅片清洗工艺优化方法及设备布置顺序调整方法。
背景技术
中国专利文献CN115411149A、CN115207154A公开了制绒清洗设备。制绒清洗装置通常包括预清洗装置,用于使用酸液完成对硅片表面油污及金属离子的清洗;制绒清洗装置,先对硅片进行水洗,之后使用碱液对硅片进行制绒;化学抛光清洗装置,使用含有复合溶剂的碱液去除硅片表面一层;酸洗装置,使用含有双氧水的酸液对硅片表面进行清洗,干燥装置,用于将经过上述清洗装置的硅片进行风干干燥。其中预清洗装置、制绒清洗装置、化学抛光清洗装置、酸洗装置按照工艺顺序进行排列均可统称为清洗装置。
光伏硅片清洗控制系统被设置在制绒清洗装置的PLC的程序中,用于控制挂篮搬运装置将带有光伏硅片的挂篮输送按照设置好的输送顺序将光伏硅片的挂篮依次输送至清洗装置或者干燥装置,通常来说,制绒清洗装置是根据清洗工艺来进行定制的,挂篮要遍历所有的清洗装置和干燥装置,当碰到工艺修改时,则需要按照要求修改PLC中的程序,但是现有技术中对于修改的程序后输送顺序没有限制,导致容易出现机械手的往复运动,进而降低了光伏硅片的生产效率。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:为解决现有技术中的不足,从而提供一种在修改清洗顺序时保证生产效率的光伏硅片清洗工艺优化方法,以及基于上述优化方法的设备布置顺序调整方法。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种光伏硅片清洗工艺优化方法,包括以下步骤:
S1:读取挂篮搬运装置中机械手搭载花篮输送到清洗装置和干燥装置的输送顺序,挂篮搬运装置包括具有多个输送段的输送轨和每个输送段上设置的机械手,相邻两个输送段之间的连接区域为过渡段,相邻两个输送段的机械手均能运动到过渡段,过渡段对应的一个或多个清洗装置或者一个或多个干燥装置;
S2:判断所有清洗装置是否均早于所有干燥装置,若是则进入S3步骤;若否则将输送顺序中干燥装置调整到所有清洗装置之后再进入S3步骤;
S3:判断位置靠前的清洗装置和干燥装置是否早于位置靠后的清洗装置和干燥装置,若是则进入S4步骤;若否则将干燥装置调整先后顺序以符合位置靠前的清洗装置和干燥装置早于位置靠后的清洗装置和干燥装置后再进入S4步骤;
S4:判断所有过渡段对应的清洗装置和干燥装置中的至少一个清洗装置或干燥装置是否处于输送顺序中,若是则进入S5步骤,若否则将离过渡段对应的清洗装置和干燥装置中最近的清洗装置或干燥装置调整到过渡段对应的清洗装置和干燥装置再进入S5步骤;
S5:输出经过调整后的输送顺序。
优选地,本发明的光伏硅片清洗工艺优化方法,S2、S3和S4步骤中调整后的清洗装置或干燥装置与调整前的清洗装置或干燥装置功能完全相同。
优选地,本发明的光伏硅片清洗工艺优化方法,若若干清洗装置和若干干燥装置的功能完全相同,则读取每个清洗装置和干燥装置中的处理时间,判断位置靠前的清洗装置和干燥装置的处理时间是否大于等于位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间,若是则结束;否则将位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间分配到功能完全相同的清洗装置和干燥装置以符合条件。
优选地,本发明的光伏硅片清洗工艺优化方法,以时间平均分配的方式分配处理时间。
本申请还提供一种光伏硅片清洗设备布置顺序调整方法,包括以下步骤:
S1:读取清洗装置和干燥装置的布置顺序和工艺要求中挂篮搬运装置的机械手搭载花篮输送到清洗装置和干燥装置的输送顺序,挂篮搬运装置包括具有多个输送段的输送轨和每个输送段上设置的机械手,相邻两个输送段之间的连接区域为过渡段,相邻两个输送段的机械手均能运动到过渡段,过渡段对应的一个或多个清洗装置或者一个或多个干燥装置;
S2:判断所有清洗装置是否均先于所有干燥装置,若是则进入S3步骤;若否则将干燥装置的布置位置调整到所有清洗装置之后再进入S3步骤;
S3:判断位置靠前的清洗装置和干燥装置在输送顺序中是否早于位置靠后的清洗装置和干燥装置,若是则进入步骤S4;若否则调整清洗装置和干燥装置的位置以符合清洗装置和干燥装置早于位置靠后的清洗装置和干燥装置后再进入S4步骤;
S4:判断所有过渡段对应的清洗装置和干燥装置中的至少一个清洗装置或干燥装置是否处于输送顺序中,若是则进入步骤S5,若否则将过渡段设置到对应的清洗装置和干燥装置处或者增加过渡段对应的清洗装置或干燥装置数量后再进入步骤S5;
S5:输出调整后的光伏硅片清洗设备的布置顺序。
优选地,本发明的光伏硅片清洗设备布置顺序调整方法,读取每个清洗装置和干燥装置中的处理时间,判断位置靠前的清洗装置和干燥装置的处理时间是否大于等于位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间,若是则结束;否则新增功能完全相同的清洗装置和干燥装置,并将位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间分配到功能完全相同的清洗装置和干燥装置以符合条件。
优选地,本发明的光伏硅片清洗设备布置顺序调整方法,以时间平均分配的方式分配处理时间。
本发明的有益效果是:
本发明的光伏硅片清洗工艺优化方法,通过对所有清洗装置均先于所有干燥装置的判断保证了光伏硅片必须先清洗再干燥,对位置靠前的清洗装置和干燥装置是否早于位置靠后的清洗装置和干燥装置的判断,保证了机械手在工作过程中的移动顺序只能是从前往后,避免了机械手前后往复运动,所有过渡段对应的清洗装置和干燥装置中的至少一个清洗装置或干燥装置均需要处于输送顺序中,使得所有的过渡段里的清洗装置或者干燥装置都有花篮进入,以便于整个挂篮搬运装置顺利地在过渡段里完成不同输送段机械手的交接。通过上述条件下的自动化调整,提高了在工艺设定时的效率。同时本申请还提供基于上述光伏硅片清洗工艺优化方法的面向设备设计的布置顺序调整方法。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
图1是本申请实施例的光伏硅片清洗工艺优化方法的逻辑框图。
具体实施方式
需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
实施例1
本实施例提供一种光伏硅片清洗工艺优化方法,
光伏硅片清洗工艺所基于的光伏硅片清洗设备包括挂篮搬运装置以及成排设置的若干清洗装置和若干干燥装置,其中清洗装置用于对光伏硅片进行清洗,干燥装置用于对经过清洗后的光伏硅片进行干燥,光伏硅片清洗控制系统用于控制挂篮搬运装置将带有光伏硅片的挂篮输送至清洗装置或者干燥装置,光伏硅片的挂篮输送至清洗装置或者干燥装置的顺序及下文中的输送顺序。挂篮搬运装置包括具有多个输送段的输送轨和每个输送段上设置的机械手的,相邻两个输送段之间的连接区域为过渡段,相邻两个输送段的机械手均能运动到过渡段,过渡段对应的一个或多个清洗装置或者一个或多个干燥装置。多个输送段对应多个机械手,这样机械手就可以同时在不同的输送段各抓取一个花篮,使得能够同时进行多个批次的硅片清洗,提高工作效率。
优化方法包括以下步骤:
S1:读取挂篮搬运装置中机械手搭载花篮输送到清洗装置和干燥装置的输送顺序;
S2:判断所有清洗装置是否均早于所有干燥装置,若是则进入S3步骤;若否则将输送顺序中干燥装置调整到所有清洗装置之后再进入S3步骤;
S3:判断位置靠前的清洗装置和干燥装置是否早于位置靠后的清洗装置和干燥装置,若是则进入S4步骤;若否则将干燥装置调整先后顺序以符合位置靠前的清洗装置和干燥装置早于位置靠后的清洗装置和干燥装置后再进入S4步骤;
S4:判断所有过渡段对应的清洗装置和干燥装置中的至少一个清洗装置或干燥装置是否处于输送顺序中,若是则进入S5步骤,若否则将离过渡段对应的清洗装置和干燥装置中最近的清洗装置或干燥装置调整到过渡段对应的清洗装置和干燥装置再进入S5步骤;
S5:输出经过调整后的输送顺序。
也即优化方法需要遵循以下三个条件:
条件一:所有清洗装置均先于所有干燥装置,以实现先清洗后干燥的步骤;
条件二:位置靠前的清洗装置和干燥装置必须早于位置靠后的清洗装置和干燥装置,以防止机械手往复运动;
条件三:所有过渡段对应的清洗装置和干燥装置中的至少一个清洗装置或干燥装置均需要处于输送顺序中,使得所有的过渡段里的清洗装置或者干燥装置都要有花篮进入,以便于整个挂篮搬运装置顺利地在过渡段里完成不同输送段机械手的交接。
本实施例的光伏硅片清洗工艺优化方法,通过对所有清洗装置均先于所有干燥装置的判断保证了光伏硅片必须先清洗再干燥,对位置靠前的清洗装置和干燥装置是否早于位置靠后的清洗装置和干燥装置的判断,保证了机械手在工作过程中的移动顺序只能是从前往后,避免了机械手前后往复运动,所有过渡段对应的清洗装置和干燥装置中的至少一个清洗装置或干燥装置均需要处于输送顺序中,使得所有的过渡段里的清洗装置或者干燥装置都有花篮进入,以便于整个挂篮搬运装置顺利地在过渡段里完成不同输送段机械手的交接,提高了生产效率。
进一步地,调整后的清洗装置或干燥装置与调整前的清洗装置或干燥装置功能完全相同。以调整后的清洗装置或干燥装置的功能能够完全覆盖调整前的清洗装置或干燥装置为准。
进一步地,若若干清洗装置和若干干燥装置的功能完全相同,则读取每个清洗装置和干燥装置中的处理时间,判断位置靠前的清洗装置和干燥装置的处理时间是否大于等于位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间,若是则结束;否则将位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间分配到功能完全相同的清洗装置和干燥装置以符合条件。
进一步地,以时间平均分配的方式分配处理时间。
清洗装置和干燥装置中的清洗工艺参数和干燥工艺参数。清洗工艺参数通常包括,清洗时间、清洗液种类、清洗液温度、清洗液用量。干燥工艺参数包括,喷吹气体的问题和干燥时间。本申请仅限于处理时间的调整,其他工艺参数同步对清洗装置和干燥装置进行调整。
举例说明:
举例的光伏硅片清洗设备包括顺序排列的第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽、第四清洗槽、第五清洗槽、第六清洗槽以及第一干燥槽和第二干燥槽。
在设定输送顺序时,可以直接设定输送顺序为第一清洗槽-第二清洗槽-第三清洗槽、第四清洗槽-第五清洗槽-第六清洗槽-第一干燥槽-第二干燥槽,如下表的“依次输送”,这也是最常见的设置方式。当然,使用者也可以根据需要忽略其中的某个或多个清洗槽或者干燥槽。此时,产生了本申请中订制输送顺序的需求。
未优化前情况1则为不符合“所有清洗装置均先于所有干燥装置”的情形,此时,调整顺序形成“优化后情况1”。
未优化前情况2则为不符合“位置靠前的清洗装置和干燥装置是否早于位置靠后的清洗装置和干燥装置”的情形,此时交换“第一清洗槽”和“第二清洗槽”的顺序,调整顺序形成“优化后情况2”。
其中的数字表示先后进入的顺序,没有数字的表示不进入。
情形 第一清洗槽 第二清洗槽 第三清洗槽 第四清洗槽 第五清洗槽 第六清洗槽 第一干燥槽 第二干燥槽
依次输送 1 2 3 4 5 6 7 8
未优化前情况1 3 4 5 1 2
优化后情况1 1 2 3 4 5
未优化前情况2 2 1 3 4 5
优化后情况2 1 2 3 4 5
又假设第一清洗槽与第二清洗槽的功能完全相同,第三清洗槽与第四清洗槽的功能完全相同,第五清洗槽与第六清洗槽的功能完全相同。第一机械手对应“第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽”,第二机械手对应“第三清洗槽、第四清洗槽、第五清洗槽”,第三机械手对应“第五清洗槽、第六清洗槽、第一干燥槽”,第四机械手对应“第六清洗槽、第一干燥槽、第二干燥槽”。
其中过渡段为“第三清洗槽”、“第六清洗槽”、“第一干燥槽。”
如未优化情况3,其中,第三清洗槽与第四清洗槽的功能完全相同,但是第三清洗槽作为过渡段不在输送顺序中,因此,将第四清洗槽调整为第三清洗槽,同样的将第五清洗槽调整为第六清洗槽。
情形 第一清洗槽 第二清洗槽 第三清洗槽 第四清洗槽 第五清洗槽 第六清洗槽 第一干燥槽 第二干燥槽
未优化前情况3 1 2 3 4
优化后情况3 1 2 3 4  
以下为针对处理时间的优化,表格中的时间即为处理时间。
情形 第一清洗槽 第二清洗槽 第三清洗槽 第四清洗槽 第五清洗槽 第六清洗槽 第一干燥槽 第二干燥槽
未优化前情况4 10min 15min 14min 10min
优化后情况4 10min 7.5min 7.5min 7min 7min 5min 5min
优化后情况4’ 10min 8min 7min 7min 7min 5min 5min
“未优化前情况4”中第三清洗槽的处理时间大于第一清洗槽的处理时间,因而不符合要求,可向“优化后情况4”和“优化后情况4’”进行优化。
第一批次进入第一清洗槽,0-10min为第一清洗槽工作时间,10-17.5min为第三清洗槽工作时间,17.5-25min为第四清洗槽工作时间,25-32min为第五清洗槽工作时间,32-39min为第五清洗槽工作时间,39-44min为第一干燥槽工作时间,44-49min为第二干燥槽工作时间。
第二批次应当于7.5min后进入第二清洗槽,7.5-17.5min为第二清洗槽工作时间,17.5min-25min为第三清洗槽工作时间,以此类推,避开第一批次的清洗时间。
当然,也可以不平均分配时间,形成如“优化后情况4’”的优化方式。此时,第二批次应当于后8min进入第二清洗槽,以此类推。
实施例2
本实施例一种光伏硅片清洗设备布置顺序调整方法,本实施例用于光伏硅片清洗设备设计过程,用于对清洗装置和干燥装置的排列顺序进行规范,核心思想与实施例1中的相同,包括以下步骤:
S1:读取清洗装置和干燥装置的布置顺序和工艺要求中挂篮搬运装置的机械手搭载花篮输送到清洗装置和干燥装置的输送顺序,挂篮搬运装置包括具有多个输送段的输送轨和每个输送段上设置的机械手,相邻两个输送段之间的连接区域为过渡段,相邻两个输送段的机械手均能运动到过渡段,过渡段对应的一个或多个清洗装置或者一个或多个干燥装置;
S2:判断所有清洗装置是否均先于所有干燥装置,若是则进入S3步骤;若否则将干燥装置的布置位置调整到所有清洗装置之后再进入S3步骤;
S3:判断位置靠前的清洗装置和干燥装置在输送顺序中是否早于位置靠后的清洗装置和干燥装置,若是则进入步骤S4;若否则调整清洗装置和干燥装置的位置以符合清洗装置和干燥装置早于位置靠后的清洗装置和干燥装置后再进入S4步骤;
S4:判断所有过渡段对应的清洗装置和干燥装置中的至少一个清洗装置或干燥装置是否处于输送顺序中,若是则进入步骤S5,若否则将过渡段设置到对应的清洗装置和干燥装置处或者增加过渡段对应的清洗装置或干燥装置数量后再进入步骤S5(也即可以调整过渡段的设置位置或者对应数量);
S5:输出调整后的光伏硅片清洗设备的布置顺序。
进一步地,读取每个清洗装置和干燥装置中的处理时间,判断位置靠前的清洗装置和干燥装置的处理时间是否大于等于位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间,若是则结束;否则新增功能完全相同的清洗装置和干燥装置,并将位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间分配到功能完全相同的清洗装置和干燥装置以符合条件。
进一步地,以时间平均分配的方式分配处理时间。
通过上述设置,使得设备能够设计阶段符合更高工作效率的要求。
以上述依据本申请的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
本领域内的技术人员应明白,本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此,本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且,本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质上实施的计算机程序产品的形式。
本申请是参照根据本申请实施例的方法、设备、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器,使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中,使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品,该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上,使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理,从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

Claims (7)

1.一种光伏硅片清洗工艺优化方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:读取挂篮搬运装置中机械手搭载花篮输送到清洗装置和干燥装置的输送顺序,挂篮搬运装置包括具有多个输送段的输送轨和每个输送段上设置的机械手,相邻两个输送段之间的连接区域为过渡段,相邻两个输送段的机械手均能运动到过渡段,过渡段对应一个或多个清洗装置或者一个或多个干燥装置;
S2:判断所有清洗装置是否均早于所有干燥装置,若是则进入S3步骤;若否则将输送顺序中干燥装置调整到所有清洗装置之后再进入S3步骤;
S3:判断位置靠前的清洗装置和干燥装置是否早于位置靠后的清洗装置和干燥装置,若是则进入S4步骤;若否则将干燥装置调整先后顺序以符合位置靠前的清洗装置和干燥装置早于位置靠后的清洗装置和干燥装置后再进入S4步骤;
S4:判断所有过渡段对应的清洗装置和干燥装置中的至少一个清洗装置或干燥装置是否处于输送顺序中,若是则进入S5步骤,若否则将离过渡段对应的清洗装置和干燥装置中最近的清洗装置或干燥装置调整到过渡段对应的清洗装置和干燥装置再进入S5步骤;
S5:输出经过调整后的输送顺序。
2.根据权利要求1所述的光伏硅片清洗工艺优化方法,其特征在于,S2、S3和S4步骤中调整后的清洗装置或干燥装置与调整前的清洗装置或干燥装置功能完全相同。
3.根据权利要求1所述的光伏硅片清洗工艺优化方法,其特征在于,若若干清洗装置和若干干燥装置的功能完全相同,则读取每个清洗装置和干燥装置中的处理时间,判断位置靠前的清洗装置和干燥装置的处理时间是否大于等于位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间,若是则结束;否则将位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间分配到功能完全相同的清洗装置和干燥装置以符合条件。
4.根据权利要求3所述的光伏硅片清洗工艺优化方法,其特征在于,以时间平均分配的方式分配处理时间。
5.一种光伏硅片清洗设备布置顺序调整方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:读取清洗装置和干燥装置的布置顺序和工艺要求中挂篮搬运装置的机械手搭载花篮输送到清洗装置和干燥装置的输送顺序,挂篮搬运装置包括具有多个输送段的输送轨和每个输送段上设置的机械手,相邻两个输送段之间的连接区域为过渡段,相邻两个输送段的机械手均能运动到过渡段,过渡段对应一个或多个清洗装置或者一个或多个干燥装置;
S2:判断所有清洗装置是否均先于所有干燥装置,若是则进入S3步骤;若否则将干燥装置的布置位置调整到所有清洗装置之后再进入S3步骤;
S3:判断位置靠前的清洗装置和干燥装置在输送顺序中是否早于位置靠后的清洗装置和干燥装置,若是则进入步骤S4;若否则调整清洗装置和干燥装置的位置以符合清洗装置和干燥装置早于位置靠后的清洗装置和干燥装置后再进入S4步骤;
S4:判断所有过渡段对应的清洗装置和干燥装置中的至少一个清洗装置或干燥装置是否处于输送顺序中,若是则进入步骤S5,若否则将过渡段设置到对应的清洗装置和干燥装置处或者增加过渡段对应的清洗装置或干燥装置数量后再进入步骤S5;
S5:输出调整后的光伏硅片清洗设备的布置顺序。
6.根据权利要求5所述的光伏硅片清洗设备布置顺序调整方法,其特征在于,读取每个清洗装置和干燥装置中的处理时间,判断位置靠前的清洗装置和干燥装置的处理时间是否大于等于位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间,若是则结束;否则新增功能完全相同的清洗装置和干燥装置,并将位置靠后的清洗装置和干燥装置的处理时间分配到功能完全相同的清洗装置和干燥装置以符合条件。
7.根据权利要求6所述的光伏硅片清洗设备布置顺序调整方法,其特征在于,以时间平均分配的方式分配处理时间。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07275810A (ja) * 1994-04-12 1995-10-24 Hitachi Home Tec Ltd 洗浄装置
JPH08109487A (ja) * 1994-10-11 1996-04-30 Hitachi Home Tec Ltd 洗浄装置
JPH11227931A (ja) * 1998-02-10 1999-08-24 Yaskawa Electric Corp 搬送順序決定方法および装置
JP2004041860A (ja) * 2002-07-09 2004-02-12 Sansha Electric Mfg Co Ltd 洗浄・乾燥連動システム
JP5389478B2 (ja) * 2009-03-06 2014-01-15 オリンパス株式会社 洗浄乾燥方法及び洗浄乾燥装置
CN106694443B (zh) * 2016-11-30 2019-04-05 北京七星华创电子股份有限公司 硅片清洗的调度方法及调度系统
CN107051966A (zh) * 2017-03-08 2017-08-18 常州市科沛达超声工程设备有限公司 全自动硅片清洗线及其工作方法
JP7105066B2 (ja) * 2018-01-15 2022-07-22 三井化学株式会社 工程間搬送の自動制御装置及び制御方法並びに該制御方法をコンピュータにより実行させるためのプログラム及びこれを記録したコンピュータ可読記録媒体
CN113510113A (zh) * 2021-07-26 2021-10-19 鑫鑫直线精密机械(苏州)有限公司 全自动滑块清洗机

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