KR20090055422A - 습식세정장치 및 기판처리방법 - Google Patents

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Abstract

기판의 처리 시간을 단축할 수 있으며, 스루풋을 향상 시킬 수 있는 습식세정장치 및 기판처리방법이 개시된다. 습식세정장치는 풉(FOUP)이 로딩 및 언로딩되는 반출입부, 로딩된 풉으로부터 기판이 준비되는 세정준비부, 세정준비부에 입구단 및 출구단이 연결되며 기판을 처리하는 세정처리부, 세정처리부의 처리 경로를 따라 기판을 이송하는 이송유닛을 포함한다.
기판, 반출입부, 세정준비부, 세정처리부, 출구단, 이송유닛

Description

습식세정장치 및 기판처리방법{WET STATION AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE}
본 발명은 습식세정장치 및 기판처리방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 기판의 처리 시간을 단축할 수 있으며, 스루풋을 향상 시킬 수 있는 습식세정장치 및 기판처리방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 리소그래피, 증착 및 에칭 등의 공정을 반복적으로 수행한다. 이러한 공정들을 거치는 동안 기판(예를 들어 실리콘 웨이퍼) 상에는 각종 파티클, 금속 불순물, 유기물 등이 잔존하게 된다. 이와 같은 오염 물질은 제품의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에 반도체 제조 공정에서는 기판에 잔존된 오염 물질을 제거하기 위한 세정 공정이 수행되고, 세정 공정 후에는 웨이퍼에 대한 건조 공정이 수행된다.
이와 같이 기판을 세정하는 방식은 처리 방식에 따라 크게 건식(Dry)세정방식과, 습식(Wet)세정방식으로 구분될 수 있다. 그 중 습식세정방식은 여러 가지 약액이 일정 비율로 혼합된 세정액이 수용된 세정조 내부에 기판을 일정시간 침지시켜 기판을 세정하는 방식을 말한다.
한편, 습식세정장치는 기판의 처리방식에 따라 크게 프론트타입과 사이드타입으로 구분될 수 있다. 그 중 프론트타입 습식세정장치는 처리될 기판이 장비의 일측으로 로딩되고, 처리가 완료된 기판은 장비의 다른 일측으로 언로딩되도록 구성된다. 반면, 사이드타입 습식세정장비는 처리될 기판이 장비의 일측으로 로딩되고, 처리가 완료된 기판은 다시 로딩된 측으로 언로딩되도록 구성된다.
그런데, 종래 프론트타입 습식세정장치는 기판의 로딩 위치와 언로딩 위치가 서로 다르기 때문에 공간활용성이 저하되는 문제점이 있고, 작업 효율성을 일정 이상 향상시키기 어려운 문제점이 있다.
또한, 종래 사이드타입 습식세정장치는 기판이 전방 개방 단일화 포드(Front Opening Unified Pod: FOUP, 이하 풉이라 한다)로부터 인출된 상태로 장비의 일측에서 다른 일측으로 이송되기 때문에, 기판의 이송 속도를 일정이상 올리기 어렵고, 기판을 흔들림없이 안정적으로 이송하기 어려운 문제점이 있다.
이에 따라, 최근에는 기판의 처리 시간을 단축하고 처리 효율을 향상시킬 수 있도록 한 다양한 방식의 습식세정장치에 관한 여러 가지 검토가 이루어지고 있다.
본 발명은 기판의 처리 시간을 단축할 수 있으며, 기판의 처리 효율을 향상 시킬 수 있는 습식세정장치 및 기판처리방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 공간활용성을 향상 시킬 수 있으며, 장비의 소형화에 기여할 수 있는 습식세정장치 및 기판처리방법을 제공한다.
상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 습식세정장치는 풉(FOUP)이 로딩 및 언로딩되는 반출입부, 로딩된 풉으로부터 기판이 준비되는 세정준비부, 세정준비부에 입구단 및 출구단이 연결되며 기판을 처리하는 세정처리부, 세정처리부의 처리 경로를 따라 기판을 이송하는 이송유닛을 포함한다.
세정처리부는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 형상으로 절곡 형성될 수 있다. 일 예로, 세정처리부는 입구단 및 출구단이 세정준비부에 연결되도록 "U" 형상으로 형성될 수 있다. 이러한 세정처리부는 적어도 하나의 세정조 및 건조챔버를 포함하여 구성될 수 있으며, 세정조의 종류 및 개수에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
또한, 본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따르면, 풉(FOUP)이 로딩 및 언로딩되는 반출입부, 로딩된 풉으로부터 기판이 준비되는 세정준비부, 세정준비부에 입구단 및 출구단이 연결되며 기판을 처리하는 세정처리부, 세정처리부의 처리 경로를 따라 기판을 이송하는 이송유닛을 포함하는 습식세정장치의 기판처리방법은 반출입부에 로딩된 풉으로부터 기판을 세정준비부에 준비시키는 단계, 준비된 기판을 세정처리부의 처리 경로를 따라 처리함과 동시에 세정준비부 측으로 이송하는 단계, 처리된 기판을 풉에 수납하고 반출입부로부터 언로딩하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 습식세정장치 및 기판처리방법에 의하면, 피처리물이 세정체리부의 처리 경로를 따라 세정처리됨과 동시에 언로딩 위치로 이송될 수 있게 함으로써, 기판의 처리 시간을 단축할 수 있으며, 기판의 처리 효율을 향상 시킬 수 있다. 특히, 기판의 세정처리 전 또는 후에 기판을 특정 위치로 별도로 이송할 필요없이 기판의 세정 처리와 동시에 기판이 언로딩 위치로 이송될 수 있기 때문에 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 기판의 세정처리 전 또는 후에 기판을 별도로 일정 위치로 이송하기 위한 이송장치를 배제할 수 있기 때문에 공간활용성 및 설계자유도를 향상 시킬 수 있으며, 장비의 소형화에 기여할 수 있다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 상기 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되 거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 습식세정장치의 구조를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 습식세정장치로서, 세정처리부 및 이송유닛의 구조를 도시한 도면이다.
도 1 및 도 2에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 습식세정장치는 반출입부(10), 세정준비부(20), 세정처리부(30) 및 이송유닛(40)을 포함한다.
상기 반출입부(10)는 소정 매수의 기판(W)이 그룹 단위로 수용되는 풉(FOUP : Front Opening Unified Pod)(미도시)이 로딩 및 언로딩될 수 있도록 제공된다. 즉, 상기 반출입부(10)는 장비 일측에 제공되며, 이 반출입부(10)에서는 처리될 기판이 수용된 풉이 로딩되거나, 처리 완료된 기판이 수용된 풉이 언로딩될 수 있다. 또한, 상기 반출입부(10)의 일측에는 풉보관부가 제공될 수 있으며, 풉보관부의 선반 상에는 복수개의 풉이 예비 적재될 수 있다.
상기 세정준비부(20)는 반출입부(10)에 인접하게 제공되며, 처리될(또는 처리 완료된)기판이 적당한 형태로 배치 및 배열될 수 있다. 즉, 상기 세정준비부(20)에서는 반출입부(10)에 로딩된 풉으로부터 기판이 세정 처리전에 적당한 배열 형태로 준비될 수 있으며, 이러한 세정준비부(20)의 구조 및 방식은 요구되는 조건 및 설계환경에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 세정준비부(20)에는 풉 내부에 수납된 처리될 기판 그룹을 풉 외부로 반출해 내거나 처리 완료된 기판 그룹을 풉 내부로 반입시키는 덤핑로봇(22), 기판 그룹을 인계받아 정렬시키는 푸셔유닛(24), 기판 그룹이 처리될 또는 처리 완료된 기판이 대기되는 버퍼유닛(26) 이 구비될 수 있다. 이러한 구조에 의해, 세정 처리될 기판은 덤핑로봇(22)에 의해 인출된 후 푸셔유닛(24)을 거쳐 버퍼유닛(26)에서 대기될 수 있으며, 그 후 세정처리부(30)를 따라 일련의 처리 과정을 거치게 된다.
상기 세정처리부(30)는 세정준비부(20)에 연결되어 풉으로부터 반출한 기판(W)을 세정 및 건조 처리할 수 있도록 제공된다. 아울러 상기 세정처리부(30)는 입구단 및 출구단이 모두 세정준비부(20)에 연결되어 있으며, 기판은 세정처리부(30)의 입구단으로부터 출구단으로 이르는 처리 경로를 따라 처리되는 동안 세정준비부(20) 측으로 이송될 수 있다.
상기 세정처리부(30)의 구조 및 방식은 요구되는 조건 및 처리환경에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 상기 세정처리부(30)는 복수개의 세정조(32) 및 건조챔버(34)를 포함하여 구성될 수 있는 바, 기판의 세정 공정은 여러 가지 약액이 일정 비율로 혼합된 세정액이 수용된 세정조(32) 내부에 기판을 일정시간 침지 시킴으로써 구현될 수 있고, 기판의 건조 공정은 기판을 순수(DIW : Distilled Water) 안에서 수직 방향으로 건조챔버(34)로 끌어올림과 동시에 이소프로필 알콜(IPA : Iso-Propyl Alcohol) 및 질소가스를 기판 표면의 기액(氣液)계면 부근에 불어 넣는 것에 의해 마란고니 효과(Marangoni effect)를 발생시킴으로써 구현될 수 있다.
이러한 세정처리부(30)의 구조는 요구되는 조건 및 세정 환경에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로 세정처리부(30)는 입구단 및 출구단이 세정준비부(20)에 연결되도록 대략 "U" 형상으로 형성될 수 있다.
상기 이송유닛(40)은 세정처리부(30)의 처리 경로를 따라 기판을 이송하도록 제공된다. 즉, 세정처리부(30)가 "U" 형상으로 형성될 경우 이송유닛(40)은 세정처리부(30)의 "U" 형상 처리 경로를 따라 이송될 수 있으며, 기판은 이송유닛(40)에 파지된 상태로 각 세정조로 순차적으로 이송되며 일련의 처리 과정을 거치게 된다. 이러한 이송유닛(40)으로서는 직선이동 및 회전이동 가능한 통상의 로봇이 사용될 수 있으며, 이송유닛(40)의 구조 및 방식에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
이러한 구성에 의해, 기판은 세정처리부(30)를 따라 세정 처리됨과 동시에 언로딩 가능한 위치 즉, 세정준비부(20) 측으로 이송될 수 있다. 이와 같은 구조는 기판의 세정 처리가 완료된 후 기판을 언로딩 가능한 특정 위치로 이송할 필요없이 세정 처리와 동시에 기판의 이송이 이루어질 수 있게 한다. 따라서 기판의 처리 시간을 단축할 수 있으며, 기판의 처리 효율을 향상 시킬 수 있다.
더욱이, 기판의 세정 처리와 동시에 기판이 이송될 수 있기 때문에 기판의 세정처리 전 또는 후에 기판을 별도로 특정 위치로 이송하기 위한 이송장치를 배제할 수 있다. 따라서, 공간활용성 및 설계자유도를 향상 시킬 수 있으며, 장비를 보다 소형으로 제작할 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판처리장치를 이용한 기판처리방법을 설명하기로 한다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명에 따른 습식세정장치의 기판처리방법은 반출입부(10)에 로딩된 풉으 로부터 기판을 세정준비부(20)에 준비시키는 단계, 준비된 기판을 세정처리부(30)의 처리 경로를 따라 처리함과 동시에 세정준비부(20) 측으로 이송하는 단계, 처리된 기판을 풉에 수납하고 반출입부(10)로부터 언로딩하는 단계를 포함한다.
먼저, 반출입부(10)에 로딩된 풉으로부터 처리될 기판(W)을 세정준비부(20)에 준비시킨다. 전술한 바와 같이 세정준비부(20)에는 덤핑로봇, 푸셔유닛 및 버퍼유닛이 제공될 수 있으며, 처리될 기판은 덤핑로봇에 의해 풉으로부터 인출된 후 푸셔유닛을 거쳐 버퍼유닛에서 대기될 수 있다.
다음, 준비된 기판을 세정처리부(30)의 처리 경로를 따라 처리함과 동시에 세정준비부(20) 측으로 이송한다. 이 단계에서 기판은 이송유닛(40)에 의해 파지된 상태로 세정처리부(30)의 세정조(32) 및 건조챔버(34)를 순차적으로 통과하며 세정 및 건조 처리됨과 동시에 세정준비부(20) 측으로 이송될 수 있다.
아울러 세정처리부(30)의 처리 경로는 요구되는 조건 및 세정 환경에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 상기 세정처리부(30)는 입구단 및 출구단이 세정준비부(20)에 연결되도록 "U" 형상으로 제공될 수 있으며, 기판은 세정처리부(30)의 "U" 형상 처리 경로를 따라 처리되며 세정준비부(20) 측으로 이송될 수 있다.
이와 같이 세정처리부(30)에서 기판이 처리됨과 동시에 기판이 세정준비부(20) 측으로 이송될 수 있는 바, 이와 같은 방식은 기판의 처리 시간을 단축하고 스루풋을 향상 시킬 수 있게 한다. 더욱이 기판의 세정처리 전 또는 후에 기판을 별도로 특정 위치로 이송할 필요가 없기 때문에 장비를 보다 간소화할 수 있으며, 공간활용성 및 설계자유도를 향상 시킬 수 있다.
그 후, 처리 완료된 기판은 다시 풉에 수납될 수 있으며 반출입부(10)로부터 언로딩될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 습식세정장치의 구조를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 습식세정장치로서, 세정처리부 및 이송유닛의 구조를 도시한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 반출입부 20 : 세정준비부
30 : 세정처리부 40 : 이송유닛

Claims (6)

  1. 풉(FOUP)이 로딩 및 언로딩되는 반출입부;
    로딩된 상기 풉으로부터 기판이 준비되는 세정준비부;
    상기 세정준비부에 입구단 및 출구단이 연결되며 상기 기판을 처리하는 세정처리부; 및
    상기 세정처리부의 처리 경로를 따라 상기 기판을 이송하는 이송유닛;을 포함하는 습식세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 세정처리부는 절곡되게 형성되며 절곡된 처리 경로를 제공하는 것을 특징으로 하는 습식세정장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 세정처리부는 입구단 및 출구단이 상기 세정준비부에 연결되도록 "U" 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 습식세정장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 세정처리부는 적어도 하나의 세정조 및 건조챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 습식세정장치.
  5. 풉(FOUP)이 로딩 및 언로딩되는 반출입부, 로딩된 상기 풉으로부터 기판이 준비되는 세정준비부, 상기 세정준비부에 입구단 및 출구단이 연결되며 상기 기판을 처리하는 세정처리부, 상기 세정처리부의 처리 경로를 따라 상기 기판을 이송하는 이송유닛을 포함하는 습식세정장치의 기판처리방법으로서,
    상기 반출입부에 로딩된 상기 풉으로부터 기판을 세정준비부에 준비시키는 단계; 및
    준비된 상기 기판을 상기 세정처리부의 처리 경로를 따라 처리함과 동시에 상기 세정준비부 측으로 이송하는 단계;
    처리된 상기 기판을 상기 풉에 수납하고 상기 반출입부로부터 언로딩하는 단계;를 포함하는 습식세정장치의 기판처리방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 세정처리부는 입구단 및 출구단이 상기 세정준비부에 연결되도록 "U" 형상으로 제공되며,
    상기 기판은 상기 세정처리부의 "U" 형상 처리 경로를 따라 처리되며 상기 세정준비부 측으로 이송되는 것을 특징으로 하는 습식세정장치의 기판처리방법.
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