JPH11119960A - アラームロギングデータ表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板処理装置で発生したアラームを種別毎に
自動的に計数して、アラームの種別毎の発生傾向をディ
スプレイ画面上に表示出力する。 【解決手段】 アラームロギングデータ表示装置６で
は、基板処理装置から報告されたアラームをその発生時
刻及び種別に対応付けたレコードとしてメモリ９に蓄積
保持しておき、オペレータによる種別及び期間の指定を
入力部１０から受け付けると、指定された種別及び期間
に該当するレコードを読み込み部１１がメモリ９から読
み出し、読み出されたレコードに基づいて指定種別毎の
アラーム発生回数を統計分析部１３が計数して、表示制
御部１６が計数されたアラーム発生回数をその種別毎に
ディスプレイ画面１５に表示出力する。これにより、オ
ペレータは、同種類のアラーム報告の数を数えなければ
ならないなどと言った煩雑な作業を行うことなく、必要
な時に必要な種別及び期間の故障発生傾向を把握するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＣＤ製造装置や
半導体製造装置（半導体デバイス製造装置も含む）等と
言った基板処理装置に適用されるアラームロギングデー
タ表示装置に関し、特に、アラームを種別毎に自動的に
計数して、アラームの種別毎の発生傾向をディスプレイ
画面上に表示出力するアラームロギングデータ表示装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えば半導体製造工場の自動
化ラインにおいては、複数台の半導体製造装置を群管理
システムで統括して管理する方式が採用されている。こ
の方式では、各半導体製造装置の所要箇所に故障（エラ
ー）を検知するセンサを設けており、当該センサで半導
体製造装置で発生した故障を検知すると、当該半導体製
造装置を制御している制御部からアラーム報告としてア
ラーム種別、故障内容を示すメッセージ、その時の装置
の状況等が群管理システムへ伝えられるようにしてい
る。

【０００３】そして、群管理システムではアラーム報告
をロギングデータとして発生順に蓄積保持しており、オ
ペレータが或る半導体製造装置を選択すると、当該半導
体製造装置についてのアラーム報告の発生順一覧がディ
スプレイ画面に表示出力されるようになっている。更
に、オペレータがこの一覧中の１つのアラーム報告を指
定すると、当該アラーム報告の詳細内容（装置の温度、
ガス流量、メカニカル部の状況等）がディスプレイ画面
に表示出力されるようになっている。このようなアラー
ムロギングデータ表示装置によれば、オペレータは、ア
ラーム報告一覧から何時どの様な故障が発生したかを把
握することができ、また、その詳細内容表示からその故
障発生状況を把握することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ここで、故障管理にお
いては同種の故障がどの様な頻度で発生しているかを把
握することも重要であり、特に、上記のような群管理シ
ステムにおいては複数台の装置間に亘って同種の故障が
発生する頻度を把握する必要がある。例えば、或る種類
の故障が頻繁に発生している場合には当該故障に係わる
装置箇所を早急にメンテナンスする必要があることが判
断でき、長期間に亘って装置を停止させなければならな
いと言った重大な事態を未然に防止することができる。

【０００５】しかしながら、上記のような従来のアラー
ムロギングデータ表示装置にあっては、或る故障がどの
様な頻度で発生しているかを把握するためには、オペレ
ータが発生順一覧中から同種類のアラーム報告の数を数
えなければならず、極めて煩雑な作業が強いられてい
た。また、このような故障発生傾向を把握する必要性を
オペレータが強く意識しない限り、このような煩雑な作
業が行われないため、装置をメンテナンスするタイミン
グが後手に回ってしまっていた。

【０００６】本発明は、上記従来の事情に鑑みなされた
もので、半導体製造装置等と言った基板処理装置からの
アラーム報告に基づいて、オペレータに煩雑な作業を強
いることなく故障発生傾向を容易に把握させることがで
きるアラームロギングデータ表示装置を提供することを
目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るアラームロギングデータ表示装置で
は、基板処理装置から報告されたアラームに基づいてそ
の種別毎の発生回数を統計分析手段が計数し、計数され
たアラーム発生回数をその種別毎に表示制御手段がディ
スプレイ画面に表示出力する。したがって、オペレータ
は、一覧中から同種類のアラーム報告の数を数えなけれ
ばならないなどと言った煩雑な作業を行うことなく、タ
イムリーに故障発生傾向を把握することができる。

【０００８】なお、本発明における上記のアラーム発生
回数は、オペレータの指示に基づいて表示出力するよう
にしてもよいが、例えば予め設定した一定期間毎に表示
出力する、予め設定した回数に達したときに表示出力す
る等と言ったように、自動的に表示出力するようにすれ
ば、オペレータの注意を喚起することともなって好まし
い。また、本発明における発生回数の計数は、従来のよ
うに蓄積されたアラームロギングデータをカウントする
ことにより行ってもよいが、基板処理装置から報告を受
ける毎にアラーム種別毎の回数をカウントして行くよう
にしてもよく、このようにすれば、計数処理のためのア
クセスを膨大な量ともなるアラームロギングデータに行
わずに済んで迅速な表示出力を行うことができる。

【０００９】また、本発明に係るアラームロギングデー
タ表示装置では、基板処理装置から報告されたアラーム
をその発生時刻及び種別に対応付けたレコードとしてメ
モリに蓄積保持しておき、オペレータによる種別及び期
間の指定を入力手段から受け付けると、指定された種別
及び期間に該当するレコードを読み込み部がメモリから
読み出し、読み出されたレコードに基づいて指定種別毎
のアラーム発生回数を統計分析手段が計数して、表示制
御手段が計数されたアラーム発生回数をその種別毎にデ
ィスプレイ画面に表示出力する。したがって、オペレー
タは、一覧中から同種類のアラーム報告の数を数えなけ
ればならないなどと言った煩雑な作業を行うことなく、
必要な時に必要な種別及び期間の故障発生傾向を把握す
ることができる。

【００１０】また、本発明に係るアラームロギングデー
タ表示装置では、オペレータによる表示形式の指定を入
力手段から受け付けて、オペレータからの指定に応じ
て、表示制御手段が、計数されたアラーム発生回数をア
ラーム種別で分類したグラフ形式でディスプレイ画面に
表示出力し、及び、計数されたアラーム発生回数をアラ
ーム種別で分類し且つアラーム内容を付記した一覧形式
でディスプレイ画面に表示出力する。したがって、オペ
レータは、その時の必要に応じた形式でアラーム発生頻
度を表示させることができ、故障発生傾向の把握が容易
化される。なお、一覧形式とグラフ形式は、いずれか一
方のみをディスプレイ画面に表示しても、或いは、いず
れか一方のみの表示と両方の表示との切換がなされても
よい。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態に係るアラー
ムロギングデータ表示装置を図面を参照して説明する。
本実施形態は、図１に示すように、複数台の半導体製造
装置を統括して制御するシステム構成としており、各半
導体製造装置を直接的に制御するサブコントローラ１を
主制御部（メインコントローラ）２に通信回線３を介し
て接続し、主制御部２による統括制御の下に各半導体製
造装置を管理制御している。

【００１２】サブコントローラ１には半導体製造装置の
所要箇所に設けた各種のセンサ４が接続されており、セ
ンサ４で検知した異常はサブコントローラ１を介して主
制御部２へ送られ、主制御部２からアラーム報告として
アラームロギングデータ表示装置を構成する群管理シス
テム６へ通信回線５を介して送られる。このアラーム報
告には、センサ４が異常を検知した日時（すなわち、ア
ラーム発生時刻）、異常の種別（すなわち、アラーム種
別）、異常内容を示すメッセージ、検知時点での装置の
状況（温度、圧力、ガス流量等）が含まれている。

【００１３】なお、本例では、アラーム種別は各センサ
４に対応付けて主制御部２により管理されており、主制
御部２はいずれのセンサ４で何時異常が検知されたかに
よって発生日時及びアラーム種別を付加し、また、サブ
コントローラ１から得られる装置の状況を付加してアラ
ーム報告を作成する。また、本例のように複数台の半導
体製造装置を管理するシステムでは、アラーム報告には
いずれの半導体製造装置に関するアラームかを識別する
ＩＤ情報も付加されている。

【００１４】群管理システム６には、通信回線５からア
ラーム報告を受信する受信部７、受信したアラーム報告
を書き込み処理するアラーム書き込み部８、書き込み処
理されたアラーム報告を順次それぞれのレコードとして
蓄積保持するメモリ９、オペレータからの指示入力を受
け付ける入力部１０、オペレータからの指示入力に応じ
てメモリ９から該当するレコードを読み出すアラーム読
み込み部１１、読み出されたレコードを一時的に保持す
る読み込みバッファ１２、バッファ１２に保持されたレ
コードをアラーム種別毎に計数する統計分析部１３、計
数結果を一時的に保持する表示用バッファ１４、液晶パ
ネルやＣＲＴ等で構成されたディスプレイ画面１５、バ
ッファ１４に保持された計数結果をオペレータからの指
示に応じた形式に変換してディスプレイ画面１５に表示
出力させる表示制御部１６を備えられている。

【００１５】なお、図示は省略してあるが、群管理シス
テム６は従来と同様に発生順一覧やアラーム報告の詳細
内容をディスプレイ画面１５に表示出力する機能も有し
ている。また、本例では上記した各機能部は群管理シス
テム６を構成しているコンピュータが所定の制御プログ
ラムを実行することにより実現されているが、これら各
機能部を専用の装置として実現してもよい。

【００１６】上記構成の群管理システム６（アラームロ
ギングデータ表示装置）によると、図２に示すような手
順によってアラーム報告を受信処理する。すなわち、主
制御部２から送信されてきたアラーム報告を受信部７で
受信すると（ステップＳ１）、発生元の装置毎のファイ
ルとして、当該アラーム報告を書き込み部８がメモリ９
に日時情報の順に書き込んで、メモリ９内にアラームロ
ギングデータを作成する（ステップＳ２）。

【００１７】また、上記構成の群管理システム６による
と、図３に示すような手順によってアラーム発生頻度の
表示処理を行う。すなわち、オペレータが入力部１０か
ら表示対象として指定する半導体製造装置のＩＤ、アラ
ーム種別、期間を入力すると（ステップＳ１１）、読み
込み部１１がメモリ９から指定された装置ＩＤのファイ
ルを読み出してバッファ１２に格納する（ステップＳ１
２）。そして、統計分析部１３が、当該ファイル中の先
頭のレコードに対してアラームデータＮｏを初期値の
「１」に設定し（ステップＳ１３）、当該ファイル中の
各レコードに対して以下の処理を最終のレコードまで順
次繰り返し行う（ステップＳ１４〜Ｓ１８）。

【００１８】すなわち、１つのレコードに対してその日
時情報及び種別情報に基づいて、当該レコードのアラー
ム報告がオペレータによって指定された前記の指定種別
と指定期間との両方に該当しているかを判断し（ステッ
プＳ１５）、該当している場合には、種別毎のカウンタ
を「１」ずつ増加させ（ステップＳ１６）、当該カウン
ト値（アラーム発生回数）と当該アラーム報告のメッセ
ージ及び詳細情報情報を表示用バッファ１４に上書きす
る（ステップＳ１７）。一方、指定種別と指定期間との
少なくともいずれか１つが該当していない場合には、ア
ラームデータＮｏを「１」増加させて、ファイル中の次
のレコードに対して上記の処理を繰り返し行う（ステッ
プＳ１８）。この結果、表示用バッファ１４には、指定
された装置について且つ指定された期間内の、指定され
た種別毎のアラーム報告がその発生回数と共に保持され
る。

【００１９】上記の計数処理がファイル中の全てのレコ
ードに対して終了すると（ステップＳ１４）、表示制御
部１６が表示用バッファ１４の保持内容を発生回数順に
並べ換え（ステップＳ１９）、表示形式の指定に応じて
一覧形式での表示或いはパレート図（グラフ）形式での
表示を行う（ステップＳ２０）。なお、この表示形式
は、ステップＳ１１の時点でオペレータが入力部１０か
ら指定してもよく、また、ステップＳ２０の時点で表示
制御部１６がメッセージを表示してオペレータに入力を
促すようにしてもよく、更には、何ら入力指定がない場
合にはデフォルト値としていずれかの表示形式が指定さ
れるようにしてもよい。

【００２０】本例では、ステップＳ２１の一覧形式表示
処理によって、ディスプレイ画面１５には図４（ａ）に
示すような種別毎に分類したアラーム発生回数一覧が表
示出力される。すなわち、この一覧では、各種別毎のア
ラーム発生回数がその回数が多い順に並べて表示され、
更に、各アラーム種別には装置のどの部分での故障かを
示すメッセージが付記されている。したがって、オペレ
ータはどの様なアラームがどの程度頻繁に発生したかを
数値として正確に把握することができる。また、本例で
は、ステップＳ２２のパレート図表示処理によって、デ
ィスプレイ画面１５には図４（ｂ）に示すような種別毎
に分類したアラーム発生回数の棒グラフが表示出力され
る。すなわち、このグラフでは、各種別毎のアラーム発
生回数がその回数が多い順に並べて表示されている。し
たがって、オペレータは種別毎のアラーム発生が他の種
別との比較においてどの程度頻繁であるかを一目して把
握することができる。

【００２１】なお、上記した説明では半導体製造装置に
適用した例を示したが、本発明は他の基板処理装置にも
勿論適用することができる。また、上記した説明では複
数台の半導体製造装置からのアラーム報告を管理する群
管理システムを示したが、本発明は１台の基板処理装置
の複数の測定箇所から得られるアラームを管理する場合
にも適用することができる。また、上記した説明ではア
ラームロギングデータ表示装置を基板処理装置やそのコ
ントローラと別体の装置として構成したが、基板処理装
置やそのコントローラと一体的な装置として構成しても
よい。また、上記した説明で示した入力部１０として
は、マウスやキーボード等の公知の入力手段や、ディス
プレイ画面１５上に設けたタッチパネル等を用いる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のアラーム
ロギングデータ表示装置によると、アラームの発生頻度
をその種別毎に表示出力したため、オペレータが故障の
発生傾向をその箇所毎に容易に把握することができ、装
置のメンテナンス時期等の適切な管理が実現される。ま
た、種別毎のアラームの発生頻度を一覧形式とグラフ形
式とで表示するようにしたため、アラーム発生の正確な
回数と大まかな傾向とをオペレータが容易に把握するこ
とができ、装置の適切な管理が実現される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態に係るアラームロギング
データ表示装置の構成図である。

【図２】 本発明の一実施形態に係るアラーム受信処理
の手順を示すフローチャートである。

【図３】 本発明の一実施形態に係る表示処理の手順を
示すフローチャートである。

【図４】 ディスプレイ画面の表示例を示す図であり、
（ａ）は一覧形式表示を行っている状態を示し、（ｂ）
はグラフ形式表示を行っている状態を示す。

【符号の説明】

２・・・主制御部、 ４・・・センサ、 ６・・・群管
理システム、９・・・メモリ、 １０・・・入力部、
１１・・・読み込み部、１３・・・統計分析部、 １５
・・・ディスプレイ画面、１６・・・表示制御部、

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板処理装置から報告されたアラームの
   ロギングデータをディスプレイ画面に表示出力するアラ
   ームロギングデータ表示装置であって、 基板処理装置から報告されたアラームに基づいてその種
   別毎の発生回数を計数する統計分析手段と、 計数されたアラーム発生回数をその種別毎にディスプレ
   イ画面に表示出力する表示制御手段と、 を備えたことを特徴とするアラームロギングデータ表示
   装置。
2. 【請求項２】 基板処理装置から報告されたアラームを
   蓄積して、当該アラームロギングデータをディスプレイ
   画面に表示出力するアラームロギングデータ表示装置で
   あって、 基板処理装置から報告されたアラームをその発生時刻及
   び種別に対応付けたレコードとして蓄積保持するメモリ
   と、 オペレータによる種別及び期間の指定を受け付ける入力
   手段と、 オペレータから指定された種別及び期間に該当するレコ
   ードをメモリから読み出す読み込み手段と、 読み込み手段によって読み出されたレコードに基づいて
   指定種別毎のアラーム発生回数を計数する統計分析手段
   と、 計数されたアラーム発生回数をその種別毎にディスプレ
   イ画面に表示出力する表示制御手段と、 を備えたことを特徴とするアラームロギングデータ表示
   装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のアラーム
   ロギングデータ表示装置において、 オペレータによる表示形式の指定を受け付ける入力手段
   を備え、 表示制御手段は、オペレータからの指定に応じて、計数
   されたアラーム発生回数をアラーム種別で分類したグラ
   フ形式でディスプレイ画面に表示出力し、及び、計数さ
   れたアラーム発生回数をアラーム種別で分類し且つアラ
   ーム内容を付記した一覧形式でディスプレイ画面に表示
   出力することを特徴とするアラームロギングデータ表示
   装置。