CN1296848C

CN1296848C - 报警管理方法及其设备

Info

Publication number: CN1296848C
Application number: CNB2003101188698A
Authority: CN
Inventors: 岩泽康司
Original assignee: Nissin Ion Equipment Co Ltd
Current assignee: Nissin Ion Equipment Co Ltd
Priority date: 2002-11-29
Filing date: 2003-12-01
Publication date: 2007-01-24
Anticipated expiration: 2023-12-01
Also published as: GB2419723A; TW200417945A; GB2395831B; CN1506896A; US20040133402A1; JP4239574B2; JP2004186167A; US7085674B2; TWI282949B; GB2395831A; KR20040047711A; GB0526091D0; GB0327813D0; KR100525846B1

Abstract

一种报警管理设备，包括：数据采集装置，用于采集由要管理的设备产生的报警数据；数据库装置，用于存储采集的报警数据；报警统计装置，用于利用存储的报警数据来进行报警统计。该报警统计装置包括：加权系数提供单元，用于为每个报警提供一种或多种加权系数；总加权系数计算单元，用于将这些加权系数相乘，以便获得每个报警的总加权系数；加权案例数计算单元，用于将总加权系数与“1”相乘，以获得加权案例数，“1”代表每个报警产生的案例数；以及统计制作单元，用于将各个报警的加权案例数相加，以便对报警产生案例的加权数进行统计。

Description

报警管理方法及其设备

技术领域

本发明涉及对由要管理的设备产生的报警信号进行统计并管理报警的方法和设备。要管理的实例设备是用于制造或检验半导体的半导体制造设备、用于制造或检验液晶显示器的液晶显示器制造设备，或者是用在这些设备上的离子束辐照设备。

背景技术

对于管理由要管理的设备产生的报警信号，在相关技术中，将产生报警的案例简单地加到各个报警中，或者是制作一个所谓的最坏情况表单，在此表单中，从数量最大的案例开始，依次列出各个报警；或者是绘制一个分析图，例如百分比图或排列图(Pareto chart)。

此外，在产生报警的情况下，作为指定或提取用于统计的数据的筛选方法，通常，已经实施过了按日期和时间范围来进行的筛选。作为另一个方法，也已经提出了用块ID(lot ID，块标识信息)的技术以进行筛选(见日本专利JP-A-6-332910中第0008和0012段，图1)。

在相关技术的报警管理技术中有如下两个问题(1)和(2)。

(1)获得报警统计的方式与目的不相匹配。

进行报警统计的目的主要是要用该统计来改进管理设备的使用效率。由于使用效率的降低而引起的各种问题、故障和缺陷皆被设备的用户或供应商认为是一个报警。用户或供应商分析报警统计，并从看来是最重要的问题开始为各种情况制定应对措施，以便改进设备的使用效率。因此，报警统计必须尽可能准确地反映每个报警对该设备使用效率的影响。

然而，由于在每个报警案例中，相关技术的报警统计并未示出受到影响的程度，因此，通常得出的结论“最频繁产生的报警就是最重要的报警”往往是不正确的。下面给出了这样的一个例子。

假设，在一段特定的时间内，实例报警标识ID为1001的一个特定报警的案例数为20，并且在产生此报警时设备的平均停机时间为1小时；与此同时，产生另一个实例报警标识ID为3050的报警的案例数为5，而且在产生此报警时设备的平均停机时间为10小时。根据相关技术的报警统计，报警标识ID为1001的报警的重要程度被认为是后者的四倍。然而，在这段特定的时间内，在产生报警标识ID为1001的报警和报警标识ID为3050的报警时，因为设备的停机时数分别为20小时和50小时，所以，从有关要管理的设备的使用效率受到影响的程度来看，报警标识ID为3050的报警的重要程度是报警标识ID为1001的报警的重要程度的2.5倍。

在此例中，对为改进要管理的设备的使用效率而进行的报警统计分析作了说明。然而，还可以考虑其它的目的，例如，减少要管理的设备的维修费用，减少维修人员执行的操作步骤。有一个适当的方法可根据这些目的来评价影响将会是有用的；然而，用于制作报警统计的相关技术报警管理方法却不能进行这样的评价处理。

(2)报警统计不能用来寻求产生报警的原因。

与相关技术报警管理技术有关的另一个问题是将报警统计与代表要管理的设备的状态的设备数据联系(配对)起来的功能而引起的。如果产生了一个应对其采取措施的重要报警，这并不自动地表示报警统计所起的作用已经完成。尽管理想的是期望用报警统计来指出报警产生背后的原因，但是，并没有不适当地提出要使用相关技术的报警统计，因为报警数据与设备数据之间的联系不能令人满意。

在日本专利JP-A-6-332910中揭示的一个方法与此观点相关，即用块ID来筛选报警，但此法也不能令人满意。尽管块ID与多个设备数据集是相互关联的，但是，这些块ID并非总是唯一地与这些设备数据集相配对。这就是说，即使是有一个对应的块ID，设备的操作参数也并非总是与处理相应的块时相同。更具体地说，即使在根据块ID能够指定用于处理一个特定块的处理条件的处理处方(recipe)的情况下，也要根据多个设备操作参数(可被视为设备数据)来提供处理处方。这样，即使在这些操作参数中有几个看起来是某个报警产生的部分原因，但在不同的处理处方中，这些参数可能具有相同的数值。因此，使用块ID的每个处理处方的筛选方法太不准确，并且难于指定会引起报警产生的操作参数。

发明内容

因此，本发明的目的之一就是要能够根据一个目的来评价每个报警受到影响的程度。本发明的另一个目的是要能够容易地找出产生报警的原因。

根据本发明的第一个方面，一种报警管理方法包括：

为由要管理的设备产生的每个报警提供一种或多种加权系数；

将各种加权系数相乘，以得到每个报警的总加权系数；

将总加权系数与“1”相乘，得到每个报警的加权案例数，“1”代表每个报警产生一次的案例数；以及

将各个报警的加权案例数相加，以便进行报警产生案例的加权数的统计。

将各个报警的加权案例数相加，以便进行报警产生案例加权数的统计。

根据此报警管理方法，由于能够为由要管理的设备产生的每个报警提供与一个目的一致的加权系数，因此，使用报警产生案例的加权数的统计，能根据此目的来评价每个报警受到影响的程度。

在报警管理方法的第一方面，根据报警管理方法的第二方面，一种或多种加权系数可以包括由用户指定的、作为每个报警类型固有值的加权系数。

在报警管理方法的第一方面，根据报警管理方法的第三方面，一种或多种加权系数可包括每次报警产生时用户指定的加权系数。

在报警管理方法的第一方面，根据报警管理方法的第四方面，一种或多种加权系数可包括根据预定规则自动确定的加权系数。

在报警管理方法的第四方面，根据报警管理方法的第五方面，根据从设备中产生要管理的特定报警直到取消该特定报警的时间段确定所述自动确定的加权系数。

根据本发明的第六方面，另一个报警管理方法包括：

用产生报警的日期和时间作为键，将由要管理的设备产生的每个报警和代表设备状态的设备数据关联；

为预定设备数据制作趋势图，该预定设备数据含于从要管理的设备获得的设备数据中；以及

根据所述关联在趋势图上显示产生预先指定的报警的日期和时间。

根据此报警管理方法，由于由要管理的设备产生的报警通过将产生报警的日期和时间用作为键而与设备数据相关联，因此能够得到报警的产生和预定设备数据之间的关系。这就是说，由于通过使用趋势图与预定的设备数据值一起，能容易地确定产生报警的位置，并易于确定产生报警的原因。

根据本发明的第七方面，另外一种报警管理方法包括：

在含于设备数据中的预定设备数据具有预先指定的数值或者位于预先指定的数值范围之中时，仅对由要管理的设备产生的报警进行统计，所述设备数据从该设备获得并代表该设备状态。

根据此报警管理方法，由于由此所做的统计可用于识别在要管理的设备的特定操作状态下产生报警的情况，因此能容易地确定产生报警的原因。这样获得的统计也能有效地用于为特定情况下的报警而首先确定的应对措施。

在此报警管理方法的第一、第六或第七方面，根据报警管理方法的第八方面，可使用用于识别所述报警的报警ID来管理所述报警。

根据本发明的第九方面，一种报警管理设备包括：

数据采集装置，用于为由要管理的设备产生的报警采集报警数据；

数据库装置，用于存储由数据采集装置采集的报警数据；以及

报警统计装置，用于使用由数据库装置存储的报警数据来进行报警统计，该报警统计装置包括：

加权系数提供单元，用于为每个报警提供一种或多种加权系数；

总加权系数计算单元，用于将每个报警的加权系数相乘，以便获得总加权系数；

加权案例数计算单元，用于将总加权系数与“1”相乘，以得到每个报警的加权案例数，“1”代表每个报警产生一次的案例数；以及

统计制作单元，用于将各个报警的加权案例数相加，以获得报警产生案例加权数的统计。

根据本报警管理设备，由于能够为由要管理的设备产生的每个报警提供与预期目的一致的加权系数，因此，利用报警产生案例的加权数的统计，能够根据该预期目的来评价每个报警受到影响的程度。

在报警管理设备的第九方面，根据报警管理设备的第十方面，所述报警统计装置可以包括：

加权系数设置单元，用于为每个报警类型设置唯一的加权系数作为加权系数之一。

在报警管理设备的第九方面，根据报警管理设备的第十一方面，所述报警统计装置可以包括：

加权系数设置单元，用于为每次产生报警设置加权系数作为加权系数之一。

在报警管理设备的第九方面，根据报警管理设备的第十二方面，所述报警统计装置可以包括：

加权系数确定单元，用于根据预定的规则自动确定加权系数作为加权系数之一。

在报警管理设备的第十二方面，根据报警管理设备的第十三方面，所述加权系数确定单元可根据从所述设备中产生要管理的特定报警直到取消该特定报警的时间段，确定加权系数。

根据本发明的第十四方面，另一种报警管理设备包括：

连接单元，用于使用产生报警的日期和时间作为键，将由设备产生的每个报警与代表设备状态的设备数据关联，

趋势图制作单元，用于为含于设备数据中的预定设备数据制作趋势图，以及

显示单元，用于显示由趋势图制作单元制作的趋势图，并根据所述关联在趋势图上显示产生预先指定的报警的日期和时间。

根据此报警管理设备，由于由要管理的设备产生的报警是用产生报警的日期和时间作为键而与设备数据关联起来的，因此，能够得到报警的产生和预定的设备数据之间的关系。这就是说，使用趋势图和设备数据的预定值一起，可以容易地识别所产生的报警，并能易于确定产生报警的原因。

根据本发明的报警管理设备的第十五方面，一种另外的报警管理设备包括：

筛选单元，用于仅提取那些作为统计目标的报警，这些报警是在含于设备数据中的预定设备数据具有预先指定的值或者位于预先指定的数值范围中时由所述设备产生的；以及

统计制作单元，用于统计由筛选单元提取的报警。

根据此报警管理设备，由于这样制作的统计可用于识别在要管理的设备的特定操作状态下产生报警的情况，因此能够容易地确定产生报警的原因。这样制作的统计也能够有效地用于为特定情况下的报警而首先确定的应对措施。

在此报警管理设备的第九、第十四或第十五方面，根据报警管理设备的第十六方面，所述报警可由用于识别所述报警的报警ID来管理。

附图说明

图1是一个方块图，该图示出了一个执行根据本发明的报警管理方法的实例报警管理设备和一个要管理的实例设备；

图2是一个示出实例数据的概念图，图中配有报警数据的加权系数；

图3是一个方块图，该图示出了报警统计装置的一个实例配置；

图4是一个方块图，该图示出了报警统计装置的另一个实例配置；

图5是一个实例趋势图；

图6是一个方块图，该图示出了报警统计装置的另一个配置；

图7是一个方块图，该图示出了执行根据本发明的另一个报警管理方法的另一个实例报警管理设备和另一个要管理的实例设备；以及

图8是一个概念图，该图示出了配有报警数据加权系数的另一个数据实例。

具体实施方式

图1是一个方块图，该图示出了一个使用根据本发明的报警管理方法的实例报警管理设备，以及一个要用此报警管理设备来管理的实例设备。通过信号传输通道18将报警管理设备20与一个要管理的设备10相连。

在此实施例中，要管理的设备10包括：用于控制构成设备10的各种装置(未示出)的子控制器13到16，用于控制所有子控制器13到16的主控制器12；环状的信号传输通道18，它将控制器12到16连接起来，并一起组成网络。

如果设备10是离子注入器，一种离子束辐照设备，那么，子控制器13到16就是如下所述的装置。

子控制器13是用于控制对晶片进行的离子注入操作的注入控制器，这类操作如像目标晶片上的机械扫描、用离子束进行的扫描和离子剂量的控制。

子控制器14是离子束控制器，用于控制各类装置的各种能源，这些装置产生离子束并将此离子束传送到晶片。

子控制器15是终端站控制器，用于控制晶片的处理。

子控制器16是系统控制器，用于控制除能源之外的其它装置，并用于控制真空系统。

由要管理的设备10产生的每个报警都可以作为直接表示报警内容的文本形式来管理。然而，在此实施例中，每个报警是通过使用报警ID(alarm ID)来加以管理的，此报警ID为识别报警提供了识别信息，并且，由于能够减少要处理的数据量和简化报警的显示，所以，这个方法是优选的。因此，在此实施例中，报警ID是在要管理的设备10之内传送的，并从设备10传送到报警管理设备20。尽管报警ID是唯一地与报警内容相关联的，但是，为了易于了解两者之间的关系，可以将文本格式的、显示报警ID和报警内容相互关联的表单存于主控制器12中，并可在需要用它时读取它。

在此实施例中，除了控制子控制器13到16的功能而外，当主控制器12或子控制器13到16之一产生报警的时候，主控制器12也有向报警管理设备20中的数据采集装置22传输报警数据的功能，产生由报警ID、报警日期和时间组成的报警数据。进而，当操作员排除了产生报警的原因，并按下了主控制器12的报警消除按钮(未示出)的时候，主控制器12就取消了该报警，并将由该报警的报警ID、取消报警的日期和时间组成的报警数据传送到数据采集装置22。这就是说，由要管理的设备10(更具体地说，在本实施例中是主控制器12)产生的报警数据包括报警ID、报警产生的日期和时间，或者包括报警ID、取消报警的日期和时间。

在此实施例中，报警管理设备20包括：数据采集装置22、数据库装置24和报警统计装置16，它们全都通过信号传输通道19互连起来。

数据采集装置22采集由要管理的设备10产生的报警数据，在要把代表设备10的状态的数据与报警连接起来的时候，也采集由设备10产生的设备数据(这将在下面加以说明)。实例设备数据包括处理处方、用于设备操作参数的设置值和监视值。数据采集装置22采集这些数据集，并将这些数据存储在数据库装置24中。数据采集装置22也有通知报警统计装置26已收到报警数据的功能。

数据库装置24存储由数据采集装置22采集到的报警数据。图2示出了存储在数据库装置24中的实例报警数据AD。报警数据AD包括报警ID、报警产生日期和时间，以及报警取消日期和时间。下面将说明加权系数。为了提供报警ID和设备数据之间的连接，由数据采集装置22收集到的报警数据也存储在数据库装置24的数据库中。

报警统计装置26利用存储在数据库装置24中的报警数据或利用报警数据和设备数据来制作报警统计。对于报警统计装置26而言，下面将分别详细说明为了给每个报警加权而进行的处理(A)和为了把报警与设备数据连接而进行的处理(B)。

首先，将说明为了给每个报警加权而进行的处理(A)。

如图3中的实例所示，报警统计装置26包括：加权系数提供单元30、总加权系数计算单元32、加权案例数计算单元34和统计制作单元36。加权系数提供单元30为每个报警提供一种或多种加权系数。总加权系数计算单元32对每个报警乘加权系数，以便获得报警的总加权系数。加权案例数计算单元34将总加权系数与“1”相乘，以得到加权的案例数，在此，“1”代表报警产生一次的案例数。统计制作单元36将各个报警的加权案例数相加，以统计报警产生案例的加权数。

在本实施例中，报警统计装置26进而包括显示单元38、输入/输出单元39、存储单元40、加权系数设置单元42和加权系数确定单元44，下面将对这二者加以说明。显示单元38显示由统计制作单元36提供的统计。输入/输出单元39输入或输出必要的数据。存储单元40存储各种数据。最好配备有这些单元，在本实施例中，这些单元是通过信号传输通道54互连起来的。显示单元38可以是显示器件。

为每个报警ID的报警数据AD提供了一种或多种加权系数，此加权系数被当作为每个报警的属性，在本实施例中，这些加权系数与报警数据AD一起被存储在数据库装置24中。在示出了已加上了加权系数的报警数据AD的图2中，使用了两个加权系数；然而，加权系数的数目不只限于两个，这对图8也同样适用。

加权系数大致可分为如下两类。

(1)为每个报警类型唯一确定的加权系数

如上所述，由于在本实施例中用报警ID管理报警，因此，也可将加权系数看成是为每个报警ID唯一确定的加权系数。下面将对此进行详细说明。

(2)在每次产生报警时唯一确定的加权系数

“每次产生报警”不限于报警产生或取消的时间，并且该加权系数也可视为是使用除报警ID之外的其它数据为报警确定的加权系数。这就是说，即使产生了若干个报警，并为每个报警提供了报警ID，但是，在每个情况下，加权系数可能不相同。下面将对此进行详细说明。

对于每个报警类型(即每个报警ID)，用户可将加权系数(1)指定为固定值，而加权系数设置单元42可为此报警类型设置加权系数。加权系数设置单元42可以是装在显示单元38的前显示面上的触摸屏或者键盘。然后，将由加权系数设置单元42设置的加权系数和相应的报警ID一起存入到表内存储单元40中。在取消特定的报警时，报警统计装置26用报警ID作为键查找此表，并确定该报警的加权系数，并将此报警数据AD的加权系数提供到数据库装置24中。由此而得到的数据示于上述的图2中。

加权系数(1)的实例应用可以是从特定报警的数据的报警统计取消。除了与由于操作失误而引起的维护和修理工作相关的情况而外，还有其它频繁产生报警的情况，例如，在设备10的存储柜门是开着的时候。尽管，在实际操作中这些报警固然是重要的，但是，对于用于改进要管理的设备10的使用效率的报警统计而言，是不需要这些报警的。因此，如果为这些报警ID设置的加权系数为0，而将制作报警统计所需要的报警ID设置为除0之外的任意值，如1或更大，就能从报警统计中容易地去除不必要的报警数据。

用户可为每次产生报警指定加权系数(2)。加权系数设置单元42也能进行这样的设置。这就是说，在本实施例中，加权系数设置单元42既作为设置加权系数(1)的设置单元，也作为设置加权系数(2)的设置单元。加权系数(2)是在要取消所产生的报警时设置的。更具体地说，当要取消一个报警时，能够根据显示在显示单元38的控制屏幕上的对话来指定(输入)加权系数(2)。报警统计装置26在用报警标识ID作为键时为存储在数据库装置24中的报警数据AD提供以此方式指定的加权系数。按此方式得到的数据示于上述的图2之中。

由于要取消报警时，报警统计装置26上可能没有人能够输入加权系数，因此，可为报警统计装置26配备这样的功能，即它允许随后集中录入加权系数。这方面的实例方法是：方法(a)，根据呈现在显示单元38的控制屏上的数据来指定报警ID和报警取消日期和时间，并通过加权系数设置单元42来输入必要的加权系数；和方法(b)，由报警统计装置26的输入/输出单元39将报警取消表单作为文件输出，并将所需要的加权系数加到此文件中，由输入/输出单元39读取作为结果而得到的文件，以便将此加权系数输入到报警统计装置26中。对于方法(b)而言，用于读取已加上加权系数的文件的输入/输出单元39可以是加权系数设置单元。

作为使用方法(a)或方法(b)的例子，利用由报警产生伴随的程序数或操作费用来决定并输入报警的加权系数。例如，操作员可将程序数和操作费用的值相加，预先获得加权系数，并在取消报警时输入该系数。另外，操作员也可将这些值报告给管理人员，管理人员可在规定的时期内，譬如每周或每月，输入这些加权系数。

在加权系数(2)中，有的是报警统计装置26能够根据预先指定的规则自动确定的。加权系数确定单元44执行这个确定过程。取消报警时，加权系数确定单元44根据预定的规则自动确定加权系数，而加权系数提供单元30将此加权系数作为两个之一加到存储在数据库装置24中的报警数据AD中。由于确定此加权系数不需要人力，因此需要比较少的劳动力。

作为此功能的实例应用，将对应要管理的设备10停机以产生报警的一段时间用作为加权系数。然后，在取消报警时，加权系数确定单元44用报警ID作为键，查找数据库装置24，获得报警产生的时间，并从当前报警的取消时间减去该报警产生时间。其结果是，能够得到从产生目标报警到取消目标报警的时间。然后，加权系数提供单元30确定与得到的这段时间一致的加权系数，并将此加权系数当作为两个之一，加到存储在数据库装置24内的报警数据AD中。通过此处理过程，就能够把要管理的设备10的使用效率受到影响的程度加到报警统计中。

在统计制作单元36制作报警统计时，报警统计装置26最好具有用于改变一种或多种加权系数的有效/无效的功能。在此实施例中，为加权系数提供单元30配备了这个功能。总加权系数计算单元32将加权系数提供单元30认为是有效的加权系数相乘，并且得到每个报警的一个总加权系数。加权案例数计算单元34将此总加权系数与“1”相乘，并且得到加权案例数，在此，“1”代表报警产生一次的案例数。当总加权系数为2.5时，加权案例数为1×2.5＝2.5(案例)。统计制作单元36将各个报警的加权案例数相加，制作报警产生案例的加权数的统计。

报警产生案例加权数的统计形式可以是所谓的最坏情况表单，其中的各个报警依次排列，并以产生次数最多的报警为开头；也可用像百分比图或排列图之类的分析图来使其变得更为直观。在此情况下，最好是用报警ID来表示各个报警；不过也可以用包含相应内容的文本。

报警管理设备20能够利用报警统计装置26来实施报警管理方法，并可借此方法来为由要管理的设备10产生的每个报警提供一种或多种加权系数，并使这些加权系数彼此相乘以得到每个报警的总加权系数，然后，将此总加权系数与“1”相乘，以得到各个报警的加权案例数，在此，“1”代表每个报警产生的案例数。再将各个报警的加权案例数相加，以便制作报警产生案例的加权数的统计。

根据此报警管理方法和报警管理设备20，通过使用加权系数，而不是利用相关技术将产生的报警数简单相加，能够制作可实行数值判断的报警统计。这就是说，由于能够为由要管理的设备10产生的每个报警提供与某个目的相一致的加权系数，这样，根据所产生的报警的加权数的统计，就可以按照其目的来评价每个报警所产生的影响。

现在对将报警和设备数据连接起来而进行的处理(B)加以说明。

如图4中的例子所示，报警统计装置26包括连接单元46、趋势图制作单元48以及显示单元38。连接单元46用产生报警的日期和时间作为键，并且用于将由要管理的设备10产生的报警与代表设备10的状态的设备数据关联。趋势图制作单元48为含于设备数据中的预定设备数据绘制趋势图。显示单元38显示由趋势图制作单元48产生的趋势图，并用于根据连接关系在趋势图上还显示产生预先指定的报警的日期和时间。趋势图的水平轴表示时间，垂直轴表示具体的数值，而趋势图表示具体数值沿着时间轴的具体数值的趋势或变化。显示单元38的例子已经说明。

在此实施例中，报警统计装置26还包括作为优选部件的输入/输出单元和存储单元40。上面已经说明这些部件通过信号传输通道54连接起来。

具有报警统计装置26的报警管理设备20能够执行报警管理方法，借此方法，可用报警产生的日期和时间作为键，将由要管理的设备10产生的报警与代表设备10的状态的设备数据关联；借此方法，可为预定的设备数据绘制趋势图，该预定的设备数据含于从要管理的设备10获得的设备数据之中；借此方法，根据关联，在趋势图上显示产生预先指定的报警的日期和时间。

根据此报警管理方法和报警管理设备20，由于由要管理的设备10产生的报警是用报警产生日期和时间作为键而与设备数据联系起来的，因此，能够得到报警的产生和预定设备数据之间的关系。这就是说，利用趋势图能够容易理解借以产生报警的预定设备数据的数值。因此，能够容易地确定产生报警的原因。

假设产生的报警是“注入离子质量异常”(如报警ID＝3025)。连接单元46将设备数据“注入离子质量设置值”指定为要与此报警ID相连接的数据。通常，连接单元46也指定要进行连接的时间。一旦收到趋势图制作指令，趋势图制作单元48就访问数据库装置24，并查找位于指定时间之内的设备数据(注入离子质量设置值)，并绘制此设备数据的趋势图。图5示出了该例子。

随后，显示单元38显示图5所示的、由趋势图制作单元48制作的趋势图。此外，根据数据连接并利用图符64，在趋势图上显示产生预先指定的报警(如报警ID＝3025和3026)的日期和时间。换句话说，代表报警产生的图符64显示在产生这些报警的日期和时间的位置上。在图5中，示出了报警ID＝3025的图符64。由于图5例子中的水平轴代表时间，因而将日期显示在日期显示部分60中。根据水平轴和日期显示部分60可以给出报警产生的日期和时间。水平轴可以代表日期和时间，而报警ID可以与图符64一起显示。然而，在本实例中，由于图符64周围的显示是简化的和易于识别的，因此，更优选的是配备引导显示部分62，以便给出图符64和报警ID之间的关联。

在图5的例子中，在注入的离子质量的设置值为40的情况下，由于频繁产生报警ID＝3025的报警的趋势易于得到，可以将此用作为发现产生报警原因的辅助手段。

可将报警数据筛选功能用作为另一个连接功能。在此情况下，如图6中的例子所示，报警统计装置26包括：筛选单元50，该单元仅提取那些作为统计目标的报警，这些报警是在含于设备数据中的预定设备数据有预先指定的数值或者有在预先指定的数值范围中的值时产生的；统计制作单元52，用于统计由筛选单元50提取的报警。应当注意，可将预定的设备数据、预先指定的数值或数值范围输入到筛选单元50中。

在此情况下，报警统计装置26还包括作为优选部件的显示单元38、输入/输出单元39和存储单元40。上面已经说明了这些部件是通过信号传输通道54相连接的。

包括报警统计装置26的报警管理装置20可以执行该报警管理方法，用于在预定数据具有预先指定的值或者在预先指定的数值范围中的值时，仅使用那些由设备10产生的报警，并用于制作这些报警的统计，该预定数据含于从设备10中获得的、并代表设备10的状态的设备数据之中。

根据此报警管理方法和报警管理设备20，由于能够参照所做的统计来识别在要管理的设备10的具体操作状态下的报警产生的情况，因此能够容易地确定产生报警的原因。此外，照此方式制作的统计对于采取应对措施也是有效的，这种应对措施首先是为作为特定情况的结果而产生的报警用的。

例如，对于筛选单元50而言，为设备数据“注入离子质量设置值”指定特定值(如11)作为筛选标准。然后，仅用那些在注入离子质量为11时产生报警来做统计。因此，能够得到在注入离子质量值为11的特定条件下的报警产生情况，这对采取应对措施是有效的，这种应对措施首先是为作为该特定情况的结果而产生的报警用的。

在图1所示的例子中，用单个报警管理设备20来管理由要管理的一个设备10产生的报警。然而，也能用单个报警管理设备20来管理由多个设备10产生的报警。这方面例子示于图7。

在图7的例子中，有5个要管理的设备10a到10e。在10a到10e的这些设备中，每一个的配置都与图1中设备10的配置相同。在这个例子中，报警管理设备20包括5个数据采集装置22a到22e，用于分别采集由设备10a到10e传输的数据。数据采集装置22a到22e的每一个的功能与图1中的数据采集装置22的功能相同。只需要一个数据库24和一个报警统计装置26，并由数据采集装置22a到22e共用。

在此例中，只要可能识别在设备10a到10e中是哪设备产生了报警，就能按照与仅用设备10时相同的方式来管理报警。为了提供这样的管理，如图8中的例子所示，仅仅必须将作为用于识别要管理的设备的识别信息的一个设备ID加到报警数据AD上，并且可让5个设备10a到10e使用此相同的报警ID。由于可用设备ID和报警ID标明报警，基本上不用改变就能使用示于图3、4或6中的报警统计装置26，并且可使用上述的每个报警管理方法。

此外，如图1所示，在当前只管理一个设备而今后要管理多个设备的情况下，只需要准备图8所示的数据，并且也只需要输入作为设备ID的单个值(如1)。按照这样的安排，在要管理的设备的数目增加时，能很容易地应对未来的操作。

可用计算机来提供本实施例中的报警管理设备20。

具有此配置的本发明具有如下效果。

根据本发明的第一和第九方面，由于能够为由要管理的设备产生的各个报警提供与目的一致的加权系数，因而，参照所产生的报警的加权数的统计，能够与目的一致地评价报警产生的影响的程度。

根据本发明的第二和第十方面，由于为各个报警类型指定加权系数作为唯一值，因此可轻易从报警统计中除去不必要的报警。

根据本发明的第三和第十一方面，能够为各个报警随意提供与目的一致的加权系数。

根据本发明的第四和第十二方面，由于不需要人力就能提供加权系数，因此能减少对人工劳动的需要。

根据本发明的第五和第十三方面，可将要管理的设备的使用效率受到影响的程度加到报警统计中。

根据本发明的第六和第十四方面，由于由要管理的设备所产生的报警是通过用报警产生日期和时间作为键而与设备数据相关联的，因此能够获得报警的产生和预定的设备数据之间的关系。即，通过使用趋势图能够容易地识别产生报警时预定的设备数据的值。结果，能容易地确定报警产生的原因。

根据本发明的第七和第十五方面，由于可参照由此制作报警统计而获得在要管理的设备的特定操作状态下的报警产生情况，因此，能够很容易地确定报警产生的原因。此外，照此方式制作的统计对采取应对措施也是有效的，该应对措施首先用于为在特定情况下产生的报警。

根据本发明的第八和第十六方面，能够减少要处理的数据量，并能简化报警的显示。

Claims

1.一种报警管理方法，包括：

将各种加权系数相乘，以得到每个报警的总加权系数；

2.根据权利要求1所述的报警管理方法，其中，所述一种或多种加权系数包括由用户指定的、作为每个报警类型固有值的加权系数。

3.根据权利要求1所述的报警管理方法，其中，所述一种或多种加权系数包括每次报警产生时用户指定的加权系数。

4.根据权利要求1所述的报警管理方法，其中，所述一种或多种加权系数包括根据预定规则自动确定的加权系数。

5.根据权利要求4所述的报警管理方法，其中，根据从设备中产生要管理的特定报警直到取消该特定报警的时间段确定所述自动确定的加权系数。

6.根据权利要求1所述的报警管理方法，其中，使用用于识别所述报警的报警ID来管理所述报警。

7.一种报警管理设备，包括：

8.根据权利要求7所述的报警管理设备，其中所述报警统计装置包括：

9.根据权利要求7所述的报警管理设备，其中所述报警统计装置包括：

10.根据权利要求7所述的报警管理设备，其中所述报警统计装置包括：

11.根据权利要求10所述的报警管理设备，其中所述加权系数确定单元根据从所述设备中产生要管理的特定报警直到取消该特定报警的时间段，确定加权系数。

12.根据权利要求7所述的报警管理设备，其中，所述报警由用于识别所述报警的报警ID来管理。