JPH06332910A - ホストコントローラのアラーム情報管理方法及び同装置 - Google Patents

ホストコントローラのアラーム情報管理方法及び同装置

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JPH06332910A
JPH06332910A JP11710693A JP11710693A JPH06332910A JP H06332910 A JPH06332910 A JP H06332910A JP 11710693 A JP11710693 A JP 11710693A JP 11710693 A JP11710693 A JP 11710693A JP H06332910 A JPH06332910 A JP H06332910A
Authority
JP
Japan
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information
alarm information
processing unit
management
lot
Prior art date
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Pending
Application number
JP11710693A
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English (en)
Inventor
Tsutomu Miki
木 勉 三
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH06332910A publication Critical patent/JPH06332910A/ja
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    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/30Computing systems specially adapted for manufacturing

Abstract

(57)【要約】 【構成】 1または2以上のロットを処理単位とする装
置がオンライン接続されたホストコントローラ1におい
て、処理単位番号D0 とアラーム情報本体部D1とから
なる装置発アラーム情報を受信すると、処理単位番号
D0 とロット番号D2 との対応関係を示す処理単位・ロ
ット対応テーブル1011に基づいて装置発アラーム情
報にそのロット番号D2 をも加えた管理アラーム情報
として加工する。この管理アラーム情報をデータベ
ース1012に格納し、ロット毎の管理を行うようにす
る。これで、ロットの識別情報を検索キーとしてデータ
ベース1012の検索処理を実行したり、アラーム情報
の発生件数を処理単位毎のアラーム発生件数として正確
に集計することができる。 【効果】 アラーム情報の検索や集計機能の向上を図る
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は1または2以上のロット
を処理単位とする装置がオンライン接続されたホストコ
ントローラにおけるアラーム情報管理方法及び同装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】半導体製造ラインはほとんどが自動化さ
れ、その自動化製造装置の連携でラインは成立してい
る。よって、各装置が正常に動作しないことには生産能
率、品質管理上で問題があるため、このような生産ライ
ンでは一般に各装置の状況監視システムが付設されてい
る。
【0003】従来、この種のシステムは、何台かのホス
トコントローラを持ち、それらにラインを構成する複数
の装置を適当な台数ずつ割当て、各ホストコントローラ
が自己にオンライン接続された装置について自動で状況
監視を行うように構成されている。この監視システムに
より、作業者に対する監視の負担を著しく削減すること
となっている。
【0004】このようなシステムを持つラインでは、各
装置に何らかの異常が発生したとき、装置各個からその
処理単位毎にアラーム情報が発生される。このアラーム
情報は、処理単位の識別情報とアラームの内容を含むア
ラーム情報本体部とから構成されており、管理者は、保
守点検や事故要因の解析の際などに、ホストコントロー
ラからこのアラーム情報自体やその発生件数の集計結果
を得て、作業用のデータとして有効利用することができ
る。
【0005】さらに、ホストコントローラは、各処理単
位とそれらを構成する1または2以上のロットとの対応
情報を持っており、作業者からロット単位のアラーム情
報についてリクエストがあっても、処理単位の識別情報
に基づいてその対応情報を参照し、ロット単位のアラー
ム情報として置き換え、作業者に提供することも可能と
されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このロット単
位のアラーム情報を得る際には、必ず、この置き換え処
理が伴うこととなるため、処理単位毎のアラーム情報を
得るときに比べその分だけ余計に時間がかかるという問
題がある。また、それにより装置毎のアラーム情報が必
要な場合にはそのアラーム情報がどのロットに関連して
いるかを調べることが困難であるという問題がある。
【0007】本発明は上記従来技術の有する問題点に鑑
みてなされたもので、その目的とするところは、アラー
ム情報の検索や集計機能の向上を図ったホストコントロ
ーラのアラーム情報管理方法及び同装置を提供すること
にある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明のホストコントロ
ーラのアラーム情報管理方法は、1または2以上のロッ
トを処理単位とする装置がオンライン接続されたホスト
コントローラにおいて、上記装置から発生され、かつ上
記処理単位の識別情報とアラーム情報本体部とからなる
装置発アラーム情報を受信する受信ステップと、上記処
理単位の識別情報とこの処理単位を構成するロットの識
別情報との対応関係を示す処理単位・ロット対応情報に
基づいて上記装置発アラーム情報に上記処理単位の識別
情報を構成するロットの識別情報をも加えた管理アラー
ム情報として加工する加工ステップと、上記管理アラー
ム情報を第2の管理情報に格納する格納ステップとを含
むことを特徴とする。
【0009】また、本発明のホストコントローラのアラ
ーム情報管理装置は、1または2以上のロットを処理単
位とする装置がオンライン接続されたホストコントロー
ラにおいて、上記処理単位の識別情報とこの処理単位を
構成するロットの識別情報との対応関係を示す処理単位
・ロット対応情報からなる第1の管理情報を記憶する第
1の記憶手段と、上記装置発アラーム情報に上記処理単
位の識別情報を構成するロットの識別情報をも加えた管
理アラーム情報からなる第2の管理情報を記憶する第2
の記憶手段と、上記装置から発生され、かつ上記処理単
位の識別情報とアラーム情報本体部とからなる装置発ア
ラーム情報を受信する受信手段と、上記第1の管理情報
を参照して上記装置発アラーム情報を上記管理アラーム
情報として加工する加工手段と、上記管理アラーム情報
を上記第2の管理情報に格納する格納手段とを備えてい
ることを特徴とする。
【0010】管理アラーム情報は例えば処理単位を構成
するロット毎に対設された情報として形成される。しか
し、これには限定されず、一つのアラーム情報に処理単
位を構成する全てのロットの識別情報を付ける構成とし
てもよい。
【0011】更に、ロットの識別情報を検索キーとして
第2の管理情報の管理アラーム情報に関する検索処理を
実行する検索実行手段や装置アラーム情報の発生件数を
処理単位毎のアラーム発生件数として集計する集計手段
を設けると有効である。
【0012】
【作用】本発明によれば、装置発アラーム情報を処理単
位を構成するロット毎の情報に置換え、さらにこのロッ
ト毎の情報に処理単位を示す識別番号をも保持させた形
式で管理するようになっている。よって、作業者はロッ
トの識別番号によりアラーム情報の検索が可能により、
ロット単位の検索の際にその度毎にホストコントローラ
が面倒な処理を行う必要がなく、ロット単位の検索が非
常に容易になる。また処理単位の集計の正確さをも確保
することができる。
【0013】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
つつ説明する。
【0014】図1は本発明の一実施例に係る装置管理シ
ステムの構成を示すものである。
【0015】まず、図1(A)において、1はホストコ
ントローラであり、このホストコントローラ1には作業
者の操作盤となるキーボードやディスプレイを備えた端
末装置2と製造装置等の各種管理対象となる装置3a,
3b,…が接続されている。このホストコントローラ1
はその機能上において管理ファイル101と保存処理部
102と検索処理部103と集計処理部104とを含む
ものとなる。管理ファイル101には第1の管理情報と
しての処理単位・ロット対応テーブル1011と第2の
管理情報としての管理データベース1012とを備えて
いる。テーブル1011は処理単位番号と各処理単位を
構成するロットの番号との対応関係を示すものであり、
処理単位番号はホストコントローラ1が各装置3a,3
b,…へ資材の投入を指示する際に発番するものであ
る。管理データベース1012は装置3a,3b,…か
ら発生される装置発アラーム情報に処理単位を構成する
ロット番号をも加えた管理アラーム情報からなる。すな
わち、装置3a,3b,…からは図1(B)の符号で
示すように処理単位番号D0 とアラーム情報本体部D1
とからなるフォーマットでアラーム情報が発生される。
ホストコントローラ1はこのようなフォーマットの装置
発アラーム情報を受信し、次述するような保存処理を実
行することで、例えば処理単位が3個のロットで構成さ
れる場合には同図(B)の符号−1,−2,−3で示
すように各ロットに対応させるアラーム情報を作り、そ
の各個に対応するロット番号D2 を付加したフォーマッ
トの管理アラーム情報に変換してデータベース1012
に格納するようになっている。
【0016】保存処理部102はそのフォーマットの置
換処理を行うものに相当し、例として図1(B)のよう
なケースを参照すると、まずバッファリングされている
装置発アラーム情報を読出し、この装置発アラーム情
報の一部をなす処理単位番号D0 に基づいて処理単位
・ロット対応テーブル1011を参照し、当該処理単位
番号に対応する全てのロット番号D2 を引出すととも
に、アラーム情報をそのロット数分だけコピーし、そ
れぞれに一つずつロット番号D2 を付ける。これにより
図1(B)に−1,−2,−3として示す管理アラー
ム情報が作成される。その後、この管理アラーム情報を
管理データベース1012に格納することとなる。
【0017】検索処理部103は、処理単位番号D0 、
アラーム情報本体部D1 に含まれる装置番号、アラーム
発生日時、アラーム種別等のデータをキーにする他、ロ
ット番号D2 まで検索キーとして管理データベース10
12を検索する。よって、ロット番号D2 が入力される
と、これに基づいて管理データベース1012の管理ア
ラーム情報を検索し、ロット番号D2 の一致するアラー
ム情報を取出す。その後、取出したアラーム情報を
端末装置2のディスプレイに表示したり、プリントアウ
トすることとなる。これにより、作業者はロット毎のア
ラーム情報を取得することができる。
【0018】集計処理部104は、装置アラーム情報の
発生件数を処理単位毎のアラーム発生件数として集計す
るものであり、まず、作業者の集計命令を受付け、これ
に応答して管理データベース1012内のアラーム情報
をカウントする。この際、ロット番号D2 は異なっても
処理単位番号D0 が同じである場合には、計上しないよ
うにして集計する。したがって、図1(B)に示すよう
なケースではアラーム情報が3個存在し、単純に数え
るとアラーム発生件数が“3”になるが、処理単位番号
D0 は全て同じであるため、件数としては1件として数
える。具体的な数え方としては、例えば、図1(B)に
示すような順番でアラーム情報がサーチされたとする
と、最初のアラーム情報−1についてだけカウント
し、続くアラーム情報−2,−3は処理単位番号D0
が一致するということでカウントしないようにする。こ
れにより、処理単位毎のアラーム発生件数が正確にカウ
ントされることとなる。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、装
置発アラーム情報を処理単位を構成するロット毎の情報
に置換え、さらにこのロット毎の情報に処理単位を示す
識別番号をも保持させた形式で管理するようになってい
る。よって、作業者はロットの識別番号によりアラーム
情報の検索が可能により、ロット単位の検索の際にその
度毎にホストコントローラが面倒な処理を行う必要がな
く、ロット単位の検索が非常に容易になる。また処理単
位の集計の正確さをも確保することができるという効果
を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の一実施例に係るアラーム情報管
理装置の構成を示す説明図。
【符号の説明】
1 ホストコントローラ 101 管理ファイル 1011 処理単位・ロット対応デーブル 1012 管理データベース 102 保存処理部 103 検索処理部 104 集計処理部 2 端末装置 3a,3b,3c,… 装置 装置発アラーム情報 管理アラーム情報 D0 処理単位番号 D1 アラーム情報本体部 D2 ロット番号

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】1または2以上のロットを処理単位とする
    装置がオンライン接続されたホストコントローラにおい
    て、 前記装置から発生され、かつ前記処理単位の識別情報と
    アラーム情報本体部とからなる装置発アラーム情報を受
    信する受信ステップと、 前記処理単位の識別情報と該処理単位を構成するロット
    の識別情報との対応関係を示す処理単位・ロット対応情
    報に基づいて前記装置発アラーム情報に前記処理単位の
    識別情報を構成するロットの識別情報をも加えた管理ア
    ラーム情報として加工する加工ステップと、 前記管理アラーム情報をデータベースに格納する格納ス
    テップとを含むことを特徴とするホストコントローラの
    アラーム情報管理方法。
  2. 【請求項2】1または2以上のロットを処理単位とする
    装置がオンライン接続されたホストコントローラにおい
    て、 前記処理単位の識別情報と該処理単位を構成するロット
    の識別情報との対応関係を示す処理単位・ロット対応情
    報からなる第1の管理情報を記憶する第1の記憶手段
    と、 前記装置発アラーム情報に前記処理単位の識別情報を構
    成するロットの識別情報をも加えた管理アラーム情報か
    らなる第2の管理情報を記憶する第2の記憶手段と、 前記装置から発生され、かつ前記処理単位の識別情報と
    アラーム情報本体部とからなる装置発アラーム情報を受
    信する受信手段と、 前記第1の管理情報を参照して前記装置発アラーム情報
    を前記管理アラーム情報として加工する加工手段と、 前記管理アラーム情報を前記第2の管理情報に格納する
    格納手段とを含むことを特徴とするホストコントローラ
    のアラーム情報管理装置。
  3. 【請求項3】管理アラーム情報は処理単位を構成するロ
    ット毎に対設された情報として形成されていることを特
    徴とする請求項2記載のホストコントローラのアラーム
    情報管理装置。
  4. 【請求項4】ロットの識別情報を検索キーとして管理ア
    ラーム情報に関する検索処理を実行する検索実行手段を
    備えていることを特徴とする請求項2,3のうちいずれ
    か1項記載のホストコントローラのアラーム情報管理装
    置。
  5. 【請求項5】装置アラーム情報の発生件数を処理単位毎
    のアラーム発生件数として集計する集計手段を備えてい
    ることを特徴とする請求項2〜4のうちいずれか1項記
    載のホストコントローラのアラーム情報管理装置。
JP11710693A 1993-05-19 1993-05-19 ホストコントローラのアラーム情報管理方法及び同装置 Pending JPH06332910A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7085674B2 (en) 2002-11-29 2006-08-01 Nissin Ion Equipment Co., Ltd. Alarm management method and apparatus therefor
CN110457546A (zh) * 2019-08-28 2019-11-15 新兴河北工程技术有限公司 一种铸管质量追溯方法及追溯系统

Cited By (3)

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