JPH09182057A

JPH09182057A - 監視装置

Info

Publication number: JPH09182057A
Application number: JP33537095A
Authority: JP
Inventors: Masanao Murata; 正直村田
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1995-12-22
Filing date: 1995-12-22
Publication date: 1997-07-11
Anticipated expiration: 2015-12-22
Also published as: JP3617159B2

Abstract

(57)【要約】【課題】無人搬送装置の試運転時等における異常の発
生原因を迅速かつ確実に特定することができる監視装置
を提供する。【解決手段】移動ロボットＭの前上部とロボットアー
ムの旋回部にそれぞれ監視装置１，２を設け、監視装置
１は、バンパＢとその近傍を上方から録画し、監視装置
２は、ロボットアームＡとともに旋回し、該アームＡの
作業領域を録画する。そして、バンパＢあるいはロボッ
トアームＡに異常が発生した場合、その各々に設置され
たセンサの検出信号に基づき異常発生時の画像を特定し
ておき、画像再生時には、この異常発生時から所定時間
遡った時点から画像を再生できるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、機械等の組み立
て／製造工場、半導体製造用クリーンルーム、病院、オ
フィス等における無人搬送システムに用いて好適な監視
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、無人搬送車（ＡＧＶ）や移動
ロボットを用いて物の搬送を無人で行う無人搬送システ
ムが知られており、機械等の組み立て／製造工場や半導
体製造用クリーンルームの他、病院やオフィス等におい
ても広く導入されている。図７はこうした無人搬送シス
テムの一例を示す斜視図である。図７において、移動ロ
ボットＭは、半導体ウェハを収納したカセットをロボッ
トアームＡによって半導体製造装置Ｓから受け取った
後、カセットストッカＴまで搬送する。カセットストッ
カＴは、移動ロボットＭからカセットを受け取り、これ
を一時保管したり、あるいは工程間搬送用リニアモータ
式搬送システムＲに移載し、図示しない次工程へ送る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した無
人搬送システムを導入する場合、通常、本格導入の前に
試運転が行われ、異常がなければ客先に引き渡される
が、この試運転において機器の動作異常等が見つかった
場合には、その原因を究明し、プログラムの変更など適
宜必要な措置をとる必要がある。ところが、従来、こう
した無人搬送システムの試運転においては、異常の発生
原因を事後的に分析していたため、必ずしもその原因を
正確に特定できなかった。

【０００４】例えば、移動ロボットＭには、障害物との
接触を検知する目的でバンパＢの裏面等にテープ状スイ
ッチからなる障害物センサ（図示略）が設置されている
が、この障害物センサによって何らかの障害物との接触
が検出された場合、以下のような原因が考えられ、その
何れかを特定することは困難である。１）走行路に障害物があり、これに接触したために障害
物センサから異常が検出された。この場合、障害物セン
サは本来の機能を果たしたことになる。２）作業者が誤ってバンパＢに接触したために異常が検
出された。この場合、障害物センサは本来の機能を果た
しているが、当該作業者がその事実を報告をすることな
くその場から立ち去った場合には、障害物が無いにもか
かわらず障害物センサが誤動作したものとみなされる。

【０００５】また、移動ロボットＭには、そのロボット
アームＡのハンドリング異常を検知する目的で所定箇所
に感圧センサ（図示略）が設置されているが、このハン
ドリング異常についても、以下のような原因が考えら
れ、その特定は困難である。１）移動ロボットＭの誤動作のために半導体製造装置Ｓ
からカセットを受け取る際に位置決め誤差が生じたため
に、ハンドリングに無理が生じて過剰な力が加わり、ハ
ンドリング異常が検出された。この場合、移動ロボット
Ｍのハンドリング異常が正しく検出されたことになる。２）半導体製造装置Ｓの誤動作によりカセットを渡さな
かったり、あるいはカセットを渡す位置がずれたため、
移動ロボットＭがカセットを上手く受け取ることができ
ず、ハンドリングに無理が生じ、ハンドリング異常が検
出された。この場合、移動ロボットＭの誤動作でないに
もかかわず、移動ロボットＭのハンドリング異常とみな
されることになる。

【０００６】このように、従来、無人搬送システムの試
運転においては、何らかの異常がセンサによって検出さ
れても、その原因を必ずしも特定することができないた
め、異常が発生したと予想される時点における前後の動
作を何度も再現し、原因を分析しなければならかった。
このため、原因の究明に多大な時間と労力を要し、ま
た、原因を特定できない場合も多かった。

【０００７】この発明は、このような背景の下になされ
たもので、無人搬送装置の試運転時（あるいは正規の運
転時）における異常の発生原因を迅速かつ確実に特定す
ることができる監視装置を提供することを目的としてい
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項１記載の発明は、監視対象となる自身の
所定箇所に発生する異常状態を検出する検出手段を備え
た無人搬送装置に接続される監視装置であって、前記監
視対象とその近傍を撮像する撮像手段と、前記撮像手段
が撮像する画像を時系列で記憶する画像記憶手段と、前
記検出手段が前記異常状態を検出したときに発生する検
出信号を基にして、その検出時点から所定時間遡った記
憶位置から前記画像記憶手段の記憶画像を読み出しこれ
を再生する画像再生手段とを具備することを特徴として
いる。

【０００９】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の監視装置において、前記撮像手段とともに無線送信
手段を前記無人搬送装置に設置する一方、前記画像記憶
手段および前記画像再生手段とともに無線受信手段を地
上側に設置し、これによって、前記無線送信手段と前記
無線受信手段との間で、前記撮像手段が撮像する画像と
前記検出手段が発生する検出信号とを無線により授受す
ることを特徴としている。

【００１０】また、請求項３記載の発明は、請求項１記
載の監視装置において、前記画像記憶手段を携帯可能な
記憶媒体によって構成し、前記撮像手段とともに前記記
憶媒体に対する書込手段を前記無人搬送装置に設置する
一方、前記画像再生手段とともに前記記憶媒体の読取手
段を地上側に設置し、これによって、前記記憶媒体を介
して記憶画像の情報が運搬されることを特徴としてい
る。

【００１１】（作用）請求項１記載の発明によれば、撮
像手段は、監視対象とその近傍を撮像し、画像記憶手段
は、撮像手段が撮像する画像を時系列で記憶し、画像再
生手段は、検出手段が異常状態態を検出したときに発生
する検出信号を基にして、その検出時点から所定時間遡
った記憶位置から画像記憶手段の記憶画像を読み出しこ
れを再生する。これにより、検出手段によって監視対象
の異常が検出されるまでの経過を画像として再現するこ
とができる。

【００１２】また、請求項２記載の発明によれば、無人
搬送装置にて撮像手段が撮像した画像と検出手段が発生
した検出信号を無線により地上側に送信できるので、ビ
デオテープレコーダやモニタ等の記録再生設備を地上側
に設置し、無人搬送装置側の設備の簡略化を図ることが
可能となる。

【００１３】また、請求項３記載の発明によれば、携帯
可能な記憶媒体を介して収録画像の情報を地上側に運搬
することができるので、モニタ等の再生設備を地上側に
設置し、無人搬送装置側の設備の簡略化を図ることが可
能となる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施形態について説明する。Ａ：実施形態の構成図１はこの発明の一実施形態の外観構成を示す斜視図で
ある。この図において、図７に示した各部と共通する部
分には同一符号を付し、説明を省略する。図１におい
て、１，２は本発明に係る監視装置（図示略）であり、
移動ロボットＭの前上部とロボットアームＡの旋回部に
それぞれ設置されている。監視装置１は、バンパＢとそ
の近傍を上方から撮像し、監視装置２は、ロボットアー
ムＡとともに旋回し、ロボットアームＡの作業領域を撮
像する。

【００１５】図２は本発明に係る監視装置１の電気的構
成を示すブロック図である。なお、監視装置１と監視装
置２は設置位置が異なる点を除けば構成に相違はないの
で、監視装置１の説明によって両装置１，２の説明を兼
ねることとする。

【００１６】図２において、監視用カメラ１１は、バン
パＢとその近傍を上方から撮像し、その入力画像をアナ
ログの画像信号として出力する。制御部１２は、ＣＰ
Ｕ、メモリ、タイマ、Ａ／Ｄ変換器、Ｄ／Ａ変換器等か
ら構成されており、画像の収録と再生とを制御する。す
なわち、制御部１２は、画像収録時に監視用カメラ１１
から出力されるアナログの画像信号をディジタル画像デ
ータに変換し、これを画像記録部１３に書き込み、ま
た、画像再生時には画像記録部１３から画像データを読
み出し、これをアナログ信号に変換してモニタ１４へ出
力する。

【００１７】また、制御部１２は、移動ロボットＭのバ
ンパＢに設けられた障害物センサ（ただし、監視装置２
の場合、ロボットアームＡに設けられた感圧センサ）と
接続されている。制御部１２は、このセンサの出力に応
じ、画像収録動作を停止させるとともに、そのときの画
像データの書き込みアドレスと、タイマを参照して得ら
れる日付と時刻の情報（以下、日時情報という）とを画
像記録部１３の所定領域に記録する。

【００１８】画像記録部１３は、ＥＥＰＲＯＭ(Electri
cally Erasable Programmable ReadOnly Memory)等によ
って構成されており、上述したように画像収録時に制御
部３から供給される画像データを記憶する。この画像記
録部４は、例えば図３に示すように、データが巡回的に
記録されるよう構成され、最終アドレス「Ｎ」まで書き
込みアドレスが進むと再び先頭アドレス「０」に戻り、
エンドレスで画像データが記録されるようになってい
る。

【００１９】また、モニタ１４は、画像再生時に制御部
３から供給される画像信号に基づき収録画像を再生す
る。このモニタ１４は、画像再生時のみ当該監視装置１
に接続して用いられ、画像収録時には監視装置１から切
り離されるようになっている。また、監視装置１自体も
移動ロボットＭに対して着脱自在に構成されており、画
像再生時には移動ロボットＭから監視装置１を取り外し
た後、モニタ１４を接続して再生が行われる。

【００２０】Ｂ：実施形態の動作以下、画像収録時と画像再生時に分けて、実施形態の動
作を説明する。（１）画像収録時の動作まず、無人搬送システムの試運転を開始する前に、モニ
タ１４を切り離した監視装置１，２を移動ロボットＭの
前上部とロボットアームＡの旋回部にそれぞれ設置する
（図１参照）。

【００２１】そして、システムの試運転開始と共に各監
視装置１，２による画像収録が開始される。以後、移動
ロボットＭの前上部に設置された監視装置１は、バンパ
Ｂとその近傍の状態を録画し、ロボットアームＡの旋回
部に設置された監視装置２は、ロボットアームＡととも
に旋回しつつ、その作業領域の状態を録画する。

【００２２】こうして録画が行われる間、作業者が誤っ
てバンパＢに触れた場合、該バンパＢに設けられた障害
物センサが接触を検出し、その検出信号が制御部１２に
供給される。この検出信号に応じ、制御部１２は画像収
録動作を停止するとともに、このときの画像データの書
き込みアドレスと日時情報とを画像記録部１３に記録す
る。

【００２３】一方、ロボットアームＡが装置Ｓのカセッ
トステージＳＴにカセットを取りに行ったが、装置Ｓが
カセットステージＳＴの所定位置にカセットを置かない
等の誤動作をしたためにカセットを受け取れなかった場
合、これがロボットアームＡのハンドリング異常として
感圧センサによって検出される。このときの検出信号に
応じ、監視装置２は、上記監視装置１の場合と同様、そ
れまでの画像収録動作を停止し、画像データの書き込み
アドレスと日時情報を画像記録部１３に記録する。

【００２４】（２）画像再生時の動作上述した収録動作が終了した後の画像再生時において
は、各監視装置１，２を移動ロボットＭから取り外した
後、それぞれにモニタ１４を接続する。そして、各々の
監視装置１，２に対し「再生」を指示すると、それぞれ
前述の異常検出時に記録したアドレスより所定時間相当
遡ったアドレスから画像記録部１３の収録画像を再生す
る。すなわち、異常が検出された時点より所定時間だけ
遡った時点から異常が検出されるまでの経過を画像とし
て再現することが可能となる。

【００２５】また、このとき、異常検出時に記録してお
いた日時情報が異常検出時の画像と共にモニタ１４に表
示される。例えば、作業者が移動ロボットＭに接触した
ときの監視装置１による再生画像は、図４（ａ）に示す
ように表示され、装置Ｓが誤動作をしたためにロボット
アームＡがカセットを受け取れなかったときの監視装置
２による再生画像は、図４（ｂ）に示すように表示され
る。

【００２６】Ｃ：まとめこのように、本実施形態によれば、システムの試運転時
において監視対象となる所定領域が撮像され、画像収録
されるとともに、当該監視対象に設置されたセンサによ
って異常状態が検出されると、その時点における画像記
録位置と日時とが記録される。そして、画像再生時に
は、上記異常検出時の画像記録位置から所定時間相当遡
った記録位置から画像が再生されるとともに、異常検出
時の日時が表示される。これによって、異常が発生する
までの経過を画像として再現でき、また、異常発生時点
の特定も可能となる。

【００２７】Ｄ：変更例（１）なお、画像記録媒体の容量が十分に大きく、収録
時間に余裕がある場合には、上記実施形態のように異常
検出時に収録動作を停止させるのではなく、継続して収
録を行い複数回の異常発生に対応可能なようにすること
も可能である。また、収録可能時間を長くとるために、
サンプリング周期を長くして画像を所定時間毎にサンプ
リングし、記録するようにしてもよい。

【００２８】（２）また、上記実施形態では、ディジタ
ル式の画像記録部１３を用いて画像を記録したが、これ
に限らず、ビデオテープレコーダ等のアナログ式の画像
記録装置を採用してもよい。この場合、異常の発生に応
じて記録を停止させ、単に巻き戻したり、あるいは頭出
し信号を入れる等して録画・再生すればよい。また、い
わゆるオートリバース機能を用いたり、あるいは、２台
のテープレコーダを用いて一方の記録が終了したら他方
に切り替え、その間記録を終了した方のテープを巻き戻
すなどして、エンドレスで記録するように構成し、複数
件記録するようにしてもよい。

【００２９】（３）また、監視装置１，２は、図２に示
した構成に限らず、例えば図５に示すように、移動ロボ
ットＭに監視用カメラ１１と無線送信機ＴＤを設置する
一方、地上側に受信器ＲＤ、制御部１２、画像記録部１
３およびモニタ１４を設置する構成とし、これによって
収録画像を無線で授受するようにしてよい。この場合、
異常を検知するセンサの出力信号も無線で授受される。

【００３０】（４）また、監視装置１，２は、図６に示
すように、移動ロボットＭに監視用カメラ１１とＩＣカ
ードライタ１０１を設置する一方、地上側にＩＣカード
リーダ１０２、再生制御部１２′およびモニタ１４を設
置する構成としてもよい。この場合、収録画像、異常検
出時の画像書込アドレスおよび日時はＩＣカード１０２
に記録され、これを媒介として地上側に運搬される。（５）また、上記ＩＣカードの他、ビデオディスク等そ
の他の携帯可能な画像記録媒体を使用することも可能で
ある。（６）さらに、本発明による監視装置１，２は、システ
ムの試運転時に限らす、正規の稼働時に使用することも
もちろん可能である。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、検出手段によって監視対象の異常が検出されるまで
の経過を画像として再現することができるので、無人搬
送装置の試運転時等における異常の発生原因を容易かつ
正確に特定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態の外観構成を示す斜視
図である。

【図２】本発明に係る監視装置の電気的構成を示すブ
ロック図である。

【図３】同監視装置の画像記録部の一例を示す概念図
である。

【図４】同監視装置による再生画像例を示す図であ
る。

【図５】同監視装置の変更例を示すブロック図であ
る。

【図６】同監視装置の他の変更例を示すブロック図で
ある。

【図７】従来の無人搬送システムの構成例を示す斜視
図である。

【符号の説明】

１，２監視装置１１監視用カメラ（撮像手段）１２制御部（画像再生手段）１３画像記録部（画像記憶手段）１４モニタ（画像再生手段）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】監視対象となる自身の所定箇所に発生す
る異常状態を検出する検出手段を備えた無人搬送装置に
接続される監視装置であって、前記監視対象とその近傍を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像する画像を時系列で記憶する画像記
憶手段と、前記検出手段が前記異常状態を検出したときに発生する
検出信号を基にして、その検出時点から所定時間遡った
記憶位置から前記画像記憶手段の記憶画像を読み出しこ
れを再生する画像再生手段とを具備することを特徴とす
る監視装置。
【請求項２】請求項１記載の監視装置において、前記撮像手段とともに無線送信手段を前記無人搬送装置
に設置する一方、前記画像記憶手段および前記画像再生
手段とともに無線受信手段を地上側に設置し、これによって、前記無線送信手段と前記無線受信手段と
の間で、前記撮像手段が撮像する画像と前記検出手段が
発生する検出信号とを無線により授受することを特徴と
する監視装置。
【請求項３】請求項１記載の監視装置において、前記画像記憶手段を携帯可能な記憶媒体によって構成
し、前記撮像手段とともに前記記憶媒体に対する書込手段を
前記無人搬送装置に設置する一方、前記画像再生手段と
ともに前記記憶媒体の読取手段を地上側に設置し、これによって、前記記憶媒体を介して記憶画像の情報が
運搬されることを特徴とする監視装置。