WO2018061957A1 - 基板搬送ハンドの診断システム - Google Patents

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WO2018061957A1
WO2018061957A1 PCT/JP2017/034016 JP2017034016W WO2018061957A1 WO 2018061957 A1 WO2018061957 A1 WO 2018061957A1 JP 2017034016 W JP2017034016 W JP 2017034016W WO 2018061957 A1 WO2018061957 A1 WO 2018061957A1
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hand
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substrate holding
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後藤　博彦
吉田　哲也
治彦 丹
一夫 藤森
山下　雄大
雅彦 住友
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川崎重工業株式会社
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    • H04N23/57—Mechanical or electrical details of cameras or camera modules specially adapted for being embedded in other devices

Definitions

  • the present invention relates to a diagnostic system for diagnosing the health of a substrate transport hand for holding and transporting a substrate such as a semiconductor wafer or a glass substrate.
  • a substrate processing facility for performing a process such as element formation on a semiconductor substrate (hereinafter, simply referred to as “substrate”) which is a semiconductor element manufacturing material.
  • substrate a semiconductor substrate
  • a substrate processing facility is provided with a process processing apparatus, a substrate transfer apparatus disposed adjacent to the process processing apparatus, and the like.
  • the substrate transfer apparatus generally includes a casing in which a transfer chamber is formed, a plurality of load ports provided on the front wall of the casing, and a substrate transfer robot installed in the transfer chamber.
  • the substrate transfer robot includes a robot arm and a substrate transfer hand connected to a hand portion of the robot arm. This substrate transfer robot performs operations such as loading and unloading of substrates to and from the process processing apparatus, and taking out and storing of substrates from the substrate carrier docked in the load port.
  • a device including a base connected to the hand portion of the robot arm and a substrate holding portion connected to the base is widely used. ing.
  • a monitoring camera and an obstacle detection sensor are attached outside the thin substrate mounting area of the hand.
  • the substrate holding part of the substrate transport hand is formed extremely thin so that it can be inserted into a narrow gap of the substrate carrier.
  • the substrate mounting type substrate holding portion is an extremely thin plate member made of a resin material such as PEEK resin.
  • Such a substrate holder may collide with an obstacle (for example, a substrate carrier or a component of a process processing apparatus) while the substrate is being transported.
  • an obstacle for example, a substrate carrier or a component of a process processing apparatus
  • the light and thin substrate holding part receives a shock of collision, it is deformed to dissipate the energy of the shock. In the deformed substrate holder, it is difficult to accurately convey the substrate unless it is corrected.
  • Deformation of the substrate holding part of the substrate transport hand is not limited to a collision, and may be caused by a load received from the substrate to be transported, deterioration, or the like. Accordingly, the inventors of the present application have conceived that the substrate holding unit of the substrate transport hand is imaged and the condition of the substrate holding unit is monitored using the captured image (or video).
  • an obstacle detection sensor attached to the substrate transport hand detects an obstacle that is about to collide with the hand, and stops the operation of the hand before the hand collides.
  • the video captured by the surveillance camera is used.
  • the technique described in Patent Document 1 images the tip of the substrate transport hand with a monitoring camera, it does not monitor the condition of the substrate transport hand using the captured image.
  • a diagnostic system for a substrate transport hand includes: A substrate transport hand diagnostic system comprising a base connected to a hand part of a robot arm, and a substrate holding part that is coupled to the base and holds a substrate, A camera fixed to the base and imaging the substrate holder; And a diagnostic device that acquires image information captured by the camera and diagnoses the health of the substrate holding unit based on the image information.
  • the captured image of the substrate holding unit is used to determine the health of the substrate holding unit, it is more accurate and more specific than using a contact or non-contact type displacement sensor.
  • the condition of the substrate holder can be known.
  • the diagnosis of the health of the substrate holding unit can be performed in a sealed transfer chamber without an operator.
  • the present invention it is possible to provide a diagnostic system for a substrate transport hand that can know the condition of the substrate holder more accurately and specifically.
  • FIG. 1 is a schematic side view of a substrate transport robot including a substrate transport hand according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view of the substrate transport hand.
  • FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the substrate transport hand diagnosis system and the control system of the substrate transport robot.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a captured image of the camera.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining processing contents of a captured image by the diagnostic apparatus.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining the flow of diagnostic processing by the diagnostic apparatus.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating an example of a captured image including a reference point and a substrate holding unit.
  • FIG. 1 is a schematic side view of a substrate transfer robot 1 including a substrate transfer hand 5 according to an embodiment of the present invention.
  • a substrate transfer robot 1 shown in FIG. 1 includes a base 73, a robot arm (hereinafter simply referred to as “arm 7”) supported so as to be movable up and down with respect to the base 73, and a hand portion of the arm 7. And a controller 6 for controlling the operation of the substrate transfer robot 1.
  • the arm 7 is a horizontal articulated robot arm and includes a plurality of links 75 and 76 that are sequentially connected from the base end portion toward the tip end portion.
  • the proximal end with respect to the base 73 is referred to as a “base end”, and the distal end with respect to the base 73 is referred to as a “tip”.
  • joint axes A1 to A3 perpendicular to the connecting portions of the links 75 and 76 are defined.
  • drive units 61, 62, 63 for individually displacing and driving the links 75, 76 and the hand 5 around the joint axes A1 to A3 are provided.
  • the base end portion of the arm 7 is connected to a lifting shaft 74 that is supported by the base 73 so as to extend and contract in the vertical direction.
  • the elevating shaft 74 is driven to extend and contract with respect to the base 73 by the drive unit 60.
  • the hand 5 is connected to the tip portion which is the tip of the arm 7 having the above-described configuration.
  • the hand 5 is rotationally displaced relative to the distal end portion of the arm 7 about the joint axis A3 by the operation of the drive unit 63.
  • FIG. 2 is a plan view of the substrate transport hand 5. As shown in FIG. 2, the hand 5 includes a base 51 and a substrate holding part 52.
  • the base 51 is a hollow casing.
  • the base end portion of the base portion 51 is connected to the hand portion of the arm 7 so as to be rotatable around the joint axis A3. Further, the base end portion of the substrate holding portion 52 is coupled to the distal end portion of the base portion 51.
  • the substrate holding part 52 is a thin plate-like member formed in a Y shape with the tip side divided into two, and is also called a blade or a fork.
  • maintenance part 52 is not limited to this embodiment, For example, what can hold
  • a front guide 53 is provided at each tip portion of the substrate holding portion 52 which is divided into two forks.
  • a pair of rear guides 54 are provided on the base end side of the substrate holding portion 52 so as to face the pair of front guides 53.
  • the pair of front guides 53 and the pair of rear guides 54 have a function of supporting the substrate 3 from below.
  • the hand 5 further has a holding mechanism for holding the substrate 3 in the substrate holding part 52.
  • the holding of the substrate 3 includes preventing the substrate 3 placed on the substrate holding unit 52 from being detached from the substrate holding unit 52 by fitting, sucking, holding, or other modes.
  • the hand 5 according to the present embodiment is provided with a holding type holding mechanism.
  • the holding mechanism includes a pair of front guides 53, a pusher 55, and a driving mechanism 64 thereof.
  • the pusher 55 is provided on the base end side of the substrate holding portion 52 and supported by the base portion 51.
  • the drive mechanism 64 of the pusher 55 is provided inside the base 51.
  • the drive mechanism 64 is configured by an actuator such as an air cylinder, for example.
  • a “hand center line C” passing through the joint axis A 3 and the center point 3 a of the substrate 3 held by the substrate holding part 52 is defined in plan view.
  • the pusher 55 is disposed on the hand center line C, and the drive mechanism 64 moves the pusher 55 forward and backward in parallel with the hand center line C.
  • the peripheral portion of the substrate 3 is supported from below by the pair of front guides 53 and the pair of rear guides 54.
  • the pusher 55 advances toward the front end side of the substrate holding portion 52, the pusher 55 presses the side surface of the substrate 3 against the pair of front guides 53.
  • the substrate 3 is held by the pusher 55 and the pair of front guides 53, and the substrate is held by the hand 5.
  • FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the diagnostic system 10 of the substrate transport hand 5 and the control system of the substrate transport robot 1.
  • the controller 6 is electrically connected to drive units 60, 61, 62, and 63 that drive each joint of the substrate transport robot 1, a drive mechanism 64 of the pusher 55 of the substrate transport hand 5, and the like. And control their operation.
  • Each drive unit 60, 61, 62, 63 includes, for example, a servo motor that angularly displaces according to a signal given from the controller 6, a power transmission mechanism that transmits the power of the servo motor to the link, and an angular displacement of the servo motor. And a position detector for detection (both not shown).
  • the controller 6 is a calculation control device including a so-called computer, and includes, for example, a calculation processing unit such as a microcontroller, CPU, MPU, PLC, DSP, ASIC, or FPGA, and a storage unit such as ROM or RAM. (Both not shown).
  • the storage unit stores programs executed by the arithmetic processing unit, various fixed data, and the like. Further, the storage unit stores teaching point data for controlling the operation of the substrate transport robot 1, data related to the shape and dimensions of the arm 7 and the hand 5, data related to the shape and dimensions of the substrate 3 held by the hand 5, and the like. Stored.
  • processing for controlling the operation of the substrate transport robot 1 is performed by the arithmetic processing unit reading and executing software such as a program stored in the storage unit.
  • the controller 6 may execute each process by centralized control by a single computer, or may execute each process by distributed control by cooperation of a plurality of computers.
  • the target pose after a predetermined control time is obtained. Is calculated. Then, the controller 6 outputs a control command to the servo amplifier so that the hand 5 assumes a target pose after a predetermined control time.
  • the servo amplifier supplies drive power to each servo motor based on the control command. Thereby, the hand 5 can be moved to a desired pose.
  • the diagnosis system 10 that diagnoses the condition of the hand 5 will be described. As shown in FIGS. 1 to 3, the diagnostic system 10 acquires the camera 80 attached to the hand 5 and image information captured by Mera, and the health of the substrate holding unit 52 of the hand 5 based on the image information. And a diagnostic device 8 for diagnosing the above.
  • the camera 80 may be, for example, a CCD camera.
  • the camera 80 is attached to a camera seat 81 fixed to the base 51 of the hand 5.
  • the camera 80 supported by the camera seat 81 is located at a base end portion of the base portion 51 of the hand 5 and overlapping with the hand center line C in plan view.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of an image captured by the camera 80.
  • the captured image of the camera 80 includes the distal end portion of the base portion 51 of the hand 5 and the entire substrate holding portion 52 as viewed from the proximal end portion of the hand 5. Note that it is desirable that the center of the captured image and the hand center line C coincide.
  • the camera 80 has a mounting angle of the camera 80 with respect to the camera seat 81 so that the tip of the base 51 of the hand 5 and the entire substrate holding part 52 are within the range of the subject imaged on the image sensor of the camera 80. The position has been adjusted.
  • the diagnostic device 8 is a calculation control device including a so-called computer, and includes, for example, a calculation processing unit such as a microcontroller, CPU, MPU, PLC, DSP, ASIC, or FPGA, and a storage unit such as ROM or RAM. (Both not shown).
  • a calculation processing unit such as a microcontroller, CPU, MPU, PLC, DSP, ASIC, or FPGA
  • a storage unit such as ROM or RAM. (Both not shown).
  • the diagnostic device 8 has functional units such as an image processing unit 84, a comparison unit 85, a health determination unit 86, a deformation specifying unit 87, and a trajectory correction unit 88.
  • processing as each functional unit is performed by the arithmetic processing unit reading and executing software such as a program stored in the storage unit.
  • the diagnostic device 8 may execute each process by centralized control by a single computer, or may execute each process by distributed control by cooperation of a plurality of computers. Below, the flow of the diagnostic process of the diagnostic apparatus 8 and the function of each function part are demonstrated, referring FIG.
  • the diagnostic device 8 acquires image information captured by the camera 80 (step S1).
  • the image processing unit 84 performs predetermined image processing on the image information, and extracts the contour lines of the base 51 and the substrate holding unit 52 from the image (step S2).
  • the posture change of the camera 80 to be described later is not diagnosed, only the outline of the substrate holder 52 may be extracted.
  • the comparison unit 85 reads the reference line image (reference image) stored in advance in the storage unit, compares it with the contour image extracted by the image processing unit 84 (step S3), and extracts the change between the images.
  • the reference line is obtained by previously imaging a healthy substrate holding unit 52 with the camera 80 and extracting the outline by image processing. That is, the reference line image is an image of the outline of the healthy substrate holding unit 52.
  • the imaging range of the camera 80 is the same between the creation of the reference line and the current diagnosis. Therefore, if the substrate holding part 52 is healthy, the reference line matches the extracted contour line.
  • a known technique may be used for the process of extracting the contour line and the process of extracting the change between the two images.
  • FIG. 5 shows an image of the captured image, in which the contour line extracted from the image captured by the camera 80 is indicated by a solid line, and the reference line is indicated by a chain line.
  • the extracted outline of the base 51 and the reference line coincide with each other, but there is a deviation between the extracted outline of the substrate holding unit 52 and the reference line.
  • the comparison unit 85 calculates the deviation amount of the extracted contour line with respect to the reference line for each of a plurality of feature points defined in advance with respect to the reference line (step S4).
  • the feature points may be defined as end points of reference lines or points where the slope of the line changes abruptly as indicated by black dots in FIG.
  • the deviation amount is represented by, for example, a vector from a feature point of the reference line to a point on the extracted contour line corresponding to the feature point.
  • the health determination unit 86 determines whether there is a change in the position of the camera 80 with respect to the base 51 and whether the substrate holding unit 52 is healthy based on the plurality of deviation amounts calculated by the comparison unit 85 (step). S5). Note that the change in the position of the camera 80 includes a change in the posture of the camera 80 with respect to the base 51.
  • the health determination unit 86 determines the presence or absence of a change in the position of the camera 80 with respect to the base 51, based on the deviation amount of the extracted contour line with respect to the reference line.
  • the health determination unit 86 determines that “there is a change in the position of the camera 80 with respect to the base 51” when all the deviation amounts are within a predetermined threshold, and determines that there is no change otherwise. You can do it.
  • the position and orientation of the camera 80 with respect to the base 51 are fixed, at least one of the position and orientation of the camera 80 with respect to the base 51 may change due to the camera 80 coming into contact with an obstacle.
  • the health determination unit 86 determines whether the substrate holding unit 52 is healthy based on the amount of deviation of the extracted contour line from the reference line.
  • the health determination unit 86 may determine, for example, that there is “healthiness” when all the deviation amounts are within a predetermined threshold, and may determine that there is “no health” otherwise.
  • the comparison unit 85 determines “no health” when a preset number of the plurality of deviation amounts exceeds a predetermined threshold value, and determines “no health” otherwise. Good.
  • the diagnostic device 8 may output the health determination result to an output unit such as a monitor, for example.
  • the deformation specifying unit 87 specifies the type of deformation occurring in the substrate holding unit 52 based on a plurality of deviation amounts (Ste S7).
  • Examples of the deformation type of the substrate holding part 52 include twisting, in-plane inclination, partial distortion, and warping in the out-of-plane direction.
  • the storage unit stores data, an arithmetic expression, or a model in which a plurality of deviation amount tendencies and deformation types are associated with each other, and the deformation specifying unit 87 uses the data to calculate the deviation amount based on the plurality of deviation amounts. Thus, one of the plurality of types of deformation is identified.
  • the diagnosis device 8 may output the specified type of deformation to an output unit such as a monitor, for example.
  • the trajectory correcting unit 88 determines whether or not correction by the trajectory correction of the hand 5 is possible based on the specified type of deformation and a plurality of deviation amounts (step S8).
  • the trajectory of the hand 5 is preset in the controller 6 by teaching.
  • the possibility of correction by trajectory correction depends on the type of deformation specified. For example, if the type of deformation is twisting or warping in an out-of-plane direction, it cannot be corrected only by correcting the trajectory, and it is desirable to stop the hand 5. Further, for example, when the type of deformation is in-plane inclination or partial distortion, there is a possibility that the substrate 3 can be appropriately conveyed by correcting the trajectory. However, even if the type of deformation is in-plane inclination or partial distortion, the hand 5 may have to be stopped because it cannot be corrected only by the trajectory correction according to the deviation amount.
  • the storage unit stores data, an arithmetic expression, or a model that associates the type of deformation, the deviation amount, and whether or not correction by the trajectory correction is possible, and the trajectory correction unit 88 uses the data to calculate the trajectory correction. Determine whether correction is possible.
  • the diagnosis device 8 may output whether or not correction by orbit correction is possible, for example, to an output unit such as a monitor.
  • the trajectory correction unit 88 determines that correction is possible (YES in step S9), the trajectory correction unit 88 calculates the trajectory correction amount based on the type of deformation and the deviation amount (step S10).
  • the diagnostic device 8 outputs the calculated trajectory correction amount to the controller 6 that is a control means of the arm 7.
  • the controller 6 corrects the trajectory set by teaching with the acquired trajectory correction amount, and operates the arm 7 so that the hand 5 moves along the corrected trajectory.
  • the trajectory correcting unit 88 determines that correction is impossible (NO in step S9), it outputs a stop signal to the controller 6 (step S11).
  • the controller 6 acquires a stop signal and stops the operation of the arm 7.
  • the diagnostic device 8 monitors the condition of the hand 5, especially the substrate holding unit 52.
  • the diagnosis of the hand 5 by the diagnostic device 8 is performed at a timing when the substrate 3 is not placed on the substrate holder 52.
  • the diagnosis of the hand 5 may be performed at the time of maintenance or at the start or end of the transfer cycle.
  • the diagnostic system 10 of the substrate transport hand 5 is fixed to the base 51 of the substrate transport hand 5 and images the substrate holding unit 52 and the image captured by the camera 80. And a diagnostic device 8 that acquires information and diagnoses the health of the substrate holding unit 52 based on the image information.
  • the diagnostic device 8 extracts, for example, the outline of the substrate holding unit 52 included in the captured image from the image information, and the extracted outline and the healthy outline ( That is, it is determined whether the substrate holding portion is healthy based on the deviation amount of the extracted contour line from the healthy contour line.
  • the diagnostic system 10 since the captured image of the substrate holding unit 52 is used to determine the health of the substrate holding unit 52, compared with the case where a contact or non-contact type displacement sensor is used.
  • the condition of the substrate holder 52 can be known accurately and specifically.
  • diagnosis of the health of the substrate holding unit 52 can be performed, for example, in a sealed transfer chamber of the substrate transfer apparatus without an operator.
  • the diagnosis device 8 determines that there is no health, the diagnosis device 8 selects a corresponding one from the types of deformation stored in advance based on the deviation amount.
  • the type of the deformation can be specified. And it becomes possible to take an appropriate measure corresponding to the type of deformation.
  • the diagnostic device 8 determines whether or not correction by the trajectory correction of the substrate transport hand 5 is based on the type of deformation and the deviation amount, and when correction is possible, the trajectory correction amount is determined.
  • the calculated signal is output to the control means (ie, controller 6) of the robot arm 7, and when correction is impossible, a stop signal is output to the control means (ie, controller 6) of the robot arm 7.
  • the substrate transfer robot 1 can continue the operation without stopping.
  • the camera 80 images a part of the base 51 in addition to the substrate holder 52. Then, the diagnostic device 8 extracts a contour line of the base 51 included in the image information, and compares the extracted contour image of the base 51 with a prestored contour image of the healthy base 51. Then, these inter-image changes are extracted, and based on the extracted inter-image changes, the presence or absence of a change in the position of the camera 80 with respect to the base 51 is determined. Note that the change in the position of the camera 80 with respect to the base 51 includes a change in the posture of the camera 80 with respect to the base 51.
  • the diagnosis device 8 diagnoses the substrate 3 using an image captured by the camera 80.
  • the diagnosis device 8 may perform diagnosis of the substrate 3 using an image captured by the camera 80.
  • controller 6 and the diagnostic device 8 are independent, but the function as the diagnostic device 8 may be incorporated in the controller 6.
  • the diagnostic device 8 includes the image of the base 51 and the substrate holding unit 52 of the hand 5 included in the image information, and the image of the healthy base 51 and the substrate holding unit 52 stored in advance.
  • the image of the outline of the base 51 and the substrate holding part 52 included in the image information is used.
  • the extraction of the change between images is not limited to using an outline image. For example, by extracting the area of the specific color included in the image information captured by the camera 80 and comparing it with the area (reference image) of the specific color of the healthy substrate holding unit 52 stored in advance, Changes may be extracted.
  • markers are attached to the base 51 and the substrate holding unit 52 in advance, and the images of the markers of the base 51 and the substrate holding unit 52 included in the image information captured by the camera 80 and the healthy base 51 and the substrate stored in advance are stored.
  • the change between images may be extracted by comparing the image (reference image) of the marker in the holding unit 52.
  • a change in the position of the camera 80 with respect to the base 51 is detected using the image of the base 51 of the hand 5, but for example, other than the base 51 is described as described below.
  • the change in the position of the camera 80 with respect to the base 51 may be detected by use.
  • a reference point P is preliminarily defined by a marker or the like at a place other than the hand 5, and the camera 80 images the substrate holding unit 52 so that the reference point P enters.
  • the image information captured in this way includes, for example, an image of the reference point P and the substrate holder 52 as shown in FIG.
  • the camera 5 takes an image with the hand 5 in a predetermined fixed position and posture.
  • the diagnostic device 8 compares the reference point P and the image of the substrate holding unit 52 with the healthy reference point P and the image of the substrate holding unit 52 (reference image), and changes between them (that is, the reference point P). And the presence / absence of a change in the position of the camera with respect to the base 51 is determined based on the extracted change between images.
  • substrate transport robot 3 substrate 3a: center point 5: substrate transport hand 6: controller 7: arm 8: diagnostic device 10: diagnostic system 51: base 52: substrate holding unit 53: front guide 54: rear guide 55: pusher 60 to 63: drive unit 64: drive mechanism 73: base 74: lifting shaft 75: link 76: link 80: camera 81: camera seat 84: image processing unit 85: comparison unit 86: health judgment unit 87: deformation specification Part 88: Trajectory correction part A1-A3: Joint axis C: Hand center line

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Abstract

ロボットアームの手先部に連結される基部と、基部と結合され、基板を保持する基板保持部とを備える基板搬送ハンドの診断システムが、基部に固定され、基板保持部を撮像するカメラと、カメラが撮像した画像情報を取得し、当該画像情報に基づいて基板保持部の健常性を診断する診断装置とを備える。

Description

基板搬送ハンドの診断システム
　本発明は、半導体ウエハやガラス基板等の基板を保持して搬送するための基板搬送ハンドの健常性を診断する診断システムに関する。
　従来から、半導体素子製造材料である半導体基板（以下、単に「基板」ということがある）に素子形成などのプロセス処理を行う基板処理設備が知られている。一般に、基板処理設備には、プロセス処理装置や、プロセス処理装置と隣接配置された基板移載装置などが設けられている。
　基板移載装置は、一般に、内部に搬送室が形成された筐体と、筐体の前壁に設けられた複数のロードポートと、搬送室内に設置された基板搬送ロボットとを備えている。基板搬送ロボットはロボットアームと、ロボットアームの手先部と連結された基板搬送ハンドとを備えている。この基板搬送ロボットは、プロセス処理装置に対する基板のロード及びアンロード、ロードポートにドッキングされた基板キャリアに対する基板の取出及び収容などの作業を行う。
　基板搬送ハンドとしては、例えば、特許文献１に記載されているように、ロボットアームの手先部と連結される基部と、この基部と連結された基板保持部とを備えたものが、広く用いられている。特許文献１に記載の基板搬送ハンドは、ハンドの薄型基板載置領域外に監視カメラと障害物検出センサとが取り付けられている。
特開２００６－１２０８２０号公報
　基板搬送ハンドの基板保持部は、基板キャリアの狭隘な隙間に挿入することができるように、極めて軽薄に形成されている。例えば、基板載置型の基板保持部は、ＰＥＥＫ樹脂などの樹脂素材から成る極めて薄い板状部材である。このような基板保持部が、基板の搬送作業を行っているうちに障害物（例えば、基板キャリアやプロセス処理装置の構成要素）と衝突することがある。軽薄な基板保持部は、衝突の衝撃を受けると、変形することにより衝撃のエネルギーを放散させる。変形した基板保持部では、矯正しない限り、基板を正確に搬送することが難しい。
　基板搬送ハンドの基板保持部の変形は、衝突に限られず、搬送する基板から受ける負荷や、劣化などによって生じることもある。そこで、本願の発明者らは、基板搬送ハンドの基板保持部を撮像し、撮像した画像（又は映像）を用いて基板保持部のコンディションを監視することに想到した。
　なお、特許文献１に記載の技術では、基板搬送ハンドに取り付けられた障害物検出センサでハンドに衝突しようとする障害物を検出して、ハンドが衝突する前にハンドの動作を停止させ、その停止原因を究明するために、監視カメラで撮像した映像を利用する。しかし、特許文献１に記載の技術は、監視カメラで基板搬送ハンドの先端部を撮像するものの、撮像した映像を用いて基板搬送ハンドのコンディションを監視するものではない。
　本発明の一態様に係る基板搬送ハンドの診断システムは、
ロボットアームの手先部に連結される基部と、前記基部と結合され、基板を保持する基板保持部とを備える基板搬送ハンドの診断システムであって、
前記基部に固定され、前記基板保持部を撮像するカメラと、
前記カメラが撮像した画像情報を取得し、当該画像情報に基づいて前記基板保持部の健常性を診断する診断装置とを備えることを特徴としている。
　上記診断システムによれば、基板保持部の健常性を判断するために基板保持部の撮像画像を利用するので、接触又は非接触型の変位センサなどを使う場合と比較して、より正確且つ具体的に基板保持部のコンディションを知ることができる。また、基板保持部の健常性を診断は、密閉された搬送室内で、作業者を介在させずに行うことができる。
　本発明によれば、より正確且つ具体的に基板保持部のコンディションを知ることができる、基板搬送ハンドの診断システムを提供することができる。
図１は、本発明の一実施形態に係る基板搬送ハンドを備えた基板搬送ロボットの概略側面図である。 図２は、基板搬送ハンドの平面図である。 図３は、基板搬送ハンドの診断システムと基板搬送ロボットの制御系統の構成とを示すブロック図である。 図４は、カメラの撮像画像の一例を示す図である。 図５は、診断装置による撮像画像の処理内容を説明する図である。 図６は、診断装置による診断処理の流れを説明する図である。 図７は、基準点と基板保持部とが含まれる撮像画像の一例を示す図である。
　次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る基板搬送ハンド５を備えた基板搬送ロボット１の概略側面図である。
〔基板搬送ロボット１の構成〕
　図１に示す基板搬送ロボット１は、基台７３と、基台７３に対し昇降可能且つ回動可能に支持されたロボットアーム（以下、単に「アーム７」と称する）と、アーム７の手先部に連結された基板搬送ハンド（以下、単に「ハンド５」と称する）と、基板搬送ロボット１の動作を司るコントローラ６とを備えている。
　本実施形態に係るアーム７は、水平多関節型ロボットアームであって、基端部から先端部に向かって順次連結された複数のリンク７５，７６を備えている。なお、アーム７とハンド５において、基台７３に対し近位端部を「基端部」と称し、基台７３に対し遠位端部を「先端部」と称する。アーム７には、各リンク７５，７６の連結部に垂直な関節軸線Ａ１～Ａ３が規定されている。リンク７５，７６内には、リンク７５，７６とハンド５を関節軸線Ａ１～Ａ３回りに個別に各変位駆動する駆動ユニット６１，６２，６３が設けられている。
　アーム７の基端部は、基台７３に上下方向へ伸縮可能に支持された昇降軸７４と連結されている。この昇降軸７４は、駆動ユニット６０によって基台７３に対して伸縮駆動される。
　上記構成のアーム７の先端部である手先部には、ハンド５が連結されている。ハンド５は、駆動ユニット６３の動作によって、関節軸線Ａ３を中心としてアーム７の先端部に対して相対的に回動変位する。
　図２は、基板搬送ハンド５の平面図である。図２に示すように、ハンド５は、基部５１と、基板保持部５２とを備えている。
　基部５１は、中空状のケーシングである。基部５１の基端部は、アーム７の手先部に関節軸線Ａ３回りに回動可能に連結されている。また、基部５１の先端部には、基板保持部５２の基端部が結合されている。
　基板保持部５２は、先端側が二股に分かれたＹ字状に形成された薄板状部材であって、ブレードやフォークとも称されている。但し、基板保持部５２の態様は本実施形態に限定されず、例えば、嵌合、吸着、挟持、又は他の態様で、基板３をハンド５に保持させることができるものであればよい。
　基板保持部５２の二股に分かれた各々の先端部分には、フロントガイド５３が設けられている。また、基板保持部５２の基端側には、一対のフロントガイド５３に対向するように一対のリアガイド５４が設けられている。一対のフロントガイド５３と一対のリアガイド５４とは、基板３を下方から支持する機能を有する。
　ハンド５は、基板保持部５２に基板３を保持させるための保持機構を更に有している。ここで、基板３の保持には、基板保持部５２に載置された基板３を、嵌合、吸着、挟持、又は他の態様で基板保持部５２から落脱しないようにすることが含まれる。本実施形態に係るハンド５には、挟持式の保持機構が備えられている。この保持機構は、一対のフロントガイド５３と、プッシャー５５及びその駆動機構６４とにより、構成されている。
　プッシャー５５は基板保持部５２の基端側に設けられ、基部５１に支持されている。プッシャー５５の駆動機構６４は、基部５１の内部に設けられている。駆動機構６４は、例えば、エアシリンダなどのアクチュエータで構成されている。ハンド５には、平面視において、関節軸線Ａ３と基板保持部５２に保持された基板３の中心点３ａとを通る「ハンド中心線Ｃ」が規定されている。平面視において、プッシャー５５はハンド中心線Ｃ上に配置されており、駆動機構６４は、プッシャー５５をハンド中心線Ｃと平行に進退移動させる。
　基板保持部５２の上面に基板３を載せると、基板３の周縁部が一対のフロントガイド５３及び一対のリアガイド５４によって下方から支持される。この状態で、プッシャー５５が基板保持部５２の先端側へ向けて進出すると、プッシャー５５が基板３の側面を一対のフロントガイド５３へ押し付ける。これにより、プッシャー５５と一対のフロントガイド５３によって基板３が把持され、ハンド５に基板が保持される。
　図３は、基板搬送ハンド５の診断システム１０と基板搬送ロボット１の制御系統の構成とを示すブロック図である。図３に示すように、コントローラ６は、基板搬送ロボット１の各関節を駆動する駆動ユニット６０，６１，６２，６３、及び、基板搬送ハンド５のプッシャー５５の駆動機構６４などと電気的に接続されており、それらの動作を制御する。なお、各駆動ユニット６０，６１，６２，６３は、例えば、コントローラ６から与えられる信号に従って角変位するサーボモータと、サーボモータの動力をリンクに伝達する動力伝達機構と、サーボモータの角変位を検出する位置検出器とを含んでいる（いずれも図示略）。
　コントローラ６は、いわゆるコンピュータを含む演算制御装置であって、例えば、マイクロコントローラ、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＰＬＣ、ＤＳＰ、ＡＳＩＣ又はＦＰＧＡ等の演算処理部と、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の記憶部とを有している（いずれも図示せず）。記憶部には、演算処理部が実行するプログラム、各種固定データ等が記憶されている。また、記憶部には、基板搬送ロボット１の動作を制御するための教示点データ、アーム７及びハンド５の形状・寸法に関するデータ、ハンド５に保持された基板３の形状・寸法に関するデータなどが格納されている。コントローラ６では、記憶部に記憶されたプログラム等のソフトウェアを演算処理部が読み出して実行することにより、基板搬送ロボット１の動作を制御するための処理が行われる。なお、コントローラ６は単一のコンピュータによる集中制御により各処理を実行してもよいし、複数のコンピュータの協働による分散制御により各処理を実行してもよい。
　コントローラ６は、位置検出器の各々で検出された回転位置と対応するハンド５のポーズ（位置及び姿勢）と記憶部に記憶された教示点データとに基づいて、所定の制御時間後の目標ポーズを演算する。そして、コントローラ６は、所定の制御時間後にハンド５が目標ポーズとなるようにサーボアンプへ制御指令を出力する。サーボアンプでは、制御指令に基づいて各サーボモータに対して駆動電力を供給する。これにより、ハンド５を所望のポーズへ動かすことができる。
〔診断システム１０〕
　続いて、ハンド５のコンディションを診断する診断システム１０について説明する。図１～３に示すように、診断システム１０は、ハンド５に取り付けられたカメラ８０と、メラが撮像した画像情報を取得し、当該画像情報に基づいてハンド５の基板保持部５２の健常性を診断する診断装置８とを備えている。
　カメラ８０は、例えば、ＣＣＤカメラであってよい。カメラ８０は、ハンド５の基部５１に固定されたカメラ座８１に取り付けられている。カメラ座８１に支持されたカメラ８０は、ハンド５の基部５１の基端部であって、平面視においてハンド中心線Ｃと重複するところに位置している。
　図４は、カメラ８０の撮像画像の一例を示す図である。図４に示すように、カメラ８０の撮像画像には、ハンド５の基端部から見下ろしたハンド５の基部５１の先端部と基板保持部５２の全体とが含まれる。なお、撮像画像の中心と、ハンド中心線Ｃとが一致することが望ましい。カメラ８０は、カメラ８０の撮像センサに写し込まれる被写体の範囲に、ハンド５の基部５１の先端部と、基板保持部５２の全体とが入るように、カメラ８０のカメラ座８１に対する取付角度や位置が調整されている。
　診断装置８は、いわゆるコンピュータを含む演算制御装置であって、例えば、マイクロコントローラ、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＰＬＣ、ＤＳＰ、ＡＳＩＣ又はＦＰＧＡ等の演算処理部と、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の記憶部とを有している（いずれも図示せず）。
　診断装置８は、画像処理部８４、比較部８５、健常性判断部８６、変形特定部８７、軌道修正部８８の各機能部を有している。診断装置８では、記憶部に記憶されたプログラム等のソフトウェアを演算処理部が読み出して実行することにより、各機能部としての処理が行われる。なお、診断装置８は、単一のコンピュータによる集中制御により各処理を実行してもよいし、複数のコンピュータの協働による分散制御により各処理を実行してもよい。以下では、図６を参照しながら、診断装置８の診断処理の流れと各機能部の機能について説明する。
　先ず、診断装置８は、カメラ８０が撮像した画像情報を取得する（ステップＳ１）。画像処理部８４は、その画像情報に対し所定の画像処理を実行し、画像から基部５１及び基板保持部５２の輪郭線を抽出する（ステップＳ２）。ここで、後述するカメラ８０の姿勢変化を診断しない場合は、基板保持部５２の輪郭線のみが抽出されてもよい。
　比較部８５は、予め記憶部に記憶されたリファレンス線の画像（リファレンス画像）を読み出し、画像処理部８４で抽出した輪郭線の画像と比較し（ステップＳ３）、それらの画像間変化を抽出する。リファレンス線は、予め、健常な基板保持部５２をカメラ８０で撮像して、その輪郭を画像処理によって抽出したものである。つまり、リファレンス線の画像は、健常な基板保持部５２の輪郭線の画像である。リファレンス線の作成時と、今回の診断時とでは、カメラ８０の撮像範囲は同じである。従って、基板保持部５２が健常であれば、リファレンス線と抽出した輪郭線とが一致する。なお、輪郭線の抽出する処理や、２つの画像の画像間変化を抽出する処理は、公知の手法が用いられてよい。
　図５は撮像画像のイメージを表しており、カメラ８０が撮像した画像から抽出された輪郭線が実線で示され、リファレンス線が鎖線で示されている。図５では、抽出された基部５１の輪郭線とリファレンス線は一致しているが、抽出された基板保持部５２の輪郭線とリファレンス線とにズレが生じている。
　比較部８５は、リファレンス線に対し予め規定された複数の特徴点の各々について、リファレンス線に対する抽出された輪郭線の偏差量を算出する（ステップＳ４）。特徴点は、例えば、図５において黒点で示されるように、リファレンス線の端点や、線の傾きが急激に変化する点などに規定されてよい。偏差量は、例えば、リファレンス線の特徴点から、その特徴点と対応する抽出された輪郭線上の点までのベクトルで表される。
　健常性判断部８６は、比較部８５で算出された複数の偏差量に基づいて、基部５１に対するカメラ８０の位置の変化の有無と、基板保持部５２の健常性の有無とを判断する（ステップＳ５）。なお、カメラ８０の位置の変化には、基部５１に対するカメラ８０の姿勢の変化も含まれる。
　ここで、先ず、健常性判断部８６は、基部５１に関し、リファレンス線に対する抽出された輪郭線の偏差量に基づいて、基部５１に対するカメラ８０の位置の変化の有無を判断する。ここで、健常性判断部８６は、例えば、全ての偏差量が所定の閾値内であるときに「基部５１に対するカメラ８０の位置の変化有り」と判断し、それ以外では「変化なし」と判断してよい。基部５１に対するカメラ８０の位置及び姿勢は固定されているが、カメラ８０が障害物に当接するなどして、基部５１に対するカメラ８０の位置及び姿勢のうち少なくとも一方が変化することがある。そこで、先ず、基部５１に対するカメラ８０の位置の変化の有無を判断することで、基板保持部５２の健常性を適切に判断できる状態であることを確認することができる。なお、基部５１に対するカメラ座８１の位置の変化が有ると判断されたときは、以下に説明する基板保持部５２の健常性を判断せずに、エラーを出力して処理を終了してもよい。
　続いて、健常性判断部８６は、基板保持部５２に関し、リファレンス線に対する抽出された輪郭線の偏差量に基づいて、基板保持部５２の健常性の有無を判断する。健常性判断部８６は、例えば、全ての偏差量が所定の閾値内であるときに「健常性有り」と判断し、それ以外では「健常性無し」と判断してもよい。また、例えば、比較部８５は、複数の偏差量のうち予め設定された数が所定の閾値を超えるときに「健常性無し」と判断し、それ以外では「健常性有り」と判断してもよい。診断装置８は、健常性の判断結果を、例えば、モニタなどの出力手段に出力してもよい。
　変形特定部８７は、健常性判断部８６が健常性無しと判断したときに（ステップＳ６でＮＯ）、複数の偏差量に基づいて、基板保持部５２に生じている変形の種類を特定する（ステップＳ７）。基板保持部５２の変形の種類には、例えば、捻れ、面内での傾き、部分的な歪み、面外方向への反り、などがある。記憶部には、複数の偏差量の傾向と変形の種類とを対応付けたデータ、演算式、又はモデルが記憶されており、変形特定部８７はそれを利用して、複数の偏差量に基づいて複数の変形の種類の中から該当する１つを特定する。診断装置８は、特定された変形の種類を、例えば、モニタなどの出力手段に出力してもよい。
　軌道修正部８８は、特定された変形の種類と複数の偏差量とに基づいて、ハンド５の軌道修正による矯正の可否を判断する（ステップＳ８）。なお、ハンド５の軌道は、ティーチングにより予めコントローラ６に設定されている。
　原則として、特定された変形の種類によって、軌道修正による矯正の可否が分かれる。例えば、変形の種類が、捻れや面外方向への反りでは、軌道修正だけでは矯正することができず、ハンド５を停止させることが望ましい。また、例えば、変形の種類が、面内の傾きや部分的な歪みでは、軌道修正によって、適切に基板３を搬送できる可能性がある。但し、変形の種類が面内の傾きや部分的な歪みであっても、偏差量によれば軌道修正だけでは矯正することができず、ハンド５を停止させるべき場合がある。記憶部には、変形の種類と、偏差量と、軌道修正による矯正の可否とを関連付けたデータ、演算式又はモデルが記憶されており、軌道修正部８８はそれを利用して、軌道修正による矯正の可否を判断する。診断装置８は、軌道修正による矯正の可否を、例えば、モニタなどの出力手段に出力してもよい。
　軌道修正部８８は、矯正が可能であると判断したときは（ステップＳ９でＹＥＳ）、変形の種類と偏差量とに基づいて軌道修正量を算出する（ステップＳ１０）。診断装置８は、算出された軌道修正量を、アーム７の制御手段であるコントローラ６へ出力する。コントローラ６は、取得した軌道修正量で、ティーチングで設定された軌道を修正し、修正された軌道に沿ってハンド５が移動するようにアーム７を動作させる。
　一方、軌道修正部８８は、矯正が不可能であると判断したときは（ステップＳ９でＮＯ）、停止信号をコントローラ６へ出力する（ステップＳ１１）。コントローラ６は、停止信号を取得して、アーム７の動作を停止させる。
　以上の通り、診断装置８では、ハンド５の、とりわけ、基板保持部５２のコンディションを監視している。なお、診断装置８によるハンド５の診断は、基板保持部５２に基板３が載置されていないタイミングで行われる。例えば、メンテナンス時や、搬送サイクルの開始時又は終了時などに、ハンド５の診断が行われてよい。
　以上に説明したように、本実施形態に係る基板搬送ハンド５の診断システム１０は、基板搬送ハンド５の基部５１に固定され、基板保持部５２を撮像するカメラ８０と、カメラ８０が撮像した画像情報を取得し、当該画像情報に基づいて基板保持部５２の健常性を診断する診断装置８とを備えることを特徴としている。
　なお、本実施形態に係る診断装置８は、画像情報から、例えば、撮像された画像に含まれる基板保持部５２の輪郭線を抽出し、抽出した輪郭線と予め記憶された健常な輪郭線（即ち、リファレンス線）とを比較し、抽出した輪郭線の健常な輪郭線からの偏差量に基づいて、基板保持部の健常性の有無を判断している。
　上記診断システム１０によれば、基板保持部５２の健常性を判断するために基板保持部５２の撮像画像を利用するので、接触又は非接触型の変位センサなどを使う場合と比較して、より正確且つ具体的に基板保持部５２のコンディションを知ることができる。また、基板保持部５２の健常性を診断は、例えば、基板移載装置の密閉された搬送室内で、作業者を介在させずに行うことができる。
　また、本実施形態では、診断装置８は、健常性が無いと判断したときに、偏差量に基づいて、予め記憶された変形の種類の中から該当するものを選択する。
　これにより、ハンド５の基板保持部５２に変形が生じている場合に、その変形の種類を特定することができる。そして、変形の種類に対応した適切な対処を採ることが可能となる。
　更に、本実施形態において、診断装置８は、変形の種類と偏差量とに基づいて、基板搬送ハンド５の軌道修正による矯正の可否を判断し、矯正が可能であるときは、軌道修正量を算出してロボットアーム７の制御手段（即ち、コントローラ６）へ出力し、矯正が不可能であるときは、停止信号をロボットアーム７の制御手段（即ち、コントローラ６）へ出力する。
　これにより、ハンド５の軌道修正により矯正が可能な場合は、基板搬送ロボット１は停止せずに作業を継続することができる。
　また、本実施形態において、カメラ８０は、基板保持部５２に加えて、基部５１の一部を撮像する。そして、診断装置８は、画像情報に含まれる基部５１の輪郭線を抽出し、抽出した基部５１の輪郭線の画像と、予め記憶された健常な基部５１の輪郭線の画像とを比較して、それらの画像間変化を抽出し、抽出した画像間変化に基づいて、基部５１に対するカメラ８０の位置の変化の有無を判断する。なお、基部５１に対するカメラ８０の位置の変化には、基部５１に対するカメラ８０の姿勢の変化も含まれる。
　このように、基部５１に対するカメラ８０の位置の変化の有無を判断することで、診断システム１０が基板保持部５２の診断を適切に行える状態であるか否かがわかる。
　以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明の精神を逸脱しない範囲で、上記実施形態の具体的な構造及び／又は機能の詳細を変更したものも本発明に含まれ得る。上記の構成は、例えば、以下のように変更することができる。
　例えば、上記実施形態において、診断装置８は、カメラ８０で撮像された画像を利用して基板３の診断を行う。但し、診断装置８は、カメラ８０で撮影された映像を利用して基板３の診断を行ってもよい。
　また、例えば、上記実施形態において、コントローラ６と診断装置８とは独立しているが、診断装置８としての機能がコントローラ６に組み込まれていてもよい。
　また、例えば、上記実施形態において、診断装置８は、画像情報に含まれるハンド５の基部５１及び基板保持部５２の画像と、予め記憶された健常な基部５１及び基板保持部５２の画像との画像間変化を抽出するに際し、画像情報に含まれる基部５１及び基板保持部５２の輪郭の画像を利用している。但し、画像間変化の抽出は、輪郭の画像を利用するものに限られない。例えば、カメラ８０が撮像した画像情報に含まれる特定色の面積を抽出し、それを予め記憶された健常な基板保持部５２の特定色の面積（リファレンス画像）とを比較することによって、画像間変化を抽出してもよい。例えば、基部５１及び基板保持部５２に予めマーカを付けておき、カメラ８０が撮像した画像情報に含まれる基部５１及び基板保持部５２のマーカの画像と、予め記憶された健常な基部５１及び基板保持部５２のマーカの画像（リファレンス画像）とを比較することによって、画像間変化を抽出してもよい。
　また、例えば、上記実施形態において、ハンド５の基部５１の画像を利用して、基部５１に対するカメラ８０の位置の変化を検出しているが、例えば、以下に説明するように、基部５１以外を利用して基部５１に対するカメラ８０の位置の変化を検出してもよい。ハンド５以外の場所に基準点Ｐをマーカ等で予め規定し、カメラ８０はこの基準点Ｐが入るように基板保持部５２を撮像する。このようにして撮像された画像情報には、例えば、図７に示すように、基準点Ｐ及び基板保持部５２の画像が含まれる。ここで、診断の度に、ハンド５を所定の一定の位置及び姿勢として、カメラ８０で撮像を行う。従って、基部５１に対するカメラ８０の位置がズレていなければ、カメラ８０の視野範囲の所定位置に基準点Ｐが写ることとなる。診断装置８は、基準点Ｐ及び基板保持部５２の画像と、健常な基準点Ｐ及び基板保持部５２の画像（リファレンス画像）とを比較して、それらの画像間変化（即ち、基準点Ｐの偏差量）を抽出し、抽出した画像間変化に基づいて、基部５１に対するカメラの位置の変化の有無を判断する。
１　　：基板搬送ロボット
３　　：基板
３ａ　：中心点
５　　：基板搬送ハンド
６　　：コントローラ
７　　：アーム
８　　：診断装置
１０　：診断システム
５１　：基部
５２　：基板保持部
５３　：フロントガイド
５４　：リアガイド
５５　：プッシャー
６０～６３　：駆動ユニット
６４　：駆動機構
７３　：基台
７４　：昇降軸
７５　：リンク
７６　：リンク
８０　：カメラ
８１　：カメラ座
８４　：画像処理部
８５　：比較部
８６　：健常性判断部
８７　：変形特定部
８８　：軌道修正部
Ａ１～Ａ３　：関節軸線
Ｃ　　：ハンド中心線

Claims (7)

  1. 　ロボットアームの手先部に連結される基部と、前記基部と結合され、基板を保持する基板保持部とを備える基板搬送ハンドの診断システムであって、
    　前記基部に固定され、前記基板保持部を撮像するカメラと、
    　前記カメラが撮像した画像情報を取得し、当該画像情報に基づいて前記基板保持部の健常性を診断する診断装置とを備える、
    基板搬送ハンドの診断システム。
  2. 　前記診断装置は、前記画像情報から、撮像された画像に含まれる前記基板保持部の輪郭線を抽出し、抽出した輪郭線の画像と予め記憶された健常な輪郭線の画像とを比較し、前記抽出した輪郭線の前記健常な輪郭線からの偏差量に基づいて、前記基板保持部の健常性の有無を判断する、
    請求項１に記載の基板搬送ハンドの診断システム。
  3. 　前記診断装置は、健常性が無いと判断したときに、前記偏差量に基づいて、予め記憶された変形の種類の中から該当するものを選択する、
    請求項２に記載の基板搬送ハンドの診断システム。
  4. 　前記診断装置は、前記変形の種類と前記偏差量とに基づいて、前記基板搬送ハンドの軌道修正による矯正の可否を判断し、矯正が可能であるときは、軌道修正量を算出して前記ロボットアームの制御手段へ出力し、矯正が不可能であるときは、停止信号を前記ロボットアームの制御手段へ出力する、
    請求項３に記載の基板搬送ハンドの診断システム。
  5. 　前記診断装置は、前記画像情報に含まれる前記基板保持部の画像と、予め記憶された健常な前記基板保持部の画像とを比較して、それらの画像間変化を抽出し、抽出した前記画像間変化に基づいて、前記基板保持部の健常性の有無を判断する、
    請求項１に記載の基板搬送ハンドの診断システム。
  6. 　前記カメラは、前記基板保持部に加えて、前記基部の一部を撮像し、
    　前記診断装置は、前記画像情報に含まれる前記基部を抽出し、抽出した前記基部の画像と、予め記憶された健常な前記基部の画像とを比較して、それらの画像間変化を抽出し、抽出した前記画像間変化に基づいて、前記基部に対する前記カメラの位置の変化の有無を判断する、
    請求項１～５のいずれか一項に記載の基板搬送ハンドの診断システム。
  7. 　前記基板搬送ハンド以外の場所に基準点が予め規定されており、
    　前記カメラは、前記基板搬送ハンドが所定の位置及び姿勢にあるときに、その視野範囲に前記基準点及び前記基板保持部が入るように撮像し、
    　前記診断装置は、前記画像情報に含まれる前記基準点及び前記基板保持部の画像と、健常な前記基準点及び前記基板保持部の画像とを比較して、それらの画像間変化を抽出し、抽出した前記画像間変化に基づいて、前記基部に対する前記カメラの位置の変化の有無を判断する、
    請求項１～５のいずれか一項に記載の基板搬送ハンドの診断システム。
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