JP2007329256A - 薄板材の搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の搬送装置100は、アーム24と、アーム24の先に延設され、その先端面に第1の電極102aが露出した可動電極部102と、アーム24の進入動作の終点で、第1の電極102aと接触可能となる第2の電極103aがその表面に多数、縦配列して露出した固定電極部103と、駆動手段25と、エレベータ部26と、第1の電極102aと、第2の電極103aにそれぞれ電気的接続され、アーム24の進入動作終点で、第1,第2の電極102a,103a間が導通状態か、非導通状態かを電気的に検知する検知部104とを備えている。
【選択図】図1
Description
薄板材を保持して収納カセットに進退動作するアームの先に、アームの進退動作方向に延設され、その先端面に第1の電極が露出した可動電極部と、
収納カセットを挟んでアームと対向する側に固設され、アームの収納カセットへの進入動作の終点で、第1の電極と接触可能な第2の電極が、アームと対向する表面に露出した固定電極部と、
第1,第2の電極と、それぞれ電気的接続され、第1,第2の電極間がアームの進入動作の終点で導通状態か非導通状態かを電気的に検知する検知部とを備えた薄板材の搬送装置である。
21 収納カセット
22 収納カセット21の側壁に形成された溝
23 ウェーハ
24,41,51 アーム
アーム
23a アーム24を挟んで隣り合う2つの溝のうちの上側の溝に収納されたウェーハ
23b アーム24を挟んで隣り合う2つの溝のうちの下側の溝に収納されたウェーハ
25 アーム24の駆動手段
26 エレベータ部
40 従来の第2の搬送装置
42 感知器
43 接触式の感知部
44 金属層
45 弾性層
46 増幅部
47 制御部
48 昇降機構部
49 アーム41の駆動手段
50 従来の第3の搬送装置
52 距離センサ
53 コントローラ
54 補正制御部
55 マニピュレータ
55a リンク
55b ジョイント
56 付け根部
100 本発明の半導体ウェーハの搬送装置
102 可動電極部
102a 第1の電極
103 電極部
103a 第2の電極
103b 第1の絶縁基板
103c 第2の絶縁基板
103d クッション部
A 2枚のウェーハ23a,23b間の間隔
B アーム24の厚さ寸法
C アーム24と2枚のウェーハ23a,23bとのそれぞれの隙間寸法
L 第1,第2の極102a,103aの縦寸法
Claims (8)
- 薄板材を保持して収納カセットに進退動作するアームの先に、前記アームの進退動作方向に延設され、その先端面に第1の電極が露出した可動電極部と、
前記収納カセットを挟んで前記アームと対向する側に固設され、前記アームの前記収納カセットへの進入動作の終点で、前記第1の電極と接触可能な第2の電極が、前記アームと対向する表面に露出した固定電極部と、
前記第1,第2の電極と、それぞれ電気的接続され、前記第1,第2の電極間が前記アームの進入動作の終点で導通状態か非導通状態かを電気的に検知する検知部とを備えた薄板材の搬送装置。 - 前記固定電極部の第2の電極は、前記収納カセットの左右の側壁の内側に前記薄板材を支持するために所定ピッチで設けられた多数対の溝のそれぞれと1対1に対応する位置に配列された電極群である請求項1に記載の薄板材の搬送装置。
- 前記可動電極部の厚さは、前記アームの厚さと同じか、または、前記アームの厚さよりも薄い厚さである請求項1または2に記載の薄板材の搬送装置。
- 前記可動電極部は、前記アームと一体形成された請求項1から3のいずれかに記載の薄板材の搬送装置。
- 2個の前記可動電極部が、前記アームの左右両端に離間して延設され、それぞれの前記可動電極部に対応して前記固定電極部および前記検知部が配置され、2系統の検知回路が形成された請求項1から4のいずれかに記載の薄板材の搬送装置。
- 前記第1,第2の電極のそれぞれの大きさと相互位置関係は、前記収納カセットに対して、前記アームが所定範囲内の高さで進入した場合、前記アームの進入動作の終点で前記第1の電極が前記第2の電極に当接して導通状態となり、前記アームが所定範囲外の高さで進入した場合、前記第1の電極が前記第2の電極に当接せず非導通状態となるように設定された請求項1から5のいずれかに記載の薄板材の搬送装置。
- 前記固定電極部は、前記第1の電極と前記第2の電極の接触時の衝撃を緩和する弾性材からなるクッション部を備えた請求項1から6のいずれかに記載の薄板材の搬送装置。
- 前記検知部は、前記アームを駆動する駆動手段に電気的接続された請求項1から7のいずれかに記載の薄板材の搬送装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP7522178B2 (ja) | 2020-02-13 | 2024-07-24 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送装置及び基板位置ずれ測定方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63182535U (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-24 | ||
JPH08288356A (ja) * | 1995-04-18 | 1996-11-01 | Metsukusu:Kk | 薄型基板搬送装置におけるハンド保護装置 |
JPH08298278A (ja) * | 1995-04-27 | 1996-11-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板搬送装置 |
-
2006
- 2006-06-07 JP JP2006158552A patent/JP4627515B2/ja not_active Expired - Fee Related
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