JP2012523682A - センサキャリアにより基板処理システム内の物体の位置を自動的に測定して教示する方法および関連するセンサキャリア - Google Patents
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Description
Claims (25)
- キャリア板(1a)を有し、形状および寸法が、処理すべき基板の形状および寸法に実質的に対応する、基板処理システム(20、26)内の物体(11)のロケーション位置を自動的に測定して教示する可動式無線センサキャリア(1)において、
− 前記キャリア板(1a)上に取り付けられ、物体表面(13)に垂直な移動直線(B1)上での前記センサキャリア(1)の移動中、前記物体(11)の第1の物体縁部(10a)と第2の物体縁部(10b)を検出するように配置された少なくとも1つの第1のセンサユニット(4、5a、5b)、および
− 前記キャリア板(1a)上に取り付けられ、前記物体表面(13)に平行な移動直線(B2)上での前記センサキャリア(1)の移動中、前記物体(11)の少なくとも第1の物体縁部(10b)を検出するように構成された少なくとも1つの第2のセンサユニット(2、3)を特徴とし、
− 前記センサユニット(2、3、4;5a、5b)のそれぞれから、物体縁部(10a、10b)に達した際に信号変更を示すセンサ信号を出力することができることを特徴とする、センサキャリア(1)。 - 前記第1のセンサユニット(4、5a、5b)が、検出範囲が前記物体表面(13)に略平行な向きであるように、前記キャリア板(1a)上に取り付けられた少なくとも1つのセンサ(4、5a、5b)を備えることを特徴とする、請求項1に記載のセンサキャリア(1)。
- 前記第1のセンサユニット(4、5a、5b)が、検出範囲が前記物体表面(13)に略平行な向きであるように、前記キャリア板(1a)上に取り付けられた2つ以上のセンサを備えることを特徴とする、請求項1または2に記載のセンサキャリア(1)。
- 前記第2のセンサユニット(2、3)が、検出範囲が前記物体表面(13)に略垂直な向きであるように、前記キャリア板(1a)上に取り付けられた少なくとも1つのセンサ(2、3)を備えることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載のセンサキャリア(1)。
- 前記第2のセンサユニット(2、3)が、検出範囲が前記物体表面(13)に略垂直な向きであるように、前記キャリア板(1a)上に取り付けられた2つ以上のセンサを備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のセンサキャリア(1)。
- 前記第1のセンサユニットの1つまたは複数のセンサ(4、5a、5b)および/または前記第2のセンサユニットの1つまたは複数のセンサ(2、3)が、1つまたは複数の光学反射センサであることを特徴とする、請求項2に記載のセンサキャリア(1)。
- 前記キャリア板(1a)が、特に、直径に関して対称な縁部側凹部(9)を有することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載のセンサキャリア(1)。
- 前記センサユニット(2、3、4、5a、5b)が、前記センサキャリア(1)の前領域に配置され、特に、前記物体(11)に向けられた前記キャリア板(1a)の前記前領域の縁に配置されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載のセンサキャリア(1)。
- 前記第1のセンサユニット(4、5a)が光バリアであり、その送信ユニット(4)および受信ユニット(5a)が、前記光バリアの光線が前記凹部(9)に平行して延びるように、前記凹部(9)を横方向に縁取るサイドウィング(12)上に取り付けられることを特徴とする、請求項7または8に記載のセンサキャリア(1)。
- 前記送信ユニットおよび前記受信ユニット(4、5a)が、前記サイドウィング(12)の前端部に配置されることを特徴とする、請求項9に記載のセンサキャリア(1)。
- 前記第2のセンサユニットのセンサ(2、3)毎に、前記キャリア板(1a)が開口部を有し、前記開口部を使用して、前記センサ(2、3)のそれぞれが、検出範囲が前記開口部を通って延びるように位置合わせされることを特徴とする、請求項2〜10のいずれか一項に記載のセンサキャリア(1)。
- 請求項1〜11のいずれか一項に記載のセンサキャリア(1)が、ロボットエンドエフェクタ(24)により移動する、基板処理システム(20、26)内の物体(11)のロケーション位置を自動的に測定して教示する方法において、前記センサキャリア(1)のセンサユニット(2、3、4、5a、5b)が、前記物体(11)の縁部(10a、10b)を横切って移動直線(B1、B2、B3)に沿って移動し、前記センサユニット(2、3、4、5a、5b)のそれぞれが、縁部(10a、10b)の検出時に値を変更する少なくとも1つのセンサ信号を出力し、前記移動直線(B1、B2、B3)のそれぞれに沿った信号変更の位置から、前記物体(11)の前記ロケーション位置が決定されることを特徴とする、方法。
- 前記センサキャリア(1)が、まず、空間中の指定される開始座標に従って、前記物体(11)の前に安全な隙間を有して配置されることを特徴とする、請求項12に記載の方法。
- 前記物体(11)の第1の輪郭の中心および第2の輪郭の中心ならびに前記物体(11)から基準点までの距離が決定され、これらの値から、前記物体(11)のオフセットおよび/または既知の寸法を加えることにより、前記物体(11)のロケーション位置、特に、前記物体(11)の中心点が決定されることを特徴とする、請求項12または13に記載の方法。
- 直線輪郭の中心を決定する場合、少なくとも1つのセンサ(4、5a、5b)が、前記輪郭を画定する前記2つの縁部(10a、10b)を横切って移動直線(B1)に沿って移動し、前記センサ(4、5a、5b)が、縁部(10a、10b)の検出時に値を変更するセンサ信号を出力し、前記輪郭の中心が、前記移動直線(B1)に沿った前記2つの信号変更の位置の算術平均を計算することにより決定されることを特徴とする、請求項12、13、または14に記載の方法。
- 直線輪郭の測定に使用される前記センサキャリア(1)のセンサユニットが、縁部(10a、10b)の検出時に値を変更するセンサ信号をそれぞれ出力する2つのセンサを有する方法であって、前記2つのセンサが、少なくとも、前記直線輪郭を画定する第1の縁部(10a)を横切って移動し、前記縁部(10a)により生成される前記センサ信号の信号変更が、前記移動直線(B3)に沿った各位置に関して互いに比較され、一致しない場合、前記第1の移動直線(B3)に対してある角度だけ傾斜した新しい移動直線(B4)が決定されることを特徴とする、請求項12〜15のいずれか一項に記載の方法。
- 前記信号変更の評価、前記第1の移動直線(B3)の傾斜、および前記新しい移動直線(B4)に沿った前記センサユニットの移動が、最新の移動直線に沿った前記2つの信号変更の位置差が指定の閾値未満になるまで、繰り返され、続けて、前記輪郭の中心の決定が行われることを特徴とする、請求項16に記載の方法。
- 湾曲した輪郭の中心を決定する場合、少なくとも1つのセンサ(2、3)が、前記湾曲した輪郭を形成する前記縁部(10b)を横切って第1の移動直線(B2)に沿って移動し、前記センサ(2、3)が、縁部(10b)の検出時に値を変更するセンサ信号を出力し、続けて前記移動直線(B2)が平行に変位し、前記センサ(2、3)が、前記縁部(10b)を横切る前記第2の移動直線(B5)に沿って移動し、前記2つの移動直線(B2、B5)に沿った前記2つの信号変更の位置から、前記輪郭の中心が計算されることを特徴とする、請求項12〜17のいずれか一項に記載の方法。
- 前記輪郭の中心を計算する前に、前記最新および前記最新から1つ前の信号変更の位置が、互いに比較され、これらの信号変更の位置差から、前の移動直線に対して平行に変位した新しい移動直線が計算され、前記新しい移動直線に沿って前記センサが再び移動し、前記最新および前記最新から1つ前の信号変更の相互比較、新しい移動直線の計算、および前記新しい移動直線に沿った移動が、各移動直線に沿った前記2つの最新の信号変更の位置差が指定の閾値未満になるまで、繰り返されることを特徴とする、請求項18に記載の方法。
- 湾曲した輪郭の測定に使用される前記センサキャリアのセンサユニットが、縁部の検出時に値を変更する信号をそれぞれ出力する2つのセンサを有する方法であって、前記センサ(2、3)が、前記湾曲した輪郭を形成する前記縁部(10b)を横切って第1の移動直線(B2)に沿って移動し、前記移動直線(B2)に沿った前記2つの信号変更の位置から、前記輪郭の中心が計算されることを特徴とする、請求項12〜17のいずれか一項に記載の方法。
- 前記輪郭の中心を計算する前に、前記センサ(2、3)の前記2つの信号変更の位置が互いに比較され、これらの信号の位置差から、前の移動直線(B2)から平行に変位した新しい移動直線(B5)が計算され、前記新しい移動直線に沿って前記センサ(2、3)が再び移動し、前記2つのセンサ(2、3)の信号変更の相互比較、前記新しい移動直線の計算、および前記新しい移動直線に沿った移動が、前記最新の移動直線に沿った前記2つの信号変更の位置差が指定の閾値未満になるまで、繰り返されることを特徴とする、請求項20に記載の方法。
- 基準点として、前記開始座標が使用され、前記物体(1)から前記開始座標までの距離を決定するために、前記センサキャリアのセンサユニットが、移動直線に沿って前記第2の輪郭の中心に向かい、前記物体(11)の前面の前記表面(13)を縁取る前記縁部(10a、10b)を横切って移動し、この縁部(10a、10b)により開始される信号変更の位置および前記開始座標から、前記距離が決定されることを特徴とする、請求項14〜21のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ロケーション位置の決定後、前記センサキャリアが、前記ロボットエンドエフェクタ(24)により配置位置に配置され、またはさらなる物体の前に置かれて、請求項12〜22のいずれか一項に記載の方法が繰り返されることを特徴とする、請求項12〜22のいずれか一項に記載の方法。
- 前記決定されたロケーション位置が、前記基板処理システム(20、26)の前記センサキャリア(1)またはロボット制御装置の記憶ユニットに記憶されることを特徴とする、請求項12〜23のいずれか一項に記載の方法。
- − 前記センサキャリア(1)の第1のセンサユニット(4、5a、5b)が、前記物体(11)の前記表面(13)に垂直な第1の移動方向(B1)に沿って、前記物体(11)の前記前面(14)を縁取る前記2つの縁部(10a、10b)を横切って移動し、前記第1のセンサユニット(4、5a、5b)が、縁部の検出時に値を変更する少なくとも1つのセンサ信号を出力し、前記第1の移動直線に沿った信号変更の位置から、厚さ方向での前記前面(14)の輪郭の中心が決定され、
− 前記センサキャリア(1)の第2のセンサユニット(2、3)が、前記物体(11)の前記表面(13)に平行な第2の移動直線(B2)に沿って、前記表面(13)を縁取る1つの前記縁部(10b)または複数の縁部を横切って移動し、前記第2のセンサユニット(2、3)が、縁部(10b)の検出時に値を変更する少なくとも1つのセンサ信号を出力し、前記第2の移動直線(B2)に沿った前記信号変更の位置から、幅方向での前記表面の輪郭の中心または前記物体(11)の直径の中心が決定されることを特徴とする、請求項12〜24のいずれか一項に記載の方法。
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