KR102063654B1 - 웨이퍼 티칭 지그 - Google Patents

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KR102063654B1
KR102063654B1 KR1020190108829A KR20190108829A KR102063654B1 KR 102063654 B1 KR102063654 B1 KR 102063654B1 KR 1020190108829 A KR1020190108829 A KR 1020190108829A KR 20190108829 A KR20190108829 A KR 20190108829A KR 102063654 B1 KR102063654 B1 KR 102063654B1
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 이송용 로보트 암과 웨이퍼의 수평상태를 측정할 수 있는 웨이퍼 티칭 지그에 관한 것으로, 복수의 웨이퍼가 설정된 간격을 이루면서 스텍방식으로 적층될 수 있도록 복수의 슬롯을 갖지며, 상기 슬롯의 양측 중 적어도 일측에 개구부가 형성되어 상기 개구부를 통해 상기 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩을 허용하는 웨이퍼카세트; 상기 웨이퍼카세트의 슬롯으로 상기 웨이퍼를 로딩하거나 언로딩하는 로봇암; 상기 웨이퍼카세트의 슬롯 중 하단부의 슬롯에 분리가능하게 배치되고, 상부에 위치하는 상기 웨이퍼 및 상기 로봇암의 높이 또는 위치를 측정하는 센서부; 및 상기 센서부에 의한 측정값을 기반으로 상기 웨이퍼의 높낮이 레벨 및 상기 로봇암의 수평도 레벨을 산출하고, 산출된 데이터를 디지털 방식으로 제공하는 제어부를 포함한다.

Description

웨이퍼 티칭 지그{WAFER TEACHING JIG}
본 발명은 웨이퍼 티칭 지그에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 이송용 로보트 암과 웨이퍼의 수평상태를 측정할 수 있는 웨이퍼 티칭 지그에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정에서 포토리소그라피 공정은 웨이퍼 기판에 레지스트 용액을 도포하고 포토 마스크를 이용하여 노광 및 현상함으로써 원하는 레지스트 패턴을 형성한다.
이러한 포토리소그라피 공정을 처리하는 반도체 제조 설비는 복수 개의 웨이퍼 이송 로봇과, 복수 개의 처리 유닛(또는 공정 챔버)들이 일렬 및/또는 적층 구조로 배치되고, 웨이퍼 이송 로봇을 이용하여 레지스트 용액 도포, 노광 및 현상을 처리하는 각각의 처리 유닛으로 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하고 있다.
따라서 반도체 제조 설비는 각각의 처리 유닛으로 정확하게 웨이퍼를 공급하기 위해서 웨이퍼 이송 로봇의 위치를 설정할 필요가 있다.
구체적으로, 웨이퍼는 이송용 로보트의 아암(Arm)에 지지된 상태로 이송이 이루어지며, 이때, 정확한 웨이퍼의 이송을 위하여 로보트 아암의 설비 상태, 즉 이송 스트로크 및 작업면에 대한 수직상태는 매우 중요한 요소로 작용하게 된다.
여기서, 로보트 아암의 설치높이는 아암의 작동거리에 관련되며, 설치높이가 최초 설정높이와 상이할 경우 웨이퍼에 충격이 가해지게 된다.
즉, 일정 거리의 상하이송을 실시하는 로보트 아암의 이송 스트로크(작업면과 아암간의 높이)가 설정치 보다 클 경우 웨이퍼를 지지한 상태에서 로보트 아암이 작업면을 향하여 이송하는 과정에서 웨이퍼가 작업면에 접촉되어 웨이퍼의 로딩시 웨이퍼 표면의 흠집(Scratch) 또는 파손이 발생될 수 있다.
또한, 웨이퍼의 언로딩시에는 로보트 아암이 작업면에 안착된 웨이퍼에 이송력을 유지한 상태로 접촉되어 상술한 웨이퍼 손상이 우려되는 문제점이 있다.
따라서, 상기와 같은 선행기술의 문제점을 극복할 수 있는 새로운 기술이 요구되고 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-0931857호
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 개선하기 위하여 창출된 것으로, 웨이퍼 이송용 로봇암과 웨이퍼의 수평상태를 측정할 수 있고, 상,하 마주하는 웨이퍼 간의 갭을 측정함으로써 로봇암이 로딩 및 언로딩 작업 시 웨이퍼와 충돌하는 현상을 미연에 방지할 수 있는 웨이퍼 티칭 지그를 제공하는데 그 목적이 있다.
구체적으로, 본 발명은 로봇암의 위치를 통해 웨이퍼의 로딩/언로딩을 위한 상승위치를 추정하고, 실제 웨이퍼의 상승위치와 비교하여 로봇암의 수평도를 측정하고 보정할 수 있는 웨이퍼 티칭 지그를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 하나의 실시예에 따른 웨이퍼 티칭 지그는, 복수의 웨이퍼가 설정된 간격을 이루면서 스텍방식으로 적층될 수 있도록 복수의 슬롯을 갖지며, 상기 슬롯의 양측 중 적어도 일측에 개구부가 형성되어 상기 개구부를 통해 상기 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩을 허용하는 웨이퍼카세트; 상기 웨이퍼카세트의 슬롯으로 상기 웨이퍼를 로딩하거나 언로딩하는 로봇암; 상기 웨이퍼카세트의 슬롯 중 하단부의 슬롯에 분리가능하게 배치되고, 상부에 위치하는 상기 웨이퍼 및 상기 로봇암의 높이 또는 위치를 측정하는 센서부; 및 상기 센서부에 의한 측정값을 기반으로 상기 웨이퍼의 높낮이 레벨 및 상기 로봇암의 수평도 레벨을 산출하고, 산출된 데이터를 디지털 방식으로 제공하는 제어부를 포함하고, 상기 센서부는, 상기 웨이퍼카세트의 슬롯에 끼워지는 판상의 센서베이스; 복수를 이루면서 상기 센서베이스의 둘레를 따라 설치되어 상기 센서베이스의 상부에 위치하는 상기 웨이퍼와의 거리를 감지하여 상기 제어부에 인가하는 복수의 웨이퍼감지센서; 및 상기 센서베이스에 설치되어 상기 웨이퍼감지센서와 함께 상기 웨이퍼와의 거리를 감지하여 상기 수평도 산출부에 인가하되, 상기 웨이퍼카세트의 개구부에 대응하는 위치에 배치되어 상기 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 시 상기 로봇암과의 거리를 감지하면서 상기 제어부에 인가하는 로봇암감지센서를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 웨이퍼감지센서 및 상기 로봇암감지센서의 감지신호를 기반으로 통해 상기 웨이퍼와의 거리를 측정하여 상기 웨이퍼의 높낮이 레벨을 산출하면서 영점을 산출하는 영점 산출부; 상기 로봇암감지센서의 감지신호를 통해 상기 웨이퍼의 하부로 이동하는 상기 로봇암과의 거리를 측정하여 상기 로봇암의 높낮이 레벨을 산출하는 로봇암위치감지부; 및 상기 웨이퍼의 언로딩을 위하여 상기 로봇암이 상기 웨이퍼를 상승시킬 경우, 상기 웨이퍼의 상승위치를 추정 및 감지하고 추정데이터 및 감지데이터를 기반으로 상기 로봇암의 수평도를 산출하는 수평도 산출부를 포함할 수 있다.
삭제
또한, 상기 로봇암은, 로봇의 작동에 의해 상기 웨이퍼의 하부로 투입되면서 상기 웨이퍼감지센서 및 상기 로봇암감지센서에 의한 감지가 방지될 수 있도록 포크형태로 형성되며, 상기 로봇에 의해 상기 웨이퍼를 들어올린 상태로 상기 웨이퍼를 견인할 수 있도록 선단부에 걸림턱이 형성되는 포크부; 및 상기 포크부의 후단에 동일체로 형성되어 상기 로봇과의 연결부위를 이루고, 판상으로 형성되어 상기 로봇암감지센서에 의해 감지되는 센서감지부를 포함할 수 있다.
삭제
또한, 상기 수평도산출부는, 상기 영점 산출부 및 상기 로봇암위치감지부의 데이터를 기반으로 상기 웨이퍼의 상승위치를 추정하여 산출하는 위치추정부; 상기 로봇암이 상기 웨이퍼를 상승시킨 경우, 상기 웨이퍼감지센서 및 상기 로봇암감지센서를 통해 상기 웨이퍼 및 상기 로봇암의 상승위치를 측정하는 위치측정부; 및 상기 위치추정부와 상기 위치측정부의 데이터를 비교하여 상기 로봇암의 수평도를 산출하는 비교부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 수평도 산출부의 데이터를 기반으로 상기 로봇암의 수평도를 보정하는 보정부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 티칭 지그는, 웨이퍼 이송용 로봇암과 웨이퍼의 수평상태를 측정할 수 있고, 상,하 마주하는 웨이퍼 간의 갭을 측정하여 로딩/언로딩부가 로딩/언로딩 작업 시 웨이퍼와 충돌하는 현상을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
특히, 본 발명에 따른 웨이퍼 티칭 지그는, 센서부가 웨이퍼카세트에 배치된 상태로 로봇암의 수평도를 산출할 수 있으므로 기존 장비에 간편하게 적용하여 사용할 수 있다.
구체적으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 티칭 지그는, 구체적으로, 본 발명은 로봇암의 위치를 통해 웨이퍼의 로딩/언로딩을 위한 상승위치를 추정하고, 실제 웨이퍼의 상승위치와 비교하여 로봇암의 수평도를 측정하므로 로봇암의 수평도를 좀 더 정확하게 산출할 수 있다.
개시되는 실시예들에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 개시되는 실시예들이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 티칭 지그를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 티칭 지그의 사용상태를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 티칭 지그를 나타내는 정면도이다.
도 4는 본 발명의 제어부를 나타내는 블록도이다.
이하에서 첨부 도면을 참고하여 본 발명의 실시예에 대해서 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지의 범용적인 기능 또는 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 개념에 따른 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서 또는 출원에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 티칭 지그를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 티칭 지그의 사용상태를 나타내는 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 티칭 지그를 나타내는 정면도이다. 또한, 도 4는 본 발명의 제어부를 나타내는 블록도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 티칭 장치(10)는 반도체의 제조공정에서 웨이퍼(1)를 이송함에 있어서 웨이퍼(1)를 이송하는 로봇암(200)의 수평도를 측정하여 보정함으로써 로봇암(200)에 의한 웨이퍼(1)의 손상을 방지하기 위한 장치이다.
구체적으로, 일 실시예에 따른 웨이퍼 티칭 장치(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 웨이퍼카세트(100), 로봇암(200), 센서부(300) 및 제어부(400)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 웨이퍼카세트(100)는 복수의 웨이퍼(1)가 설정된 간격을 이루면서 스텍방식으로 적층될 수 있도록 하는 구성요소이다.
구체적으로, 웨이퍼카세트(100)는 웨이퍼(1)가 삽입되는 복수의 슬롯(110)들이 소정의 간격을 이루면서 수직방향으로 형성됨으로써 복수의 웨이퍼(1)가 각각의 슬롯(110)에 로딩되면서 소정의 간격으로 적층될 수 있다.
이러한 웨이퍼카세트(100)는 슬롯(110)의 일측에 개구부가 형성됨으로써 웨이퍼(1)가 개구부를 통해 슬롯(110)으로 로딩되거나 슬롯(110)에서 언로딩될 수 있다.
즉, 웨이퍼카세트(100)는 후술되는 로봇암(200)에 의해 이송되는 웨이퍼(1)가 개구부를 통해 슬롯(110)에 끼워지면서 복수의 웨이퍼(1)를 적층할 수 있다.
상기 로봇암(200)은 웨이퍼(1)를 웨이퍼카세트(100)의 슬롯(110)으로 이송하여 로딩하거나 웨이퍼(1)를 웨이퍼카세트(100)에서 언로딩하는 구성요소이다.
이러한 로보암(200)은 미도시된 로봇에 연결되어 로봇의 작동에 의해 수평이동 및 수직이동하면서 웨이퍼(1)를 이송할 수 있다.
구체적으로, 로봇암(200)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 포크부(210) 및 센서감지부(220)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 포크부(210)는 미도시된 로봇의 작동을 통해 웨이퍼(1)의 하부로 이동하여 웨이퍼(1)를 들어올리면서 견인하는 구성요소이다.
이러한 포크부(210)는 웨이퍼(1)의 저면을 지지한 상태로 로봇에 의해 이동하면서 웨이퍼(1)를 슬롯(110)에 삽입한 후 하강함으로써 웨이퍼(1)를 슬롯(110)에 로딩할 수 있으며, 웨이퍼(1)들의 사이로 이동하여 웨이퍼(1)의 저면을 들어올린 상태로 로봇에 의해 이동하면서 웨이퍼(1)를 슬롯(110)에서 언로딩할 수 있다.
여기서, 포크부(210)는 웨이퍼(1)의 하부로 이동할 경우, 후술되는 센서부(300)를 구성하는 웨이퍼감지센서(320) 및 로봇암감지센서(330)에 의한 감지가 방지될 수 있도록 복수로 분할된 포크형태로 형성될 수 있다.
즉, 포크부(210)는 도 1에 도시된 바와 같이 분할된 공간을 통해 로봇암감지센서(330)와 대면하면서 개구부로 진입함으로써 로봇암감지센서(330)에 의해 감지됨이 없이 웨이퍼(1)의 하부로 이동할 수 있다.
이러한 포크부(210)는 도 2에 도시된 바와 같이 선단부에 걸림턱(211)이 형성되어 웨이퍼(1)를 들어올린 상태로 걸림턱(211)이 웨이퍼(1)에 걸림으로써 웨이퍼(1)를 견인할 수 있다.
상기 센서감지부(220)는 후술되는 로봇암감지센서(330)에 의해 감지되는 구성요소이다.
구체적으로, 센서감지부(220)는 포크부(210)의 후단부에 동일체로 형성되어 미도시된 로봇과의 연결부위를 이루며, 판상으로 형성됨으로써 후술되는 로봇암감지센서(330)에 의해 감지될 수 있다.
즉, 로봇암(200)은 웨이퍼카세트(100)의 개구부를 통해 진입할 경우, 포크부(210)에 의해 로봇암감지센서(330)에 감지되지 않으며, 진입이 완료된 후에는 센서감지부(220)가 로봇암감지센서(330)와 대면함으로써 로봇암감지센서(330)에 의해 감지될 수 있다.
상기 센서부(300)는 웨이퍼카세트(100)에 배치된 웨이퍼(1) 및 로봇암(200)의 위치 또는 높이를 측정하기 위한 구성요소이다.
이러한 센서부(300)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 웨이퍼카세트(100)의 슬롯(110)들 중 하단부의 슬롯(110)에 분리가능하게 배치되어 상부에 위치하는 웨이퍼(1)나 로봇암(200)을 감지할 수 있다.
구체적으로, 센서부(300)는 도 1에 도시된 바와 같이 센서베이스(310), 웨이퍼감지센서(320) 및 로봇암감지센서(330)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 센서베이스(310)는 웨이퍼카세트(100)의 슬롯(110)에 끼워질 수 있도록 판상으로 형성되어 슬롯(110)들 중 하단의 슬롯(110)에 끼워져 배치될 수 있다.
상기 웨이퍼감지센서(320)는 센서베이스(310)의 상부에 위치하는 웨이퍼(1)와의 거리를 감지하여 후술되는 제어부(400)에 인가할 수 있다.
구체적으로, 웨이퍼감지센서(320)는 복수를 이루면서 센서베이스(310)의 둘레를 따라 배치될 수 있다.
이러한 웨이퍼감지센서(320)는 적외선이나 초음파 또는 레이저를 상부로 조사하면서 웨이퍼(1)를 감지하고, 웨이퍼(1)와의 거리를 감지함으로써 웨이퍼(1)의 높낮이 레벨을 제공할 수 있다.
상기 로봇암감지센서(330)는 센서베이스(310)에 설치되어 웨이퍼감지센서(320)와 함께 웨이퍼(1)와의 거리를 감지하거나 로봇암(200)에 의한 웨이퍼(1)의 로딩 및 언로딩 시 로봇암(200)과의 거리를 감지하여 후술되는 제어부(400)로 제공하는 구성요소이다.
이러한 로봇암감지센서(330)는 웨이퍼카세트(100)의 개구부에 대응하는 위치에 배치됨으로써 전술한 로봇암(200)의 센서감지부(220)와의 거리를 감지하여 로봇암(200)의 높낮이 레벨을 제어부(400)로 제공할 수 있다.
상기 제어부(400)는 전술한 센서부(300)에 의한 측정값을 기반으로 웨이퍼(1)의 높낮이 레벨 및 로봇암(1)의 수평도 레벨을 산출하고, 산출된 데이터를 디지털 방식으로 제공하기 위한 구성요소이다.
이러한 제어부(400)는 센서베이스(310)에 설치되는 마이크로프로세서에 탑재될 수 있으며, 별도의 서버에 탑재되어 센서부(300)의 데이터를 인가받을 수 있다.
구체적으로, 제어부(400)는 도 4에 도시된 바와 같이 영점산출부(410), 로봇암위치산출부(420) 및 수평도산출부(430)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 영점산출부(410)는 전술한 웨이퍼감지센서(320) 및 로봇암감지센서(330)의 감지신호를 기반으로 센서베이스(310)의 상부에 위치하는 슬롯(110)에 배치된 웨이퍼(1)의 높낮이 레벨을 산출하여 영점으로 설정할 수 있다.
상기 로봇암위치감지부(420)는 로봇암감지센서(330)의 감지신호를 통해 상기 웨이퍼(1)의 하부로 이동하는 로봇암(200)과의 거리를 측정하여 로봇암(200)의 높낮이 레벨을 산출할 수 있다.
이때, 로봇암위치감지부(420)는 로봇암(200)의 로봇암감지센서(330)에 의한 센서감지부(220)의 위치를 통해 로봇암(200)의 높낮이 레벨을 산출할 수 있다.
상기 수평도산출부(430)는 로봇암(200)의 수평도를 산출하기 위한 구성요소이다.
구체적으로, 수평도산출부(430)는 웨이퍼(1)의 언로딩을 위하여 로봇암(200)이 웨이퍼를 상승시킬 경우, 웨이퍼(1)의 상승위치를 추정 및 감지하고 추정데이터 및 감지데이터를 기반으로 로봇암(200)의 수평도를 산출할 수 있다.
즉, 웨이퍼(1)는 슬롯(110)에 안착된 상태에서는 수평을 유지하게 되나, 수평이 유지되지 않은 로봇암(200)에 의해 상승할 경우에는 로봇암(200)에 의해 수평도가 틀어지게 될 수 있다.
수평도 산출부(430)는 영점이 설정된 웨이퍼(1)의 상승위치를 통해 로봇암(200)의 수평도를 산출할 수 있다.
구체적으로, 수평도 산출부(430)는 도 4에 도시된 바와 같이 위치추정부(431), 위치측정부(432) 및 비교부(433)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 위치추정부(431)는 전술한 영점 산출부(410)에서 산출된 웨이퍼(1)의 높낮이 레벨과 전술한 로봇암위치감지부(420)에서 산출된 로봇암(200)의 높낮이 레벨을 기반으로 로봇암(200)에 의한 웨이퍼(1)의 상승위치를 추정하여 산출할 수 있다.
구체적으로, 위치추정부(431)는 영점 설정된 웨이퍼(1)의 높낮이 레벨에 로봇암(200)의 상승거리를 연산함으로써 웨이퍼(1)의 상승위치를 추정하여 산출할 수 있다.
상기 위치측정부(432)는 로봇암(200)이 웨이퍼(1)를 상승시킨 경우, 웨이퍼감지센서(320) 및 로봇암감지센서(330)를 통해 웨이퍼(1) 및 로봇암(200)의 실제 상승위치를 측정할 수 있다.
상기 비교부(433)는 전술한 위치추정부(431)와 위치측정부(432)에서 각각 산출된 데이터를 비교하여 로봇암(200)의 수평도를 산출할 수 있다.
즉, 비교부(433)는 위치추정부(431)에서 추정된 웨이퍼(1)의 상승위치와 위치측정부(432)에서 실제 측정된 웨이퍼(1)의 상승위치를 비교함으로써 로봇암(200)의 수평도를 산출할 수 있다.
예컨대, 로봇암(200)이 균일한 수평도를 가질 경우에는 위치추정부(431)에서 추정된 웨이퍼(1)의 상승위치와 위치측정부(432)에서 실제 측정된 웨이퍼(1)의 상승위치가 동일하게 비교될 수 있으며, 로봇암(200)이 균일하지 않은 수평도를 가질 경우에는 위치추정부(431)에서 추정된 웨이퍼(1)의 상승위치와 위치측정부(432)에서 실제 측정된 웨이퍼(1)의 상승위치가 동일하지 않게 비교될 수 있다.
상기 제어부(400)는 수평도 산출부(430)에서 산출된 데이터를 관리자의 디스플레이에 디지털 데이터로 제공할 수 있으며, 산출된 기반으로 로봇암(200)의 수평도를 보정부(440)의 구성을 통해 보정할 수 있다.
이상에서 살펴 본 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼 티칭 장치(10)는 센서부(300)가 웨이퍼카세트(100)에 배치된 상태로 로봇암(200)의 수평도를 산출할 수 있으므로 기존 장비에 간편하게 적용하여 사용할 수 있으며, 특히 로봇암(200)의 위치를 통해 웨이퍼(1)의 로딩/언로딩을 위한 상승위치를 추정하고 실제 웨이퍼(1)의 상승위치와 비교하여 로봇암(200)의 수평도를 측정하므로 로봇암(200)의 수평도를 좀 더 정확하게 산출하고 보정함으로써 로봇암(200)에 의한 웨이퍼(1)의 손상을 방지할 수 있다.
상술된 실시예들은 예시를 위한 것이며, 상술된 실시예들이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술된 실시예들이 갖는 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 명세서를 통해 보호 받고자 하는 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 웨이퍼 티칭지그
100 : 웨이퍼카세트
110 : 슬롯
200 : 로봇암
210 : 포크부
211 : 걸림턱
220 : 센서감지부
300 : 센서부
310 : 센서베이스
320 : 웨이퍼감지센서
330 : 로봇암감지센서
400 : 제어부
410 : 영점산출부
420 : 로봇암위치감지부
430 : 수평도 산출부
431 : 위치추정부
432 : 위치측정부
433 : 비교부
440 : 보정부
1 : 웨이퍼

Claims (6)

  1. 복수의 웨이퍼가 설정된 간격을 이루면서 스텍방식으로 적층될 수 있도록 복수의 슬롯을 갖지며, 상기 슬롯의 양측 중 적어도 일측에 개구부가 형성되어 상기 개구부를 통해 상기 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩을 허용하는 웨이퍼카세트;
    상기 웨이퍼카세트의 슬롯으로 상기 웨이퍼를 로딩하거나 언로딩하는 로봇암;
    상기 웨이퍼카세트의 슬롯 중 하단부의 슬롯에 분리가능하게 배치되고, 상부에 위치하는 상기 웨이퍼 및 상기 로봇암의 높이 또는 위치를 측정하는 센서부; 및
    상기 센서부에 의한 측정값을 기반으로 상기 웨이퍼의 높낮이 레벨 및 상기 로봇암의 수평도 레벨을 산출하고, 산출된 데이터를 디지털 방식으로 제공하는 제어부를 포함하고,
    상기 센서부는,
    상기 웨이퍼카세트의 슬롯에 끼워지는 판상의 센서베이스;
    복수를 이루면서 상기 센서베이스의 둘레를 따라 설치되어 상기 센서베이스의 상부에 위치하는 상기 웨이퍼와의 거리를 감지하여 상기 제어부에 인가하는 복수의 웨이퍼감지센서; 및
    상기 센서베이스에 설치되어 상기 웨이퍼감지센서와 함께 상기 웨이퍼와의 거리를 감지하여 상기 수평도 산출부에 인가하되, 상기 웨이퍼카세트의 개구부에 대응하는 위치에 배치되어 상기 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 시 상기 로봇암과의 거리를 감지하면서 상기 제어부에 인가하는 로봇암감지센서를 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 웨이퍼감지센서 및 상기 로봇암감지센서의 감지신호를 기반으로 통해 상기 웨이퍼와의 거리를 측정하여 상기 웨이퍼의 높낮이 레벨을 산출하면서 영점을 산출하는 영점 산출부;
    상기 로봇암감지센서의 감지신호를 통해 상기 웨이퍼의 하부로 이동하는 상기 로봇암과의 거리를 측정하여 상기 로봇암의 높낮이 레벨을 산출하는 로봇암위치감지부; 및
    상기 웨이퍼의 언로딩을 위하여 상기 로봇암이 상기 웨이퍼를 상승시킬 경우, 상기 웨이퍼의 상승위치를 추정 및 감지하고 추정데이터 및 감지데이터를 기반으로 상기 로봇암의 수평도를 산출하는 수평도 산출부를 포함하는 웨이퍼 티칭지그.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 로봇암은,
    로봇의 작동에 의해 상기 웨이퍼의 하부로 투입되면서 상기 웨이퍼감지센서 및 상기 로봇암감지센서에 의한 감지가 방지될 수 있도록 포크형태로 형성되며, 상기 로봇에 의해 상기 웨이퍼를 들어올린 상태로 상기 웨이퍼를 견인할 수 있도록 선단부에 걸림턱이 형성되는 포크부; 및
    상기 포크부의 후단에 동일체로 형성되어 상기 로봇과의 연결부위를 이루고, 판상으로 형성되어 상기 로봇암감지센서에 의해 감지되는 센서감지부를 포함하는 웨이퍼 티칭지그.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 수평도 산출부는,
    상기 영점 산출부 및 상기 로봇암위치감지부의 데이터를 기반으로 상기 웨이퍼의 상승위치를 추정하여 산출하는 위치추정부;
    상기 로봇암이 상기 웨이퍼를 상승시킨 경우, 상기 웨이퍼감지센서 및 상기 로봇암감지센서를 통해 상기 웨이퍼 및 상기 로봇암의 상승위치를 측정하는 위치측정부; 및
    상기 위치추정부와 상기 위치측정부의 데이터를 비교하여 상기 로봇암의 수평도를 산출하는 비교부를 포함하는 웨이퍼 티칭지그.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 수평도 산출부의 데이터를 기반으로 상기 로봇암의 수평도를 보정하는 보정부를 더 포함하는 웨이퍼 티칭지그.
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