KR20070082144A - 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭장치 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 다수의 웨이퍼(W)를 적재한 카세트(10)가 안치되는 카세트 로더부(20)와; 상기 카세트 로더부(20)의 상기 카세트(10)로부터 웨이퍼(W)를 한 매씩 이송시키는 이송 로봇(30)과; 상기 이송 로봇(30)의 상기 웨이퍼(W)가 안치되도록 구비되는 블레이드(32)에 구비되어 상기 카세트(10) 내의 웨이퍼 적재 상태를 티칭하는 티칭 센서(40)와; 상기 티칭 센서(40)에 의해 입력되는 웨이퍼 정보와 이미 저장된 설정 정보와의 비교 연산에 의해 티칭값을 자동으로 보정하는 티칭 컨트롤러(50)와; 상기 티칭 컨트롤러(50)로부터 전달되는 티칭 보정값에 의해 상기 이송 로봇(30)의 구동을 제어하는 로봇 컨트롤러(60)로 이루어지도록 하는 구성에 의해 카세트(10)에서의 각 웨이퍼(W) 위치와 틸팅 각도 및 웨이퍼(W)간 이격거리를 정확히 체크하여 이미 저장한 설정 정보와의 비교 연산에 의한티칭 보정값에 의하여 정확하고 안정된 웨이퍼 로딩이 이루어질 수 있도록 하는 것이다.
오버레이, 측정, 맵핑, 티칭, 보정

Description

오버레이 설비용 웨이퍼 티칭장치 및 방법{Wafer teaching apparatus for overlay equipment and method thereof}
도 1은 일반적으로 카세트에 웨이퍼가 적재되는 구성을 도시한 사시도,
도 2는 종래 오버레이 설비에서 다수의 웨이퍼가 적재된 카세트로부터 웨이퍼를 맵핑하는 구조를 도시한 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 구성을 예시한 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 티칭 제어 구조를 도시한 평면도,
도 5는 본 발명에 따른 제어 순서를 도시한 프로우챠트.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 카세트
11 : 슬롯
20 : 카세트 로더부
30 : 이송 로봇
32 : 블레이드
40 : 티칭 센서
50 : 티칭 컨트롤러
60 : 로봇 컨트롤러
W : 웨이퍼
본 발명은 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 카세트 단위로 웨이퍼 티칭이 이루어지게 함으로써 정확하고 편리한 웨이퍼 로딩을 제공하는 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 오버레이 설비는 반도체 제조 설비 중 포토 공정에서 스텝퍼 설비를 통해 노광(exposure)을 수행한 직후, 노광을 통해 웨이퍼에 형성한 패턴이 정확하게 이루어졌는지를 검사하고, 검사 결과 일정값의 오차가 체크되면 그 오차값을 스텝퍼 설비에 피드백시켜 보상이 이루어지게 함으로써 정확한 패턴 형성이 이루어질 수 있도록 하는 것이다.
이런 오버레이 설비에서는 웨이퍼를 한 매씩 로딩시켜 계측 공정을 수행하도록 하고 있으며, 이런 웨이퍼 로딩 구성을 오토로더(autoloader)라고 한다.
오토로더는 다수의 웨이퍼가 적재되도록 한 카세트로부터 웨이퍼를 한 매씩 픽업하여 오버레이 계측을 수행할 위치로 이송시키도록 하는 구성이다.
도 1은 일반적으로 웨이퍼가 적재되어 있는 카세트의 구성을 도시한 사시도이다.
카세트(100)에는 적재되는 웨이퍼(W) 상호간의 접촉에 의한 손상이나 파티클 발생이 방지되도록 하기 위하여 일정 피치로 슬롯(110)을 형성하고, 이 슬롯(110)에 각각 웨이퍼(W)가 얹혀지도록 함으로써 웨이퍼(W)가 카세트(100)에서 항상 일정한 간격으로 적재되도록 하고 있다.
다수의 웨이퍼(W)가 적재되는 카세트(100)는 오토로더의 카세트 로더부(200)에 안착되도록 하고, 이를 이송 로봇에 의해서 한 매씩 로딩/언로딩하도록 하고 있다.
도 2는 종래 오버레이 설비에서 다수의 웨이퍼가 적재된 카세트로부터 웨이퍼를 맵핑하는 오토로더의 구성을 도시한 사시도이다.
오버레이 설비에서 오토로더는 크게 카세트 로더부(200)와 이송 로봇(300)으로서 이루어진다.
웨이퍼(W)는 도시한 바와 같이 이송 로봇(300)에 의해서 이송되도록 하며, 이송 로봇(300)에는 수직의 승강축(310)과 이 승강축(310)의 상단부에 구비되는 블레이드(320) 및 웨이퍼 맵핑 센서(330)가 구비되도록 하고 있다.
이러한 오버레이 설비에서의 웨이퍼 이송을 위해 이송 로봇(300)은 우선 카세트 로더부(200)에 안치되어 있는 카세트(100)로부터 웨이퍼(W)의 유무와 틸팅 상태를 체크하는 맵핑이 실시되도록 하고 있다.
즉 웨이퍼(W)를 이송시키기 전에 이송 로봇(300)에 구비되는 맵핑 센서(330)에 의해서는 카세트(100)의 각 슬롯(110)에 웨이퍼(W)가 적재되어 있는지에 대한 웨이퍼(W) 유무와 함께 슬롯(11)에서의 웨이퍼(W) 기울어짐이 어느 정도인지를 체 크하도록 하고 있다.
이러한 맵핑은 맵핑 센서(330)에 의한 웨이퍼(W)간 피치를 체크함에 의해서 이루어지게 되며, 이때 체크된 정보에 의해 웨이퍼(W)가 슬롯(11)에 적재되어 있지 않거나 웨이퍼(W)가 일측은 상부측 슬롯(110)에 그리고 타측은 하부측 슬롯(110)에 걸쳐지면서 심하게 기울어진 상태인지를 체크하여 웨이퍼(W)의 이송이 제어되도록 하는 것이다.
매핑에 의해 카세트(10)의 일정 슬롯(110)에 웨이퍼(W)가 없거나 잘못 적재되어 있는 상태가 체크되면 이를 공정 오류로 판단하여 웨이퍼(W) 이송이 중단되도록 한다.
한편 웨이퍼를 이송하는 이송 로봇(300)은 지속적으로 웨이퍼를 이송시키다 보면 웨이퍼(W)가 안치되는 블레이드(310)가 미세하게 아래로 쳐지게 되는 사례가 발생되고, 급기야는 웨이퍼(W)를 픽업하기 위하여 카세트(100)내로 블레이드(310)가 진입하게 될 때 쳐진 블레이드(310)의 단부가 카세트(100)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)의 단면과 충돌하면서 웨이퍼 브로큰 또는 블레이드(310)의 손상을 초래하는 불상사가 발생되기도 한다.
따라서 현재는 이러한 블레이드(310)의 쳐짐에 의한 웨이퍼(W)와의 충돌 발생 또는 정기적인 PM을 수행하게 될 때 엔지니어에 의해서 일정한 절차에 따라 이송 로봇(300)의 이송 위치를 교정하는 티칭(teaching)이 수행되도록 하고 있다.
하지만 종전에 수행되는 티칭은 이미 공정 오류가 발생된 이후 또는 PM 시에 엔지니어에 의해서 직접 수동으로 수행하게 되므로 공정 관리가 매우 불편할 뿐만 아니라 웨이퍼 브로큰 또는 공정 오류의 발생을 초래할 수 있는 문제가 있다.
따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼를 이송하기 전에 카세트에 적재되어 있는 모든 웨이퍼의 상태를 미리 체크하여 이송 로봇에 의한 웨이퍼 픽업 위치가 자동으로 위치 보정되도록 하는 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭장치 및 방법을 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 다수의 웨이퍼를 적재한 카세트가 안치되는 카세트 로더부와; 상기 카세트 로더부의 상기 카세트로부터 웨이퍼를 한 매씩 이송시키는 이송 로봇과; 상기 이송 로봇의 상기 웨이퍼가 안치되도록 구비되는 블레이드에 구비되어 상기 카세트 내의 웨이퍼의 적재 상태를 티칭하는 티칭 센서와; 상기 티칭 센서에 의해 입력되는 웨이퍼 정보와 이미 저장된 설정 정보와의 비교 연산에 의해 티칭값을 자동으로 보정하는 티칭 컨트롤러와; 상기 티칭 컨트롤러로부터 전달되는 티칭 보정값에 의해 상기 이송 로봇의 구동을 제어하는 로봇 컨트롤러로 이루어지도록 하는 구성이다.
상기의 구성에 따른 웨이퍼 티칭장치에 있어서, 다수의 웨이퍼가 적재된 카세트를 카세트 로더부에 안치하는 단계와; 이송 로봇을 구동시켜 티칭 센서에 의해 상기 카세트에서의 웨이퍼 정보를 체크하는 단계와; 상기 단계에서 체크한 상기 카 세트의 각 슬롯 중에 웨이퍼가 존재하지 않은 슬롯이 있는지를 판단하는 단계와; 상기 카세트의 각 슬롯에 웨이퍼가 모두 존재하면 각 슬롯의 상기 웨이퍼들 중 틸팅 각도가 일정 각도 이상인지를 판단하는 단계와; 상기의 단계에서 상기 웨이퍼들의 틸팅 각도가 일정 각도 이하라고 판단되면 상기 웨이퍼들의 위치와 상기 웨이퍼들간의 이격 거리를 체크하는 단계와; 상기 웨이퍼들의 위치와 상기 웨이퍼들간 이격 거리를 이미 설정된 설정 정보와 비교 연산하여 티칭값을 산출하는 단계와; 산출된 티칭값만큼 상기 이송 로봇의 티칭값을 보정하여 상기 웨이퍼를 로딩하는 단계로서 수행되는 티칭방법이다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 따른 구성을 예시한 사시도이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 티칭장치는 카세트 로더부(20)에 안착되어 있는 카세트(10)로부터 웨이퍼(W)의 적재 상태를 정확히 체크하여 이미 저장되어 있는 설정 정보와의 비교에 의해 티칭값이 자동으로 보정될 수 있도록 하는 것입니다.
이를 위한 구성으로 카세트 로더부(20)는 카세트(10)가 안치될 수 있도록 구비되는 구성이다.
카세트(10)에는 이미 다수의 웨이퍼(W)가 일정하게 얼라인되어 차례로 적재되어 있도록 한다. 이런 카세트(10)를 엔지니어가 직접 들어 카세트 로더부(20)에 안치시키기도 하고, 자동 이송 시스템에 의해서 안치시키기도 하나 현재는 대부분이 엔지니어에 의해서 수동으로 안치시키고 있다.
특히 카세트 로더부(20)의 안치면에는 안치되는 카세트(10)가 움직이지 못하도록 하는 가이드 돌기(미도시)가 소정의 높이로 돌출되도록 한다.
이송 로봇(30)은 카세트 로더부(20)와 오버레이 계측부의 사이에 구비되면서 이들 사이에서 웨이퍼(W)를 로딩/언로딩하도록 구비되고 있다.
이송 로봇(30)은 다시 수직의 승강축(31)과 이 승강축(31)의 상단에 일단이 고정되는 블레이드(32)로서 이루어지는 구성이다.
이송 로봇(30)의 승강축(31)은 소정의 높이로 승강이 가능하도록 구비되도록 하면서 이 승강축(31)을 중심으로 블레이드(32)가 회전 가능하도록 하며, 또한 승강축(31)이 전후진 가능하도록 하여 블레이드(32)가 카세트 로더부(20)의 카세트(10)와 오버레이 계측부의 내부로 각각 인출입이 가능하도록 한다.
이송 로봇(30)에는 블레이드(32)가 승강축(31)의 일측으로만 형성되게 할 수도 있으나, 서로 대응되게 양측으로 형성되게 할 수도 있다.
즉 이송 로봇(30)은 소정의 높이로 승강이 가능하도록 하면서 카세트(10) 또는 오버레이 계측부로부터 웨이퍼(W)를 인출입하기 위한 전진과 후진 운동을 할 수 있도록 하고, 웨이퍼(W)를 카세트(10)로부터 오버레이 계측부로 또는 오버레이 계측부로부터 카세트(10)로 이동시키기 위한 회전 운동을 할 수 있도록 한다.
티칭 센서(40)는 이송 로봇(30)의 웨이퍼(W)가 안치되도록 구비되는 블레이드(32)에 구비되어 카세트(10) 내에서의 웨이퍼 적재 상태를 티칭할 수 있도록 하는 구성이다.
티칭 센서(40)는 카세트(10)에서 웨이퍼(W)의 존재 유무와, 웨이퍼 틸팅 상 태와, 웨이퍼(W)간 거리를 측정하도록 한다.
즉 웨이퍼(W)의 존재 유무와 틸팅 상태의 검출은 종전의 맵핑 센서에 의해서도 검출될 수 있는 것이나 본 발명의 티칭 센서(40)는 이런 맵핑 센서에 의해 검출되는 정보와 함께 웨이퍼(W)와 웨이퍼(W) 사이의 거리를 측정할 수 있도록 한다.
도 4는 본 발명에 따른 티칭 제어 구조를 도시한 평면도이다.
티칭 센서(40)는 블레이드(32)의 선단에 형성되게 하되 특히 선단측 단면에 형성되게 하는 것이 가장 바람직하다.
또한 티칭 센서(40)는 블레이드(32)에서 양측으로 갈라지는 요크형상의 선단 양측에 각각 구비되게 하는 것이 가장 바람직하다.
티칭 컨트롤러(50)는 티칭 센서(40)에 의해 입력되는 웨이퍼 정보와 이미 저장된 설정 정보와의 비교 연산에 의해 티칭값의 보정값을 산출하는 구성이다.
이렇게 티칭 컨트롤러(50)로부터 산출된 티칭 보정값은 로봇 컨트롤러(60)에 전달되어 웨이퍼(W)를 로딩/언로딩하는 이송 로봇(30)의 구동을 제어한다.
즉 이송 로봇(30)은 티칭값만큼 이동 높이가 제어되게 함으로써 카세트(10)로부터 정확한 웨이퍼 로딩이 가능하도록 한다.
티칭 컨트롤러(50)는 이송 로봇(30)의 구동에 의해서 블레이드(32)를 카세트(10)의 최하단부로부터 상승하면서 블레이드(32)의 선단부에 구비한 티칭 센서(40)에 의해서 카세트(10)의 각 슬롯(11)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)의 정보를 체크하여 이들 웨이퍼 정보를 이미 내부에 저장되도록 한 설정 정보와의 비교 연산에 의해서 티칭 보정값이 산출되도록 하는 것이다.
로봇 컨트롤러(60)는 티칭 컨트롤러(50)로부터 산출되는 티칭 보정값에 의해 이송 로봇(30)의 구동을 제어함으로써 블레이드(32)에 의해서 카세트(10)로부터 웨이퍼(W)를 안전하게 픽업할 수 있도록 하는 것이다.
한편 티칭 컨트롤러(50)에 저장되는 설정 정보는 카세트(10)에서 웨이퍼(W)가 정확하게 각 슬롯(11)에 균일하게 안치되어 있을 때의 웨이퍼 정보이다.
이와 같은 구성에 따른 본 발명을 이용하여 티칭하는 방법에 대해서 살펴보면 다음과 같다.
도 5는 본 발명에 따른 제어 순서를 도시한 프로우챠트이다.
본 발명은 공정을 수행하기에 앞서 이송 로봇(30)에 의한 웨이퍼(W)의 로딩이 안정되고 정확하게 이루어질 수 있도록 하기 위하여 카세트(10)에 적재되는 웨이퍼(W)의 티칭을 수행하도록 하는 것이다.
오토로더에는 다수의 웨이퍼(W)가 적재되어 있는 카세트(10)가 카세트 로더부(20)에 안치되도록 하고, 이 카세트 로더(20)와 오버레이 계측부의 사이에 이송 로봇(30)이 구비되도록 하고 있다.
카세트(10)는 이미 그 이전 단계에서 통상 얼라인이 이루어지도록 하고, 이러한 카세트(10)를 엔지니어가 직접 들어 카세트 로더부(20)에 안치시킨다.
카세트 로더부(20)에서 카세트(10)는 가이드 돌기에 의해 지지되면서 상단의 안치면에서의 유동은 최대한 방지되도록 한다.
카세트(10)가 카세트 로더부(20)에 안치되면 이송 로봇(30)을 구동시켜 티칭 센서(40)가 장착되어 있는 블레이드(32)를 소정의 높이로 승강하도록 한다.
이때 블레이드(32)는 카세트(10)의 최하단부에 적재되어 있는 웨이퍼(W)를 향하도록 하며, 특히 블레이드(32)에 형성한 티칭 센서(40)는 카세트(10)의 최하단부에 적재되어 있는 웨이퍼(W)의 외주면 단면을 향하도록 한다.
티칭 센서(40)가 카세트(10)의 최하단부측 슬롯(11)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)를 인식하는 동시에 웨이퍼(W)의 틸팅 각도를 체크하고, 다시 소정의 높이를 상승하여 그 상측의 슬롯(11)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)의 적재 유무와 틸팅 각도를 체크하면서 그 하부 웨이퍼(W)와의 이격 거리를 입력시킨다.
이러한 방식으로 이송 로봇(30)을 구동시켜 블레이드(32)를 카세트(10)의 하단부로부터 상단부에까지 서서히 상승시키게 되면 카세트(10)에 적재된 모든 웨이퍼(W)들의 적재 상태를 티칭 센서(40)에 의해서 정확히 체크할 수가 있게 된다.
티칭 센서(40)에 의해 감지되는 정보를 통해 카세트(10)의 각 슬롯(11) 중에 웨이퍼(W)가 존재하지 않은 슬롯(11)이 있는지를 판단하게 된다.
다시말해 카세트(10)의 슬롯(11)들 중에서 웨이퍼(W)가 적재되지 않은 슬롯(11)이 있는지를 판단하여 만일 웨이퍼(W)가 적재되어 있어야 할 슬롯(11)에 웨이퍼(W)가 적재되어 있지 않으면 그 즉시 공정 수행을 중단시켜 확인을 하도록 한다.
다만 슬롯(11)에 웨이퍼(W)가 적재되어 있지 않더라도 해당 슬롯(11)에서는 웨이퍼(W)가 없는 상태로서 판단하고, 계속해서 티칭을 수행하게 할 수도 있다.
카세트(10)에서 각 슬롯(11)에 웨이퍼(W)가 모두 안정되게 존재하고 있다면 각 슬롯(11)의 웨이퍼(W)들 중 기울어진 각도 즉 틸팅 각도가 일정 각도 이상인지를 판단하게 된다.
다시 말해 카세트(10)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)들이 상호 인접하는 두 개의 슬롯(11)에 동시에 걸쳐지면서 웨이퍼(W)의 틸팅 각도가 일정 각도 이상으로 경사진 상태로 적재되는 경우가 있다.
따라서 웨이퍼(W)들의 틸팅 각도를 체크하여 티칭 컨트롤러(50)에 이미 저장되어 있는 일정 각도보다 크다고 판단되면 틸팅 각도가 지나치게 큰 슬롯(11)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)는 로딩이 불가능하므로 이를 즉시 오류로 판정하여 설비 가동을 중지시킨 상태에서 카세트(10)에서의 웨이퍼(W) 적재 상태가 올바르게 수정되도록 하거나 후속의 카세트(10)로서 교체시킨다.
한편 카세트(10)의 각 슬롯(11)에서 웨이퍼(W)가 모두 존재하고, 각 웨이퍼(W)들의 틸팅 각도가 일정 각도 이하라고 판단되면 티칭 컨트롤러(50)에서는 웨이퍼(W)들간의 이격 거리를 체크하도록 한다.
웨이퍼(W)들의 위치 및 웨이퍼(W)들간 이격 거리를 체크하여 이미 티칭 컨트롤러(50)에 저장되어 있는 설정 정보와 비교 연산하여 보정값을 산출한다.
산출된 보정값을 로봇 컨트롤러(60)에 전송하면 로봇 컨트롤러(60)에서는 보정값만큼 이송 로봇(30)의 구동을 스스로 제어하도록 한다.
다시 말해 티칭 센서(40)에 의해서 카세트(10)에 적재된 웨이퍼(W)들의 적재 상태를 정확히 체크하면서 이미 입력되어 저장된 설정 정보와를 비교하게 되면 그 차이값인 보정값을 산출할 수가 있다.
이렇게 산출된 차이값을 보정값으로 하여 로봇 컨트롤러(60)에 의해서 이송 로봇(30)을 제어하도록 하면 카세트(10)로부터 웨이퍼(W)를 로딩할 때 보정된 티칭 값을 적용하여 안전하게 웨이퍼(W)를 로딩시킬 수가 있다.
또한 카세트(10) 단위로 항상 티칭을 자동으로 실시하도록 함으로써 종전과 같은 엔지니어에 의한 수고를 대폭적으로 절감시킬 수가 있게 된다.
그리고 블레이드(32)의 선단에 티칭 센서(40)를 구비하여 블레이드(32)의 장시간 사용으로 인한 쳐짐현상에 의한 로딩 오류를 완벽하게 막을 수가 있어 안전한 웨이퍼 로딩과 웨이퍼 손상을 최대한 방지시킬 수가 있게 된다.
특히 카세트 로더부(20)에 안착되는 카세트(10)에서의 웨이퍼 티칭을 항상 정확하게 유지시킬 수가 있게 되므로 이송 로봇(30)에 의한 웨이퍼(W)의 안정된 로딩을 제공할 수가 있다.
한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다.
따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 웨이퍼(W)가 안치되는 블레이드의 선단으로 간단히 티칭 센서를 구비하여 카세트에서의 각 슬롯에 적재되어 있는 웨이퍼의 맵핑과 함께 웨이퍼의 정확한 적재 위치와 웨이퍼간 이격 거리를 체크하여 이미 저장된 설정 정보와의 비교 연산에 의해 산출되는 보정값을 이용하여 정확하고 안 정된 웨이퍼 이송이 될 수 있도록 한다.
따라서 본 발명은 카세트 마다 티칭이 자동으로 이루어지도록 함으로써 자동화를 촉진시켜 공정 관리의 편의를 제공하는 동시에 웨이퍼 손상 및 공정 수행 중 설비 가동이 중단되는 사례를 미연에 방지하여 공정 효율성이 대폭 향상되도록 하는 매우 유용한 효과를 제공하게 된다.

Claims (7)

  1. 다수의 웨이퍼를 적재한 카세트가 안치되는 카세트 로더부와;
    상기 카세트 로더부의 상기 카세트로부터 웨이퍼를 한 매씩 이송시키는 이송 로봇과;
    상기 이송 로봇의 상기 웨이퍼가 안치되도록 구비되는 블레이드에 구비되어 상기 카세트 내의 웨이퍼의 적재 상태를 티칭하는 티칭 센서와;
    상기 티칭 센서에 의해 입력되는 웨이퍼 정보와 이미 저장된 설정 정보와의 비교 연산에 의해 티칭값을 자동으로 보정하는 티칭 컨트롤러와;
    상기 티칭 컨트롤러로부터 전달되는 티칭 보정값에 의해 상기 이송 로봇의 구동을 제어하는 로봇 컨트롤러;
    로 이루어지는 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 티칭 센서는 상기 블레이드의 선단부측 단면에 부착되는 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 티칭 센서는 상기 블레이드의 요크 형상인 양측의 선단부에 각각 구비되는 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 티칭 센서는 상기 카세트 내의 상기 웨이퍼의 외주연 단면을 체크하도록 하는 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 티칭 컨트롤러의 설정 정보는 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭장치.
  6. 다수의 웨이퍼를 적재한 카세트가 안치되는 카세트 로더부와; 상기 카세트 로더부의 상기 카세트로부터 웨이퍼를 한 매씩 이송시키는 이송 로봇과; 상기 이송 로봇의 상기 웨이퍼가 안치되도록 구비되는 블레이드에 구비되어 상기 카세트 내의 웨이퍼의 적재 상태를 티칭하는 티칭 센서와; 상기 티칭 센서에 의해 입력되는 웨이퍼 정보와 이미 저장된 설정 정보와의 비교 연산에 의해 티칭값을 자동으로 보정하는 티칭 컨트롤러와; 상기 티칭 컨트롤러로부터 전달되는 티칭 보정값에 의해 상기 이송 로봇의 구동을 제어하는 로봇 컨트롤러로 이루어지는 웨이퍼 티칭장치에 있어서,
    다수의 웨이퍼가 적재된 카세트를 카세트 로더부에 안치하는 단계와;
    이송 로봇을 구동시켜 티칭 센서에 의해 상기 카세트에서의 웨이퍼 정보를 체크하는 단계와;
    상기 단계에서 체크한 상기 카세트의 각 슬롯 중에 웨이퍼가 존재하지 않은 슬롯이 있는지를 판단하는 단계와;
    상기 카세트의 각 슬롯에 웨이퍼가 모두 존재하면 각 슬롯의 상기 웨이퍼들 중 틸팅 각도가 일정 각도 이상인지를 판단하는 단계와;
    상기의 단계에서 상기 웨이퍼들의 틸팅 각도가 일정 각도 이하라고 판단되면 상기 웨이퍼들의 위치와 상기 웨이퍼들간의 이격 거리를 체크하는 단계와;
    상기 웨이퍼들의 위치와 상기 웨이퍼들간 이격 거리를 상기 티칭 컨트롤러에 이미 저장되도록 한 설정 정보와 비교 연산하여 티칭 보정값을 산출하는 단계와;
    산출된 티칭 보정값에 의해 상기 이송 로봇의 구동이 제어되도록 하면서 상기 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼를 순차적으로 로딩하는 단계;
    로서 수행되는 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 티칭 컨트롤러에 저장되도록 한 설정 정보는 상기 카세트에서 웨이퍼가 정확하게 각 슬롯에 균일하게 안치되어 있을 때의 웨이퍼 정보인 오버레이 설비용 웨이퍼 티칭방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101466154B1 (ko) * 2011-01-13 2014-12-01 세메스 주식회사 웨이퍼 이송 로봇의 제어 방법
CN117438356A (zh) * 2023-12-21 2024-01-23 浙江果纳半导体技术有限公司 一种自适应晶圆传输方法、可存储介质和晶圆传输设备

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