WO2010143269A1 - 搬送システムと搬送システムでの高さ補正方法 - Google Patents

搬送システムと搬送システムでの高さ補正方法 Download PDF

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靖久 伊藤
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村田機械株式会社
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    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C13/00—Other constructional features or details
    • B66C13/18—Control systems or devices
    • B66C13/22—Control systems or devices for electric drives
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying

Definitions

  • This invention relates to a conveyance system supported by the ceiling of a building and its height correction.
  • Patent Document 1 JP2003-306293A
  • an overhead traveling vehicle is driven by supporting a traveling rail by a ceiling of a clean room or the like, and an article is delivered to and from a station on the ground side equipment.
  • Patent Document 2 JP2004-134765A
  • a support portion of a conveyor belt is supported by a ceiling, and an article is conveyed by a cradle attached to the conveyor belt. If the transport system is supported by the ceiling, the height of the traveling rail or transport belt will fluctuate due to fluctuations in the ceiling height due to deformation of the building due to snow accumulation, and fluctuations in the ceiling height due to aging of the building. This prevents the delivery of articles to and from other stations.
  • An object of the present invention is to prevent an article from being transferred to and from the ground side even if the ceiling height varies.
  • An additional problem in the present invention is to prevent an obstacle when the ceiling is deformed along the horizontal direction.
  • the transport system of the present invention is a system that delivers articles via a transfer device that performs a lifting operation between a transport system main body supported on a ceiling and a station on the ground side, A distance meter for measuring a height distance of the transport system body with respect to the station; Correction means for correcting the lift of the transfer device is provided so as to correct fluctuations in height distance measured by the distance meter.
  • the height correction method for a transfer system is a transfer system main body in a system that delivers articles via a transfer device that moves up and down between a transfer system main body supported on a ceiling and a station on the ground side.
  • the moving amount of the transfer device is corrected by a correction unit according to a change in height distance obtained by the distance meter.
  • the description related to the transport system also applies to the height correction method of the transport system, and the description related to the height correction method of the transport system also applies to the transport system.
  • the transfer device is capable of traveling in a horizontal plane along a transport direction in the transport system
  • the sensor which detects the position in the level surface along the conveyance direction of the above-mentioned conveyance system main part on the basis of the above-mentioned station
  • Second correction means for correcting the travel amount of the transfer device along the transport direction so as to correct the fluctuation of the position in the horizontal plane detected by the sensor is further provided.
  • a sensor that detects that the position of the transport system body has fluctuated more than an allowable value in a direction perpendicular to the transport direction in a horizontal plane, and the transfer when the position of the transport system body has fluctuated more than the allowable value. And a means for prohibiting delivery of the article on the mounting device.
  • the height of the transfer system main body with respect to the station is measured to correct the lifting / lowering amount of the transfer device. Therefore, even if the ceiling of the building fluctuates due to snow, aging of the building, earthquake, etc., the correct height Goods can be delivered at a short distance.
  • Front view of the transport system of the embodiment Side view of main part of transfer system of embodiment It is a figure which shows the bracket for horizontal position detection, and a photoelectric sensor, and a conveyance direction is a right angle to the paper surface. It is a figure which expands and shows the bracket for horizontal position detection, and a photoelectric sensor, and the left-right direction of a figure is a conveyance direction.
  • FIG. 1 to 6 show an embodiment and its modifications.
  • reference numeral 2 denotes a belt conveyance system
  • 4 denotes a ceiling of a building such as a clean room.
  • An attachment 6 is attached to the ceiling 4 via, for example, a pair of suspension bolts 8 and 8 and supports the belt support 10.
  • the belt support 10 is configured to drive a belt 12 such as a steel belt or a rubber belt with a pulley 11 and attach a cradle 14 to, for example, the bottom of the belt 12.
  • brackets 16 and 36 are provided on the left and right side surfaces of the belt support 10.
  • the cradle 14 supports and carries a carrier 18 and the like, and the carrier 18 is a carrier such as a semiconductor wafer or a reticle.
  • the belt conveying system main body 5 is constituted by the fixture 6 to the cradle 14.
  • a pair of support posts 26 and 26 are provided on the ground side, a rail 24 is passed between them, the carriage 22 travels along the rail 24 in the horizontal direction, and the rail 24 is moved up and down along the support posts 26.
  • the arm 20 is attached to the carriage 22, and the carrier 18 is transferred to and from the cradle 14 by supporting the bottom of the carrier 18 with the arm 20, for example.
  • the carrier 18 is delivered to and from the cradle 30 provided on the processing device 34 side.
  • the cradle 30 moves in and out of the processing apparatus 34 by an arm 32.
  • a semiconductor wafer is taken in and out of the carrier 18 in the processing apparatus 34.
  • a fixed cradle 30 is provided in a range accessible by the arm 32 to serve as a buffer for the carrier 18.
  • the arm 20 to the cradle 30 and the arm 32 constitute a station 19 on the ground side.
  • a distance sensor 28 is provided on one of the pair of left and right columns 26, 26, and the height distance between the bottom surface of the bracket 16 is measured.
  • the distance sensor 28 is a laser distance meter, for example, but the type is arbitrary.
  • the bracket 36 is fixed to the belt support 10 so as to face the upper portion of the other support column, and the reflection plate 37 provided on the bottom thereof is monitored by the photoelectric sensor 38.
  • the arrangement of the reflector 37 and the photoelectric sensor 38 is shown in an enlarged manner in FIGS. 3 and 4.
  • the paper surface is perpendicular to the transport direction
  • the photoelectric sensor 38 includes the light emitter 38a of FIG. 4 and a light receiver array 38b in which about 4 to 16 light receivers are arranged in a straight line.
  • the reflection surface of the reflection plate 37 is inclined by an angle ⁇ from the horizontal direction along the transport direction, and the reflected light is detected at any position in the photoreceptor array 38b by the relative position along the transport direction with the light emitter 38a. Changes.
  • the transport direction position X of the belt support 12 is Both positions Y in the direction perpendicular to the horizontal plane can be measured.
  • the type of the sensor is arbitrary, and the brackets 16 and 36 may be integrated into one, the distance sensor 28 and the photoelectric sensor 38 may be integrated into one place, and these may be arranged at the upper part of the central portion of the station 19 or the like. good.
  • FIG. 5 shows a control circuit in the embodiment.
  • the distance sensor 28 measures the height distance between the belt support 10 and the column 26, in other words, the delivery height of the article to the cradle 14 when viewed from the arm 20 side.
  • the distance sensor 28 inputs this height distance h to the interface 50.
  • the photoelectric sensor 38 inputs a conveyance direction position signal P of the reflection plate 37 to the interface 50.
  • the lifting distance of the arm that is, the lifting distance of the rail 24 is adjusted according to the height distance h, and the adjustment amount of the lifting distance is stored in the up / down counter 52, and the horizontal position p is stored in the up / down counter 53.
  • the height distance h is measured by the distance sensor 28.
  • the value of the counter 52 is incremented by 1, for example, and when it is lower, it is decremented by 1. In this way, the value of the counter 52 is corrected every time the carrier is delivered. Then, the elevation control of the arm 20 is controlled by the height controller 54 according to the value of the counter 52. The description of the lifting mechanism of the rail 24 and the lifting mechanism of the carriage 22 is omitted.
  • the photoelectric sensor 38 detects the reflection plate 37 and measures the position in the conveyance direction in the horizontal plane.
  • the photoelectric sensor 38 is provided, for example, on the upstream column of the pair of left and right columns 26, 26 and detects the position of the belt support 10 in the horizontal plane immediately before the carrier 18 is delivered.
  • the up / down counter 53 is corrected according to the position in the horizontal plane, and the stroke of the carriage 22 is corrected by the signal of the corrected up / down counter 53.
  • the alarm unit 56 generates an alarm signal, for example, stops the operation of the carriage 22 and the rail 24 and stops the delivery of the article. .
  • the position in the horizontal surface of the support body 10 with respect to the station 19 is manually adjusted by the alarm signal, for example.
  • detection is performed immediately before the delivery, and the delivery is stopped when a fluctuation exceeding the allowable value occurs.
  • FIG. 6 shows an example of a system using the overhead traveling vehicle 61.
  • Reference numeral 60 denotes a traveling rail, which is similarly supported by a suspension bolt 8 or the like from the ceiling 4 of a clean room or the like.
  • the traveling part of the overhead traveling vehicle 61 is in the traveling rail 60, 62 is a lateral drive, 63 is a ⁇ drive, 64 is a lift drive, and 66 is a chuck.
  • the lateral drive 62 moves the ⁇ drive 63 to the chuck 66 in a direction perpendicular to the conveying direction in the horizontal plane, the ⁇ drive 63 rotates the lifting drive 64 about the vertical axis, and the lifting drive 64 moves the chuck 66 up and down.
  • Deliver goods such as FOUP.
  • the station 68 of the processing device 34 is provided below the traveling rail 60.
  • a distance sensor 28 and a photoelectric sensor similar to those shown in FIGS.
  • the height distance from 16 and the mark on the reflector provided on the bracket 36 are monitored.
  • the horizontal positional deviation from the mark on the reflecting plate is output with a resolution of about 2 to 4 bits for each of the XY bidirectional directions.
  • the fluctuation in the height distance obtained by the distance sensor 28 and the horizontal position fluctuation of the traveling rail 60 obtained by the photoelectric sensor are transmitted to the controller of the overhead traveling vehicle system (not shown). Is communicated to each overhead traveling vehicle 61.
  • the lift distance in the lift drive 64 is corrected, the stop position in the transport direction is corrected, and the transfer position in the direction perpendicular to the transport direction is corrected in the horizontal plane by the lateral drive 62.
  • the following effects can be obtained.
  • (1) The height fluctuation of the belt support 10 can be corrected. For this reason, even if the height distance of the belt support 10 fluctuates due to snow accumulation, aging of the building, earthquake, etc., the influence can be reduced.
  • the distance sensor 28 and the photoelectric sensor 38 are provided for each station 19, but the arm 20 is provided only in a part of the stations, and in an intermediate station, the fluctuation of the actually measured height distance is interpolated. The elevation distance may be corrected. Further, in an intermediate station where the photoelectric sensor 38 is not provided, for example, when a positional deviation in the horizontal plane is detected at one of the left and right stations, the transfer may be stopped. In an extreme case, the distance sensor 28 and the photoelectric sensor 38 may be arranged at a plurality of positions other than the station 19, and the height distance correction amount and the horizontal plane position fluctuation amount at each station 19 may be estimated.
  • the position in the direction perpendicular to the conveyance direction and the horizontal plane can be measured by the photoelectric sensor 38 or the like, and the arm 20 can be moved back and forth in the direction perpendicular to the conveyance direction of the belt 12 and the horizontal plane, the conveyance direction in the horizontal plane
  • the position in the perpendicular direction can also be corrected.

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Abstract

　天井に支持された搬送システム本体と地上側のステーションとの間で、昇降動作を行う移載装置を介して物品を受け渡しするシステムでの、搬送システム本体の高さ補正を行う。ステーションと搬送システム本体との間の高さ距離を距離計で測定し、距離計で求めた高さ距離の変動に応じて、移載装置の昇降量を補正する。積雪あるいは建屋の経年変化などによる搬送システム本体の高さ変動を補正できる。

Description

搬送システムと搬送システムでの高さ補正方法
　この発明は、建屋の天井によって支持された搬送システムとその高さ補正に関する。
　クリーンルームなどの建屋の天井を用いて搬送システムを支持することが知られている。例えば特許文献１：JP2003-306293Aでは、クリーンルームなどの天井によって走行レールを支持して天井走行車を走行させ、地上側設備のステーションとの間で物品を受け渡しする。また特許文献２：JP2004-134765Aでは、搬送ベルトの支持部を天井で支持し、搬送ベルトに取り付けたクレードルで物品を搬送する。搬送システムを天井で支持すると、積雪による建屋の変形に伴う天井高さの変動及び、建屋の経年変化に伴う天井高さの変動などで、走行レールあるいは搬送ベルトの高さが変動し、地上側のステーションなどとの間での物品の受け渡しを妨げる。
JP2003-306293A JP2004-134765A
　この発明の課題は、天井高さが変動しても、地上側との間での物品の受け渡しの妨げとならないようにすることにある。
　この発明での追加の課題は、天井が水平方向に沿って変形した際の障害を防止することにある。
　この発明の搬送システムは、天井に支持された搬送システム本体と地上側のステーションとの間で、昇降動作を行う移載装置を介して物品を受け渡しするようにしたシステムであって、
　前記ステーションを基準とする前記搬送システム本体の高さ距離を測定する距離計と、
　前記距離計で測定した高さ距離の変動を補正するように、前記移載装置の昇降量を補正するための補正手段とを設けたことを特徴とする。
　この発明の搬送システムの高さ補正方法は、天井に支持された搬送システム本体と地上側のステーションとの間で、昇降動作を行う移載装置を介して物品を受け渡しするシステムでの搬送システム本体の高さ補正を行うために、
　前記ステーションと前記搬送システム本体との間の高さ距離を距離計で測定し、
　前記距離計で求めた高さ距離の変動に応じて、前記移載装置の昇降量を補正手段で補正することを特徴とする。
　この明細書において、搬送システムに関する記載はそのまま搬送システムの高さ補正方法にも当てはまり、逆に搬送システムの高さ補正方法に関する記載はそのまま搬送システムにも当てはまる。
　好ましくは、前記移載装置は、前記搬送システムでの搬送方向に沿って水平面内で走行自在であり、
　かつ、前記ステーションを基準とする、前記搬送システム本体の搬送方向に沿った水平面内位置を検出するセンサと、
　前記センサで検出した水平面内位置の変動を補正するように、前記移載装置の前記搬送方向に沿った走行量を補正するための第２の補正手段、とをさらに設ける。
　より好ましくは、水平面内で前記搬送方向に直角な方向に、搬送システム本体の位置が許容値以上変動したことを検出するセンサと、搬送システム本体の位置が許容値以上変動した場合に、前記移載装置での物品の受け渡しを禁止するための手段、とをさらに設ける。
　この発明では、ステーションに対する搬送システム本体の高さ距離を測定して、移載装置の昇降量を補正するので、建屋の天井が積雪あるいは建屋の経年変化、地震などで変動しても、正しい高さ距離で物品の受け渡しができる。　
　またステーションに対する搬送システム本体の搬送方向に沿った水平面内位置を、センサで検出し、移載装置の走行量を補正すると、ステーションと搬送システム本体との水平面内位置に誤差が生じても補正できる。
　搬送方向に沿った水平面内位置の変動は走行量の補正で対応できるが、搬送方向に直角な方向での水平面内位置の変動は走行量の補正では対応できない。そこで水平面内で前記搬送方向に直角な方向に搬送システム本体の位置が許容値以上変動した場合、物品の受け渡しを禁止すると、物品の受け渡しに失敗することを防止できる。
実施例の搬送システムの正面図 実施例の搬送システムの要部側面図 水平位置検出用のブラケットと光電センサとを示す図で、搬送方向は紙面に直角である。 水平位置検出用のブラケットと光電センサとを拡大して示す図で、図の左右方向が搬送方向である。 実施例での制御回路のブロック図 変形例の搬送システムの正面図
　以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。本発明の範囲は、特許請求の範囲を基礎に、周知技術を加味し当業者の常識に沿って解釈されるべきである。
　図１～図６に、実施例とその変形とを示す。図１～図５において、２はベルト搬送システムで、４はクリーンルームなどの建屋の天井である。６は取付具で、例えば一対の吊りボルト８，８を介して天井４に取り付けられると共に、ベルト支持体１０を支持する。ベルト支持体１０はスチールベルトあるいはゴムベルトなどのベルト１２をプーリ１１などで駆動し、ベルト１２の例えば底部にクレードル１４を取り付ける。またベルト支持体１０の左右一方の側面にブラケット１６，３６を設ける。クレードル１４はキャリア１８などを支持して搬送し、キャリア１８は例えば半導体ウェハやレチクルなどのキャリアである。取付具６～クレードル１４により、ベルト搬送システム本体５を構成する。
　地上側には例えば一対の支柱２６，２６を設けて、その間にレール２４を差し渡し、キャリッジ２２をレール２４に沿って水平方向に走行させると共に、レール２４を支柱２６に沿って昇降させる。またキャリッジ２２にアーム２０を取り付け、例えばキャリア１８の底部をアーム２０で支持することにより、クレードル１４との間でキャリア１８を受け渡しする。またキャリッジ２２を下降させることにより、処理装置３４側に設けたクレードル３０との間でキャリア１８を受け渡しする。クレードル３０はアーム３２により処理装置３４の内外に出入りし、例えば処理装置３４内でキャリア１８から半導体ウェハなどを出し入れする。図示を省略するが、アーム３２でアクセスし得る範囲に、固定のクレードル３０を設けてキャリア１８のバッファとする。アーム２０～クレードル３０，アーム３２により地上側のステーション１９を構成する。
　図２に示すように、左右一対の支柱２６，２６の一方に距離センサ２８を設け、ブラケット１６の底面との間の高さ距離を測定する。距離センサ２８は例えばレーザ距離計であるが、その種類は任意である。他方の支柱の上部と対向するように、ブラケット３６をベルト支持体１０に固定し、その底部に設けた反射板３７を光電センサ３８で監視する。
　反射板３７と光電センサ３８の配置を図３，図４に拡大して示し、図３では紙面が搬送方向に直角で、図４では左右方向が搬送方向である。光電センサ３８は図４の発光体３８ａと、４個～１６個程度の受光体を直線状に配列した受光体アレイ３８ｂとからなる。反射板３７の反射面は搬送方向に沿って水平方向から角度θだけ傾いており、発光体３８ａとの搬送方向に沿った相対位置により、反射光が受光体アレイ３８ｂのどの位置で検出されるかが変化する。例えば反射板３７が搬送方向に沿って距離ｄだけ基準位置から変位し、３７’の位置に現れると、受光アレイ３８ｂでの受光位置は　ΔX＝ｄ・sinθ・tan２θ　だけ変化する。また反射板３７が相応方向に沿って所定距離以上変位すると、受光アレイ３８ｂは反射光を検出できなくなる。これらによってベルト支持体１０が水平面内で搬送方向にどれだけ移動したかどうかを検出できる。
　図４では、搬送方向の位置のみを測定するが、水平面内で搬送方向に直角な方向にも、傾斜した反射板と新たな光電センサとを設けると、ベルト支持体１２の搬送方向位置Xと水平面内でこれに直角な方向の位置Yの双方を測定できる。なおセンサの種類は任意で、またブラケット１６，３６を１個に集約し、距離センサ２８と光電センサ３８とを１箇所にまとめて、これらをステーション１９の中央部の上部などに配置しても良い。
　図５に実施例での制御回路を示す。距離センサ２８は、ベルト支持体１０と支柱２６との間の高さ距離、言い換えるとアーム２０側から見た際のクレードル１４に対する物品の受け渡し高さを測定する。距離センサ２８はこの高さ距離hをインターフェース５０へ入力する。また光電センサ３８は反射板３７の搬送方向位置信号Pをインターフェース５０へ入力する。なおベルト搬送システムの設置時あるいはメンテナンス時に、高さ距離hに合わせてアームの昇降距離、即ちレール２４の昇降距離を調整し、昇降距離の調整量をアップダウンカウンタ５２で記憶し、水平方向位置pをアップダウンカウンタ５３で記憶する。
　ベルト搬送システム２の実使用時に、例えばアーム２０でキャリア１８をクレードル１４との間で受け渡しする都度、距離センサ２８で高さ距離hを測定する。高さ距離hがアップダウンカウンタ５２で記憶値よりも大きい場合、カウンタ５２の値を例えば１プラスし、低い場合１マイナスする。このようにしてキャリアの受け渡しの都度、カウンタ５２の値を補正する。そしてカウンタ５２の値に応じて高さ制御部５４により、アーム２０の昇降距離を制御する。なおレール２４の昇降機構及びキャリッジ２２の昇降機構は説明を省略する。
　光電センサ３８は反射板３７を検出し、水平面内での搬送方向位置を測定する。光電センサ３８は左右一対の支柱２６，２６のうち、例えば上流側の支柱に設けて、キャリア１８を受け渡しする都度、受け渡しの直前にベルト支持体１０の水平面内位置を検出する。そして水平面内位置に応じてアップダウンカウンタ５３を補正し、補正後のアップダウンカウンタ５３の信号によりキャリッジ２２のストロークなどを補正する。またベルト支持体１０の位置が搬送方向あるいは高さ方向に沿って著しく変動すると、警報部５６はアラーム信号を発生し、例えばキャリッジ２２及びレール２４の動作を停止させて、物品の受け渡しを中止する。そしてアラーム信号により、例えばマニュアルでステーション１９に対する支持体１０の水平面内位置を調整する。なお昇降量の補正及び反射板３７の検出を、物品の受け渡し数回毎に行っても良い。さらにベルト支持体１０の水平面内で搬送方向に直角な方向の位置を検出する場合、例えば受け渡しの直前に検出を行い、許容値以上の変動が生じると、受け渡しを中止する。
　図６に、天井走行車６１を用いたシステムの例を示す。６０は走行レールで、同様にクリーンルームなどの天井４から吊りボルト８などで支持されている。天井走行車６１の走行部は走行レール６０内にあり、６２はラテラルドライブ、６３はθドライブ、６４は昇降ドライブ、６６はチャックである。ラテラルドライブ６２はθドライブ６３～チャック６６を搬送方向に水平面内で直角な方向に移動させ、θドライブ６３は昇降ドライブ６４を鉛直軸回りに回動させ、昇降ドライブ６４はチャック６６を昇降させて、FOUPなどの物品を受け渡しする。処理装置３４のステーション６８を、走行レール６０の下方に設け、例えば処理装置３４の上部に距離センサ２８及び、図３，図４と同様の図示しない光電センサを設け、走行レール６０に設けたブラケット１６との高さ距離、及びブラケット３６に設けた反射板のマークを監視する。この場合は、反射板のマークから水平方向の位置ずれを例えばXYの双方向について各２～４ビット程度の分解能で出力する。
　変形例では、距離センサ２８で求めた高さ距離の変動、及び光電センサで求めた走行レール６０の水平方向の位置変動を、図示しない天井走行車システムのコントローラへ送信し、コントローラは走行レール６０の高さ変動等を、各天井走行車６１に通信する。これによって昇降ドライブ６４での昇降距離を補正し、搬送方向での停止位置を補正し、かつラテラルドライブ６２で水平面内で搬送方向に直角な方向での移載位置を補正する。
　実施例では以下の効果が得られる。
(1)　ベルト支持体１０の高さ変動を補正できる。このため積雪あるいは建屋の経年変化、地震などにより、ベルト支持体１０の高さ距離が変動しても影響を小さくできる。
(2)　高さ補正はカウンタ５２を用いて少しずつ行うので、過補正を行うことがない。
(3)　積雪あるいは建屋の経年変動、地震などにより、ベルト支持体１０の水平面内位置が走行方向に変動すると、キャリアの受け渡し前に検出して、キャリッジ２２あるいは天井走行車６１の走行量を補正できる。なお積雪により建屋の天井が不均等に沈下すると、天井のたわみによりベルト支持体１０の位置が水平方向に変動することがある。
(4)　ベルト支持体１０が搬送方向と水平面内で直角な方向に位置ずれすると、走行量の補正では対応できない。そこで許容値以上の変動が生じたことを検出すると、キャリアの受け渡しを中止する。
　実施例では距離センサ２８及び光電センサ３８をステーション１９毎に設けたが、一部のステーションのみに設けて、それらの中間のステーションでは、実測した高さ距離の変動を補間するように、アーム２０の昇降距離を補正しても良い。また光電センサ３８を設けない中間のステーションでは、例えば左右一方のステーションで水平面内の位置ずれを検出すると、移載を中止するようにしても良い。極端な場合、距離センサ２８及び光電センサ３８をステーション１９以外の複数の位置に配置して、各ステーション１９での高さ距離の補正量及び水平面内位置の変動量を推定しても良い。さらに光電センサ３８等で搬送方向と水平面内で直角な方向での位置を測定でき、かつアーム２０をベルト１２の搬送方向と水平面内で直角な方向にも進退できる場合、水平面内で搬送方向と直角な方向の位置も補正できる。
２　ベルト搬送システム　　４　天井　　５　搬送システム本体
６　取り付け具　　８　吊りボルト　　１０　ベルト支持体
１１　プーリ　　１２　ベルト　　１４　クレードル
１６，３６　ブラケット　　１８　キャリア　　１９　ステーション
２０　アーム　　２２　キャリッジ　　２４　レール　　２６　支柱
２８　距離センサ　　３０　クレードル　　３２　アーム
３４　処理装置　　３７　反射板　　３８　光電センサ
３８ａ　発光体　　３８ｂ　受光体アレイ　　５０　インターフェース
５２　アップダウンカウンタ　　５４　高さ制御部　　５６　警報部
６０　走行レール　　６１　天井走行車　　６２　ラテラルドライブ
６３　θドライブ　　６４　昇降ドライブ　　６６　チャック
６８　ステーション　

Claims (6)

  1. 天井に支持された搬送システム本体と地上側のステーションとの間で、昇降動作を行う移載装置を介して物品を受け渡しするようにしたシステムであって、
    　前記ステーションを基準とする前記搬送システム本体の高さ距離を測定する距離計と、
    　前記距離計で測定した高さ距離の変動を補正するように、前記移載装置の昇降量を補正するための補正手段とを設けたことを特徴とする、搬送システム。
  2. 前記移載装置は、前記搬送システムでの搬送方向に沿って水平面内で走行自在であり、
    　かつ、前記ステーションを基準とする、前記搬送システム本体の搬送方向に沿った水平面内位置を検出するセンサと、
    　前記センサで検出した水平面内位置の変動を補正するように、前記移載装置の前記搬送方向に沿った走行量を補正するための第２の補正手段、とをさらに設けたことを特徴とする、請求項１の搬送システム。
  3. 水平面内で前記搬送方向に直角な方向に、搬送システム本体の位置が許容値以上変動したことを検出するセンサと、搬送システム本体の位置が許容値以上変動した場合に、前記移載装置での物品の受け渡しを禁止するための手段、とをさらに設けたことを特徴とする、請求項２の搬送システム。
  4. 天井に支持された搬送システム本体と地上側のステーションとの間で、昇降動作を行う移載装置を介して物品を受け渡しするシステムでの搬送システム本体の高さ補正を行うために、
    　前記ステーションと前記搬送システム本体との間の高さ距離を距離計で測定し、
    　前記距離計で求めた高さ距離の変動に応じて、前記移載装置の昇降量を補正手段で補正することを特徴とする、搬送システムの高さ補正方法。
  5. 前記移載装置は、前記搬送システムでの搬送方向に沿って水平面内で走行自在であり、
    　前記ステーションを基準とする、前記搬送システム本体の搬送方向に沿った水平面内位置をセンサで検出すると共に、
    　前記センサで検出した水平面内位置の変動を補正するように、第２の補正手段により、前記移載装置の前記搬送方向に沿った走行量を補正することを特徴とする、請求項４の搬送システムの高さ補正方法。
  6. 水平面内で前記搬送方向に直角な方向に、搬送システム本体の位置が許容値以上変動したことを検出した場合に、前記移載装置での物品の受け渡しを禁止することを特徴とする、請求項５の搬送システムの高さ補正方法。
    　
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