KR20220145031A - 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법 - Google Patents

반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20220145031A
KR20220145031A KR1020210051622A KR20210051622A KR20220145031A KR 20220145031 A KR20220145031 A KR 20220145031A KR 1020210051622 A KR1020210051622 A KR 1020210051622A KR 20210051622 A KR20210051622 A KR 20210051622A KR 20220145031 A KR20220145031 A KR 20220145031A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
value
teaching
transport
ports
loading
Prior art date
Application number
KR1020210051622A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102470517B1 (ko
Inventor
지근희
김현겸
신현우
김승현
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020210051622A priority Critical patent/KR102470517B1/ko
Publication of KR20220145031A publication Critical patent/KR20220145031A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102470517B1 publication Critical patent/KR102470517B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C17/00—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports
    • B66C17/06—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports specially adapted for particular purposes, e.g. in foundries, forges; combined with auxiliary apparatus serving particular purposes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)

Abstract

본 발명은 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법이 개시된다. 본 발명에 따른 반송 시스템은, 생산 라인에 구축되는 반송 시스템의 레일을 주행하여 반송물을 이적재하기 하기 위한 다수의 포트(port)에 대한 위치와 관련되는 각각의 교시값을 저장하며, 다수의 포트에 각각 반송물 이적재시 자신의 조립 편차값과 저장한 교시값을 근거로 이적재 동작을 각각 수행하는 다수의 반송차; 및 다수의 반송차에 대한 제품의 조립 편차를 각각 측정하여 얻은 조립 편차값을 다수의 반송차에 각각 제공하는 편차측정장치를 포함한다.

Description

반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법{Transport System and Transport Vehicle Teaching Method Thereof, Transport Vehicle, and Driving Method Thereof}
본 발명은 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 가령 제품 제조 공장에서 출시되는 반송차마다의 서로 다른 조립 공차를 고려하여 다수의 포트에서 반송물의 이적재가 이루어지도록 하되, 다수의 포트에 대한 교시(teaching) 데이터에 조립 공차를 반영해 이적재가 이루어지도록 하는 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법에 관한 것이다.
천장 반송 시스템(Overhead Hoist Transport System)은 반송(차) 시스템 중 하나이며, 이송할 대상물이 많은 대형병원, 반도체, LCD, OLED, 태양광 패널, 생산공장 등에 설치되며, 대상물을 운반하는 반송차(혹은 OHT(Overhead Hoist Transfer), 반송대차, 반송차량, 천장 반송차, 이송차량)와 반송차의 안내를 위한 레일 등을 포함한다. 천장 반송 시스템의 경우 반송차 즉 OHT는 천장에 설치된 레일을 따라 주행한다. 반송차는 반송 명령을 지령하는 반송 콘트롤러(예: OCS(OHT Control System))에 의해서 통합 제어 및 관리된다. 다시 말해, 반송차 시스템에서 전체 반송차를 제어하는 콘트롤러(OCS)는 다수의 반송차에 반송 지령을 내린다. 지령의 방법은 무선 통신을 통한 지령이며, 각 반송차에 이동시키고자 하는 목적지까지의 전체 혹은 일부의 경로 정보를 전달하게 된다.
천장 레일에 매달려 반송물을 나르며 이적재가 가능한 운송 차량을 반송차(OHT)라고 하며 화물을 이적재하는 곳을 포트(Port)하고 한다. OHT를 사용하여 반송물을 나르는 현장은 특성상 차량의 수가 많고 포트의 수도 많다. 이런 상황에서 OHT는 포트에 화물을 정확한 위치에 내려놓고 정확한 위치에서 들고 가기 위해 포트마다 해당 위치를 교시(teaching)해야 한다.
그런데, 차량마다 조립 편차가 다르다 보니 모든 OHT가 모든 포트에서 교시 작업을 해야 하는 매우 많은 투입 공수가 필요하다. 예를 들어 OHT가 1000대이고 포트가 10,000개 일 때 1,000 ㅧ 10,000 = 10,000,000번의 교수 작업을 해야 한다.
또한, 차량의 제작 공차를 확인하기 위해 기준 포트를 만들어 놓고 그 기준포트에서 교시를 하며 값을 사람이 측정하여 차량 즉 반송차마다 비교하고 기록하는 데 사람이 측정시 오차가 발생하는 문제가 있다.
나아가, 현장에는 포트의 종류가 다양하므로 기준 포트도 종류별로 다양하게 만들어야 하며, 호이스트는 사용하면서 늘어나는데 늘어나면 교시값도 변하여 운영자가 개입하여 다시 교시해야 하는 번거로움이 발생한다.
한국등록특허공보 제10-1436607호(2014.08.26)
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 가령 제품 제조 공장에서 출시되는 반송차마다의 서로 다른 조립 공차를 고려하여 다수의 포트에서 반송물의 이적재가 이루어지도록 하되, 다수의 포트에 대한 교시 데이터에 조립 공차를 반영해 이적재가 이루어지도록 하는 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 생산 라인에 구축되는 반송 시스템의 레일을 주행하여 반송물을 이적재하기 하기 위한 다수의 포트(port)에 대한 위치와 관련되는 각각의 교시(teaching)값을 저장하며, 상기 다수의 포트에 각각 반송물 이적재시 자신의 조립 편차값과 상기 저장한 교시값을 근거로 이적재 동작을 각각 수행하는 다수의 반송차; 및 상기 다수의 반송차에 대한 제품의 조립 편차를 각각 측정하여 얻은 조립 편차값을 상기 다수의 반송차에 각각 제공하는 편차측정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템이 제공될 수 있다.
상기 다수의 반송차 중 하나의 반송차는, 기준 반송차로서 동작하여 상기 다수의 포트로 각각 이동해 상기 교시값을 취득하며, 상기 취득한 교시값을 나머지의 반송차로 제공될 수 있다.
상기 기준 반송차는 상기 조립 편차값이 기준값 이하로 측정되어 양호 판정되는 반송차를 사용할 수 있다.
상기 다수의 반송차는 상기 교시값으로서 3차원 공간상의 X, Y, Z축 및 각도(θ)를 방정식으로 생성하여 저장하며, 상기 조립 편차값으로서 상수값을 저장하여 이용할 수 있다.
상기 편차측정장치는, 상기 다수의 포트 중 하나를 기준 포트로 하여 상기 기준 포트를 Z축으로 하는 X축 및 Y축 방향에 각각 구비되는 플레이트(plate); 및 상기 기준 포트의 상측에서 상기 기준 포트로 하향 이동하며 상기 플레이트와의 거리 및 각도를 측정해 얻은 측정 데이터를 편차측정 대상인 반송차로 제공하여 상기 조립 편차값을 각각 계산하도록 하는 구동장치를 포함할 수 있다.
상기 다수의 반송차는 상기 다수의 포트로 상기 반송물을 이적재할 때 벨트의 연신 상태를 판단하고, 판단 결과의 학습을 통해 상기 이적재 동작을 수행할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 생산 라인에 구축되는 반송 시스템의 레일을 주행하며 반송물을 이적재하기 하기 위한 다수의 포트에 대한 위치와 관련되는 교시값을 저장하는 저장부; 및 상기 다수의 포트에 각각 반송물 이적재시 자신의 조립 편차값과 상기 저장한 교시값을 근거로 이적재 동작의 수행을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템을 위한 반송차가 제공될 수 있다.
상기 제어부는, 상기 반송차가 기준 반송차로서 동작하는 경우 상기 다수의 포트로 각각 이동해 상기 교시값을 취득하며, 상기 취득한 교시값을 나머지의 반송차로 제공될 수 있다.
상기 제어부는, 상기 교시값으로서 3차원 공간상의 X, Y, Z축 및 각도(θ)를 방정식으로 생성하여 저장하며, 상기 조립 편차값으로서 상수값을 저장하여 이용할 수 있다.
한편, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 생산 라인에 구축되는 반송 시스템의 레일을 주행하여 반송물을 이적재하기 하기 위한 다수의 포트에 대한 위치와 관련되는 교시값을 다수의 반송차가 각각 저장하며, 상기 다수의 포트에 각각 반송물 이적재시 자신의 조립 편차값과 상기 저장한 교시값을 근거로 이적재 동작을 각각 수행하는 단계; 및 편차측정장치가, 상기 다수의 반송차에 대한 제품의 조립 편차를 각각 측정하여 얻은 조립 편차값을 상기 다수의 반송차에 각각 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법이 제공될 수 있다.
상기 다수의 반송차 중 하나의 반송차가 기준 반송차로서 동작하여 상기 다수의 포트로 각각 이동해 상기 교시값을 취득하는 단계; 및 상기 취득한 교시값을 나머지의 반송차로 제공되도록 하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 교시값을 취득하는 단계는, 상기 조립 편차값이 기준값 이하로 측정되어 양호 판정될 때 상기 기준 반송차로서 동작할 수 있다.
상기 수행하는 단계는, 상기 교시값으로서 3차원 공간상의 X, Y, Z축 및 각도(θ)를 방정식으로 생성하여 저장하며, 상기 조립 편차값으로서 상수값을 저장하여 이용할 수 있다.
상기 수행하는 단계는, 상기 다수의 포트로 상기 반송물을 이적재할 때 벨트의 연신 상태를 판단하고, 판단 결과의 학습을 통해 상기 이적재 동작을 수행할 수 있다.
한편, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 생산 라인에 구축되는 반송 시스템의 레일을 주행하여 반송물을 이적재하기 하기 위한 다수의 포트에 대한 위치와 관련되는 교시값을 저장하는 단계; 및 상기 다수의 포트에 각각 반송물 이적재시 자신의 조립 편차값과 상기 저장한 교시값을 근거로 이적재 동작을 각각 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템을 위한 반송차의 구동방법이 제공될 수 있다.
기준 반송차로서 동작하는 경우 상기 다수의 포트로 각각 이동해 상기 교시값을 취득하는 단계; 및 상기 취득한 교시값을 나머지의 반송차로 제공되도록 하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 수행하는 단계는, 상기 교시값으로서 3차원 공간상의 X, Y, Z축 및 각도(θ)를 방정식으로 생성하여 저장하며, 상기 조립 편차값으로서 상수값을 저장하여 이용할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면 반송 시스템의 반송차들에 교시 동작을 수행할 때 교시 시간을 획기적으로 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에서 반송차(혹은 OHT 차량)는 축별 특성 방정식의 상수만 저장하면 되므로 관리 데이터를 최소화할 수 있다.
나아가, 본 발명의 실시예에서는 레이저 측정 장치를 사용하므로 사람이 측정할 필요가 없으며 무선으로 OHT 제어기로 전송하므로 측정 시간 단축 및 측정 오류를 차단할 수 있다.
뿐만 아니라 Z축 이동은 호이스트 벨트를 사용하는데 벨트는 특성상 사용하다 보면 늘어남에 따라 교시값이 변하므로, 사용 중에 따른 벨트 신축을 자동으로 보정할 수 있다.
이외에도 본 발명의 실시예에 따르면 여러 종류(예: 다양한 위치)의 포트에 대한 보정값을 각각 가지고 있을 필요가 없으며, 또한 여러 개의 기준 포트가 필요 없고 기준 X, Y 플레이트(plate)와 1개의 포트만 필요할 수 있어 교시 과정이 간단해질 수 있다.
도 1 및 도 2는 반송차 교시를 위한 반송 시스템을 나타내는 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 기준차 및 일반차의 x축 보정 상수 계산 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 일반차의 y축 보정 상수 계산 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 기준차 및 일반차의 θ축 보정 상수 계산 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 기준차 및 일반차 z축 교시값 보정 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 1의 반송 시스템을 위한 반송차의 세부구조를 예시한 블록다이어그램이다.
도 8은 도 1의 반송 시스템을 위한 반송차의 구동과정을 나타내는 흐름도이다.
본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.
본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시예들을 도면에 예시하고 본 명세서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채, 제1구성요소는 제2구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2구성요소는 제1구성요소로도 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되거나, 층이 다른 층 또는 기판과 결합 또는 접착된다고 언급되는 경우에, 그것은 다른 층 또는 기판상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 층이 개재될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 의미한다.
상단, 하단, 상면, 하면, 전면, 후면, 또는 상부, 하부 등의 용어는 구성요소에 있어 상대적인 위치를 구별하기 위해 사용되는 것이다. 예를 들어, 편의상 도면상의 위쪽을 상부, 도면상의 아래쪽을 하부로 명명하는 경우, 실제에 있어서는 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 상부는 하부로 명명될 수 있고, 하부는 상부로 명명될 수 있다. 또한, 도면의 구성요소는 반드시 축척에 따라 그려진 것은 아니고, 예컨대, 본 발명의 이해를 돕기 위해 도면의 일부 구성요소의 크기는 다른 구성요소에 비해 과장될 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반송 시스템을 나타내는 도면이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반송 시스템(90)은 다수의 반송차(100), 편차측정장치(110), 합류 콘트롤러 및 반송차 제어기의 일부 또는 전부를 포함한다.
여기서, "일부 또는 전부를 포함한다"는 것은 합류 콘트롤러와 같은 일부 구성요소가 생략되어 반송 시스템(90)이 구성되거나, 합류 콘트롤러와 같은 일부 구성요소가 반송차 제어기와 같은 다른 구성요소에 통합되어 구성될 수 있는 것 등을 의미하는 것으로서, 발명의 충분한 이해를 돕기 위하여 전부 포함하는 것으로 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 반송 시스템(90)을 구성하는 레일은 가령 반도체 생산 라인과 같은 곳의 천장에 설치될 수 있다. 물론 본 발명의 실시예에서는 레일에 특별히 한정하지는 않을 것이며, 레일이 천장에 설치되는 것에 대하여도 특별히 한정하지는 않을 것이다. 다시 말해 레일이 없는 곳에서 가령 생산 라인의 바닥에서 반송차(100)가 자율 주행하는 것도 얼마든지 가능하므로, 본 발명의 실시예에서는 레일에 특별히 한정하지는 않을 것이다. 또는 본 발명의 실시예에서의 레일은 철도 레일 등과 같이 별도의 구조물을 설치하여 구성하는 것이 아니라, 바닥면에 라인이 그어져 있는 도로를 의미하거나, 그 도로의 표면 하부에 설치되어 보이지 않는 도로 등을 모두 포함할 수 있다. 반송차(100)가 운행할 수 있으면 어떠한 형태이어도 무관하다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 반송 시스템(90)은 레일을 따라 주행하는 다수의 반송차(100)가 반송차의 반송 명령에 따라 반송물을 이송하여 적재하기 위한 포트가 구성된다. 물론 이러한 포트는 클린 룸 내에서 각각의 공정을 수행하는 공정 장비의 포트를 의미할 수도 있지만, 그러한 것에 특별히 한정하지는 않을 것이다. 클림 룸 상에는 포토리소그래피 공정을 위한 장비, 또 식각을 위한 장비 등 다양한 장비가 구비될 수 있으며, 각각의 장비에는 가령 반도체 제조를 위한 각 공정을 수행하는 복수의 챔버가 구비될 수 있다. 챔버와 챔버의 사이에는 로봇 암이 구비되어 포트와 같은 로더에 적재되는 반송물을 내부의 챔버로 이송할 수 있다.
무엇보다 본 발명의 실시예에서는 다수의 반송차(100)들이 반송 작업을 본격적으로 수행하기에 앞서 반송 시스템(90)에 구축되는 다수의 포트들에 대한 교시를 수행해야 한다는 것이다. 이를 통해 각 포트에 대한 위치 즉 3차원 공간상에서의 X, Y, Z축상의 위치 정보 등을 취득할 수 있다. 그러나, 이러한 교시 동작에는 많은 시간이 소요된다. 종래에는 다수의 반송차(100)에 대한 조립 공차, 다시 말해 반송차(100)를 제조 공장에서 제조할 때 조립 공정에서 미세한 편차가 발생할 수 있고, 이는 반송 시스템(90)에서 반송차(100)가 이적재 동작을 수행할 때, 이적재의 정확도 등을 떨어뜨리는 문제를 초래할 수 있다.
이러한 점에서, 본 발명의 실시예에 따른 다수의 반송차(100)는 반송 시스템(90)을 구성하는 레일을 주행하기에 앞서 교시 동작을 수행할 수 있으며, 이를 위하여 다수의 반송차(100) 중 한대를 기준 또는 대표 반송차(100)로 지정하여 반송 시스템(90)상의 모든 포트들에 대한 위치정보를 취득하도록 동작할 수 있다. 물론 이러한 동작은 반송차(100)에 지령을 내려 레일을 주행하도록 하는 반송차 제어기 등에서 이루어질 수 있다. 예를 들어, 생산 라인에서 총 1000대가 레일을 운행해야 하고 1만개의 포트가 구비되어 있다고 가정할 때, 기준되는 반송차(100)가 레일을 운행하여 1만개의 포트에 대한 위치정보를 취득할 수 있다. 그리고, 취득한 위치정보는 반송차 제어기로 제공하여, 나머지 9999대의 반송차가 모든 포트들에 대한 3차원 공간상에서의 위치정보를 가질 수 있게 된다. 물론 기준 반송차를 한대가 아니라 복수개로 운영하는 것도 얼마든지 가능하므로, 본 발명의 실시예에서는 어느 하나의 형태에 특별히 한정하지는 않을 것이다.
예를 들어 본 발명의 실시예에 따른 반송 시스템(90)은 도 1 및 도 2에서 볼 수 있는 바와 같이, 생산공장에서 제조되는 다수의 반송차(100)에 대한 조립 공차 또는 조립 편차를 측정하기 위한 편차측정장치(110)를 포함할 수 있다. 따라서, 위의 기준 또는 대표 반송차(100)는 자신의 조립 편차를 먼저 측정한 후에 다른 포트로 이동하면서 해당 포트들에 대한 위치정보를 취득하여 나머지 반송차들이 해당 포트들에 대한 위치 정보를 갖도록 할 수 있다. 통상 3차원 공간상에서 반송차(100)의 위치 이동은 X, Y, Z축 및 각도로 표현될 수 있다. 따라서, 대표 반송차(100)는 이러한 X, Y, Z축 및 각도와 관련되는 위치정보를 취득할 수 있고, 이때 각 축에 대한 위치변동값들은 직선이나 곡선의 방정식으로 표현될 수 있다. 따라서, 다수의 반송차(100)는 다수의 포트들에 대한 위치정보를 방정식의 형태로 데이터를 가질 수 있다. 또는 알고리즘을 포함할 수도 있다. 이에 따라, 다수의 반송차(100)는 조립 편차와 관련하여 상수만을 가지고 있으므로, 해당 포트에서 이적재 동작을 수행할 때, 각 축의 방정식에서 상수를 반영하여 이적재 동작을 수행하게 된다. 이에 따라 보다 정확한 이적재 동작이 이루어진다. 다시 말해 조립 편차에 의해 보정된 위치 보정값은 현상에서 즉시 연산될 수 있지만, 미리 취득된 데이터를 이용하여 각 포트의 보정 데이터로서 저장한 후 이를 이용하는 것도 얼마든지 가능하므로 본 발명의 실시예에서는 어느 하나의 형태에 특별히 한정하지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 편차측정장치(110)는 도 1 및 도 2에서 볼 수 있는 바와 같이, 외형 즉 기구적으로는 Z축상의 기준 포트(220)와, 기준 포트(220)를 Z축으로 하여 X축 및 Y축 방향으로는 각각의 플레이트(200, 210)를 포함한다. Y축 방향의 플레이트(200)는 X축 방향의 플레이트(210)에 비하여 폭이 넓게 형성될 수 있다. 이는 Y축 방향으로 기울기 또는 각도를 측정하기 위해 2개의 센서를 이용하기 위해서이다. 플레이트(200, 210)나 기준 포트(220)는 개념상 본 발명의 실시예에 따른 편차측정장치(110)에 포함될 수 있지만 고정된 플레이트(200, 210)나 기준포트(220)와 구분하여 구동장치만을 편차측정장치(110)라 명명할 수도 있으므로 본 발명의 실시예에서는 어느 하나의 형태에 특별히 한정하지는 않을 것이다.
다수의 반송차(100)는 각각의 제품에 대한 조립 편차 등을 측정하기 위하여 편차측정장치(110)를 일종의 반송물로 취급하여 편차 측정을 수행할 수 있다. 즉 반송차(100)가 화물모양의 측정장치로 이적재를 하는 동안 측정장치가 자동으로 거리 등을 측정하며 측정장치에서 측정한 거리값을 무선으로 해당 반송차(100)로 전송할 수 있다. 이에 따라 해당 반송차(100)는 전송된 데이터를 기반으로 곡선 정합(curve fitting) 동작을 수행하여 방정식을 찾아내며 방정식의 상수값을 데이터베이스 즉 저장부에 저장시킬 수 있다. 다수의 반송차(100)는 자기의 XYZ 및 θ에 대한 방정식의 고유 상수값만을 가지게 되는 것이다.
또한, 다수의 반송차(100)에 대한 교시는 반송차 즉 차량 한대로 하면 하루에 진행할 수 있는 양이 매우 한계가 있으므로 동시에 여러 대로 교시할 수 있으며, 이는 앞서 설명한 대로 도 3a 및 도 3b에서와 같이 기준차 즉 대표 반송차(100)를 이용할 수 있다. 그러므로 모든 OHT 차량 즉 반송차가 기준차가 될 수는 있다. 더 정확하게는 편차가 없는 양호 제품으로 판정되는 적어도 하나의 반송차가 기준차로 지정될 수 있다. 물론 모든 차가 기준 반송차(100)가 될 수 있다는 것은 해당 반송차(100)의 조립 편차를 반영하겠다는 것으로 이해될 수 있을 것이다. 기준차는 실제 이적재 포트에서 교시 작업을 하는 반송차이며, 일반차는 교시를 하지 않고 기준차의 교시값을 보정하여 사용하는 나머지의 반송차를 의미한다. 이에 따라 다양한 기준 포트가 필요 없게 되고, 그 결과 도 2에서와 같이 X,Y축 방향의 기준 플레이트(200, 210)와 Z축 기준 되는 1개의 포트(220)만 필요하게 된다. 또한, 호이스트(Hoist) 벨트의 늘어남 즉 연신은 자기 학습으로 교시값을 보정할 수 있다. 이때 평균값을 이용하는 방식을 활용할 수 있다.
도 1에서 볼 때, 편차측정장치(110)는 센서부(111, 113), 통신부(115), 제어부(117) 및 전원부(119)의 일부 또는 전부를 포함하며, 여기서 "일부 또는 전부를 포함"한다는 것은 앞서서의 의미와 크게 다르지 않다. 센서부(111, 113)는 레이저 변위 센서 및 자이로 센서를 포함하며 이는 편차측정장치(110)가 도 2의 포트(200)로 하향 이동할 때, X축과 Y축 방향으로 구비되어 있는 플레이트와의 거리를 감지하기 위한 것이라 볼 수 있다. 레이저 변위 센서는 광센서를 포함할 수 있다. 발광센서와 수광센서가 세트로 구성될 수 있으며, 발광센서에서 발광된 빛을 수광센서에서 수광하여 그 시간과 속도를 통해 거리를 측정하도록 할 수 있다. 또한, 자이로 센서 등을 현재의 위치를 (0, 0)으로 하는 상대좌표계를 사용할 수 있다. 이외에도 다양한 센서가 사용될 수 있을 것이다. 편차측정장치(110)는 시간(t)의 변화에 따라 센싱되는 데이터를 취득할 수 있으며, 이는 하나의 곡선으로 표시될 수 있다. 물론 편차가 없다면 직선이 될 수도 있겠지만, 편차가 있는 경우 곡선이 될 수 있으며, 따라서 기준값과의 차이를 계산할 수 있다. 따라서 다수의 반송차(100)가 각 포트에서의 기준값과 관련한 연산 프로그램을 가지고 있는 경우 편차값만을 가지고 해당 포트에 관련된 방정식의 연산 프로그램에 편차를 적용하는 경우 보정된 값을 반영한 이적재가 이루어질 수 있는 것이다.
따라서, 다수의 반송차(100)에 대한 조립 공차 즉 편차를 측정하기 위하여 도 2에서와 같은 동작이 이루어질 수 있으며, 따라서 각 반송차(100)는 편차측정장치(110)를 가지고 하향 이동하는 것만으로 편차측정장치(110)에 구비되는 센서들에 의해 센싱 데이터를 스캔할 수 있다. 한번 하향 이동하였다고 리프트 업 됨으로써 일련의 센싱 데이터를 취득하게 되는 것이다. 이는 스캔 동작이라 명명될 수 있다. 그리고 편차측정장치(110)는 해당 스캔된 센싱 데이터를 해당 반송차(100)로 무선 전송할 수 있다. 이를 위하여 제어부(117)는 통신부(115)를 제어할 수 있다. 물론 편차측정장치(110)에서 연산 프로그램을 저장하여 편차값을 산출하여 제공하는 것도 가능하지만, 본 발명의 실시예에서는 해당 반송차(100)에서 동작이 이루어지는 것이 바람직할 수 있다. 도 1에서 볼 때, S1은 x축 변위 측정, S2는 S1과 연동하여 θ측정, S3는 y축 변위 측정, S4는 z축 변위 측정, S5는 자이로 센서로서 X, Y축으로 기울어짐을 각각 측정하는 것을 의미한다. 또한, 전원부(119)는 편차측정장치(110)의 내부 구성요소들로 배터리 전원을 공급한다.
도 3a 및 도 3b는 기준차 및 일반차의 x축 보정 상수 계산 방법을 설명하기 위한 도면으로, 일반차의 X축에 대한 보정 상수 계산 과정을 보여주고 있다.
앞서 언급한 대로 기준차의 높이에 따른 X축 변화량을 그래프에서와 같이 얻을 수 있으며, 따라서 일반차의 높이에 따라 X축 변화량을 차 연산함으로써 그 차이값을 얻을 수 있다. 일반차의 경우에는 다양한 포트에서 반송물의 이적재시 해당 X축의 편차를 반영하여 이적재한다. 예를 들어, <표 1>에서와 같이 데이터가 취득되었을 때 해당 데이터를 이용한 방정식은 <수학식 1>과 같이 표현될 수 있다. 도 3a 및 도 3b에서 일반차의 X축에 대한 보정 상수 계산을 <수학식 1>과 같이 표현될 수 있다.
Figure pat00001
Figure pat00002
Figure pat00003
도 4는 일반차의 y축 보정 상수 계산 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4에서 볼 수 있는 바와 같이 x축과 동일한 방법으로 기준 차와 개별차 즉 일반차의 차이를 측정하고 y에 대한 상수값을 도출한다. 따라서 y축에 대한 방정식을 <수학식 2>와 같이 나타낼 수 있다.
Figure pat00004
Figure pat00005
도 5는 기준차 및 일반차의 θ축 보정 상수 계산 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5에서 볼 때, θ는 도 1에서 볼 때, S1과 S2의 레이저 변위 센서에 의해 측정된다고 볼 수 있다. 다시 말해, 2개의 변위 센서가 도 2에서의 X축상의 플레이트(200)와의 사이에 얼마만큼의 거리를 갖는지를 측정하고, 두 개의 거리값을 이용해 X축상의 플레이트가 이루는 각도를 도 5에서와 계산할 수 있다. 관계식은 <수학식 3>과 같이 표현될 수 있다.
Figure pat00006
(여기서,
Figure pat00007
도 6은 기준차 및 일반차 z축 교시값 보정 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6에서 볼 때, Zo(1)은 1 포트에 대한 기준차(0호기)의 실제 교시값을 나타낸다. δ는 기준차를 포함한 모든 차량의 Z축 방향의 최대 편차를 나타낸다. α는 Zo(1) - δ 위치에서 1 포트 안착면까지 서칭(searching)하여 얻은 값을 나타낸다. Z1(1)은 1 포트에 대한 일반차(1호기)가 학습하여 얻은 이적재 포지션(Zo(1) - δ + α)을 나타낸다.
예를 들어, 차량 즉 반송차(100)의 Z축 학습 방법은, 각각의 포트에 대하여 반송시마다 이적재 포지션을 학습하여 DB 큐(queue)에 저장하고 평균한다(averaging). 물론 회수는 변경 가능하다. 10회차의 측정 결과로 평균할 수 있고, 또는 20회차의 결과로 평균할 수도 있다. 또한 최초 교시값은 기준차 데이터가 되며, 학습 완료 후에는 서칭 동작이 없어지므로 Tact가 단축된다. 양산 중에도 벨트의 신장이나 교체 등으로 z축 값이 변할 경우 학습할 수 있다. <표 2>는 기준차 및 일반차의 z축 교시 값 자가 학습 방법을 설명하기 위한 것을 보여준다.
Figure pat00008
결론적으로 본 발명의 실시예에 따른 다수의 반송차(100)는 본격적인 주행에 앞서 교시 동작을 수행하며 이를 위하여 편차측정장치(110)에서 제공하는 자신의 조립 편차값을 XYZ축 및 각도에 대하여 상수값의 형태로 가질 수 있고, 다수의 반송차(100)는 기준차로서 적어도 하나의 반송차(100)가 다수의 포트에 대한 교시값을 취득하여 이를 서로 공유하며, 이후 모든 반송차(100)는 서로 공유하는 다수의 포트에 대한 교시값과 자신의 조립 편차값을 근거로 반송물의 이적재 동작을 수행함으로써 조립 편차에 따른 각 포트에서의 이적재 동작시 정확도를 높이게 된다.
도 7은 도 1의 반송차의 세부구조를 예시한 블록다이어그램이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 도 1의 반송차(100)는 통신 인터페이스부(700), 제어부(710), 교시처리부(720) 및 저장부(730)의 일부 또는 전부를 포함한다.
여기서, "일부 또는 전부를 포함한다"는 것은 저장부(730)와 같은 일부 구성요소가 생략되어 반송차(100)가 구성되거나, 교시처리부(720)와 같은 일부 구성요소가 제어부(710)와 같은 다른 구성요소에 통합되어 구성될 수 있는 것 등을 의미하는 것으로서, 발명의 충분한 이해를 돕기 위하여 전부 포함하는 것으로 설명한다.
통신 인터페이스부(700)는 도 1의 편차측정장치(110)와 통신을 수행할 수 있다. 해당 통신은 근거리 무선통신에 해당하며 블루투스나 지그비, 와이파이 등의 통신이 이루어질 수 있다. 통신 인터페이스부(700)는 반송차(100)가 편차측정장치(110)를 이용하여 기준 포트에서 제품의 편차 측정을 수행할 때, 앞서 도 1에서 살펴본 바와 같이 각종 센서들에 의해 센싱되는 데이터를 전송할 수 있다.
제어부(710)는 도 7의 통신 인터페이스부(700), 교시처리부(720) 및 저장부(730)의 전반적인 동작을 제어한다. 예를 들어, 통신 인터페이스부(700)를 통해 센싱 데이터가 제공되면 이를 제어부(710)에 제공하여 반송차(100)의 식별정보(예: 장치ID 등)와 함께 구별하여 저장부(730)에 저장시킨 후 교시처리부(720)로 제공되도록 할 수 있다.
또한, 제어부(710)는 임의 반송차(100)가 기준차 즉 대표 반송차(100)로서 동작하여 다수의 포트들에 대한 3차원 공간상의 위치정보 또는 교시값을 취득한 경우에는 각 포트들에 대한 교시값을 다른 반송차(100)들과 공유하기 위하여 반송차 제어기로 전송하기 위해 통신 인터페이스부(700)를 제어할 수 있다.
교시처리부(720)는 반송차(100)의 교시 동작을 수행한다. 예를 들어, 자신의 조립 공정과 관련한 센싱 데이터가 제공되면 기준 데이터와의 비교를 통해 X축, Y축, Z축 및 각도에 대한 편차를 계산할 수 있다. 그리고, 그 편차값을 프로그램 내부의 레지스트리 등에 저장하거나, 저장부(730)에 저장시킬 수 있다.
또한, 교시처리부(720)는 기준차로서 동작하는 경우에는 다수의 포트들에 대한 각 축, 다시 말해 XYZ축 및 각도에 대한 방정식과 위의 편차값에 따라 보정값을 생성하기 위한 동작을 더 수행한다. 예를 들어, 임의 반송차(100)가 a, b, c의 포트로 반송물을 이적재할 때, 각 a, b, c의 포트에 대한 교시값을 앞서 기준차를 통해 취득하여 기저장하고 있으므로, 물론 해당 교시값은 방정식의 형태로 저장할 수 있으며, 따라서, 해당 포트에서 반송물의 이적재시 반송차(100) 자신의 조립 편차를 반영하여 보정된 값으로 이적재가 이루어지도록 한다. 이를 위하여 가령 각도값이 있는 경우 해당 각도를 보정하여 이적재가 이루어지도록 하며, 이의 과정에서 기준 모델 즉 프로그램을 설정하고, 해당 프로그램에 편차값을 입력하여 이에 따라 각도를 조절하여 이적재가 이루어지도록 제어부(710)에 요청할 수 있다. 이의 과정에서 제어부(710)는 벨트를 구동하는 모터 등의 구동부를 제어할 수 있다.
저장부(730)는 편차측정장치(110)에서 제공하는 센싱 데이터를 제어부(710)의 제어하에 저장할 수 있으며, 편차값을 계산하기 위해 기저장된 센싱 데이터는 교시처리부(720)로 제공될 수 있다.
상기한 내용 이외에도 본 발명의 실시예에 따른 반송차(100)는 다양한 동작을 수행할 수 있으며, 기타 자세한 내용은 앞서 충분히 설명하였으므로 그 내용들로 대신하고자 한다.
한편, 본 발명의 다른 실시예로서 제어부(710)는 CPU 및 메모리를 포함할 수 있으며, 원칩화하여 형성될 수 있다. CPU는 제어회로, 연산부(ALU), 명령어해석부 및 레지스트리 등을 포함하며, 메모리는 램을 포함할 수 있다. 제어회로는 제어동작을, 그리고 연산부는 2진비트 정보의 연산동작을, 그리고 명령어해석부는 인터프리터나 컴파일러 등을 포함하여 고급언어를 기계어로, 또 기계어를 고급언어로 변환하는 동작을 수행할 수 있으며, 레지스트리는 소프트웨어적인 데이터 저장에 관여할 수 있다. 상기의 구성에 따라, 가령 반송차(100)의 동작 초기에 교시처리부(720)에 저장되어 있는 프로그램을 복사하여 메모리 즉 램(RAM)에 로딩한 후 이를 실행시킴으로써 데이터 연산 처리 속도를 빠르게 증가시킬 수 있다.
도 8은 도 1의 반송차의 구동과정을 나타내는 흐름도이다.
설명의 편의상 도 8을 도 1과 함께 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반송차(100)는 생산 라인에 구축되는 반송 시스템의 레일을 주행하여 반송물을 이적재하기 위한 다수의 포트에 대한 위치와 관련되는 교시값을 저장한다(S800). 이는 해당 반송차가 기준차로서 동작할 때, 다수의 포트로 이동하려 교시값을 취득할 수 있으며, 이외의 일반차들은 기준차에서 취득한 교시값을 공유한다고 볼 수 있다.
또한, 반송차(100)는 다수의 포트에 각각 반송물의 이적재시 자신의 조립 편차값과 기저장한 교시값을 근거로 이적재 동작을 각각 수행한다(S810). 예를 들어, 다수의 포트로 이동하여 각 포트에 대한 교시값을 취득하는 기준차는 조립 편차가 없다고 가정할 때 해당 기준차의 교시값을 방정식 등의 형태로 데이터 또는 알고리즘을 저장할 수 있다. 그리고, 조립 편차를 그에 적용하여 각각의 반송차(100)의 조립 편차만큼 얼마의 보정을 통해 반송물을 각 포트에 이적재할지를 판단할 수 있다. 이와 같이 각 포트에서 조립 편차만큼 보정하여 이적재 동작을 수행함으로써 종래 조립 편차에 의해 발생하던 이적재의 오류를 바로잡을 수 있을 것이다.
상기한 내용 이외에도 본 발명의 실시예에 따른 반송차(100)는 다양한 동작을 수행할 수 있으며, 기타 자세한 내용은 앞서 충분히 설명하였으므로 그 내용들로 대신하고자 한다.
이상에서는 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.
한편, 본 발명의 실시 예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합하거나 결합하여 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시 예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다. 또한, 그 모든 구성요소들이 각각 하나의 독립적인 하드웨어로 구현될 수 있지만, 각 구성 요소들의 그 일부 또는 전부가 선택적으로 조합되어 하나 또는 복수 개의 하드웨어에서 조합된 일부 또는 전부의 기능을 수행하는 프로그램 모듈을 갖는 컴퓨터 프로그램으로서 구현될 수도 있다. 그 컴퓨터 프로그램을 구성하는 코드들 및 코드 세그먼트들은 본 발명의 기술 분야의 당업자에 의해 용이하게 추론될 수 있을 것이다. 이러한 컴퓨터 프로그램은 컴퓨터가 읽을 수 있는 비일시적 저장매체(non-transitory computer readable media)에 저장되어 컴퓨터에 의하여 읽혀지고 실행됨으로써, 본 발명의 실시 예를 구현할 수 있다.
여기서 비일시적 판독 가능 기록매체란, 레지스터, 캐시(cache), 메모리 등과 같이 짧은 순간 동안 데이터를 저장하는 매체가 아니라, 반영구적으로 데이터를 저장하며, 기기에 의해 판독(reading)이 가능한 매체를 의미한다. 구체적으로, 상술한 프로그램들은 CD, DVD, 하드 디스크, 블루레이 디스크, USB, 메모리 카드, ROM 등과 같은 비일시적 판독가능 기록매체에 저장되어 제공될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
100: 반송차 110: 편차측정장치
200: X축 플레이트 210: Y축 플레이트
220: 기준 포트 700: 통신 인터페이스부
710: 제어부 720: 교시처리부
730: 저장부

Claims (17)

  1. 생산 라인에 구축되는 반송 시스템의 레일을 주행하여 반송물을 이적재하기 하기 위한 다수의 포트(port)에 대한 위치와 관련되는 각각의 교시(teaching)값을 저장하며, 상기 다수의 포트에 각각 반송물 이적재시 자신의 조립 편차값과 상기 저장한 교시값을 근거로 이적재 동작을 각각 수행하는 다수의 반송차; 및
    상기 다수의 반송차에 대한 제품의 조립 편차를 각각 측정하여 얻은 조립 편차값을 상기 다수의 반송차에 각각 제공하는 편차측정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 반송차 중 하나의 반송차는, 기준 반송차로서 동작하여 상기 다수의 포트로 각각 이동해 상기 교시값을 취득하며, 상기 취득한 교시값을 나머지의 반송차로 제공되도록 하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기준 반송차는 상기 조립 편차값이 기준값 이하로 측정되어 양호 판정되는 반송차를 사용하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 반송차는 상기 교시값으로서 3차원 공간상의 X, Y, Z축 및 각도(θ)를 방정식으로 생성하여 저장하며, 상기 조립 편차값으로서 상수값을 저장하여 이용하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 편차측정장치는,
    상기 다수의 포트 중 하나를 기준 포트로 하여 상기 기준 포트를 Z축으로 하는 X축 및 Y축 방향에 각각 구비되는 플레이트(plate); 및
    상기 기준 포트의 상측에서 상기 기준 포트로 하향 이동하며 상기 플레이트와의 거리 및 각도를 측정해 얻은 측정 데이터를 편차측정 대상인 반송차로 제공하여 상기 조립 편차값을 각각 계산하도록 하는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 반송차는 상기 다수의 포트로 상기 반송물을 이적재할 때 벨트의 연신 상태를 판단하고, 판단 결과의 학습을 통해 상기 이적재 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  7. 생산 라인에 구축되는 반송 시스템의 레일을 주행하며 반송물을 이적재하기 하기 위한 다수의 포트에 대한 위치와 관련되는 교시값을 저장하는 저장부; 및
    상기 다수의 포트에 각각 반송물 이적재시 자신의 조립 편차값과 상기 저장한 교시값을 근거로 이적재 동작의 수행을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템을 위한 반송차.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 반송차가 기준 반송차로서 동작하는 경우 상기 다수의 포트로 각각 이동해 상기 교시값을 취득하며, 상기 취득한 교시값을 나머지의 반송차로 제공되도록 하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템을 위한 반송차.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 교시값으로서 3차원 공간상의 X, Y, Z축 및 각도(θ)를 방정식으로 생성하여 저장하며, 상기 조립 편차값으로서 상수값을 저장하여 이용하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템을 위한 반송차.
  10. 생산 라인에 구축되는 반송 시스템의 레일을 주행하여 반송물을 이적재하기 하기 위한 다수의 포트에 대한 위치와 관련되는 교시값을 다수의 반송차가 각각 저장하며, 상기 다수의 포트에 각각 반송물 이적재시 자신의 조립 편차값과 상기 저장한 교시값을 근거로 이적재 동작을 각각 수행하는 단계; 및
    편차측정장치가, 상기 다수의 반송차에 대한 제품의 조립 편차를 각각 측정하여 얻은 조립 편차값을 상기 다수의 반송차에 각각 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 다수의 반송차 중 하나의 반송차가 기준 반송차로서 동작하여 상기 다수의 포트로 각각 이동해 상기 교시값을 취득하는 단계; 및
    상기 취득한 교시값을 나머지의 반송차로 제공되도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 교시값을 취득하는 단계는,
    상기 조립 편차값이 기준값 이하로 측정되어 양호 판정될 때 상기 기준 반송차로서 동작하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 수행하는 단계는,
    상기 교시값으로서 3차원 공간상의 X, Y, Z축 및 각도(θ)를 방정식으로 생성하여 저장하며, 상기 조립 편차값으로서 상수값을 저장하여 이용하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템을 위한 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 수행하는 단계는,
    상기 다수의 포트로 상기 반송물을 이적재할 때 벨트의 연신 상태를 판단하고, 판단 결과의 학습을 통해 상기 이적재 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  15. 생산 라인에 구축되는 반송 시스템의 레일을 주행하여 반송물을 이적재하기 하기 위한 다수의 포트에 대한 위치와 관련되는 교시값을 저장하는 단계; 및
    상기 다수의 포트에 각각 반송물 이적재시 자신의 조립 편차값과 상기 저장한 교시값을 근거로 이적재 동작을 각각 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템을 위한 반송차의 구동방법.
  16. 제15항에 있어서,
    기준 반송차로서 동작하는 경우 상기 다수의 포트로 각각 이동해 상기 교시값을 취득하는 단계; 및
    상기 취득한 교시값을 나머지의 반송차로 제공되도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템을 위한 반송차의 구동방법.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 수행하는 단계는,
    상기 교시값으로서 3차원 공간상의 X, Y, Z축 및 각도(θ)를 방정식으로 생성하여 저장하며, 상기 조립 편차값으로서 상수값을 저장하여 이용하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템을 위한 반송차의 구동방법.
KR1020210051622A 2021-04-21 2021-04-21 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법 KR102470517B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210051622A KR102470517B1 (ko) 2021-04-21 2021-04-21 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210051622A KR102470517B1 (ko) 2021-04-21 2021-04-21 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220145031A true KR20220145031A (ko) 2022-10-28
KR102470517B1 KR102470517B1 (ko) 2022-11-25

Family

ID=83835454

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210051622A KR102470517B1 (ko) 2021-04-21 2021-04-21 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102470517B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117376984A (zh) * 2023-12-08 2024-01-09 华芯(武汉)智能装备有限公司 一种天车调度数据的传输方法及可读存储介质

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09252039A (ja) * 1996-03-14 1997-09-22 Fujitsu Ltd 搬送装置におけるティーチング位置設定方法及びティーチング位置設定装置
JPH1160156A (ja) * 1997-08-13 1999-03-02 Shinko Electric Co Ltd 天井搬送システム及びその位置決め方法
KR20030032882A (ko) * 2001-10-19 2003-04-26 가부시키가이샤 다이후쿠 현수 반송설비와 그 학습장치
JP2005170544A (ja) * 2003-12-08 2005-06-30 Asyst Shinko Inc 位置教示装置及びそれを備えた搬送システム
KR20110036033A (ko) * 2008-07-23 2011-04-06 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비에 있어서의 학습 장치 및 학습 방법
KR101436607B1 (ko) 2007-08-03 2014-09-01 무라타 기카이 가부시키가이샤 반송 시스템 및 해당 반송 시스템에 있어서의 교시 방법

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09252039A (ja) * 1996-03-14 1997-09-22 Fujitsu Ltd 搬送装置におけるティーチング位置設定方法及びティーチング位置設定装置
JPH1160156A (ja) * 1997-08-13 1999-03-02 Shinko Electric Co Ltd 天井搬送システム及びその位置決め方法
KR20030032882A (ko) * 2001-10-19 2003-04-26 가부시키가이샤 다이후쿠 현수 반송설비와 그 학습장치
JP2005170544A (ja) * 2003-12-08 2005-06-30 Asyst Shinko Inc 位置教示装置及びそれを備えた搬送システム
KR101436607B1 (ko) 2007-08-03 2014-09-01 무라타 기카이 가부시키가이샤 반송 시스템 및 해당 반송 시스템에 있어서의 교시 방법
KR20110036033A (ko) * 2008-07-23 2011-04-06 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비에 있어서의 학습 장치 및 학습 방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117376984A (zh) * 2023-12-08 2024-01-09 华芯(武汉)智能装备有限公司 一种天车调度数据的传输方法及可读存储介质
CN117376984B (zh) * 2023-12-08 2024-03-08 华芯(武汉)智能装备有限公司 一种天车调度数据的传输方法及可读存储介质

Also Published As

Publication number Publication date
KR102470517B1 (ko) 2022-11-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4306723B2 (ja) 搬送台車システム
CN107922119B (zh) 货架配置系统、搬运机器人以及货架配置方法
KR100461869B1 (ko) 무인반송 시스템의 제어방법
CA2837775C (en) Method and apparatus for automatically calibrating vehicle parameters
RU2542932C1 (ru) Улучшенный способ и система обработки информации карт для навигации промышленных транспортных средств
JP6025289B2 (ja) 無人搬送車と在庫管理システムの連動システム
JP6141782B2 (ja) 無人搬送車と在庫管理システムの連動システムにおける地図情報更新方法
US11340611B2 (en) Autonomous body system and control method thereof
US7577517B2 (en) Guided vehicle system and teaching method in the guided vehicle system
US20170247190A1 (en) Article Transport Facility
JP2007126254A (ja) 搬送装置
US20160016732A1 (en) Article Storage Facility and Method of Operating Same
KR101358928B1 (ko) 반송차 시스템
CN113960997A (zh) 移动机器人列队行驶系统及其控制方法
KR102470517B1 (ko) 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법
KR20230044306A (ko) 자동 창고
JP2021165897A (ja) 制御装置、移動制御システム、制御方法及びプログラム
US20240077878A1 (en) Transfer robot system and the transfer robot system driving method
JP2001088906A (ja) 無人搬送車システム
JP5372422B2 (ja) 搬送台車用ワーク移載装置
KR20220155516A (ko) 반송 시스템, 반송차 교시장치 및 반송차 교시방법
KR100834887B1 (ko) 무인반송장치의 수평 및 정위치 제어시스템
Lee et al. On the integrated operation concept and development requirements of robotics loading system for increasing logistics efficiency of sub-terminal
KR102341686B1 (ko) 포크리프트에 결합 가능한 랙 높이 측정 장치
JP7528984B2 (ja) 搬送設備

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant