KR960044021A - 기판이송적재방법 및 기판이송적재장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 취출위치에서 취출하여 소정의 이송적재위치로 위치결정하여 이송적재하는 기판이송적재 방법 및 기판이송적재장치에 관한 것으로서, 취출위치(16)의 기판(1)을 이송적재위치(18)로 이송적재할 때, 기판(1)의 일변의 2개소를 비접촉식의 제1 및 제2센서(30a,30b)로 검지하고, 이송적재기구(21)의 핸드(28)에 대한 기판의 일변의 기울기 및 일변과 직교하는 방향의 위치를 포함하는 일변위치정보를 산출하며, 일변위치정보에 기초하여 기판에 대한 핸드의 위치를 제어하며, 핸드에 의해 취출위치에서 기판을 취출하며, 핸드에 의해 취출된 기판의 일변과 직교하는 타변의 1개소를 제2센서(30c)로 검지하고, 이송적재위치에 대한 기판(1)의 타단의 위치를 포함하는 타변위치정보를 산출하며, 타변위치정보에 기초하여 이송적재기구(21)에 의해 기판을 이송적재위치로 위치결정하여 이송적재하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판이송적재방법 및 기판이송적재장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 상기 장치의 일부를 나타내는 사시도.

Claims (23)

  1. 이송적재수단에 의해 직사각형의 기판을 취출위치에서 이송적재위치로 이송적재하는 기판이송적재방법에 있어서, 상기 취출위치에 있는 기판의 한 변의 적어도 2개소를 비접촉으로 검지하고, 상기 검지결과에 따라서 상기 이송적재수단에 대한 상기 한 변의 기울기 및 상기 한 변과 직교하는 방향을 따른 상기 한 변의 위치를 포함하는 한 변 위치정보를 산출하고, 상기 산출된 한 변 위치정보에 기초하여 상기 이송적재수단에 의해 상기 취출위치에서 기판을 취출하여 상기이송적재위치에 위치결정하여 이송적재하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 기판이송적재방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판의 상기 한 변과 직교하는 다른 변을 비접촉으로 검지하고, 상기 검지결과에 따라서 상기 한 변의 연출방향을 따른 상기 다른 변의 위치를 포함하는 다른 변 위치정보를 산출하며, 상기 위치결정하여 이송적재하는 공정은 상기 한 변 위치정보 및 다른 변 위치정보에 기초하여 상기 이송적재수단에 의해 상기 기판을 이송적재위치에 위치결정하여 이송적재하는 것을 특징으로 하는 기판이송적재방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 기판의 한 변을 검지하는 공정은 상기 이송적재수단에 설치된 검출수단을 상기 취출위치에 있는 기판의 상기 한 변에 대해서 상대이동시켜 검지하는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재방법.
  4. 제2항에 있어서, 상기 기판을 이송적재위치에 위치결정하여 이송적재하는 공정은 상기 한 변 위치정보에 기초하여 상기 이송적재수단을 상기 취출위치에 있는 기판에 대해서 소정의 상대위치로 보정하는 공정과, 상기 소정의 상대위치로 보정된 이송적재수단에 의해 상기 취출위치에서 상기 기판을 취출하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송적재방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 기판을 이송적재위치로 위치결정하여 이송적재하는 공적은 상기 이송적재수단에 의해 취출된 기판을 상기 이송적재수단과 기판과의 상대위치를 유지하면서 상기 다른 변 위치정보에 기초하여 상기 이송적재수단에 의해 소정의 기준위치로 위치결정한 후, 상기 이송적재위치로 이송적재하는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재방법.
  6. 이송적재수단에 의해 기판을 취출위치에서 이송적재위치로 이송적재하는 기판이송적재방법에 있어서, 상기 기판의 소정의 측정부위의 위치를 비접촉으로 검지하고, 상기 검지된 측정부위의 위치와 소정의 기준위치와의 사이의 상대위치정보를 산출하며, 상기 상대위치정보에 기초하여 상기 기판을 이송적재위치로 이송적재결정하여 이송적재하는 것을 특징으로 하는 기판이송적재방법.
  7. 이송적재수단에 의해 기판을 취출위치에서 이송적재위치로 이송적재하는 기판이송적재방법에 있어서, 상기 취출위치에서의 기판의 소정의 측정부위의 위치를 비접촉으로 검지하고, 상기 검지된 측정부위의 위치와 소정의 기준위치와의 사이의 상대위치정보를 산출하며, 상기 기판과 이송적재수단과의 상대위치관게를 유지하면서, 상기 이송적재수단에 의해 상기 취출위치에 있는 기판을 상기 검지된 소정부위의 위치정보에 기초하여 이송적재위치에 위치결정하여 이송적재하는 것을 특징으로 하는 기판이송적재방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 검지하는 공정은 소정의 배열방향을 따라 서로 분리되어 설치된 2개의 위치검지수단과 상기 기판의 상기 측정부위를, 상기 2개의 위치검지수단과 상기 측정부위가 서로 겹치도록 상기 배열방향과 교차하는 방향을 따라 상대이동시키는 것에 의해 검지하는 것을 특징으로 하는 기판이송적재방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 검지하는 공정은 직사각형 기판의 한 변을 검지하는 것을 특징으로 하는 기판이송적재방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 검지하는 공정은 직사각형 기판의 일단의 2개의 각부에 설치된 위치결정 마크를 검지하는 것을 특징으로 하는 기판이송적재방법.
  11. 직사각형의 기판을 취출위치에서 이송적재위치로 이송적재하는 기판이송적재장치에 있어서, 상기 취출위치에서 기판을 취출하여 상기 이송적재위치로 이송적재하는 이송적재수단; 상기 취출위치에 있는 기판의 한 변의 적어도 2개소의 위치를 비접촉으로 검지하는 검지수단; 및 상기 검지수단에 의한 검지결과에 따라서 상기이송적재수단에 대한 상기 한 변의 기울기 및 상기 한 변과 직교하는 방향을 따른 상기 한 변의 위치를 포함하는 한 변 위치정보를 산출하고, 상기 산출된 한 변 위치정보에 기초하여 상기 이송적재수단을 제어하고, 상기 취출위치에서 기판을 취출하여 상기 이송적재이치로 위치결정이송적재하는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 기판의 상기 한 변과 직교하는 다른 변의 위치를 비접촉으로 검지하는 제2검지수단과 상기 제어수단은 상기 제2검지수단에 의한 검지결과에 따라서 상기 한 변의 연출방향을 따른 상기 다른 변의 위치를 포함하는 다른 변 위치정보를 산출하고, 상기 한 변 위치정보 및 다른 변 위치정보에 기초하여 상기 이송적재수단을 제어하여 상기 기판을 이송적재위치에 위치결정하여 이송적재하는 주 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 이송적재수단은 상기 취출위치에 있는 기판에 대한 상대위치를 조정할 수 있으며, 또한 상기이송적재위치에 대한 상대위치를 조정할 수 있게 설치되어 상기 기판을 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재를 상기 취출위치에 있는 기판을 지지하는 제1위치와, 상기 지지된 기판을 상기 이송적재위치에 이송적재하는 제2위치와의 사이에서 이동시키는 구동수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 한 변 위치정보에 기초하여 상기 구동수단에 의해 상기 취출위치에서의 상기 기판에 대한 지지부재의 상대위치를 조정하며, 또한 상기 기판을 지지한 상기 지지부재를 상기 다른 변 위치정보에 기초하여 상기 구동수단에 의해 상기 이송적재위치에 대한 상대위치를 조정하는 조정수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 검지수단은 상기 지지부재에 설치되어 상기 지지부재가 상기 제1위치방향으로 이동할 때에 상기 한 변을 검지하는 2개의 센서를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 각 센서는 광학 센서를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  17. 제12항에 있어서, 복수의 기판이 소정의 간격을 두고 적충상태로 수납된 카셋트를 상기 취출위치로 유지하는 카셋트 탑재부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  18. 제11항에 있어서, 상기 이송적재수단은 상기 기판을 지지하는 핸드와, 상기 핸드를 기준평면상을 직선적으로 이동가능하고, 또한 상기 기준평면과 직교하는 기준 샤프트를 따라 승강할 수 있게 지지한 지지수단과, 상기 지지수단을 상기 기판의 한 변과 거의 평행한 이동방향을 따라 이동시키는 이동수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  19. 제18항에 있어서, 복수의 취출위치를 규정한 기판 탑재부, 상기 취출위치는 상기 이동방향을 따라 나란하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  20. 제18항에 있어서, 상기 지지수단은 상기 기준 샤프트에 연결된 제1암과, 상기 핸드와 제1암을 연결한 제2암을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  21. 제18항에 있어서, 상기 이송적재수단은 상기 핸드를 기준 샤프트의 주위에서 회동시키는 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  22. 기판을 취출위치에서 이송적재위치로 이송적재하는 기판이송적재장치에 있어서, 상기 취출위치에서 상기 기판을 취출하여 상기 이송적재위치로 이송적재하는 이송적재수단; 상기 취출위치에 탑재된 기판의 소정의 측정부위의 위치를 비접촉으로 검지하는 검지수단; 상기 검지된 측정부위의 위치와 소정의 기준위와의 사이의 상대위치정보를 산출하며, 상기 상대위치정보에 기초하여 상기 이송적재수단을 제어하며, 상기 기판을 이송적재위치에 위치결정하여 이송적재하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
  23. 기판을 취출위치에서 이송적재위치로 이송적재하는 기판이송적재장치에 있어서, 소정의 간격을 두고 적층된 복수의 직사각형의 기판을 수납한 카세트가 탑재되는 취출위치와, 상기 취출위치에 대해서 소정의 기준축을 따라 나란하게 하며, 취출위치에서 소정거리 떨어져 규정된 이송적재위치를 갖는 본체; 상기 기판을 유지하는 지지부재와, 상기 지지부재를 이동축을 따라 이동할 수 있게 지지한 이동수단과, 상기 이동수단을 통하여 상기 지지부재를 이동시키며, 또한 상기 이동축을 임의의 방향으로 설정하는 구동수단을 가지며 상기 취출위치와 이송적재위치와의 사이에서 상기 본체에 설치되며, 상기 취출위치에 탑재된 카셋트내에서 기판을 취출하여 상기 이송적재위치로 이송적재하는 이송적재수단; 상기 취출위치에 있는 기판의 상기 지지부재에 대한 위치를 검출하는 검출수단; 상기 검출수단에 의해 검출된 상기 기판의 위치에 따라서 상기 구동수단에 의해 상기 이동축의 방향을 변경하고, 상기 지지부재에 의해 상기 취출위치에서 이송적재위치로 기판을 이송적재하는 제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판이송적재장치.
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