TW319751B - - Google Patents

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319751 A7 ___B7 五、發明説明（1 ) (發明之領域） 本發明有關於由取出位置取出基板，而定位移載於規 定之移載位置之基板移載方法以及基板移載裝置。 (先前技術） 以往例如在液晶顯示器之製造過程中，液晶顯示器製 作用之玻璃基板係多層的收容於卡匣內，而以該卡匣移動 於多數之製造單元間。 在各製造單元具備有基板移載裝置，俾從卡匣中1片 1片地取出基板放入於製造單元內。 該基板移載裝置係備有卡匣載置部俾將移動而來之卡 匣配置於規定之取出位置，並藉由移載裝置從位於取出位 置之卡匣內一片一片的取出基板之同時，移載於爲了放入 於製造單元內之規定之移載位置。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 通常，在卡匣之內側壁與收容於卡匣內之基板周緣部 之間，爲了使基板不致擦磨於卡匣內壁地插脫，並考慮移 載時之移載裝置之橫向振動，而適度的設置有間隙。因此 ，收容於卡匣內之基板之位置，因受卡匣之移動於製造單 元間時之振‘動或>傾斜之影響而有發生位置移位之可能。 相對於此，移載裝置係與卡匣內之基板之移位無關， 經常以一定之動作從取出位置單純的將基板移載於移載位 置，因此在取出位置已移位之基板即在保持該移位狀態下 被移載於移載位置，此爲其問題點。 因此，習知基板移載裝置，在配置卡匣之取出位置上 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4 - A7 B7 319751 五、發明説明（2 ) n I - I u n LI I I I I - -- I n T "^-111 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 設置有基板定位裝置。該基板定位裝置，係令各一對定位 板由配置於取出位置之卡匣四方向中心方向移動，令各定 位板頂接於基板周緣部，俾強制地移動支撐於卡匣內之基 板以定位於特定之取出位置。如上所述，藉由使基板定位 於取出位置，即可將基板移載於特定之移載位置* 但是，於習知基板移載裝置，係藉由基板定位裝置以 機械式頂接支撐於卡匣內狀態之基板周緣，因此基板有受 衝擊之作用，致使基板產生微細龜裂或周緣發生毛邊（ chipping)之問題，特別是此種微細龜裂乃在基板厚度1 mm以下時很顯著的發生。 發生於基板之微細龜裂或毛邊將引起附著塵埃，使液 晶顯示裝置之製造過程之良品率降低。更甚者，在製造單 元中實施基板加熱冷卻時，在基板會發生熱應力，而在基 板上留有微細龜裂或毛邊時，在該處發生應力集中而有基 板破損之問題。並且在各製造單元之基板移載裝置之位置 上，如對於同一基板施加反複之衝擊時將導致基板之破損 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 發明之概要 本發明有鑒於上述問題，其目的在於提供一種，在基 板上不會發生微細龜裂或毛邊，可將位於取出位置之基板 定位移載於移載位置的基板移載方法以及基板移載裝置。 爲了達成該目的，本發明之一種基板移載方法，主要 係藉移載機構而將矩形狀基板從取出位置移載至移載位置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5 - A7 —____B7 五、發明説明（3 ) 之基板移載方法中，其特徵爲具有下述步驟： 以非接觸式檢測出位於上述取出位置之基板之一邊之 至少二處，並依上述檢測結果算出，包含上述一邊相對於 移載裝置之傾斜度，以及沿著與上述一邊直交之方向之上 述一邊之位置，的一邊位置資料；及 依上述算出之一邊置資料，並藉藉上述移載裝置將基 板從上述取出位置取出並定位移載於上述移載位置。 又，本發明之基板移載裝置，其特徵爲具有： 移載裝置，俾將基板從取出位置取出並移載於上述移 載位置； 檢測裝置，俾以非接觸式檢測位於上述取出位置之基 板之一邊之至少2處位置：及 控制裝置，俾依上述檢測裝置之檢測結果算出，包含 上述一邊之相對於上述移載裝置之傾斜度以及沿與上述一 邊直交之方向之上述一邊之位置的一邊位置資訊，並依上 述所算出之一邊位置資訊來控制上述移載裝置，據以將基 板從上述取出位置取出並定位，移載於上述移載位置。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 依上述構成之基板移載方法及基板移載裝置時，則可 藉由檢測裝置以非接觸式檢測出位於取出位置之基板之一 邊之至少二個位置’並依該檢測出之結果算出包括’上述 一邊相對於移載裝置之傾斜度以及沿著與上述一邊呈直交 方向之上述一邊之位置’的一邊位置資料。並可依該一邊 位置資料來控制移載裝置之動作’將基板由上述取出位置 取出並定位移載於上述移載位置。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） I.「- I 1— I ϋ --- nfi^ill - - - - -- 1-. -I! i 丁 U3 、T (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 6 - 319751 A7 B7 五、發明説明（4 ) (較佳實施例之詳細說明） 下面參照圖面詳細的說明有關本發明之實施例之基板 移載方法及基板移載裝置。 如圖1及圖2所示，本實施例之基板移載裝置 1 0係具備有本體1 2。在該本體之一端部設有取出台部 1 3，另一端設有移載台部1 4，中央設有凹處1 5。在 取出台部13之上面形成有用於載置收容有多數基板之後 述卡匣2之水平載置面1 3 a。又，移載台部1 4之上面 形成有用於載置由卡匣取出之基板的水平載置面1 4 a。 在凹處15內配置有移載裝置21，俾從卡匣內取出基板 ，移載於載置面14 a上。 如圖2及圖3所示，以移載裝置1 0所移載之基板1 係例如使用於液晶顯示器製造用之玻璃基板，以無鹼矽酸 鹽玻璃形成縱向5 0 Omm，橫向4 0 Omm，厚度 0. 7mm之矩形狀。 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 卡匣2係由天板3 ，底板4，兩側面之多數側板5， 背面之多數背板（未圖示）形成爲箱狀’在其前面形成有 將基板拿出放入之開口部6。在兩側板5之內面’如圖3 所示，沿著上下方向以特定距離（例如1 8mm)離開的 突設有層架7。基板1即藉兩側緣部載置於兩側爲相對向 之層架7而水平地被支撐於卡匣2內。在卡匣2內上下方 向多層的收容有多數之基板1。 又，在各層之兩側側板5之內面8 ’係構成爲靠近層 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 架7之上面部分之對向間隔Li相對於基板之寬度L2，具 有L 1 > L 2之關係，俾使相對於基板1之側緣具特定間隙 以防止出入於卡匣2之基板1之碰接於內面8。例如，基 板1之橫寬4 0 Omm時，側板5之內面8之間隔爲 4 1 〇mm，相對於基板1之兩側緣設±5mm之裕度。 此時卡匣2內之基板1之位置精度爲最大± 5 mm。 又於各層中，兩側之側板5之內面8之對向間隔，係 從靠近層架7之上面部分起愈上方愈擴大，可防止基板1 對於卡匣取出/移入時因該移載裝置之橫向晃動所導致基 板1之接觸於內面8之情形。 另一方面，如圖1及圖2所示，在基板移載裝置1 0 之取出台部1 3之載置面1 3 a上，沿X軸方向界定有多 數例如三個取出位置1 6。各取出位置1 6係由固定於載 置面1 3 a之4個L字狀之定位構件1 7所界定。卡匣2 係將其下部四角隅嵌合於定位構件17而被定位保持於取 出位置1 6。 又，在取出部1 3之側方設置相對於各取出位置1 6 可自動的將卡匣2填充或回收之運送機器人5 2。 移載台部1 4之載置面1 4 a上，在與取出位置1 6 之排列方向，即X軸方向平行地並排界定有3個移載位置 1 8。在載置面1 4 a之各移載位置1 8安裝載置有基板 1之下面四角隅之4個載置構件1 9。在各載置構件1 9 上形成有沿著基板1之四角隅緣部而延伸之略L字狀之基 板移載面2 0。基板1係以定位於特定之移載位置1 8之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） I - - I I I LI !士匕___ I I n 丁 、1' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -8 ** Β7 五、發明説明（6 ) 狀態下被載置於載置構件1 9之移載面2 0上。 又，互相面對之取出位置1 6及移載位置1 8，係界 定成朝Y軸方向（即通過其中心之線爲與X軸成直交之方 向）延伸。又，在各移載位置1 8之側方配置CVD (化 學蒸著裝置），洗淨裝置等處理裝置50俾取入移載於移 載位置18之基板1並予以處理。 設於凹處15內之移載裝置21具備有作爲支撐基板 1之支撐構件機能之手臂2 8。該手臂2 8係如圖1 ，圖 2及圖4所示般構成爲可沿著，在水平面內通過中心點0 之二方向，即X軸方向及在面對之取出位置16與移載位 置18之間以直線延伸之任意移動軸Μ方向而移動之同時 ，可沿著通過中心點0之垂直之Ζ軸方向昇降自如β又， 手臂2 8係以Ζ軸爲中心旋動可能。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 更詳細說明如下，具有移動裝置機能之移動裝置2 1 ’係備有沿著形成在凹處1 5之底壁之溝2 2而在X軸方 向移動自如之驅動部2 3。作爲驅動裝置之驅動部2 3備 有旋轉軸2 5，該旋轉軸係可沿著Ζ軸昇降自如，並以ζ 軸爲中心而可旋轉於0方向。該旋轉軸2 5係以中心點〇 一致。又，驅動部2 3係以本身能以Ζ軸爲中心旋轉自如 地設於凹處1 5。 第1手臂2 4之一端部係連結於旋轉軸2 5上，與旋 轉軸2 5成一體可旋動狀。第2臂2 6之一端係以旋動軸 2 7爲中心可旋動狀地連結於第1手臂2 4之另一端，而 在該第2手臂2 6之另一端上有搭載基板1用之手臂2 8 本紙張尺度適用中國國家楼準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） -9 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 ___;____B7_ 五、發明説明（7 ) 以旋轉軸2 9爲中心連結成可旋動狀。作爲移動裝置機能 之第1及第2手臂24、26構成連桿，第2手臂26係 連動於第1手臂2. 4之旋動而旋一特定角度。手臂2 8係 由水平延伸之薄板形成，基端部連結於旋動軸2 9，前端 部形成左右二股（叉狀）。手臂2 8，係以其中心線c與 通過旋轉軸2 9及中心點◦之延伸方向，亦即移動軸μ方 向成一致狀態被安裝旋轉軸2 9。 手臂2 8，係於驅動部2 3沿著溝部2 2移動時移動 於X軸方向，而當旋轉軸2 5與手臂2 4、2 5同時昇降 時移動於Ζ軸方向》 又，手臂2 8，當藉由旋轉軸2 5使第1及第2手臂 2 4，2 6旋動時，即以其中心線常時C與移動軸Μ保持 一致狀態地沿著移動軸Μ而移動。再者，手臂2 8，當驅 動部2 3以中心點〇爲中心而旋動時，即與第1及第2手 臂2 4、2 6同時以中心點◦爲中心而旋動》 在手臂2 8上設置在非接觸式第1及第2感測器 30a、30b，俾以二處來檢測位於卡匣2之開口部6 側之基板1之一邊1 a之位置。作爲位置檢測裝置及第1 檢測裝置機能之第1及第2感測器30a、30b，係光 學反射式感測器，其感測光之波長係使用具有不需透過透 明玻璃基板1即可檢測之光學結像點之紅外線。第1及第 2感測器30a、30b，係以檢測面爲上面，配置成相 對於手臂2 8之中心線C (通過旋轉軸2 9與中心點〇之 線）呈左右對稱位置上’亦即並排配置在與手臂中心線直 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） I H ϋ - ............... > I- I1^¾^ ——. Τ» 0¾ 、τ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 10 — 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 A7 ______B7_ 五、發明説明（8 ) 交之線上，而且例如以每隔2 0 Omm之間隔Xi配置著 〇 再者如後述，從第1及第2感測器30a、30b起 朝手臂2 8之基部側，例如在離開1 〇 〇mm之距離yj 之位置上設定有基板載置基準線R。當移載基板1時，該 基板1即以其一邊1 a與基板載置基準線一致之狀態下支 撐於手臂2 8。 如圖2所示般，於移載位置1 8之近傍，在本體1 2 上配設有非接觸式第感測器3 0 c ，用於檢測出與基板1 之一邊1 a呈直交之邊lb之一處位置。作爲第2檢測裝 置段機能之第3感測器3 0 c，係屬於光學反射式感測器 ，其感測光之波長係使用不透過透明玻璃製基板1之紅外 線。第3感測器係安裝在於豎設於移載台部1 4之大略呈 L字狀之手臂3 1之先端部，使檢測面朝下狀態的予以配 置。 又，第1乃至第3感測器30a〜30c ，爲了提高 檢測精度起見，以從基板1起之距離約8mm之位置，使 其相對於基板1之檢測感度爲最大般地附設有光學聚光透 鏡（未圖示）。又，該檢測精度被調整爲，由基板1起之 距離爲8mm時，在±0. 2mm以內》 在本體1 2之移載台部1 4之側部，安裝有具有輸入 鍵或顯示器等之操作盤3 2。 如圖5所示，第1〜第3感測器3 0 a〜3 0 c及操 作盤3 2係連結於作爲控制裝置段及調整裝置段機能之控 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210χ297公釐） m- 1 —I— - - ^^1 I - - - nJRI ----^^1 TJ 、T (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -11- 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 319751 Α7 Β7 五、發明説明（9 ) 制部4 1。又，控制部4 1上連結有用於驅動移載裝置 2 1之驅動部2 3之驅動器4 2。 控制部41具有：控制移載裝置21之基本移載動作 之主控制部4 4 ;依據三個感測器3 0 a〜3 0 c之輸出 信號及移載裝置2 1之動作狀態之資訊，而算出出手臂 2 8與基板1之相對位置之計算部4 6 ;及依據所算出位 置來輸出補正信號俾補正移載裝置21之移載動作之補正 部4 8。 下面參照圖6A〜6G，7A〜7C，及圖8說明如 上述構成之基板移載裝置10之基板移載動作。 又，假設運送機器人5 2所運送來之卡匣2，被定位 ，載置於基板移載裝置1 0之取出位置1 6上，而卡匣2 內收容有多層基板1。又，移載裝置2 1之手臂2 8配置 於待機位置》 如圖6 A及圖7A所示，在待機位置上，移載裝置 2 1係，其中心點0在X軸上，且位於通過互相對向之取 出位置16之中心與移載位置18之中心而延伸於Y軸方 向之基準軸YR上。又，手臂2 8係配置於其中心線C與 基準軸RY —致之位置上，手臂2 8之移動軸Μ也與基準 軸Y R —致。 移載基板1時，在控制部4 1之控制下，令移載裝置 2 1動作。 首先，移載裝置2 1令手臂2 8朝Ζ軸方向移動，並 於卡匣2內成爲待移載基板1之下側高度之位置，而且在 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公慶） ------------^— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -12 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（10 ) 第1及第2感測器30a、30b與基板1下面之對向間 隔成爲特定距離（本例中爲8mm)之高度位置上停止。 (步驟1 ) » 接著，如圖6 B及圖7A所示，手臂2 8沿著基準軸 RY方向朝取出位置1 6移動，進入於待移載基板1與其 下側基板1或卡匣2之底板4之間（步驟2)。在手臂 2 8進入待移載基板1之下側之途中，第1及第2感測器 30a、30b將橫過基板1之一邊la之下方，此時分 別檢測出該一邊1 a並輸出檢測出之信號（步驟3 )。 即使手臂2 8移動一特定距離之後，第1及第2感測 器3 0 a、3 0 b之任何一方均未輸出檢測信號時，控制 部4 1將判斷卡匣2內沒有基板1而中止其移載動作》又 ，當僅第1及第2感測器30a、30b中之一方輸出檢 測信號時，控制部4 1即判斷爲基板1有缺損。如此則感 測器3 0 a，3 0 b可兼作爲有無基板之檢測裝置及基板 缺損之異常檢測裝置。在這種情形時將實施特定之處理， 惟其處理方法與本發明沒有直接關連因此省略其說明。 控制部4 1係響應於第1及第2感測器3 0 a、 3 Ob之檢測信號之輸出時序（ti mm ing)，並藉由計算 部4 6。計算出，由待機位置起至第1感測器3 0 a檢測 出基板1之一邊1 a止之手臂2 8之於Y軸方向之移動距 離y2，及由待機位置起至第2感測器3 0 b檢測出一邊 1 a止之手臂2 8之於Y軸方向之移動距離y3。 再者，計算部4 1並依移動距離y2、y3，計算出基 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） „--'批衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本1) 訂 -13 - 319751 A7 B7__ 五、發明説明（11 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 板1之傾斜度，亦即基板中心線相對於基準軸RY之傾斜 度，及基板1之於基準軸RY方向之位置，以之作爲 —邊位置資訊，再依此計算結果計算出，對應於基板1傾 斜度之手臂2 8之移動方向，及爲使基板1之一邊1 a對 合於手臂2 8之基板搭載基準線R所需之手臂2 8之移動 距離（步驟4 )。 在此計算處理中，例如手臂2 8之基準軸RY方向之 移動距離y2爲5 0 Omm時，第1感測器3 0 a輸出檢 測信號，而基準軸RY方向之移動距離73爲5 0 4 mm .時，感測器3 0 b輸出檢測信號時，假設第1及第2 感測a、30b之間隔Χι爲200mm，則基板1 相對準軸RY之傾斜度之角度爲，t a η ( 504-500)/200 > θ 1 . 14 6° 。 經濟部中央標準局員工消費合作社印袈 接著，控制部4 1令手臂2 8回復至待機位置之後， 令移載裝置2 1動作，俾使手臂2 8相對於基板1配置於 特定之相對位置。換言之如圖6 c及圖7 b所示，控制部 4 1令驅動部2 3沿著X軸朝圖中右方向觸媒換算成移動 距離 x2 之 tan0iX (504 + 500)/2 = 10. 04mm，俾使連結第1及第2感測器30a、 3 0 b之線與基板1之一邊1 a平行，同時，令驅動部 2 3與手臂2 4、2 6同時以中心點◦爲中心朝圖中反時 鐘方向旋轉βϊΐΐ. 14 6° 。如此則手臂2 8之移動 軸Μ，及中心線C與基板1之傾斜一致。 接著，控制部4 1計算出手臂2 8朝移動軸Μ方向之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -14 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（12 ) 移動距離y 4。 手臂2 8之基板載置基準線R係與連結第1及第2感 測器3〇a ，30b之線離開距離y〆（本例中爲 100mm)。所以手臂28之移動距離74爲：丫4={ (5〇4 + 5OO)/2}/cos0i+1〇〇 = 6 0 2. 1 (mm)。 控制部4 1依計算結果，補正手臂2 8之移動軸Μ， 及旋動位置之數據，之後，依補正數據控制移載裝置2 1 之動作（步驟5)。換言之·將控制數據補正爲：移載裝 置21之中心點0係位於從待機位置起沿著X軸朝圖中右 方向移動10. 04mm之位置，手臂之移動軸Μ相對於 基準軸RY以反時鐘方向旋轉1.146°之位置，手臂 2 8之朝移動軸Μ方向之移動距離丫4爲6 0 2. 1mm ，以此來控制手臂2 8之動作》 由上述控制，如圖6 D及圖7B所示，手臂2 8被移 動至對應於基板1之取出位置之特定之載置位置後停止於 該載置位置。（步驟6，7)。由此，手臂28之中心線 C係相對於與基板1之一邊1 a直交之邊1 b呈平行。又 ，手臂2 8之基板載置基準線R即與基板1之一邊a排齊 〇 再者，在步驟3中，當依第1及第2感測器30a ， 3 0 b之檢測信號所算出之距離y 2及y 3相同，亦即，待 移載基板1之一邊1 a係處於手臂2 8之中心軸C直交而 延伸之正確位置時，基板1之傾斜度被算出爲0° 。控制 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS } A4規格（210X297公釐） -----------批衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -15 - A7 B7 五、發明説明（13 ) 部4 1即不做手臂2 8之移動方向之補正，將手臂2 8沿 著基準軸Y R移動至特定之載置位置。 再者，在本實施之形態中，令手臂2 8退回至待機位 置後，進於手臂2 8相對於基板1之位置補正動作。惟並 不侷限於此，手臂2 8不退回至待機位置之下實施位置之 補正亦可。 接著，移載裝置2 1令手臂2 8沿Z軸方向上昇特定 距離，俾令手臂2 8支撐基板1並將基板抬高至由卡匣2 之層架7起僅離開特定間隙之高度（步驟8)。 以此狀態下，移載裝置2 1係如圖6 E所示，令手臂 2 8沿著移動軸Μ移動至驅動部2 3上，由卡匣2內取出 支撐於手臂28之基板1 (步驟9)。此時，由於卡匣2 之兩側之側板5之內面8係被形成爲，從靠近層架7之上 面之部份愈向上方愈擴開狀態，所以取出基板1時，如橫 向晃動量在±0. 5mm以內時，可以使基板1不接觸於 側板5地取出也。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 m» - n n n If m I m - III I m f^i T u_3 、T (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 接著如圖6 F及圖7 C所示，移載裝置2 1令手臂臂 24，26及手臂28，與驅動部23同時以中心點0爲 中心反時鐘方向旋轉1 8 0° — ，俾使基板1朝面對 移載位置18之方向（步驟10)。 同時，手臂2 8被移動於Z軸方向，停止於第3感測 器3 0 c與基板1之上面之對向距離成爲特定距離（本例 中爲8mm)之高度位置。（步驟11)。 又，驅動部2 3係與手臂2 8同時沿X軸往左側移動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X Μ?公釐） 319751 at B7 五、發明説明（14 ) 距離X2(步驟12)。 在此狀態下，手臂2 8，其移動軸Μ及中心線C係與 基準軸RY相一致，且位於相對於第3感測器3 0 c手臂 2 8之中心線C離開有特定距離χ3，例如2 1 Omm之 位置。 接著，控制器4 1令手臂2 8沿著X軸方向朝第3感 測器3 0 c移動2 Omm，藉第3感測器3 0 c檢測出與 基板1之一邊1 a成直交之另一邊1 b，（步驟1 3， 14)。在本例中，基板1之兩側緣對於卡匣2之側板內 面之裕度爲± 5mm，所以即使基板1之中心線從手臂 2 8之中心線C偏離最大限度（1 〇mm)時，如果將手 臂2 8移動2 Omm時，第3感測器3 0 c必定能檢測出 基板1之邊1 b。 又，使手臂2 8移動2 Omm之後，第3感測器 3 0 c仍然無法檢測出基板1時，表示基板1在移動中破 損或脫落，此時控制器乃判斷爲發生異常而指令適當之處 理。此事與本發明沒有直接關連，因此省略其說明。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 —^—•^^1 I —^1 ^^1 I _·I. 士Rv ^^1 ^^1 - -- -I.--· ^^1 0¾ 、τ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 控制部4 1藉由其計算機能，計算出第3感測器 3 0 c之輸出檢測信號爲止之手臂2 8之於X軸方向之移 動距離，依此移動距離計算出基板1之中心軸於X軸方向 之相對於手臂2 8之中心線之位置偏離量做爲另一邊位置 資訊。（步驟15)。 即，基板1之中心線與手臂2 8之中心線C相一致時 ’手臂2 8之於X軸方向之移動距離x4應爲2 1 0 — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公楚） -17 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __________B7 五、發明説明（15 ) 2 0 0 = 1 0 (mm)，所以如果手臂28之於X軸方向 之移動距離x4爲例如5 mm而第3感測器3 0 c輸出檢 測信號時，10 — 5 = 5 (mm)，表示基板1於圖7C 中向右偏離5mm。 所以藉由手臂2 8圖7 C中朝左方向移動5mm，即 可以基板1之中心線與基準軸R Y —致。所以，控制部 4 1可依計算結果，令手臂2 8沿著X軸方向朝左移動 5mm ’俾將基板1之X軸方向之位置相對於移載位置 18定位於特定之相對位置。（步驟16)。 接著，手臂2 8被移動於Z軸方向◊將基板丨移動至 相對於移載位置1 8之基板移載面2 0具有特定間隙之高 度位置。（步驟17)。 再如圖6所示，手臂2 8係沿著基準軸RY方向朝移 載位置1 8側移動特定距離，俾對移載位置1 8進行基板 1之基準RY方向位置之定位（步驟18)。此時，手臂 2 8之於基準軸RY方向之移動距離，因由取出位置移動 基板1時，基板1與手臂2 8已經被定位，所以以預先特 定之移動距離就可以。 接著，手臂2 8沿著Z軸下降特定距離，將基板1移 載於移載位置1 8之移載面2 0之後，從基板1之下面離 開。（步驟19)。 之後，移載裝置2 1令手臂2 8乃沿著基準軸RY方 向從移載位置1 8拉出復歸至待機位置。（步驟2 0 )， 接著繼續實施其他基板1之移載時’實施同樣之移載動作 I * . Γ .裝—— I I I 訂 "*外 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公费）_ 18 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（16 ) 。（步驟2 1 )。 依上述構成之基板移載裝置及基板移載方法時，以非 接觸式感測器30a，30b來檢測出基板1之一邊之二 處所，並算出相對於移載裝置2 1之基板1之一邊之傾斜 度及一邊之位置，以之作爲一邊位置資訊》且以非接觸式 感測器3 0 c檢測出與基板1之一邊直交之另一邊之一處 所，算出相對於移載裝置2 1之基板1之另一邊之位置作 爲另一邊位置，當移載基板1時，依據該一邊位置資訊及 另一邊位置資訊來控制移載裝置2 1之動作，如此即可將 基板1正確的定位移載於移載位置1 8 »該移載位置之定 位精度可達±0. 5mm以內之非常高精度。 因此，不實施以往之定位裝置之藉由與基板端部接觸 之機械性的基板之定位，可防止在基板1上發生微龜裂或 毛邊等等》因此，可輕減製造過程中之機械性負荷所導致 基板1之破損，同時在加熱冷卻過程中之熱應力所導致基 板1之破損也不會發生。 又不需要以往之複雜的定位裝置，一方面可以使裝置 之價格低廉，同時也不需定位裝置所實施之定位過程，在 藉由移載裝置2 1而實施移載動作中，算出基板1之位置 ，而定位移載於移載位置1 8，因此可高速的實施移載動 作。 而且欲移載不同尺寸之基板1時，以往乃需要更換定 位裝置，惟依本實施例時，依基板1之尺寸而變更控制部 4 1對移載裝置2 1之控制，即可容易對應。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） —•I— I— n I n 1^1 u I ^11 In I n T --a (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ 19 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 _B7_五、發明説明（17) 又，採用ON，OFF式光學反射感測器作爲第1〜 第3感測器，所以使裝置之構成簡單且低廉。而該感測光 採用紅外線時，透明玻璃製之基板1也可以確實的檢測出 來。 再者，於移載裝置2 1之手臂2 8上配設第1及第2 感測器3 0 a ，3 0 b，因此伴隨於實施移載動作之手臂 2 8之移動而同時可實施基板1之位置檢測，可提高動作 速度。又，第1〜第3感測器3 0 a〜3 0 c全部裝設於 移載裝置21之手臂28亦可。 本發明並不侷限於上述實施例，在本發明之範圍內仍 可行種種變形。例如上述實施例中構成爲，基板1之測定 部位乃採用基板之邊1 a，1 b來檢測它。惟不限於此， 使用設於基板1表面之定位標記爲測定部位來檢測出基板 之位置亦可以。 定位標記之一例爲如圖9所示，可使用在基板1之一 端部之兩角部表面上分別形成之十字形狀之標記5 4。該 標記5 4乃以使用於液晶顯示器之閘極線之形成材料之鋁 ，鋁合金，鉬钽合金等之不透明膜來形成。該標記5 4係 在液晶顯示器之其他製造過程中亦可用做定位標記。 再者如圖1 0所示，標記5 4也可以採用與上述同樣 材料所形成之矩形狀不透明膜上備有十字形狀之沖去部者 〇 另一方面，將第1〜第3感測器3 0 a〜3 0 c配設 於本體1 2之取出位置1 6，用以檢測出收容於卡匣內之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） —.1 I I I I 裝 I I I ^ n I I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -20 - 經濟部中央襟準局員工消費合作社印装 A7 _ B7 五、發明説明（18 ) 基板1之位置亦可以。此時，將感測器30a〜3〇 c設 成從外部對於收納於卡匣2內之基板1之收容領域可進退 移動自如，同時令感測器3 0 a〜3 0 c依序移動於多層· 的收容於卡匣2內之各基板1之高度位置而逐一檢測基板 1 ，或以對應於各基板1的多層設置之多數組之感測器 3 0 a〜3 0 c而一次檢測出多數之基板1。 如上述將感測器3 0 a〜3 0 c配設於取出位置1 6 時，同時可以檢測出卡匣2內之基板1之X軸及Y軸方向 之位置，同時在移載裝置2 1動作之前就預先檢測出基板 位置而使手臂2 1之移動控制於最適宜。 再者，將第1〜第3感測器3 0 a〜3 0 c配設於取 出位置與移載位置1 8之間，於將基板1從取出位置1 6 移動於移載位置18之途中檢測出基板1之位置亦可。此 時即不受卡匣2內之基板1之位置影響，可藉移載裝置2 1由卡匣取出基板1，取出之基板1即藉第1〜第3感測 器3 0 a〜3 0 c來檢測，算出其位置後定位移載於移載 位置。 又上述實施例係使用三個非接觸式感測器3 0 a〜 3 0 c ，惟使用四個以上時更可提高該檢測精度，可將基 板移載於更正確之位置。 非接觸式之感測器30a ，30b，30c並不侷限 於光學反射式之感測器，使用距離感測器而以基板1之位 置當做座標來檢測亦可。又不限於光學式，例如以超音波 或電磁方式來檢測之非接觸式感測器也可使用。 本紙張尺度逋用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^1· - - - - - 1 -I 1 1- HI m If >0^ ^^1 ^^1 II— 1^1 111 ^^1 XV ，T (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -21 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（19 ) 又，移載裝置2 1係採用將基板1從取出位置1 6祗 沿著Y軸方向移載於移載位置1 8之構成，而取出位置 1 6之基板1相對於移載位置2 1予以定位也可以。此時 在取出位置1 6上，設置檢測出卡匣2內之基板1位置之 非接觸式之感測薺3 0 a〜3 0 c，同時依位於取出位置 1 6之每一卡匣2設置取出位置移動裝置，俾令基板1移 動於X軸，Y軸，Z軸及0方向。然後，藉感測器30a 〜30c檢測卡匣2內之欲移載之基板1，算出該基板1 之位置，而以控制部4 1控制取出位置移動裝置，對移載 裝置將基板1定位於特定之取出基準位置。如此即可直接 藉由移載裝置21將定位於取出位置16之基板1定位移 載於移載位置18。 . 又，移載裝置2 1係構成©將基板1從取出位置1 6 沿著Y軸方向移載至移載位置1 8，同時令移載位置1 8 上之基板移載面2 0相對於移載裝置2 1所移載之基板1 進行定位亦可。 此時用於檢測出基板1之位置之非接觸式感測器 3 0 a〜3 0 c可設於任一位置，同時，在移載位置1 8 上設置將基板移載面2 0移動於X軸，Y軸，Z軸及Θ方 向之移載位置移動裝置。並且以感測器3 0 a〜3 0 c來 檢測出欲移載之基板1並算出該基板1之位置，以控制部 4 1來控制移載位置移動裝置，據以對移載裝置2 1所移 載基板1進行將基板移載面2 0定位移載於特定之移載基 準位置’俾將移載裝置2 1移載而來之基板1定位移載於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------袭------IT------^ ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 319751 A7 B7 五、發明説明（2〇 ) 特定之移載位置1 8 »藉由移載裝置2 1與取出位置移動 裝置之組合，移載裝置2 1與移載位置移動裝置之組合，. 移載裝置21與取出位置移動裝置及移載位置移動裝置之 組合，設計成整體可移動於X軸，Y軸，Z軸及0方向之 構成，可將基板1定位移載於移載位置1 8。 再者，本發明之基板移載裝置係適用於基板1容易發 生微龜裂或毛邊之玻璃製時特別有效，惟將本發明適用於 塑膠製之基板1之移載裝置時，也可得如上述實施例同樣 之作用效果。 圖式之簡單說明 第1圖乃至第8圖係表示有關本發明一實施例之基板 移載裝置。 第1圖表示裝置整體之平面圖。 '第2圖表示上述裝置一部份之斜視圖。 第3圖表示載置於上述裝置之卡匣之一部份斷面圖。 第4圖上述裝置之移載裝置之一部份之概略的平面圖 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〇 第5圖係概略的表示上述裝置整體構成之概略方塊圖 〇 第6圖A〜G係分別的概略的表示上述移載裝置之移 載動作之平面圖。 第7圖A〜C係概略的表示上述移載裝置之手臂之動 作之平面圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨0X297公釐）_23 ^ ^ lL A? B7 五、發明説明（21 ) 第8圖係表示上述動作之移載動作之方塊圖。 第9圖係備有定位表記之基板之一例平面圖。 第1 0圖係備有定位表記之基板之其他例平面圖。 --------I------、訂------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 C 符號說 明 2 卡 匣 1 3 取 出 台 部 1 4 移 載 台 部 1 6 取 出 位 置 1 7 定 位 構 件 1 9 載 置 構 件 2 0 載 置 面 2 4 第 — 手 臂 2 5 旋 轉 軸 2 6 第 二 手 臂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -24 -

Claims (1)

1. ABCD 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 六、申請專利範圍 1 ·—種基板移載方法，係藉移載裝置將矩形狀基板 從取出位置移載至移載位置之基板移載方法，其特徵爲具 有下述步驟： 以非接觸式檢測出位於上述取出位置之基板之一邊之 至少二處，依上述檢測結果算出，包含有，上述一邊相對 於移載裝置之傾斜度，及沿著與上述一邊直交之方向之上 述一邊之位置的一邊位置資訊，及 依上述所算出之一邊位置資訊，藉上述移載裝置將基 板從上述取出位置取出並定位移載於上述移載位置。 2. 如申請專利範圍第1項所述之基板移載方法，其 中另包括下述步驟， 以非接觸式檢測出與上述基板之上述一邊直交之另一 邊，及 依上述檢測出之結果算出包含有沿著上述一邊之延出 方向之上述另一邊之位置的另一邊位置資訊，而且 上述定位移載工程，係依上述一邊位置資訊及另一邊 位置資訊，藉上述移載裝置將上述基板定位、移載於移載 位置者。 3. 如申請專利範圍第1項所述之基板移載方法，其 中上述檢測基板之一邊之工程係包含，令設置於上述移載 裝置之檢測裝置相對於位於上述取出位置之基板之上述一 邊作相對移動而予以檢測之工程。 4. 如申請專利範圍第2項所述之基板移載方法，其 中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） !| 1 1 - - - - - -I n 1^1 I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -、?τ -25 _ 319751 g D8 六、申請專利範圍 令上述基板定位移載於移載位置之工程係包括有，依 據上述一邊位置資料令上述移載裝置對位於上述取出位置 之基板進行特定之相對位置之補正的工程；及藉補正於上 述特定之相對位置之移載裝置而從上述取出位置取出上述 基板之工程。 5.如申請專利範圍第4項所述之基板移載方法，其 中令上述基板定位移載於移載位置之工程係包括，令上述 移載裝置所取出之基板一面保持與上述移載裝置及基板間 之相對位置，一面依據上述另一邊位置資訊，藉上述移載 裝置定位於特定之基準位置之後，移載於上述移載位置之 工程。 6 . —種基板移載方法，係藉移載裝置將基板從取出 位置移載於移載位置之基板移載方法，其特徵爲包括有下 列步驟， 以非接觸式檢測出上述基板之特定之測定部位之位置 ，算出上述所檢測出之測定部位之位置與特定之基準位置 之間之相對位置資料，及 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 依據上述相對位置資訊將上述基板定位移載於移載位 置。 7. —種基板移載方法，係藉移載裝置將基板從取出 位置移載於移載位置之基板移載方法，其特徵爲包括有下 列步驟， 以非接觸式檢測出上述取出位置中之基板之特定之測 定部位之位置，而算出上述所檢測出之測定部位之位置與 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26 - 六、申請專利範圍 特定之基準位置之間之相對位置資訊，及 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一面維持上述基板與移載裝置之相對位置關係，一面 藉上述移載裝置而將位於上述取出位置之基板，依據上述 所撿測出之特定部位之位置資訊，定位移載於移載位置。 8. 如申請專利範圍第7項所述之基板移載方法，其 中上述檢測工程係藉由，令沿著特定排列方向而互相離開 設置之二個位置檢測裝置與上述基板之上述測定部位，沿 著與上述排列方向交叉之方向作相對移動，以使該二個位 置檢測裝置與上述測定部位互相重疊般而實施檢測者。 9. 如申請專利範圍第8項所述之基板移載方法，其 中上述檢測工程係檢測矩形狀基板之一邊。 10. 如申請專利範圍第8項所述之基板移載方法， 其中上述檢測工程係檢測，設於矩形狀基板之一端之二個 角部上之定位標記。 1 1 . 一種基板移載裝置，係將矩形狀基板由取出位 置移載於移載位置之基板移載裝置，其特徵爲包含有， 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 由上述取出位置取出基板並移載於移載位置之移載裝 置；及 以非接觸式檢測出位於上述取出位置之基板之一邊之 至少二個位置的檢測裝置；及 依上述檢測裝置之檢測結果，算出包括上述一邊相對 於上述移載裝置之傾斜度，以及沿著與上述一邊直交之方 向之上述一邊之位置，的一邊位置資訊，並依上述所算出 之一邊位置資訊來控制上述移載裝置，從上述取出位置取 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -27 - ABCD 六出ί讀專移載於上述移載位置之控制裝置。 12.如申請專利範圍第11項所述之基板移載裝置 ，其中另具有以非接觸式檢測出與上述基板之上述一邊呈 直交之另一邊之位置的第2檢測裝置；上述控制裝置係具 有主控制部，俾依2檢測裝置所檢測出之結果算出包括沿 著上述一邊之延出方向之上述另一邊之位置的另一邊位置 資訊，並依據上述一邊位置資訊及另一邊位置資訊來控制 上述移載裝置而將上述基板定位移載於移載位置。 1 3 .如申請專利範圍第1 1項所述之基板移載裝置 ，其中，上述移載裝置係具備有：設置成可調整相對於上 述取出位置之基板之相對位置，且可調整相對於上述移載 位置之相對位置，用於支撐上述基板的支撐構件；以及 令上述支撐構件移動於，支撐位於上述取出位置之基 板之第1位置，與將上述被支撐之基板移載於上述移載位 置之第2位置之間，的驅動裝置者。 14. 如申請專利範圍第13項所述之基板移載裝置 ，其中上述控制裝置係具備有調整裝置，俾依上述一邊位 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 置資訊藉由上述驅動裝置來調整上述支撐構件相對於上述 取出位置上之上述基板之相對位置，同時，依上述另一邊 位置資訊藉由上述驅動裝置來調整支撐上述基板之支撐構 件之相對於上述移載位置之相對位置。 15. 如申請專利範圍第13項所述之基板移載裝置 ，其中上述檢測裝置係備有，設置於上述支撐構件且當上 述支撐構件朝上述第1位置方向移動時檢測出上述一邊的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) η- 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8夂、申請專利範圍 二個感測器者。 1 6 .如申請專利範圍第1 5項所述之基板移載裝置 ，其中上述各感測器係包括光學感測器。 1 7 .如申請專利範圍第1 2項所述之基板移載裝置 ，其中更具有卡匣載置部，俾令以特定間隔疊層狀態收容 有多數基板之卡匣保持於上述取出位置。 1 8.如申請專利範圍第1 1項所述之基板移載裝置 ，其中上述移載裝置係具備有：支撐上述基板之手臂；及 可令上述手臂於基準平面上直線移動，且沿著直交於上述 基準平面之基準軸昇降自如地予以支撐之支撐裝置；以及 令上述支撐裝置沿著與上述基板之一邊略平行之移動方向 移動之移動裝置者。 1 9 .如申請專利範圍第1 8項所述之基板移載裝置 ，其中更包括有，界定多數取出位置之基板載置部，而該 取出位置係沿著上述移動方向而排列者。 2 0 .如申請專利範圍第1 8項所述之基板移載裝置 ，其中上述支撐裝置係具備有，連結於上述基準軸之第1 手臂，以及連結上述手臂及第1臂之第2臂者。 2 1 .如申請專利範圍第1 8項所述之基板移載裝置 ，其中上述移載裝置係具備，以基準軸爲中心而使上述手 臂旋擺動之裝置者。 22.—種基板移載裝置，係由取出位置將基板移載 於移載位置之基板移載裝置，其特徵爲包含有： 由上述取出位置取出上述基板並將基板移載於移載位 -----------k-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29 - A 8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 置之移載裝置；及 以非接觸式檢測出載置於上述取出位置之基板之特定 測定部位之檢測裝置；以及 算出上述所檢測出測定部位之位置與特定基準位置間 之相對位置資訊，並依上述相對位置資訊來控制上述移載 裝置，上述基板定位移載於移載位置的控制裝置者。 2 j 一種基板移載裝置，係由取出位置將基板移載 i 於移載泣+之基板移載裝置，其特徵爲包含有： Mmi 本體，其具備有，收容以特定間隔疊層之多數矩形狀 基板之卡匣所被載置之取出位置，以及相對於上述取出位 置沿著特定之基準軸排列且由取出位置起離開特定距離而 被界定之移載位置；及 在上述取出位置與移載位置之間，設置於上述本體， 上，由載置於上述取出位置之卡匣內取出基板並將基板移 載於移載位置之移載裝置，該移載裝置係備有，保持上述 基板之支撐構件，及令上述支撐構件沿著移動軸移動自如 地予以支撐之移動裝置，以及介由上述移動裝置令上述移 動構件移動之同時，將上述移動軸設定於任意方向之驅動 裝置；及 檢測出相對於在上述取出位置上之基板之上述支撐構 件之位置之檢測裝置；以及 依上述檢測裝置所檢測出之上述基板之位置，藉由上 述驅動裝置來變更上述移動軸之方向，藉由上述支撐構件 將基板由上述取出位置移載於上述移載位置的控制裝置者 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

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   經濟部中央標準局員工消资合作社印裝 -30 - ABCD 319751 六、申請專利範圍 置之移載裝置；及 以非接觸式檢測出載置於上述取出位置之基板之特定 測定部位之檢測裝置；以及 算出上<述所檢測出測定部位之位置與特定基準位置間 之相對位置資訊，並依上述相對位置資訊來控制上述移載 裝置，而將上述基板定位移載於移載位置的控制裝置者。 2 2 · —種基板移載裝置，係由取出位置將基板移載 於移載位置之基板移載裝置，其特徵爲包含有： 本體，其具備有，收容以特定間隔疊層之多數矩形狀 基板之卡匣所被載置之取出位置，以及相對於上述取出位 置沿著特定之基準軸排列且由取出位置起離開特定距離而 被界定之移載位置；及 在上述取出位置與移載位置之間，設置於上述本體， 上，由載置於上述取出位置之卡匣內取出基板並將基板移 載於移載位置之移載裝置，該移載裝置係備有，保持上述 基板之支撐構件，及令上述支撐構件沿著移動軸移動自如 地予以支撐之移動裝置，以及介由上述移動裝置令上述移 動構件移動之同時，將上述移動軸設定於任意方向之驅動 裝置；及 檢測出相對於在上述取出位置上之基板之上述支撐構 件之位置之檢測裝置；以及 依上述撿測裝置所檢測出之上述基板之位置，藉由上 述驅動裝置來變更上述移動軸之方向，藉由上述支撐構件 將基板由上述取出位置移載於上述移載位置的控制裝置者 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -30 - 六、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 In flu UK— m 1^1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部十央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -31 -