JPS6125786A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JPS6125786A
JPS6125786A JP14397884A JP14397884A JPS6125786A JP S6125786 A JPS6125786 A JP S6125786A JP 14397884 A JP14397884 A JP 14397884A JP 14397884 A JP14397884 A JP 14397884A JP S6125786 A JPS6125786 A JP S6125786A
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station
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detection mark
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青柳 克彦
鈴木 悦四
千代田 浄
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、製品や部品等の荷物を自動搬送する装置に係
わり、特に荷物ステーションに対する搬送体の停止位置
を補正する機能を備えた搬送装置の改良に関する。
〔発明の技術的背景とその同題点〕
近年、半導体や電子機器の製進ラインでは、組立工程等
への部品の供給用および各工程間の製品の搬送用として
マニプレータを使用した搬送装置を導入することが検討
されている。この種の装置は、例えば第7図に示す如く
マニプレータ1を搭載した搬送車2を備え、かつ搬送路
上に帯状の誘導マーク3を表示して、この誘導マ〜り3
を搬送車2の底部に設置したII像装置4で撮像するこ
とにより搬送車2の走行位置ずれを検出し、この検出結
果に従って走行位置を修、正しながら搬送車2を自動走
行させる。そして、搬送12を所定の荷物ステーション
5の前で停止させ、この状態でマニプレータ1を予め設
定しである作業手順にしたがって動作させて荷物ステー
ション5と搬送車2との間で荷物6の移載を行なうよう
に構成されている。この様な装置は、生産能率を高め得
ることはもとより、走行中および荷物の移載中に塵等が
ほとんど発生しないので製品の品質向上を図ることがで
き、特に半導体の製造ライン等の微細な処理工程を有す
るラインにおいて極めて有用である。
ところで、この様な搬送装置において荷物6の移載作業
を確実に行なうためには、マニプレータ1の初期位置、
特に作業ハンド7の初期位置を正確に設定することが重
要である。しかし、一般に従来の装置は、走行制御用と
して使用している誘導マーク3をそのまま利用して、停
止時にこのマークの位置を検出して搬送車2の停止位置
を制御することにより上記作業ハンド7の初期位置を制
御するようにしている。このため初期位置を高精度に設
定するためには、誘導マーク3の表示位置を正確に設定
しなければならずその作業に手間を要し、また正確に設
定したとしても運用中にマークが汚れたり剥がれたりす
ると正確な停止位置制御を行なえなくなる欠点があった
。また、たとえ正確な位置設定を行なえたとしても、実
際に作業を行なうものは作業ハンド7であり、この作業
ハンド7と上記停止位置の精度とは一対−に対応しない
ため、作業ハンド7の位置精度には限界があった。
一方、上記作業ハンド7の初期位置を精度良く設定する
ための別の手段として、例えば第8図に示す如く搬送路
上に位置決め用の突起8を設け、この突起8に対し搬送
車2に設置したジヤツキ9を係合させることにより機械
的に位置決めを行なうものがある。しかしながらこの様
な装置は、搬送路に突起8を高精度に設置しなければな
らず、また搬送車2にジヤツキ9を設けなければならな
いことから装置が高価になり、さらには使用中にジヤツ
キ9と突起8との摩擦により塵等が発生し易く、製品の
品質に悪影響を及ぼす欠点があった。
(発明の目的〕 本発明は、作業ハンドの初期位置を簡単な構成で高精度
に設定できるようにし、かつ塵等の発生が少なく安価で
信頼性の高い搬送装置を提供することを目的どする。
(発明の概要) 本発明は、上記目的を達成するために、マニプレータの
作業ハンド又は荷物ステーションおよび搬送体のうちマ
ニプレータが設置されていない側に位置検出マークを設
け、かつ上記マニプレータの作業ハンド又はマニプレー
タの非設置側の荷物ステーションもしくは搬送体のうち
上記位置検出マークが設けられていない側に検出器を設
置し、搬送体の停止時に、上記検出器を上記位置検出マ
ークに対向させた状態で相対移動させることにより検出
器から得られる位置検出信号に基づいて荷物ステーショ
ンに対する搬送体の停止位置ずれ量を求め、この位置ず
れ量を零にすべくマニプレータの動作層を補正するよう
にしたものである。
〔腎明の実施例〕
第1図は本発明の一実施例における搬送装置の要部構成
を示すものである。尚、同図において前記第7図と同一
部分には同一符号を付して説明を行なう。
荷物ステーション5の荷物載置面の端部には位置検出マ
ーク10が表示しである。この位置検出マーク10は、
90”の角度でく字型に折曲された光反射シールからな
る。一方7はマニプレータ(図中省略)1に取着された
作業ハンドであり、この作業ハンド7の一方のチャック
71の下面部には、チャック71の中心線に対し線対称
に一対の光センサ21,22が設置しである。これらの
光センサ21,22は、作業ハンド7を荷物ステーショ
ン5上で荷物載置面に沿って移動させたときに、ステー
ション5の荷物載置面による反射像を受光してその光電
変換信号DI、D2をそれぞれ位置補正回路30へ出力
するものである。この位置補正回路30は、波形整形回
路31と演算回路32からなり、上記光センサ21.2
2から出力された光電変換信号D1.D2をそれぞれ波
形整形回路31で波形整形したのち演算回路32に導き
、この演算回路32で作業ハンド7の正規の初期位置に
対する現在位置のずれ量を算出するとともに、この位置
ずれ量を零にするための位置補正信号ESを発生する。
またマニプレータ駆動制御回路40は、図示しない総合
制御回路から出力されたマニプレータ1の動作量指定信
号FSを上記演算回路32からの位置補正信号ESに従
って補正し、この補正した動作l指定信号GSを7ニブ
レーク1の駆動回路(図示せず)に供給する。
次に以上のように構成された装置の作用を説明する。1
lIl送車2は誘導マーク3に誘導されて走行し、停仕
用の誘導マークを検出すると荷物ステーション5の前に
停止する。このとき搬送車2の停止位置は、上記停止用
の誘導マークに対する搬送車2の位置を検出することに
より、大まかに設定される。
さて、搬送車2が停止すると総合制御回路の指示に従っ
てマニプレータ駆動制御回路40から動作l指定信号が
出力され、これによりマニプレータ2が動作して先ず作
業ハンド7が所定の初期位置に移動する。そしてこの初
期位置から、荷物ステーション5の荷物載置台に沿って
位置検集マーク上を第1図の矢印爪方向へ移動する。つ
まり、これにより光センサ21.22による位置検出マ
ーク10の位置検出走査を行なう。この検出走査により
、光センサ21.22が位置検出マーク10上を通過し
た時点で光センサ21,22からそれぞれ゛H′ルベル
の光電変換信号D1.D2が出力され、これらの光電変
換信号DI、D2は波形整形回路31で波形整形された
のち演算回路32へ供給される。この結果、演算回路3
2では上記各光電変換信号D1.D2の゛′H′°レベ
ルの時間位置から所定の演算を行なって、正規の初期位
置に対する現時点での作業ハンド7の初期位置のずれ凶
を算出する。ここで、この初期位置のずれ量は、作業ハ
ンド7の移動方向Aのずれ成分をΔX、この移動方向A
と直交する方向のずれ成分をΔyとすると、 Δx= (T1+T2)/2−12 Δy−(TI−T2)/2 なる演算式で算出される。但し、りは例えば第2図(a
)に示す如く各光センサ21,22の位置が正規の初期
位置イ、イ′にあ・る場合の位置検出マーク]Oまでの
距離を表わし、またT1.T2は上記正規の初期位[仁
イ′から作業ハンド7を矢印A方向に移動させた時に第
2図(b)に示す如く各光センサ21.22から゛H′
°レベルの光電変換信号が得られるまでの時間を表わし
ている。
従って、作業ハンド7の初期位置が例えば第3図(a)
の口2口′に示すように作業ハンド7の移動方向Aと反
対方向にずれていた場合には、このずれ量は各光センサ
21.22から゛H″レベルの光電変換信号DI、D2
が到来するまでの時間T11.T21より、前記演算式
に従ってΔx= (T11+T21)/2−ffiとし
て算出される。また、作業ハンド7の初期位置が第4図
(a)のハ、へ′に示す如く作業ハンド7の移動方向A
と直交する方向にずれていた場合、このずれlΔyは第
4図(b)に示す″Huレベルの信号が発生されるまで
の時間T12.T22から ΔV= (TI 2−T22)/2 として算出される。
同様に、作業ハンド7の初期位置が第5図<a)の二、
ニーように正規の初期位置イ、イ′に対しA方向および
このへ方向と直交する方向にそれぞれずれていた場合に
は、これらのずれ量ΔX、Δyは第5図(b)に示す各
光電変換信号(” H”レベル)が発生する時間T13
.T23よりΔX−(T13+T23)/2−λ Δy= (T13−723)/2 として算出される。
こうして位置ずれ量ΔX、Δyを算出すると演算回路3
2は、続いてこれらの位置ずれ量ΔX。
Δyを零にするための位置補正信号ESを発生し、この
位置補正信号ESをマニプレータ駆動制御回路40に供
給する。この結果マニプレータ駆動制御回路40からは
、総合制御回路から出力された動作量指定信号FSを上
記位置補正信号ESで補正した補正動作量指定信号GS
が出力され、これにより正規の初期位置に対する作業ハ
ンド7の位置ずれ量は作業ハンド7が荷物6の移載動作
を行なう際に自動的に補正される。
このように本実施例であれば、荷物ステーション5の荷
物載置台に位置検出マーク10を設けるとともに、作業
ハンド7のチャック71に光センサ21,22を設置し
て、この光センサ21,22で上記位置検出マーク10
上を走査したときの光電変換信号Dl、D2から正規の
初期位置に対する現時点での初期位置の位置ずれ量ΔX
、Δyを締出し、この位置ずれ量ΔX、Δyを零にすへ
く移載動作時の作業ハンド7の移動位置を補正するよう
にしたことによって、たとえ搬送車の停止位置が多少ず
れていても、このずれに関係なく作業ハント7の初期位
置を結果的に高精度に設定することができる。すなわち
本実施例では、従来のように停止用の誘導マークを正確
に位Ii[設定する必要がなくなって誘導マーク施設時
の手間が軽減され、また誘導マークの汚れや剥がれ等の
誘導マーりの状態に影響を受けずに常に高精度の位置設
定を行なうことができる。さらに、搬送11f2の停止
位置を設定するために従来のように突起8やジヤツキ9
などの機械的な位置決め手段を用いないので、塵が発生
され難くこれにより半導体の製造ラインのように塵等が
製品の品質に大きな影響を及ぼすラインにも十分に適用
可能となり、適用範囲が広く高品質の製品を生産するこ
とができる。
また、本実施例は、位置検出マーク10とその検出用の
光センサ21.22を設けるだけで実現できるので、従
来に比べて構成が簡単で安価な装置を提供することがで
きる。
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではない。例
えば、上記実施例では荷物ステーション5に位置検出マ
ーク10を設けるとともに作業ハンド7に光センサ21
,22を設置した場合について説明したが、荷物ステー
ション5に光センサ21.22を設置しかつ作業ハンド
7に位置検出マーク10を設けるようにしてもよい。ま
た、前記実施例では搬送車2にマニプレータ1を設置し
た場合について示したが、マニプレータ1を荷物ステー
ション5に設置した場合でも同様に適用することができ
る。また、検出器としては光センサ以外に磁気センサな
どの非接触センサや、第6図に示す如くリミツ]〜スイ
ッチなどの接触センサ51.52を用いてもよい。但し
この場合は、センサーの種類に合わせて位置検出マーク
の材質を変える必要がある。その他、位置検出マークの
種類や形状、位置ずttSの詐出手段、位置ずれ量の補
正1段等に一ついても、本発明の要旨を逸脱しない範囲
C種々変形して実施できる。
(発明の効果) 以上gT述したように本発明は、マニプレータの作業ハ
ンド又は荷物ステーションおよび搬送体のうらマニプレ
ータが設置されていない側に位置検出マークを設け、か
つ上記マニプレータの作業ハンド又はマニプレータの非
設置側の荷物スデーシヨンもしくは搬送体のうち上記位
置検出マークが設けられていない側に検出器を設置し、
搬送体の停止時に、上記検出器を上記位置検出マークに
対向させた状態で相対移動させることにより検出器から
得られる位置検出信号に基づいて荷物ステーションに対
する搬送体の停止位置ずれ量を求め、この位置ずれ量を
零にすべくマニプレータの動作量を補正するようにした
ものである。
したがって本発明によれば、作業ハンドの初期位置を簡
単な構成で高精度に設定することができ、かつ塵等の発
生が少なく安価で信頼性の高い搬送装置を提供すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第5図(a)、(b)は本発明の一実施例に
おける搬送装置を説明するためのもので、第1図は同装
置の要部の構成を示す斜視図および回路ブロック図、第
2図(a)、(b)乃至第5図(a)、(b)は作用説
明に用いるためのもので、各図(a)は光センサの初期
位置と位置検出マークとの位置関係を示す模式図、同(
b)は光センサの光電変換信号を示すタイミング図、第
6図は本発明の他の実施例における搬送装置の当部、構
成図、第7図および第8゛図はそれぞれ従来の異なる搬
送装置を説明するための斜視図および正面図である。 1・・・マニプレータ、2・・・搬送車、3・・・誘導
マーク、4・・・Il像装置、5・・・荷物ステーショ
ン、6・・・荷物、7・・・作業ハンド、10・・・位
置検出マーク、21.22・・・光センサ、30・・・
位置補正回路、40・・・マニプレータ駆動制御回路。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図 第2図 (a)       (b) 第3図 (a)       (b) 第4図 (a)            (b)第5図 (a)       (b) 第6図 jI7  図 第8図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 荷物ステーションと、この荷物ステーションを通る搬送
    路に表示された誘導マークを検出することにより上記搬
    送路上を移動する搬送体と、前記荷物ステーション又は
    搬送体に設置され荷物ステーションおよび搬送体間で荷
    物の移載を行なうマニプレータと、このマニプレータの
    作業ハンド又は前記荷物ステーションおよび搬送体のう
    ちマニプレータが設置されていない側に設けられた位置
    検出マークと、前記マニプレータの作業ハンド又は前記
    マニプレータの非設置側の荷物ステーションもしくは搬
    送体のうち前記位置検出マークが設けられていない側に
    設置された検出器と、この検出器を前記位置検出マーク
    に対向して相対移動させたときに検出器により得られる
    位置検出信号に基づいて前記荷物ステーションに対する
    搬送体の停止位置ずれ量を求めこの位置ずれ量を零にす
    べく前記マニプレータの動作量を補正する停止位置補正
    回路とを具備したことを特徴とする搬送装置。
JP59143978A 1984-07-11 1984-07-11 搬送装置 Expired - Lifetime JPH0614290B2 (ja)

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JPH0614290B2 JPH0614290B2 (ja) 1994-02-23

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