JPH0614290B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH0614290B2 JPH0614290B2 JP59143978A JP14397884A JPH0614290B2 JP H0614290 B2 JPH0614290 B2 JP H0614290B2 JP 59143978 A JP59143978 A JP 59143978A JP 14397884 A JP14397884 A JP 14397884A JP H0614290 B2 JPH0614290 B2 JP H0614290B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- manipulator
- station
- position detection
- luggage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 30
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 16
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、製品や部品等の荷物を自動搬送する装置に係
わり、特に荷物ステーションに対する搬送体の停止位置
を補正する機能を備えた搬送装置の改良に関する。
わり、特に荷物ステーションに対する搬送体の停止位置
を補正する機能を備えた搬送装置の改良に関する。
近年、半導体や電子機器の製造ラインでは、組立工程等
への部品の供給用および各工程間の製品の搬送用として
マニプレータを使用した搬送装置を導入することが検討
されている。この種の装置は、例えば第７図に示す如く
マニプレート１を搭載した搬送車２を備え、かつ搬送路
上に帯状の誘導マーク３を表示して、この誘導マーク３
を搬送車２の底部に設置した撮像装置４で撮像すること
により搬送車２の走行位置ずれを検出し、この検出結果
に従って走行位置を修正しながら搬送車２を自動走行さ
せる。そして、搬送車２を所定の荷物ステーション５の
前で停止させ、この状態でマニプレータ１を予め設定し
てある作業手順にしたがって動作させて荷物ステーショ
ン５と搬送車２との間で荷物６の移載を行なうように構
成されている。この様な装置は、生産能率を高め得るこ
とはもとより、走行中および荷物の移載中に塵等がほと
んど発生しないので製品の品質向上を図ることができ、
特に半導体の製造ライン等の微細な処理工程を有するラ
インにおいて極めて有用である。
への部品の供給用および各工程間の製品の搬送用として
マニプレータを使用した搬送装置を導入することが検討
されている。この種の装置は、例えば第７図に示す如く
マニプレート１を搭載した搬送車２を備え、かつ搬送路
上に帯状の誘導マーク３を表示して、この誘導マーク３
を搬送車２の底部に設置した撮像装置４で撮像すること
により搬送車２の走行位置ずれを検出し、この検出結果
に従って走行位置を修正しながら搬送車２を自動走行さ
せる。そして、搬送車２を所定の荷物ステーション５の
前で停止させ、この状態でマニプレータ１を予め設定し
てある作業手順にしたがって動作させて荷物ステーショ
ン５と搬送車２との間で荷物６の移載を行なうように構
成されている。この様な装置は、生産能率を高め得るこ
とはもとより、走行中および荷物の移載中に塵等がほと
んど発生しないので製品の品質向上を図ることができ、
特に半導体の製造ライン等の微細な処理工程を有するラ
インにおいて極めて有用である。
ところで、この様な搬送装置において荷物６の移載作業
を確実に行なうためには、マニプレータ１の初期位置、
特に作業ハンド７の初期位置を正確に設定することが重
要である。しかし、一般に従来の装置は、走行制御用と
して使用している誘導マーク３をそのまま利用して、停
止時にこのマークの位置を検出して搬送車２の停止位置
を制御することにより上記作業ハンド７の初期位置を制
御するようにしている。このため初期位置を高精度に設
定するためには、誘導マーク３の表示位置を正確に設定
しなければならずその作業に手間を要し、また正確に設
定したとしても運用中にマークが汚れたり剥がれたりす
ると正確な停止位置制御を行なえなくなる欠点があっ
た。また、たとえ正確な位置設定を行なえたとしても、
実際に作業を行なうものは作業ハンド７であり、この作
業ハンド７と上記停止位置の精度とは一対一に対応しな
いため、作業ハンド７の位置精度には限界があった。
を確実に行なうためには、マニプレータ１の初期位置、
特に作業ハンド７の初期位置を正確に設定することが重
要である。しかし、一般に従来の装置は、走行制御用と
して使用している誘導マーク３をそのまま利用して、停
止時にこのマークの位置を検出して搬送車２の停止位置
を制御することにより上記作業ハンド７の初期位置を制
御するようにしている。このため初期位置を高精度に設
定するためには、誘導マーク３の表示位置を正確に設定
しなければならずその作業に手間を要し、また正確に設
定したとしても運用中にマークが汚れたり剥がれたりす
ると正確な停止位置制御を行なえなくなる欠点があっ
た。また、たとえ正確な位置設定を行なえたとしても、
実際に作業を行なうものは作業ハンド７であり、この作
業ハンド７と上記停止位置の精度とは一対一に対応しな
いため、作業ハンド７の位置精度には限界があった。
一方、上記作業ハンド７の初期位置を精度良く設定する
ための別の手段として、例えば第８図に示す如く搬送路
上に位置決め用の突起８を設け、この突起８に対し搬送
車２に設置したジャッキ９を係合させることにより機械
的に位置決めを行なうものがある。しかしながらこの様
な装置は、搬送路に突起８を高精度に設置しなければな
らず、また搬送車２にジャッキ９を設けなければならな
いことから装置が高価になり、さらには使用中にジャッ
キ９と突起８との摩擦により塵等が発生し易く、製品の
品質に悪影響を及ぼす欠点があった。
ための別の手段として、例えば第８図に示す如く搬送路
上に位置決め用の突起８を設け、この突起８に対し搬送
車２に設置したジャッキ９を係合させることにより機械
的に位置決めを行なうものがある。しかしながらこの様
な装置は、搬送路に突起８を高精度に設置しなければな
らず、また搬送車２にジャッキ９を設けなければならな
いことから装置が高価になり、さらには使用中にジャッ
キ９と突起８との摩擦により塵等が発生し易く、製品の
品質に悪影響を及ぼす欠点があった。
本発明は、作業ハンドの初期位置を簡単な構成で高精度
に設定できるようにし、かつ塵等の発生が少なく安価で
信頼性の高い搬送装置を提供することを目的とする。
に設定できるようにし、かつ塵等の発生が少なく安価で
信頼性の高い搬送装置を提供することを目的とする。
本発明は、搬送体が荷物ステーションの近傍に設けられ
た搬送路に沿って表示された誘導マークを検出して搬送
路上を移動し、荷物ステーション又は搬送体に設置され
たマニプレータにより荷物ステーションと搬送体との間
の荷物の移載を行う際に、このマニプレータの作業ハン
ド、又はこのマニプレータが設置されていない荷物ステ
ーション或いは搬送体に設けられた所定角度で交差する
如く直線を配置して形成した位置検出マークに対して所
定間隔をおいて配置された２つの検出器を相対移動さ
せ、このとき各検出器から出力される各位置検出信号の
出力タイミングに基づいて補正回路は作業ハンドの正規
の位置に対する初期位置のずれ量を求め、このずれ量を
零にすべくマニプレータの動作量を補正するものであ
る。
た搬送路に沿って表示された誘導マークを検出して搬送
路上を移動し、荷物ステーション又は搬送体に設置され
たマニプレータにより荷物ステーションと搬送体との間
の荷物の移載を行う際に、このマニプレータの作業ハン
ド、又はこのマニプレータが設置されていない荷物ステ
ーション或いは搬送体に設けられた所定角度で交差する
如く直線を配置して形成した位置検出マークに対して所
定間隔をおいて配置された２つの検出器を相対移動さ
せ、このとき各検出器から出力される各位置検出信号の
出力タイミングに基づいて補正回路は作業ハンドの正規
の位置に対する初期位置のずれ量を求め、このずれ量を
零にすべくマニプレータの動作量を補正するものであ
る。
第１図は本発明の一実施例における搬送装置の要部構成
を示すものである。尚、同図において前記第７図と同一
部分には同一符号を付して説明を行なう。
を示すものである。尚、同図において前記第７図と同一
部分には同一符号を付して説明を行なう。
荷物ステーション５の荷物載置面の端部には位置検出マ
ーク１０が表示してある。この位置検出マーク１０は、
９０°の角度でく字型に折曲された光反射シールからな
る。一方７はマニプレータ（図中省略）１に取着された
作業ハンドであり、この作業ハンド７の一方のチャック
７１の下面部には、チャック７１の中心線に対し線対称
に一対の光センサ２１，２２が設置してある。これらの
光センサ２１，２２は、作業ハンド７を荷物ステーショ
ン５上で荷物載置面に沿って移動させたときに、ステー
ション５の荷物載置面による反射像を受光してその光電
変換信号Ｄ１，Ｄ２をそれぞれ位置補正回路３０へ出力
するものである。この位置補正回路３０は、波形整形回
路３１と演算回路３２からなり、上記光センサ２１，２
２から出力された光電変換信号Ｄ１，Ｄ２をそれぞれ波
形整形回路３１で波形整形したのち演算回路３２に導
き、この演算回路３２で作業ハンド７の正規の初期位置
に対する現在位置のずれ量を産出するとともに、この位
置ずれ量を零にするための位置補正信号ＥＳを発生す
る。またマニプレータ駆動制御回路４０は、図示しない
総合制御回路から出力されたマニプレータ１の動作量指
定信号ＦＳを上記演算回路３２からの位置補正信号ＥＳ
に従って補正し、この補正した動作量指定信号ＧＳをマ
ニプレータ１の駆動回路（図示せず）に供給する。
ーク１０が表示してある。この位置検出マーク１０は、
９０°の角度でく字型に折曲された光反射シールからな
る。一方７はマニプレータ（図中省略）１に取着された
作業ハンドであり、この作業ハンド７の一方のチャック
７１の下面部には、チャック７１の中心線に対し線対称
に一対の光センサ２１，２２が設置してある。これらの
光センサ２１，２２は、作業ハンド７を荷物ステーショ
ン５上で荷物載置面に沿って移動させたときに、ステー
ション５の荷物載置面による反射像を受光してその光電
変換信号Ｄ１，Ｄ２をそれぞれ位置補正回路３０へ出力
するものである。この位置補正回路３０は、波形整形回
路３１と演算回路３２からなり、上記光センサ２１，２
２から出力された光電変換信号Ｄ１，Ｄ２をそれぞれ波
形整形回路３１で波形整形したのち演算回路３２に導
き、この演算回路３２で作業ハンド７の正規の初期位置
に対する現在位置のずれ量を産出するとともに、この位
置ずれ量を零にするための位置補正信号ＥＳを発生す
る。またマニプレータ駆動制御回路４０は、図示しない
総合制御回路から出力されたマニプレータ１の動作量指
定信号ＦＳを上記演算回路３２からの位置補正信号ＥＳ
に従って補正し、この補正した動作量指定信号ＧＳをマ
ニプレータ１の駆動回路（図示せず）に供給する。
次に以上のように構成された装置の作用を説明する。搬
送車２は誘導マーク３に誘導されて走行し、停止用の誘
導マークを検出すると荷物ステーション５の前に停止す
る。このとき搬送車２の停止位置は、上記停止用の誘導
マークに対する搬送車２の位置を検出することにより、
大まかに設定される。
送車２は誘導マーク３に誘導されて走行し、停止用の誘
導マークを検出すると荷物ステーション５の前に停止す
る。このとき搬送車２の停止位置は、上記停止用の誘導
マークに対する搬送車２の位置を検出することにより、
大まかに設定される。
さて、搬送車２が停止すると総合制御回路の指示に従っ
てマニプレータ駆動制御回路４０から動作量指定信号が
出力され、これによりマニプレータ２が動作して先ず作
業ハンド７が所定の初期位置に移動する。そしてこの初
期位置から、荷物ステーション５の荷物載置台に沿って
位置検出マーク上を第１図の矢印Ａ方向へ移動する。つ
まり、これにより光センサ２１，２２による位置検出マ
ーク１０の位置検出走査を行なう。この検出走査によ
り、行センサ２１，２２が位置検出マーク１０上を通過
した時点で光センサ２１，２２からそれぞれ“Ｈ”レベ
ルの光電変換信号Ｄ１，Ｄ２が出力され、これらの光電
変換信号Ｄ１，Ｄ２は波形整形回路３１で波形整形され
たのち演算回路３２へ供給される。この結果、演算回路
３２では上記各光電変換信号Ｄ１，Ｄ２の“Ｈ”レベル
の時間位置から所定の演算を行なって、正規の初期位置
に対する現時点での作業ハンド７の初期位置のずれ量を
算出する。ここで、この初期位置のずれ量は、作業ハン
ド７の移動方向Ａのずれ成分をΔｘ、この移動方向Ａと
直交する方向のずれ成分をΔｙとすると、 Δｘ＝（Ｔ１＋Ｔ２）／２− Δｙ＝（Ｔ１−Ｔ２）／２ なる演算式で算出される。但し、は例えば第２図
（ａ）に示す如く各光センサ２１，２２の位置が正規の
初期位置イ，イ′にある場合の位置検出マーク１０まで
の距離を表わし、またＴ１，Ｔ２は上記正規の初期位置
イ，イ′から作業ハンド７を矢印Ａ方向に移動させた時
に第２図（ｂ）に示す如く各光センサ２１，２２から
“Ｈ”レベルの光電変換信号が得られるまでの時間を表
わしている。
てマニプレータ駆動制御回路４０から動作量指定信号が
出力され、これによりマニプレータ２が動作して先ず作
業ハンド７が所定の初期位置に移動する。そしてこの初
期位置から、荷物ステーション５の荷物載置台に沿って
位置検出マーク上を第１図の矢印Ａ方向へ移動する。つ
まり、これにより光センサ２１，２２による位置検出マ
ーク１０の位置検出走査を行なう。この検出走査によ
り、行センサ２１，２２が位置検出マーク１０上を通過
した時点で光センサ２１，２２からそれぞれ“Ｈ”レベ
ルの光電変換信号Ｄ１，Ｄ２が出力され、これらの光電
変換信号Ｄ１，Ｄ２は波形整形回路３１で波形整形され
たのち演算回路３２へ供給される。この結果、演算回路
３２では上記各光電変換信号Ｄ１，Ｄ２の“Ｈ”レベル
の時間位置から所定の演算を行なって、正規の初期位置
に対する現時点での作業ハンド７の初期位置のずれ量を
算出する。ここで、この初期位置のずれ量は、作業ハン
ド７の移動方向Ａのずれ成分をΔｘ、この移動方向Ａと
直交する方向のずれ成分をΔｙとすると、 Δｘ＝（Ｔ１＋Ｔ２）／２− Δｙ＝（Ｔ１−Ｔ２）／２ なる演算式で算出される。但し、は例えば第２図
（ａ）に示す如く各光センサ２１，２２の位置が正規の
初期位置イ，イ′にある場合の位置検出マーク１０まで
の距離を表わし、またＴ１，Ｔ２は上記正規の初期位置
イ，イ′から作業ハンド７を矢印Ａ方向に移動させた時
に第２図（ｂ）に示す如く各光センサ２１，２２から
“Ｈ”レベルの光電変換信号が得られるまでの時間を表
わしている。
従って、作業ハンド７の初期位置が例えば第３図（ａ）
のロ，ロ′に示すように作業ハンド７の移動方向Ａと反
対方向にずれていた場合には、このずれ量は各光センサ
２１，２２から“Ｈ”レベルの光電変換信号Ｄ１，Ｄ２
が到来するまでの時間Ｔ１１，Ｔ２１より、前記演算式
に従って Δｘ＝（Ｔ１１＋Ｔ２１）／２− として算出される。また、作業ハンド７の初期位置が第
４図（ａ）のハ，ハ′に示す如く作業ハンド７の移動方
向Ａと直交する方向にずれていた場合、このずれ量Δｙ
は第４図（ｂ）に示す“Ｈ”レベルの信号が発生される
までの時間Ｔ１２，Ｔ２２から Δｙ＝（Ｔ１２−Ｔ２２）／２ として算出される。
のロ，ロ′に示すように作業ハンド７の移動方向Ａと反
対方向にずれていた場合には、このずれ量は各光センサ
２１，２２から“Ｈ”レベルの光電変換信号Ｄ１，Ｄ２
が到来するまでの時間Ｔ１１，Ｔ２１より、前記演算式
に従って Δｘ＝（Ｔ１１＋Ｔ２１）／２− として算出される。また、作業ハンド７の初期位置が第
４図（ａ）のハ，ハ′に示す如く作業ハンド７の移動方
向Ａと直交する方向にずれていた場合、このずれ量Δｙ
は第４図（ｂ）に示す“Ｈ”レベルの信号が発生される
までの時間Ｔ１２，Ｔ２２から Δｙ＝（Ｔ１２−Ｔ２２）／２ として算出される。
同様に、作業ハンド７の初期位置が第５図（ａ）にニ，
ニ′ように正規の初期位置イ，イ′に対しＡ方向および
このＡ方向と直交する方向にそれぞれずれていた場合に
は、これらのずれ量Δｘ，Δｙは第５図（ｂ）に示す各
光電変換信号（“Ｈ”レベル）が発生する時間Ｔ１３，
Ｔ２３より Δｘ＝（Ｔ１３＋Ｔ２３）／２− Δｙ＝（Ｔ１３−Ｔ２３）／２ として算出される。
ニ′ように正規の初期位置イ，イ′に対しＡ方向および
このＡ方向と直交する方向にそれぞれずれていた場合に
は、これらのずれ量Δｘ，Δｙは第５図（ｂ）に示す各
光電変換信号（“Ｈ”レベル）が発生する時間Ｔ１３，
Ｔ２３より Δｘ＝（Ｔ１３＋Ｔ２３）／２− Δｙ＝（Ｔ１３−Ｔ２３）／２ として算出される。
こうして位置ずれ量Δｘ，Δｙを算出すると演算回路３
２は、続いてこれらの位置ずれ量Δｘ，Δｙを零にする
ための位置補正信号ＥＳを発生し、この位置補正信号Ｅ
Ｓをマニプレータ駆動制御回路４０に供給する。この結
果マニプレータ駆動制御回路４０からは、総合制御回路
から出力された動作量指定信号ＦＳを上記位置補正信号
ＥＳで補正した補正動作量指定信号ＧＳが出力され、こ
れにより正規の初期位置に対する作業ハンド７の位置ず
れ量は作業ハンド７が荷物６の移載動作を行なう際に自
動的に補正される。
２は、続いてこれらの位置ずれ量Δｘ，Δｙを零にする
ための位置補正信号ＥＳを発生し、この位置補正信号Ｅ
Ｓをマニプレータ駆動制御回路４０に供給する。この結
果マニプレータ駆動制御回路４０からは、総合制御回路
から出力された動作量指定信号ＦＳを上記位置補正信号
ＥＳで補正した補正動作量指定信号ＧＳが出力され、こ
れにより正規の初期位置に対する作業ハンド７の位置ず
れ量は作業ハンド７が荷物６の移載動作を行なう際に自
動的に補正される。
このように本実施例であれば、荷物ステーション５の荷
物載置台に位置検出マーク１０を設けるとともに、作業
ハンド７のチャック７１に光センサ２１，２２を設置し
て、この光センサ２１，２２で上記位置検出マーク１０
上を走査したときの光電変換信号Ｄ１，Ｄ２から正規の
初期位置に対する現時点での初期位置の位置ずれ量Δ
ｘ，Δｙを算出し、この位置ずれ量Δｘ，Δｙを零にす
べく移載動作時の作業ハンド７の移動位置を補正するよ
うにしたことによって、たとえ搬送車の停止位置が多少
ずれていても、このずれに関係なく作業ハンド７の初期
位置を結果的に高精度に設定することができる。すなわ
ち本実施例では、従来のように停止用の誘導マークを正
確に位置設定する必要がなくなって誘導マーク施設時の
手間が軽減され、また誘導マークの汚れや剥がれ等の誘
導マークの状態に影響を受けずに常に高精度の位置設定
を行なうことができる。さらに、搬送装置２の停止位置
を設定するために従来のように突起８やジャッキ９など
の機械的な位置決め手段を用いないので、塵が発生され
難くこれにより半導体の製造ラインのように塵等が製品
の品質に大きな影響を及ぼすラインにも十分に適用可能
となり、適用範囲が広く高品質の製品を生産することが
できる。また、本実施例は、位置検出マーク１０とその
検出用の光センサ２１，２２を設けるだけで実現できる
ので、従来に比べて構成が簡単で安価な装置を提供する
ことができる。
物載置台に位置検出マーク１０を設けるとともに、作業
ハンド７のチャック７１に光センサ２１，２２を設置し
て、この光センサ２１，２２で上記位置検出マーク１０
上を走査したときの光電変換信号Ｄ１，Ｄ２から正規の
初期位置に対する現時点での初期位置の位置ずれ量Δ
ｘ，Δｙを算出し、この位置ずれ量Δｘ，Δｙを零にす
べく移載動作時の作業ハンド７の移動位置を補正するよ
うにしたことによって、たとえ搬送車の停止位置が多少
ずれていても、このずれに関係なく作業ハンド７の初期
位置を結果的に高精度に設定することができる。すなわ
ち本実施例では、従来のように停止用の誘導マークを正
確に位置設定する必要がなくなって誘導マーク施設時の
手間が軽減され、また誘導マークの汚れや剥がれ等の誘
導マークの状態に影響を受けずに常に高精度の位置設定
を行なうことができる。さらに、搬送装置２の停止位置
を設定するために従来のように突起８やジャッキ９など
の機械的な位置決め手段を用いないので、塵が発生され
難くこれにより半導体の製造ラインのように塵等が製品
の品質に大きな影響を及ぼすラインにも十分に適用可能
となり、適用範囲が広く高品質の製品を生産することが
できる。また、本実施例は、位置検出マーク１０とその
検出用の光センサ２１，２２を設けるだけで実現できる
ので、従来に比べて構成が簡単で安価な装置を提供する
ことができる。
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではない。例
えば、上記実施例では荷物ステーション５に位置検出マ
ーク１０を設けるとともに作業ハンド７に光センサ２
１，２２を設置した場合について説明したが、荷物ステ
ーション５に光センサ２１，２２を設置しかつ作業ハン
ド７に位置検出マーク１０を設けるようにしてもよい。
また、前記実施例では搬送車２にマニプレータ１を設置
した場合について示したが、マニプレータ１を荷物ステ
ーション５に設置した場合でも同様に適用することがで
きる。また、検出器としては光センサ以外に磁気センサ
などの非接触センサや、第６図に示す如くリミットスイ
ッチなどの接触センサ５１，５２を用いてもよい。但し
この場合は、センサの種類に合わせて位置検出マークの
材質を変える必要がある。その他、位置検出マークの種
類や形状、位置ずれ量の算出手段、位置ずれ量の補正手
段等についても、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形して実施できる。
えば、上記実施例では荷物ステーション５に位置検出マ
ーク１０を設けるとともに作業ハンド７に光センサ２
１，２２を設置した場合について説明したが、荷物ステ
ーション５に光センサ２１，２２を設置しかつ作業ハン
ド７に位置検出マーク１０を設けるようにしてもよい。
また、前記実施例では搬送車２にマニプレータ１を設置
した場合について示したが、マニプレータ１を荷物ステ
ーション５に設置した場合でも同様に適用することがで
きる。また、検出器としては光センサ以外に磁気センサ
などの非接触センサや、第６図に示す如くリミットスイ
ッチなどの接触センサ５１，５２を用いてもよい。但し
この場合は、センサの種類に合わせて位置検出マークの
材質を変える必要がある。その他、位置検出マークの種
類や形状、位置ずれ量の算出手段、位置ずれ量の補正手
段等についても、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形して実施できる。
以上詳述したように本発明は、マニプレータの作業ハン
ド又は荷物ステーションおよび搬送体のうちマニプレー
タが設置されていない側に位置検出マークを設け、かつ
上記マニプレータの作業ハンド又はマニプレータの非設
置側の荷物ステーションもしくは搬送体のうち上記位置
検出マークが設けられていない側に検出器を設置し、搬
送体の停止時に、上記検出器を上記位置検出マークに対
向させた状態で相対移動させることにより検出器から得
られる位置検出信号に基づいて荷物ステーションに対す
る搬送体の停止位置ずれ量を求め、この位置ずれ量を零
にすべくマニプレータの動作量を補正するようにしたも
のである。
ド又は荷物ステーションおよび搬送体のうちマニプレー
タが設置されていない側に位置検出マークを設け、かつ
上記マニプレータの作業ハンド又はマニプレータの非設
置側の荷物ステーションもしくは搬送体のうち上記位置
検出マークが設けられていない側に検出器を設置し、搬
送体の停止時に、上記検出器を上記位置検出マークに対
向させた状態で相対移動させることにより検出器から得
られる位置検出信号に基づいて荷物ステーションに対す
る搬送体の停止位置ずれ量を求め、この位置ずれ量を零
にすべくマニプレータの動作量を補正するようにしたも
のである。
したがって本発明によれば、作業ハンドの初期位置を簡
単な構成で高精度に設定することができ、かつ塵等の発
生が少なく安価で信頼性の高い搬送装置を提供すること
ができる。
単な構成で高精度に設定することができ、かつ塵等の発
生が少なく安価で信頼性の高い搬送装置を提供すること
ができる。
第１図乃至第５図（ａ），（ｂ）は本発明の一実施例に
おける搬送装置を説明するためのもので、第１図は同装
置の要部の構成を示す斜視図および回路ブロック図、第
２図（ａ），（ｂ）乃至第５図（ａ），（ｂ）は作用説
明に用いるためのもので、各図（ａ）は光センサの初期
位置と位置検出マークとの位置関係を示す模式図、同
（ｂ）は光センサの光電変換信号を示すタイミング図、
第６図は本発明の他の実施例における搬送装置の当部構
成図、第７図および第８図はそれぞれ従来の異なる搬送
装置を説明するための斜視図および正面図である。 １…マニプレータ、２…搬送車、３…誘導マーク、４…
撮像装置、５…荷物ステーション、６…荷物、７…作業
ハンド、１０…位置検出マーク、２１，２２…光セン
サ、３０…位置補正回路、４０…マニプレータ駆動制御
回路。
おける搬送装置を説明するためのもので、第１図は同装
置の要部の構成を示す斜視図および回路ブロック図、第
２図（ａ），（ｂ）乃至第５図（ａ），（ｂ）は作用説
明に用いるためのもので、各図（ａ）は光センサの初期
位置と位置検出マークとの位置関係を示す模式図、同
（ｂ）は光センサの光電変換信号を示すタイミング図、
第６図は本発明の他の実施例における搬送装置の当部構
成図、第７図および第８図はそれぞれ従来の異なる搬送
装置を説明するための斜視図および正面図である。 １…マニプレータ、２…搬送車、３…誘導マーク、４…
撮像装置、５…荷物ステーション、６…荷物、７…作業
ハンド、１０…位置検出マーク、２１，２２…光セン
サ、３０…位置補正回路、４０…マニプレータ駆動制御
回路。
フロントページの続き (72)発明者 野村 武彦 神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地 株 式会社東芝生産技術研究所内 (56)参考文献 特開 昭58−192774（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−56072（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−41714（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−90872（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】荷物ステーションと、この荷物ステーショ
ンの近傍に設けられた搬送路に沿って表示された誘導マ
ークを検出して前記搬送路上を移動する搬送体と、前記
荷物ステーション又は前記搬送体に設置されこれら荷物
ステーションと搬送体との間の荷物の移載を行うマニプ
レータと、このマニプレータの作業ハンド，又はこのマ
ニプレータが設置されていない前記荷物ステーション或
いは前記搬送体に設けられ，所定角度で交差する如く直
線を配置して形成した位置検出マークと、前記マニプレ
ータが設置されていない前記荷物ステーション或いは前
記搬送体，又は前記作業ハンドに設けられ所定間隔をお
いて配置されて前記位置検出マークを検出する２つの検
出器と、これら検出器を前記位置検出マークに対して相
対移動させたときに前記各検出器から出力される各位置
検出信号の出力タイミングに基づいて前記作業ハンドの
正規の位置に対する初期位置のずれ量を求め、このずれ
量を零にすべく前記マニプレータの動作量を補正する補
正回路とを具備したことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59143978A JPH0614290B2 (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59143978A JPH0614290B2 (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6125786A JPS6125786A (ja) | 1986-02-04 |
| JPH0614290B2 true JPH0614290B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=15351470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59143978A Expired - Lifetime JPH0614290B2 (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614290B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2627187B2 (ja) * | 1989-01-27 | 1997-07-02 | 新東工業株式会社 | 鉄鋼品のスケール又は錆除去方法 |
| JPH02257313A (ja) * | 1989-03-30 | 1990-10-18 | Daifuku Co Ltd | 移動車の運転制御設備 |
| DE202005016654U1 (de) * | 2005-10-21 | 2007-03-01 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | Vorrichtung zur Überwachung der Relativposition mehrerer Einrichtungen |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5952535B2 (ja) * | 1977-01-21 | 1984-12-20 | キヤノン株式会社 | 光学装置 |
| JPS5741714A (en) * | 1980-08-27 | 1982-03-09 | Fujitsu Ltd | Position detecting and positioning method |
| JPS5756072A (en) * | 1980-09-24 | 1982-04-03 | Toyota Motor Corp | Coating method by robot |
| JPS58192774A (ja) * | 1982-05-07 | 1983-11-10 | 豊田工機株式会社 | 搬送装置の位置補正装置 |
-
1984
- 1984-07-11 JP JP59143978A patent/JPH0614290B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6125786A (ja) | 1986-02-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6459947B1 (en) | Apparatus using positional data detected in a non-contact manner to transfer a substantially rectangular substrate from a first position to a second position | |
| US4228886A (en) | Position sensor | |
| TW200416933A (en) | System and method for on-the-fly eccentricity recognition | |
| JP2687030B2 (ja) | ロボット使用の自動移載装置 | |
| JPH0448304A (ja) | 自走ロボットの位置補正方法及びその装置 | |
| JPH0614290B2 (ja) | 搬送装置 | |
| KR20060065627A (ko) | 박판 형상물의 변위량 검출 방법 및 변위량 수정 방법 | |
| JP3770074B2 (ja) | メタルマスクアライメント装置 | |
| JPH0623684A (ja) | 視覚処理機能付きワーク移載ロボット | |
| JPS621009A (ja) | 搬送装置 | |
| US6466011B1 (en) | Two-dimensional absolute position sensor | |
| US20220258990A1 (en) | Substrate transfer device and substrate transfer method | |
| JPH0620920A (ja) | 基板位置補正装置 | |
| US20210094136A1 (en) | Detection system for detecting workpiece | |
| JPS629885A (ja) | 対象物の位置決定方法並びにロボツト設備 | |
| JP2529947B2 (ja) | ワ−ク位置ずれ検知装置 | |
| KR100819817B1 (ko) | 반송 로봇 | |
| JPS62203789A (ja) | 追従制御装置 | |
| JP2000040735A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JPS6111815A (ja) | ロボツトの位置ズレ補正システム | |
| JP2001144165A (ja) | ガラス基板用非接触アライメント装置 | |
| JPH0527832A (ja) | 移動ロボツトの現在位置認識方法 | |
| KR0160636B1 (ko) | 로보트의 작업대상물 위치 추적방법 | |
| JPH06255788A (ja) | 積み重ねワークの取出装置 | |
| JPH04120606A (ja) | アーム付無人搬送車 |