JP2013070063A - 複数の設備の相対位置を監視するデバイス - Google Patents
複数の設備の相対位置を監視するデバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013070063A JP2013070063A JP2012230748A JP2012230748A JP2013070063A JP 2013070063 A JP2013070063 A JP 2013070063A JP 2012230748 A JP2012230748 A JP 2012230748A JP 2012230748 A JP2012230748 A JP 2012230748A JP 2013070063 A JP2013070063 A JP 2013070063A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- devices
- relative
- reference system
- relative position
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/402—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for positioning, e.g. centring a tool relative to a hole in the workpiece, additional detection means to correct position
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37423—Distance, gap between tool and surface sensor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】前記共通基準システムに対する前記リソグラフィ・デバイス及び前記ワークステーション・デバイスの個々の位置を測定する手段と、測定された両デバイスの個々の位置から算出される両デバイス間の相対位置(d、7b)が所定の公差範囲内(7a−7c)にあるかどうかを評価する手段を含む装置。
【選択図】図1b
Description
2 支持された質量
3 振動または発振隔離器
4 ベース・プレート
5 振動または発振隔離器
6 機能デバイス
7a 垂直方向最小位置
7b 垂直方向の所望位置
7c 垂直方向最大位置
9 相対位置を決定するためのデバイス
10 アナログ/デジタル変換器
11 CPU
12 デジタル入力および/または出力
14 RS232ラインのためのインタフェース
15 視覚LED表示器
20 デバイス
30 ワークステーション
40 評価デバイス
d 水平方向の所望位置
Claims (11)
- それぞれ受動振動隔離デバイス(2、3、5)を介して共通基準システム(4)上に搭載され、互いに相対位置をとる少なくとも第1及び第2のデバイス、すなわちリソグラフィ・デバイス(20)及びワークステーション・デバイス(30)を含み、該相対位置が所定の公差範囲内にあるかどうかを監視する装置であって、
前記少なくとも第1及び第2のデバイス(20、30)は、それぞれ前記共通基準システム(4)に対して変動しうる位置にあり、更に、
前記共通基準システム(4)に対する前記少なくとも第1及び第2のデバイス(20、30)の個々の位置を測定する手段(9)、及び
前記少なくとも第1及び第2のデバイス(20、30)の間の相対位置が前記所定の公差範囲内にあるかどうかを評価する手段(40)を含む、装置。 - 更に、前記評価手段(40)による評価の結果に応答して前記ワークステーション・デバイス(30)の動作状態を決定する制御デバイス(11)を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記制御デバイス(11)は、前記ワークステーション・デバイス(30)を安全動作状態に移すことができ、かつ/または、前記測定手段(9)の測定結果に応答して前記第1及び第2のデバイス(20、30)を調整することができる、請求項2に記載の装置。
- 前記少なくとも第1及び第2のデバイス(20、30)は、それぞれ互いに異なる剛性値を有する受動振動隔離デバイスを有する、請求項1に記載の装置。
- 前記受動振動隔離デバイス(2、3、5)は、それぞれ少なくとも1つのばね緩衝器要素を含む、請求項4に記載の装置。
- 前記測定手段(9)は、前記基準システム(4)に対する前記少なくとも第1及び第2のデバイス(20、30)のそれぞれの位置を測定する少なくとも1つの位置センサを有する、請求項1に記載の装置。
- 前記位置センサは、機械的、光学的、誘導的、容量的、または圧電性センサである、請求項6に記載の装置。
- 共通基準システム(4)上に搭載される少なくとも第1及び第2のデバイス、すなわちリソグラフィ・デバイス(20)及びワークステーション・デバイス(30)の互いに対する相対位置を監視する方法であって、該第1及び第2のデバイス(20、30)は、それぞれ受動振動隔離デバイス(2、3、5)を有しており、前記方法が、
前記基準システム(4)に対する前記第1及び第2のデバイス(20、30)の個々の位置を測定するステップと、
前記相対位置について少なくとも1つの公差範囲を設定するステップと、
前記基準システム(4)に対する前記第1及び第2のデバイス(20、30)の個々の位置に基づいて、前記第1及び第2のデバイス(20、30)の互いに対する相対位置が前記少なくとも1つの公差範囲内にあるかどうかを評価するステップとを含む、方法。 - 前記基準システム(4)に対する前記第1及び第2のデバイス(20、30)の位置を測定するステップは規則的な間隔で実行される、請求項8に記載の方法。
- 前記基準システム(4)に対する前記第1及び第2のデバイス(20、30)の位置を測定するステップは連続して実行される、請求項8に記載の方法。
- 前記公差範囲は2次元公差窓として設定される、請求項9または10に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE202005016654U DE202005016654U1 (de) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | Vorrichtung zur Überwachung der Relativposition mehrerer Einrichtungen |
DE202005016654.5 | 2005-10-21 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008535901A Division JP2009512222A (ja) | 2005-10-21 | 2006-05-26 | 複数の設備の相対位置を監視するデバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013070063A true JP2013070063A (ja) | 2013-04-18 |
Family
ID=36844777
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008535901A Pending JP2009512222A (ja) | 2005-10-21 | 2006-05-26 | 複数の設備の相対位置を監視するデバイス |
JP2012230748A Pending JP2013070063A (ja) | 2005-10-21 | 2012-10-18 | 複数の設備の相対位置を監視するデバイス |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008535901A Pending JP2009512222A (ja) | 2005-10-21 | 2006-05-26 | 複数の設備の相対位置を監視するデバイス |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7991566B2 (ja) |
EP (1) | EP1938163B1 (ja) |
JP (2) | JP2009512222A (ja) |
DE (2) | DE202005016654U1 (ja) |
WO (1) | WO2007045286A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019120138A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 三菱日立パワーシステムズ株式会社 | 制御装置、ガスタービン、制御方法及びプログラム |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103858057A (zh) | 2011-09-09 | 2014-06-11 | 迈普尔平版印刷Ip有限公司 | 振动隔绝模块和基板处理系统 |
WO2014022905A1 (en) | 2012-08-10 | 2014-02-13 | Research In Motion Limited | Stacked device position identification |
IT201700020977A1 (it) * | 2017-02-24 | 2018-08-24 | Hpt Sinergy Srl | Metodo di lavoro per una macchina utensile cartesiana |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6125786A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-02-04 | 株式会社東芝 | 搬送装置 |
JPH06163357A (ja) * | 1992-11-19 | 1994-06-10 | Canon Inc | 露光装置 |
JPH10526A (ja) * | 1996-06-13 | 1998-01-06 | Nikon Corp | 基板搬送装置 |
JP2000068491A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Nikon Corp | 撮像素子、撮像素子の製造方法および露光装置 |
JP2002015989A (ja) * | 1993-07-21 | 2002-01-18 | Canon Inc | 処理システム及びこれを用いた露光装置およびデバイス製造方法 |
EP1465011A1 (en) * | 2003-03-31 | 2004-10-06 | ASML Netherlands B.V. | Transfer apparatus for transferring an object and method of use thereof and lithographic projection apparatus comprising such a transfer apparatus |
JP2004343077A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-12-02 | Asml Netherlands Bv | 対象物を移送する装置及びその使用方法と該移送装置を含むリソグラフィ投影装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5994419A (ja) * | 1982-11-19 | 1984-05-31 | Canon Inc | 分割焼付け装置におけるアライメント方法 |
DE69322983T2 (de) * | 1992-02-21 | 1999-07-15 | Canon Kk | System zum Steuern von Trägerplatten |
US5931441A (en) * | 1996-02-29 | 1999-08-03 | Nikon Corporation | Method of isolating vibration in exposure apparatus |
US5811821A (en) * | 1996-08-09 | 1998-09-22 | Park Scientific Instruments | Single axis vibration reducing system |
EP1098359A4 (en) * | 1998-06-02 | 2003-11-19 | Nikon Corp | SCANNING ALIGNMENT MEMBER, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD |
US20030097205A1 (en) * | 2001-11-20 | 2003-05-22 | Bausan Yuan | Control scheme and system for active vibration isolation |
-
2005
- 2005-10-21 DE DE202005016654U patent/DE202005016654U1/de not_active Expired - Lifetime
-
2006
- 2006-05-26 WO PCT/EP2006/005061 patent/WO2007045286A1/de active Application Filing
- 2006-05-26 US US12/090,779 patent/US7991566B2/en active Active
- 2006-05-26 JP JP2008535901A patent/JP2009512222A/ja active Pending
- 2006-05-26 EP EP06753917A patent/EP1938163B1/de active Active
- 2006-05-26 DE DE502006007495T patent/DE502006007495D1/de active Active
-
2012
- 2012-10-18 JP JP2012230748A patent/JP2013070063A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6125786A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-02-04 | 株式会社東芝 | 搬送装置 |
JPH06163357A (ja) * | 1992-11-19 | 1994-06-10 | Canon Inc | 露光装置 |
JP2002015989A (ja) * | 1993-07-21 | 2002-01-18 | Canon Inc | 処理システム及びこれを用いた露光装置およびデバイス製造方法 |
JPH10526A (ja) * | 1996-06-13 | 1998-01-06 | Nikon Corp | 基板搬送装置 |
JP2000068491A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Nikon Corp | 撮像素子、撮像素子の製造方法および露光装置 |
EP1465011A1 (en) * | 2003-03-31 | 2004-10-06 | ASML Netherlands B.V. | Transfer apparatus for transferring an object and method of use thereof and lithographic projection apparatus comprising such a transfer apparatus |
JP2004343077A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-12-02 | Asml Netherlands Bv | 対象物を移送する装置及びその使用方法と該移送装置を含むリソグラフィ投影装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019120138A (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-22 | 三菱日立パワーシステムズ株式会社 | 制御装置、ガスタービン、制御方法及びプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007045286A1 (de) | 2007-04-26 |
EP1938163B1 (de) | 2010-07-21 |
DE502006007495D1 (de) | 2010-09-02 |
DE202005016654U1 (de) | 2007-03-01 |
JP2009512222A (ja) | 2009-03-19 |
US20080255698A1 (en) | 2008-10-16 |
EP1938163A1 (de) | 2008-07-02 |
US7991566B2 (en) | 2011-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5166406B2 (ja) | 磁気誘導を使用する工業プロセス装置 | |
JP2013070063A (ja) | 複数の設備の相対位置を監視するデバイス | |
JP4417114B2 (ja) | 座標測定器用プローブヘッド | |
JP6216400B2 (ja) | 測定プローブ | |
CN105751222A (zh) | 具有碰撞检测的机器人医学设备及其碰撞检测方法 | |
JP2016511882A (ja) | Led接続表示器付きケーブル | |
JP5846918B2 (ja) | 力計測デバイス用較正デバイス及び力計測デバイス | |
US6243665B1 (en) | Monitoring and control apparatus incorporating run-time fault detection by boundary scan logic testing | |
US11047678B2 (en) | Probe unit and measuring system | |
KR20000006401A (ko) | 노광장치,제진(除振)장치,시스템동정(同定)장치및시스템동정방법 | |
CN105074397A (zh) | 用于称重单元的诊断方法 | |
JP2015078979A (ja) | 偏心荷重誤差を補正するためのデバイスを備えた秤量セル、および偏心荷重誤差を補正するための方法 | |
JP4842913B2 (ja) | 組み合わせ動作制御システム | |
JP6975679B2 (ja) | 回転機診断システム、情報処理装置及び回転機診断方法 | |
US20130335750A1 (en) | Position-Measuring Device | |
JP2018048915A (ja) | 力覚センサ | |
US7464484B2 (en) | Probe head | |
KR20200121252A (ko) | 고정식 진동 절연 시스템, 그리고 그의 제어 방법 | |
US6536735B2 (en) | Vibration isolating apparatus for table for mounting device sensitive to vibrations and method therefor | |
JP6824593B2 (ja) | ステージ装置及び複合ステージの制御装置 | |
TW200933322A (en) | Communications system for position detector | |
JP2021036244A (ja) | 力覚センサ | |
KR102501427B1 (ko) | 웨이퍼 이송 로봇 진단 방법 및 웨이퍼 이송 로봇 진단 장치 | |
JP7330905B2 (ja) | 接触式板厚測定器における自己診断装置 | |
KR100416225B1 (ko) | 정밀 기기의 기구교정 방법 및 그 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130827 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20131127 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20131202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140227 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140603 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141003 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20141204 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20150206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150902 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20151228 |