JP4417114B2 - 座標測定器用プローブヘッド - Google Patents
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Description
ここで問題とするタイプのプローブヘッドは、3次元的な曲面である対象物表面を連続的にスキャンするための、マルチ座標測定器で使用される。測定のための力を能動的に導入するプローブヘッドと、受動的なプローブヘッドの、2つの異なる設計が存在する。
測定のための力を能動的に導入するプローブヘッドの場合、プローブヘッドの動力学系と呼ばれるものを介して力発生器により、すなわちデカルト座標系の3つの軸に沿って移動するために使用される直線運動ユニットにより、測定のための力が能動的に加えられる。ここで測定のための力とは、測定フィーラーの自由端に設けられた探触球を測定すべき対象物に押しつける力のことである。この場合、その力は例えば適切な測定のための力用のコイルを介して電磁的に印加される。
かかる能動的プローブヘッドでは、非常に小さな測定のための力を印加すればよい。マルチ座標測定器の加速中は、プローブヘッドの動力学系の質量は力発生器によって能動的に保持することができる。更にこのような能動的プローブヘッドは、対象物表面に接触する前に変位させることができる。これによってマルチ座標測定器の応答経路をより大きくすることができ、より高速で接触することが可能となる。
これに対して受動プローブヘッドの場合は、測定のための力の大きさはバネの剛性とプローブヘッドの動力学系の撓みとによって設定される。小さな測定のための力を加えることができるためには、プローブヘッドの動力学系が柔らかいか、または変位経路が小さくなければならない。しかし変位経路を小さくすると、マルチ座標測定器の制御に大きな負担がかかり、また高速での接触が不可能になる。従って変位経路を大きくすることが有利であるが、その場合測定のための力およびその変動が過大とならないためには、柔らかいバネを使った動力学系を必要とする。
本発明の範囲で検討するのは、主に受動的プローブヘッドである。
既知のプローブヘッドのほとんどは、バランス機能を有していない。そのため、かかるプローブヘッドが特定の位置に回動または回転させられると、それらの動力学系もまた安定したゼロ位置から変位してしまう。その結果、変位の量だけ有効な測定経路が減少してしまう。
下記特許文献3には、3次元座標用の位置ピックアップが開示されている。このピックアップは、フィーラー探触子を含む。このフィーラー探触子は、膜状のバネの中央に固定されており、測定ピンのある側で後者から突出し、他の側にはセンサーを有する。膜状のバネは、その周辺で円筒形のハウジング内に保持されている。膜状のバネは、3つの座標の方向全て、すなわち軸方向を含む測定ピンの運動を可能にする。センサーシステムは、デカルト座標系の3つの軸に沿って配列されてそれぞれコイルシステムによって取り囲まれた3個のフェライトコアを備えている。そのため、測定ピンの自由端にある探触球が変位すると、フェライトコアはそれぞれのコイルシステム内で異なる仕方で移動し、3つの座標軸の方向での探触球の運動に対応して3つの測定信号を発生する。
座標測定器用のプローブヘッドは最初に言及した下記特許文献1に教示されている。位置に全く依存しない仕方でこのプローブヘッドを使用できるようにするためには、その弾性力がモーターによって設定される2つのバネを備えたバランス装置を、3つの空間軸の各々に対して作動状態に切り替えることができるようにする。位置測定システムの一部であり好適にはオプトエレクトロニクス(光電子)的な設計であるゼロ位置インジケータを介して、モーターが制御される。
下記特許文献4には、モーター駆動のバランス手段によるバランス機能が同様に備えられた場合の座標測定器用の別のプローブヘッドが開示されている。この既知のプローブヘッドは、プローブヘッドのバランスを取る、すなわち探触球の中央位置への位置決め装置として機能するギア付きモーターを有している。3つの自由度の各々について、適切な位置決め装置が1台備えられている。
最後に下記特許文献5には、座標測定器の測定プローブヘッドのプローブによる測定を実行する方法が開示されている。この既知の方法も、空間内で任意の望みの仕方でプローブを回動させることができるように、3つの座標軸に沿ってバランスを取る機能を提供する。この方法によれば、プローブのゼロ位置の変位は、様々なプローブ重量とプローブヘッドの様々な空間的位置とに基づいて決定され、プローブヘッドを使って求められた測定値は最後に電子的な信号処理によって修正される。
従ってこの既知の方法は、それに対応して複雑なデータ処理と協働する正確なセンサーシステムをゼロ位置からの偏差に対して備えなければならないので、上と同様に比較的複雑である。
また、本発明によれば、バランス手段が質量として設計され、また測定フィーラーのバランスを取るために必要な力またはモーメントが質量にかかる重力によって生じ、測定フィーラーの位置は、鉛直方向に直交するx軸およびy軸の少なくとも一方に沿ってバランスさせることができ、複数の質量が、測定フィーラーをバランスさせるために空間的に分布しており、バランス手段が、バネによって支持された質量と反対に強制的に向けられるような仕方で移動するカウンタウェイトを有し、測定フィーラーがハウジングを有し、先端部まで延びる測定探触子がハウジング内に設けられており、測定探触子がバネを介してハウジングに関して支持されており、かつハウジングがカルダン懸架によって取り付けられている。
また、本発明によれば、バランス手段が質量として設計され、また測定フィーラーのバランスを取るために必要な力またはモーメントが質量にかかる重力によって生じ、測定フィーラーの位置は、鉛直方向に直交するx軸およびy軸の少なくとも一方に沿ってバランスさせることができ、複数の質量が、測定フィーラーをバランスさせるために空間的に分布しており、バランス手段が、バネによって支持された質量と反対に強制的に向けられるような仕方で移動するカウンタウェイトを有し、質量の所定の3次元運動によってバランスが実現され、個々の質量が、プローブヘッドの空間内での回動に対する個々の質量の反対方向の運動を起こす構成によって互いに結合されており、測定フィーラーが、3軸のうち2軸のみに沿った変位をするようにカルダン懸架によって取り付けられており、また更に第三の軸に沿って変位するためのバネが備えられており、かつカウンタウェイトは、第三の軸の方向に移動する。
これにより本発明の目的は完全に達成される。
本発明によれば、質量の力、すなわちシステムに固有の質量または特に備えられたバランス質量によって生じる力を、バランスを取る目的にもっぱら利用している。そのためいかなるタイプの電気モーターによる位置決め装置も、いかなるタイプのセンサーシステムも、またいかなるタイプのデータ処理も必要としない、完全に自動化された自己バランスを達成する巧妙な設計により、目的が達成される。従って本発明は、低コストで実際に使用できる、非常に単純であるが、同時に非常に効果的な手段を利用可能とするものである。
これは特に、測定プローブがその重心においてカルダン式で取り付けられている場合は常に適用される。
この方策には、測定フィーラーの個々の質量によってそれらにかかる重力を介して加えられるモーメントは互いに厳密に相殺するので、測定フィーラーは一旦安置位置に来るとプローブヘッドが空間内で保持される向きに関係なく、安置位置にとどまるという利点がある。
本発明の好適な実施形態ではこれは、測定フィーラーがハウジングを有し、先端部まで延びる測定探触子がハウジング内に設けられており、測定探触子がバネを介してハウジングに対して相対的に支持されており、またハウジングはカルダン式で取り付けられているという事実によって、実用のために実施される。
本発明の実施形態では、バネは既知の膜状バネとして設計される。
この方策では、弾性のある膜において中央に保持された比較的小さな質量の測定探触子を移動するだけでよいという利点が、この場合にも得られる。
この方策には、測定探触子が両膜状バネの軸方向に離れた2つの点で保持されているので、測定探触子の傾斜を防止するという利点がある。
本発明の特に好適な実施形態では、バネは先端部とカルダン懸架との間に設けられている。
本発明の典型的な実施形態の第二の好適なグループでは、質量の所定の3次元的な移動によってバランスが取られる。
このことは特に、個々の質量が、プローブヘッドの空間内での回動の間に、個々の質量の反対方向の運動を起こす構成によって互いに結合されている場合に、常に該当する。
この場合、典型的な実施形態の前記の両グループ、すなわち一方では質量の特定の分布が、他方では質量の特定の3次元的な運動が、個々の座標軸、方向、平面その他に対してのみ利用されるか、またはそれぞれの場合において互いに組み合わせることが可能であることは言うまでもない。
この方策には、バランス手段が機械的に単純な構成であってよく、またバランス手段はプローブヘッドの設置位置または動作位置に関係なく機能することができるという利点がある。
この典型的な実施形態を更に改良したものとして、前記レバーの少なくとも1つが弾性領域を有していれば、各レバーは最適な屈曲線を取ることができる。本発明を更に改良したものにおいて、これは、両端に屈曲性の弾性固定手段を有し、中間部で支持された剛性を有する構造のレバーとしての利用を可能にする。
この方策には、特にコンパクトな設計をもたらすという利点がある。カウンタウェイトをこの周辺に設けることにより、比較的小さな断面積に対して大きな重量を利用できるようになるという利点がある。
この方策もまた、特にコンパクトな設計をもたらし、また補償すべき質量を最適に分布させることができるという利点を有する。
この方策は特定の形態の残留誤差もまた補償されるという利点を有するが、もっと正確に言うと、質量に望みの運動を行わせるために使用されるレバーアームが、これらの質量にかかる重量のために曲がり、かつ/またはその際に支持要素として働くベアリングポイントが何らかの撓みを生じるときに、質量の位置が実際には変化するという事実によって生じる、いわゆる「バランスオフセット」である。これらの撓みによって生じる位置の誤差は、能動的レバーアームを通して必要な位置の修正を行うある種の付加的な重りを有する移動質量を備えることにより、驚くほど単純な仕方で補償できる。
以下の説明と添付の図面により、更に別の利点が明らかになるであろう。
上で述べた特徴および以下で説明する特徴は、それぞれ具体的に示した組み合わせだけではなく、本発明の範囲から逸脱することなく他の組み合わせで、またはそれら単独に利用することもできることは言うまでもない。
マルチ座標測定器用プローブヘッド全体を図1において10で示す。プローブヘッド10は、内部に測定フィーラー14が配設されたハウジング12を有する。測定フィーラー14の自由端には先端部16がある。先端部16がデカルト座標系17の3軸x、yおよびzに沿って移動できるような仕方で、測定フィーラー14は吊り下げられている。
測定フィーラー14は、その重量21が質量m1で象徴的に表されるベアリング18の下方に位置する下部20、およびその重量23が質量m2で表されるベアリング18の上方に位置する上部22に分けられる。
他方、測定フィーラー14はベアリング18と共に、z方向に向いたガイド25内を案内される。この方向には、ベアリング18を支持するバネ24も、測定フィーラー14全体と共に、質量、例えばハウジング12に逆らって作用する。その結果、測定フィーラー14もバネ24を介してz方向に移動できる。
最後に、図1にはバランス装置30も示されている。バランス装置30はz方向内で作用する。これは図1ではレバー機構で表されているが、ここではレバーアーム33がベアリング18上のジョイント32において作用し、ハウジング上に固定されたベアリング34を介して、図1において質量がm3で表されるカウンタウェイト36につながっている。
測定すべき対象物の3次元曲面である表面に沿って先端部16が案内されるとき、カルダン式ベアリング18がその運動を許容するので、先端部はx−y平面内で変位することができる。z方向内での変位はバネ24の支持を介して許容される。
測定フィーラー14はベアリング18の中心にその重心があるので、x−y平面内での変位には、重力によって生じる測定フィーラー14の復元力は伴わない。従って測定フィーラー14は各回動の位置において平衡状態に置かれる。
このことは、プローブヘッド10が全体として回動させられるか、または回転させられる場合でも同様であるが、それは両方の安定化システムがプローブヘッド10の傾いた作動位置でも機能するからである。
40は、ハウジング42を有するプローブヘッドを、全体として示す。ハウジング42内には測定フィーラー44が設けられている。測定フィーラー44は大概的に管状である。下端部46が球状に構成された測定探触子45が、測定フィーラー44の中心軸51に沿って延びている。先端部46はデカルト座標系17の3軸x、yおよびzに沿って移動することもできる。
管状の中間部52のほぼ中間位置で、測定フィーラー44がプローブヘッド40のハウジング42に関してカルダン式ベアリング58内に支持されている。カルダン式ベアリング58は、プローブヘッド40の中間部の半径方向の面を概略構成する平面60内に配置されている。
放射状のフランジ56上で、軸方向の支持部材68が上方に向かって延びているが、これはリングまたはリングの一部として設計することもできる。これらの支持部材68はその最上部で、二本アーム付きレバーが弾性的に結合されたジョイント70を支えている。
ジョイント70から半径方向に内側に向かって、測定探触子45の上端に(好適にはフレキシブルな領域73を介して)つながっている剛性のある第二のレバーアーム76が延びている。剛性のあるレバーアーム72および76は、好適には共通の剛性のあるプレートとして構成される(図4A〜図4C参照)。
プローブヘッド40は下記のように作動する。
図2Bは測定探触子45’の自由端にある先端部46’の球体が矢印86で示されるように横に傾いた状態を示している。その結果、xおよびy方向での変位が起きる。回動の角度はこの場合αで表されている。
それに対して、図2Cは他の動作位置を示しているが、ここでは測定探触子45”は矢印88で示されるようにz方向内でのみ変位している。この変位は図2CではΔzによって示されている。
それに加えて、測定探触子45”の上端に備えられたバランス装置は、図2Cに示すとおり動作状態で作動可能となる。この点に関して、ここで図に示したバランス装置は単なる一例であり、また模式的に示したものであることが理解されるべきであり、本発明は座標軸の方向または回転角に沿って有効である全てのタイプのバランス装置に関するものである。
それに対して図2Dによる別の可能な構成では、カルダン式ベアリング58a自体も動かさなければならない。そこで具体的な構造的理由が示す場合にのみ推奨される図2Dによる解決策は、図2A〜図2Cにおける位置64、66から図2Dにおける位置64a、66aにバネの位置を変えることである。
図2Eは、支持部材68およびジョイント70の領域内の中央に取り付けられた剛性のある曲げビーム(梁)を原理として構成されたレバーアーム72、76の領域内における関係を示している。図2Eにおいて大幅に誇張して図示したように、カウンタウェイト74aが曲げビーム72a、76aを曲げている。これにより、測定探触子45が距離TAだけ(z方向に)低すぎる位置にあるというバランスオフセットTAが生じる。
このバランス装置の好適な実施形態が図3および図4から明らかになるであろう。
レバー72、76の領域における状態(図2Eに示した自然の撓みを考慮しない)を、図4Bおよび図4Cに極めて模式的に示す。
これらの手段は、弾性領域73、78の撓みにおける内部摩擦を別とすれば、いかなる摩擦も、特に滑り摩擦は発生せず、従ってそれに伴う有害なヒステリシスが発生しないという利点を有する。
このバランス装置の特性は、プローブヘッド40を空間内で回動させる場合でも維持でき、従って鉛直の動作位置にある場合だけでなく動作可能である。
Claims (21)
- マルチ座標測定器用プローブヘッドにおいて、空間的に変位可能な測定フィーラー(14;44)を有し、かつ前記プローブヘッド(10;40)の空間内における異なる向きに対して前記測定フィーラー(14;44)の所定の安置位置を設定するためのバランス手段を有し、前記バランス手段が質量(21、23、36;74)として設計され、また前記測定フィーラー(14;44)のバランスを取るために必要な力またはモーメントが前記質量(21、23、36;74)にかかる重力によって生じ、前記測定フィーラー(14;44)の位置は、鉛直方向に直交するx軸およびy軸の少なくとも一方に沿ってバランスさせることができ、複数の前記質量(21、23、36;74)が、前記測定フィーラー(14;44)をバランスさせるために空間的に分布しており、前記バランス手段が、バネ(24;64、66)によって支持された、前記質量(21、23、36;74)のうちの質量(21、23)と反対に強制的に向けられるような仕方で移動するカウンタウェイト(36;74)を有し、
前記質量(21、23、36)の所定の空間分布によってバランスが実現され、
前記測定フィーラー(14;44)がその重心においてカルダン懸架(18;58)によって取り付けられていることを特徴とするプローブヘッド。 - マルチ座標測定器用プローブヘッドにおいて、空間的に変位可能な測定フィーラー(14;44)を有し、かつ前記プローブヘッド(10;40)の空間内における異なる向きに対して前記測定フィーラー(14;44)の所定の安置位置を設定するためのバランス手段を有し、前記バランス手段が質量(21、23、36;74)として設計され、また前記測定フィーラー(14;44)のバランスを取るために必要な力またはモーメントが前記質量(21、23、36;74)にかかる重力によって生じ、前記測定フィーラー(14;44)の位置は、鉛直方向に直交するx軸およびy軸の少なくとも一方に沿ってバランスさせることができ、複数の前記質量(21、23、36;74)が、前記測定フィーラー(14;44)をバランスさせるために空間的に分布しており、前記バランス手段が、バネ(24;64、66)によって支持された、前記質量(21、23、36;74)のうちの質量(21、23)と反対に強制的に向けられるような仕方で移動するカウンタウェイト(36;74)を有し、
前記測定フィーラー(44)がハウジング(50)を有し、先端部(46)まで延びる測定探触子(45)が前記ハウジング(50)内に設けられており、前記測定探触子(45)が前記バネ(64、66)を介して前記ハウジング(50)に関して支持されており、かつ前記ハウジング(50)がカルダン懸架(58)によって取り付けられていることを特徴とするプローブヘッド。 - マルチ座標測定器用プローブヘッドにおいて、空間的に変位可能な測定フィーラー(14;44)を有し、かつ前記プローブヘッド(10;40)の空間内における異なる向きに対して前記測定フィーラー(14;44)の所定の安置位置を設定するためのバランス手段を有し、前記バランス手段が質量(21、23、36;74)として設計され、また前記測定フィーラー(14;44)のバランスを取るために必要な力またはモーメントが前記質量(21、23、36;74)にかかる重力によって生じ、前記測定フィーラー(14;44)の位置は、鉛直方向に直交するx軸およびy軸の少なくとも一方に沿ってバランスさせることができ、複数の前記質量(21、23、36;74)が、前記測定フィーラー(14;44)をバランスさせるために空間的に分布しており、前記バランス手段が、バネ(24;64、66)によって支持された、前記質量(21、23、36;74)のうちの質量(21、23)と反対に強制的に向けられるような仕方で移動するカウンタウェイト(36;74)を有し、
前記質量(21、23、36;74)の所定の3次元運動によって前記バランスが実現され、
個々の質量が、前記プローブヘッド(10;40)の空間内での回動に対する前記個々の質量の反対方向の運動を起こす構成によって互いに結合されており、
前記測定フィーラー(14;44)が、3軸(x、y、z)のうち2軸(x、y)のみに沿った変位をするようにカルダン懸架によって取り付けられており、また更に前記第三の軸(z)に沿って変位するための前記バネ(24;64、66)が備えられており、かつ前記カウンタウェイト(36;74)は、前記第三の軸(z)の方向に移動することを特徴とするプローブヘッド。 - 前記質量(21、23、36)の所定の空間分布によってバランスが実現されることを特徴とする、請求項2または3記載のプローブヘッド。
- 前記測定フィーラー(14;44)がその重心においてカルダン懸架(18;58)によって取り付けられていることを特徴とする、請求項4記載のプローブヘッド。
- 前記測定フィーラー(14;44)が3つの軸(x、y、z)のうち2つ(x、y)のみに沿う変位のためにカルダン懸架によって取り付けられており、また上記第三の軸(z)に沿う変位のために前記バネ(24;64、66)が備えられていることを特徴とする、請求項5記載のプローブヘッド。
- 前記測定フィーラー(44)がハウジング(50)を有し、先端部(46)まで延びる測定探触子(45)が前記ハウジング(50)内に設けられており、前記測定探触子(45)が前記バネ(64、66)を介して前記ハウジング(50)に関して支持されており、かつ前記ハウジング(50)がカルダン懸架(58)によって取り付けられていることを特徴とする、請求項1または3記載のプローブヘッド。
- 前記バネが膜状バネ(64、66)として設計されていることを特徴とする、請求項6または7記載のプローブヘッド。
- 前記膜状バネ(64、66)が、ハウジング(50)とハウジング軸(51)に沿って安置位置内で延びる測定探触子(45)との間で前記測定フィーラー(44)の前記ハウジング(50)の好適にはポット状の部分(54)内に設けられていることを特徴とする、請求項8記載のプローブヘッド。
- 2つの膜状バネ(64、66)が互いに軸方向(z)に間隔を開けて備えられていることを特徴とする、請求項8または9記載のプローブヘッド。
- 前記バネ(64、66)が前記先端部(46)と前記カルダン懸架(18;58)との間に設けられていることを特徴とする、請求項7ないし10のいずれかに記載のプローブヘッド。
- 前記質量(21、23、36;74)の所定の3次元運動によって前記バランスが実現されることを特徴とする、請求項1または2記載のプローブヘッド。
- 個々の質量が、前記プローブヘッド(10;40)の空間内での回動に対する前記個々の質量の反対方向の運動を起こす構成によって互いに結合されていることを特徴とする、請求項12記載のプローブヘッド。
- 前記質量(21、23、36;74)を反対の方向に移動するためのレバー機構(32〜34;68〜73、76、78)を備えた構成であることを特徴とする、請求項3または13記載のプローブヘッド。
- 前記レバー機構(32〜34;68〜73、76、78)が二本アーム付きレバー(33;72、76)を備えたことを特徴とする、請求項14記載のプローブヘッド。
- 前記レバー(72、76)の少なくとも1つが弾性領域(73、78)を有することを特徴とする、請求項15記載のプローブヘッド。
- 前記レバー(72、76)が両端に屈曲性の弾性固定手段(78)を有し、中間部で支持された剛性のある構造として設計されていることを特徴とする、請求項15または16記載のプローブヘッド。
- 前記レバー機構(68〜73、76、78)が外側カウンタウェイト(74)と、前記測定フィーラー(44)の中心軸(51)に沿って安置位置内で延びる測定探触子(45)との間に設けられていることを特徴とする、請求項14ないし17のいずれかに記載のプローブヘッド。
- 前記測定フィーラー(44)が管状のハウジング(50)を有し、前記ハウジング(50)がその頂部に放射方向のフランジ(56)を備えており、前記レバー機構(68〜73、76、78)の二本アーム付きレバー(72、76)が前記フランジ(56)上の中間部で支持されていることを特徴とする、請求項18記載のプローブヘッド。
- 前記レバー機構(32〜34;68〜73、76、78)によって回動させられる質量(74a)が付加的な重り(75)を備えており、前記質量(74a)による重量、この質量(74a)を支えるレバーアームの重量、および/または前記レバーアームを支えるベアリングポイントの重量によって生じる撓みが補償されるように、前記付加的な重り(75)の寸法が決められていることを特徴とする、請求項14ないし19のいずれかに記載のプローブヘッド。
- 前記測定フィーラー(14;44)が、3軸(x、y、z)のうち2軸(x、y)のみに沿った変位をするようにカルダン懸架によって取り付けられており、また更に前記第三の軸(z)に沿って変位するための前記バネ(24;64、66)が備えられており、かつ前記カウンタウェイト(36;74)は、前記第三の軸(z)の方向に移動することを特徴とする、請求項13に記載のプローブヘッド。
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