JP3393955B2 - 薄板状ワーク搬送用ハンド - Google Patents
薄板状ワーク搬送用ハンドInfo
- Publication number
- JP3393955B2 JP3393955B2 JP11795695A JP11795695A JP3393955B2 JP 3393955 B2 JP3393955 B2 JP 3393955B2 JP 11795695 A JP11795695 A JP 11795695A JP 11795695 A JP11795695 A JP 11795695A JP 3393955 B2 JP3393955 B2 JP 3393955B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hand
- thin plate
- shaped
- work
- thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動搬送装置に用いら
れる搬送用ハンドに関する。例えば、液晶基板やプリン
ト基板等の薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを棚状
のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄
板状ワークを積み、下しする自動搬送装置の先端に取付
けられる薄板状ワーク搬送用ハンドに関する。
れる搬送用ハンドに関する。例えば、液晶基板やプリン
ト基板等の薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを棚状
のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄
板状ワークを積み、下しする自動搬送装置の先端に取付
けられる薄板状ワーク搬送用ハンドに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、薄板状ワークを棚状のカセット
に水平多段に収納し、このカセットから薄板状ワークを
１枚ずつ取扱って、カセット位置と各種処理作業位置と
に薄板状ワークを搬送し、結果としてカセットに対して
薄板状ワークを積み、下しする自動搬送装置として、水
平移動部・回転部・昇降部を持ち、また、薄板状ワーク
を載置するハンドを持ち、マイクロコンピュータにより
自動制御される自動搬送装置が使用されている。
に水平多段に収納し、このカセットから薄板状ワークを
１枚ずつ取扱って、カセット位置と各種処理作業位置と
に薄板状ワークを搬送し、結果としてカセットに対して
薄板状ワークを積み、下しする自動搬送装置として、水
平移動部・回転部・昇降部を持ち、また、薄板状ワーク
を載置するハンドを持ち、マイクロコンピュータにより
自動制御される自動搬送装置が使用されている。
【０００３】図７に示されるごとく、薄板状ワーク３０
は棚状のカセット４０に所定のピッチＰ1 で上下方向に
多段に収納される。このカセット４０のピッチＰ1 を大
きくすると、一定高さのカセットに収納される薄板状ワ
ーク３０の数量が少なくなり、作業能率が低下するた
め、極力カセット４０のピッチＰ1 を小さくすることが
嘱望されている。
は棚状のカセット４０に所定のピッチＰ1 で上下方向に
多段に収納される。このカセット４０のピッチＰ1 を大
きくすると、一定高さのカセットに収納される薄板状ワ
ーク３０の数量が少なくなり、作業能率が低下するた
め、極力カセット４０のピッチＰ1 を小さくすることが
嘱望されている。
【０００４】他方、処理作業能率を向上させるため、一
枚の薄板状ワーク３０の寸法を大きくする傾向にある。
枚の薄板状ワーク３０の寸法を大きくする傾向にある。
【０００５】ところで、図６に示されるごとく、従来の
搬送用ハンド５０はアルミニウム材あるいはアルミニウ
ム合金材により形成されている。勿論、例えば液晶基板
のような薄板状ワーク３０は水平方向に変形しやすいた
め、薄板状ワーク３０の寸法、特に長手方向の寸法が大
きくなるに伴って、アルミニウムよりなる搬送用ハンド
５０の長さを長くする必要がある。
搬送用ハンド５０はアルミニウム材あるいはアルミニウ
ム合金材により形成されている。勿論、例えば液晶基板
のような薄板状ワーク３０は水平方向に変形しやすいた
め、薄板状ワーク３０の寸法、特に長手方向の寸法が大
きくなるに伴って、アルミニウムよりなる搬送用ハンド
５０の長さを長くする必要がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術におい
て、搬送用ハンド５０を長くすると、搬送用ハンド５０
は重力により、例えば図８に示される状態に撓むことと
なる。
て、搬送用ハンド５０を長くすると、搬送用ハンド５０
は重力により、例えば図８に示される状態に撓むことと
なる。
【０００７】例えば、搬送用ハンド５０の板厚をｔ1 ，
板幅をＢ1 、および長さをＬ1 としたときのハンド５０
の上下方向の撓みをδ1 とした場合、搬送用ハンド５０
をカセット４０の薄板状ワーク３０間に挿入時の搬送用
ハンド５０と上下の薄板状ワーク３０，３０との夫々の
間隔を△ｈとし、薄板状ワーク３０の板厚をｔ0 および
薄板状ワーク３０を収納するカセット４０の上下のピッ
チをＰ1 とすると、
板幅をＢ1 、および長さをＬ1 としたときのハンド５０
の上下方向の撓みをδ1 とした場合、搬送用ハンド５０
をカセット４０の薄板状ワーク３０間に挿入時の搬送用
ハンド５０と上下の薄板状ワーク３０，３０との夫々の
間隔を△ｈとし、薄板状ワーク３０の板厚をｔ0 および
薄板状ワーク３０を収納するカセット４０の上下のピッ
チをＰ1 とすると、
【０００８】
Ｐ1 ＝ｔ1 ＋δ1 ＋２△ｈ＋ｔ0 …………（１）
【０００９】に制限される。すなわち、搬送用ハンド５
０を上記寸法とした場合、自重による搬送用ハンド５０
の撓み量δ1 がカセット４０のピッチＰの基準となるた
め、カセット４０のピッチを一義的に小さく設定するこ
とができなかった。
０を上記寸法とした場合、自重による搬送用ハンド５０
の撓み量δ1 がカセット４０のピッチＰの基準となるた
め、カセット４０のピッチを一義的に小さく設定するこ
とができなかった。
【００１０】さらに、搬送用ハンド５０は板幅Ｂ1 およ
び長さＬ1 に対して板厚ｔ1 が小さい値であるため、搬
送用ハンド５０をアルミニウムで形成すると、応々にし
て加工歪みが残存して、平面状態を所望の状態に保てな
いという問題があった。
び長さＬ1 に対して板厚ｔ1 が小さい値であるため、搬
送用ハンド５０をアルミニウムで形成すると、応々にし
て加工歪みが残存して、平面状態を所望の状態に保てな
いという問題があった。
【００１１】すなわち、搬送用ハンド５０を所望の水平
面の状態に保てない場合、即ち、歪んでいる場合、この
歪が重力による搬送用ハンドの撓み量δ1 に付加される
ため、カセットのピッチＰを大きくする要因となってい
た。
面の状態に保てない場合、即ち、歪んでいる場合、この
歪が重力による搬送用ハンドの撓み量δ1 に付加される
ため、カセットのピッチＰを大きくする要因となってい
た。
【００１２】勿論、上記事態を解消するため、製作後に
所望の水平面の状態に形成されていない搬送用ハンドを
不良品として破棄することが考えられるが、搬送用ハン
ドの製作費が高価であるため得策でない。
所望の水平面の状態に形成されていない搬送用ハンドを
不良品として破棄することが考えられるが、搬送用ハン
ドの製作費が高価であるため得策でない。
【００１３】本発明の目的は、加工歪のない所望の平面
状態とすることができ、かつ重力による撓みの小さい搬
送用ハンドを提供することにある。
状態とすることができ、かつ重力による撓みの小さい搬
送用ハンドを提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】第１の発明は、薄板状ワ
ークを載置する搬送用ハンドを棚状のカセットに対して
水平方向に接近および離間して、薄板状ワークを積み、
下しする自動搬送装置の先端に取付けられる薄板状ワー
ク搬送用ハンドに適用される。その特徴とするところ
は、薄板状ワーク搬送用ハンドが、カーボンを含む可撓
性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材によ
り形成されたことである。
ークを載置する搬送用ハンドを棚状のカセットに対して
水平方向に接近および離間して、薄板状ワークを積み、
下しする自動搬送装置の先端に取付けられる薄板状ワー
ク搬送用ハンドに適用される。その特徴とするところ
は、薄板状ワーク搬送用ハンドが、カーボンを含む可撓
性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材によ
り形成されたことである。
【００１５】第２の発明は、第１の発明において、棚状
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＝ＥW であることを特徴
としている。
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＝ＥW であることを特徴
としている。
【００１６】第３の発明は、第１の発明において、棚状
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＞ＥW であることを特徴
としている。
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＞ＥW であることを特徴
としている。
【００１７】第４の発明は、第１の発明において、棚状
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＝２．６ＥW であること
を特徴としている。
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＝２．６ＥW であること
を特徴としている。
【００１８】第５の発明は、薄板状ワークを載置する搬
送用ハンドを棚状のカセットに対して水平方向に接近お
よび離間して、薄板状ワークを積み、下しする自動搬送
装置の先端に取付けられる薄板状ワーク搬送用ハンドに
適用される。その特徴とするところは、薄板状ワーク搬
送用ハンドが、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化
性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成され、かつハ
ンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に
形成されたことである。
送用ハンドを棚状のカセットに対して水平方向に接近お
よび離間して、薄板状ワークを積み、下しする自動搬送
装置の先端に取付けられる薄板状ワーク搬送用ハンドに
適用される。その特徴とするところは、薄板状ワーク搬
送用ハンドが、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化
性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成され、かつハ
ンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に
形成されたことである。
【００１９】第６の発明は、第５の発明において、棚状
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＝ＥW であることを特徴
としている。
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＝ＥW であることを特徴
としている。
【００２０】第７の発明は、第５の発明において、棚状
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＞ＥW であることを特徴
としている。
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＞ＥW であることを特徴
としている。
【００２１】第８の発明は、第５の発明において、棚状
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＝２．６ＥW であること
を特徴としている。
のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向
と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦
弾性係数ＥL およびＥW がＥL ＝２．６ＥW であること
を特徴としている。
【００２２】
【作用】本発明においては、薄板状ワーク搬送用ハンド
は、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とか
らなる熱硬化性部材により形成されているため、加工歪
のない所望の平面状態とすることができ、かつ軽量で機
械的強度が大であって重力による撓みの小さい搬送用ハ
ンドを確実に実現することができる。
は、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とか
らなる熱硬化性部材により形成されているため、加工歪
のない所望の平面状態とすることができ、かつ軽量で機
械的強度が大であって重力による撓みの小さい搬送用ハ
ンドを確実に実現することができる。
【００２３】勿論、カーボンを含む可撓性繊維質材を重
ね合わす際に、繊維質材の繊維方向を適宜に選定するこ
とにより、搬送用ハンドの長手方向と、長手方向と直交
する搬送用ハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥL ，
ＥW を自在に設定することができ、用途に対応させるこ
とができる。
ね合わす際に、繊維質材の繊維方向を適宜に選定するこ
とにより、搬送用ハンドの長手方向と、長手方向と直交
する搬送用ハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥL ，
ＥW を自在に設定することができ、用途に対応させるこ
とができる。
【００２４】このため、結果としてカセットの薄板状ワ
ークの多段積みのピッチを可及的に小さくして、カセッ
トに収納された薄板状ワークの処理作業能率の向上に寄
与することができる。
ークの多段積みのピッチを可及的に小さくして、カセッ
トに収納された薄板状ワークの処理作業能率の向上に寄
与することができる。
【００２５】さらに、薄板状ワーク搬送用ハンドが、カ
ーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる
熱硬化性部材により形成され、かつハンド先端から基部
側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成されていれ
ば、上記作用・効果に加えて、平面Ｕ字状部が幅方向に
離間した位置で薄板状ワークを安定して支持することと
なる。このため、薄板状ワークが広幅で極端に薄い、例
えば、液晶基板の場合に特に有効である。
ーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる
熱硬化性部材により形成され、かつハンド先端から基部
側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成されていれ
ば、上記作用・効果に加えて、平面Ｕ字状部が幅方向に
離間した位置で薄板状ワークを安定して支持することと
なる。このため、薄板状ワークが広幅で極端に薄い、例
えば、液晶基板の場合に特に有効である。
【００２６】この場合、搬送用ハンドは平面中央部が切
欠かれたＵ字状に形成されるが、従来のごとくアルミニ
ウムによりＵ字状のハンドを形成しようとすると、薄い
肉厚で、しかも平面Ｕ字状に切欠かれているため、大半
のハンドが歪んで所望の平面状態となし得ない。
欠かれたＵ字状に形成されるが、従来のごとくアルミニ
ウムによりＵ字状のハンドを形成しようとすると、薄い
肉厚で、しかも平面Ｕ字状に切欠かれているため、大半
のハンドが歪んで所望の平面状態となし得ない。
【００２７】しかし、本発明に係る搬送用ハンドは、適
宜に積層されるカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化
性樹脂とからなる熱硬化性部材が、加圧・圧締されて形
成されるため、歪のない所望の平面状態のものが確実に
得られる。
宜に積層されるカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化
性樹脂とからなる熱硬化性部材が、加圧・圧締されて形
成されるため、歪のない所望の平面状態のものが確実に
得られる。
【００２８】勿論、搬送用ハンドは歪のない所望の平面
状態に形成されるため、従来のごとくの搬送時における
搬送用ハンドの歪み量の考察は無用となる。
状態に形成されるため、従来のごとくの搬送時における
搬送用ハンドの歪み量の考察は無用となる。
【００２９】
【実施例】以下、本発明を図示の実施例により詳細に説
明する。図１は、先端に薄板状ワーク搬送用ハンドを取
付けたロボットにより、カセット４０内の薄板状ワーク
３０を搬出する状態を説明するための、本発明の対象と
する自動搬送装置の概略図である。
明する。図１は、先端に薄板状ワーク搬送用ハンドを取
付けたロボットにより、カセット４０内の薄板状ワーク
３０を搬出する状態を説明するための、本発明の対象と
する自動搬送装置の概略図である。
【００３０】ロボット１は、例えば、ＰＴＰ制御やＣＰ
制御などにより、適宜に制御される。例えば、円筒座標
系の、いわゆる水平多関節形のロボットであり、関節腕
２の屈伸によりハンド１０を直線Ｘに沿って動かす。ま
た、肩３を昇降することによってハンド１０を直線Ｚと
平行に動かす。直線Ｘと直線Ｚは直交している。ロボッ
ト１は、肩３（円筒座標の中心）を中心として旋回する
ことによって、肩３とハンド１０との距離を半径とした
円周方向に沿ってハンド１０を動かす。
制御などにより、適宜に制御される。例えば、円筒座標
系の、いわゆる水平多関節形のロボットであり、関節腕
２の屈伸によりハンド１０を直線Ｘに沿って動かす。ま
た、肩３を昇降することによってハンド１０を直線Ｚと
平行に動かす。直線Ｘと直線Ｚは直交している。ロボッ
ト１は、肩３（円筒座標の中心）を中心として旋回する
ことによって、肩３とハンド１０との距離を半径とした
円周方向に沿ってハンド１０を動かす。
【００３１】カセット４０は、正面からのみ薄板状ワー
ク３０の出し入れが可能であり、正面はロボット１側に
向いており、正面と直線Ｘとは垂直となるように設置
し、かつ、各々の薄板状ワーク３０群の中心を結ぶ線Ｚ
１は、直線Ｘと直交するように設置するとともに、薄板
状ワーク３０とハンド１０とは平行となるように配置さ
れている。
ク３０の出し入れが可能であり、正面はロボット１側に
向いており、正面と直線Ｘとは垂直となるように設置
し、かつ、各々の薄板状ワーク３０群の中心を結ぶ線Ｚ
１は、直線Ｘと直交するように設置するとともに、薄板
状ワーク３０とハンド１０とは平行となるように配置さ
れている。
【００３２】ロボット１が適宜に制御されて、ハンド１
０がＸ1 方向に移動され、ステーションＳＴ1 におい
て、カセット４０に多段に収納された薄板状ワーク３
０，３０間に挿入される。ついで、ハンド１０が所望量
上昇されて、薄板状ワーク３０が搬送用ハンド１０上に
載置され、この後、搬送用ハンド１０がＸ2 方向に移動
される。この後、ロボット１が適宜に制御されて、ハン
ド１０上に載置された薄板状ワーク３０が所望の処理作
業位置（＝ステーションＳＴ2 ）に搬送される。
０がＸ1 方向に移動され、ステーションＳＴ1 におい
て、カセット４０に多段に収納された薄板状ワーク３
０，３０間に挿入される。ついで、ハンド１０が所望量
上昇されて、薄板状ワーク３０が搬送用ハンド１０上に
載置され、この後、搬送用ハンド１０がＸ2 方向に移動
される。この後、ロボット１が適宜に制御されて、ハン
ド１０上に載置された薄板状ワーク３０が所望の処理作
業位置（＝ステーションＳＴ2 ）に搬送される。
【００３３】例えば、処理作業後、ロボット１が適宜に
制御されて、ハンド１０に載置された薄板状ワーク３０
がカセット４０の所望の位置に搬入されて収納される。
すなわち薄板状ワーク３０がＳＴ2 からＳＴ1 へと搬送
される。
制御されて、ハンド１０に載置された薄板状ワーク３０
がカセット４０の所望の位置に搬入されて収納される。
すなわち薄板状ワーク３０がＳＴ2 からＳＴ1 へと搬送
される。
【００３４】 図２乃至図４は、本発明の第１の実施例
を示す図であって、搬送用ハンド１０の詳細図を示して
いる。搬送用ハンド１０は、カーボンを含む可撓性繊維
質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により平板
状に形成され、かつハンド先端から基部側に、即ち、Ｘ
2方向側に平面中央部１０１が切欠かれてＵ字状に形成
されている。カーボンを含む可撓性繊維質材としては、
カーボン繊維質材が最適であるが、カーボン繊維質材
と、合成繊維質材、ガラス繊維質材又は植物繊維質材等
との組合せとすることができる。熱硬化性樹脂として
は、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂又はフェノール樹
脂等が適宜に選定される。
を示す図であって、搬送用ハンド１０の詳細図を示して
いる。搬送用ハンド１０は、カーボンを含む可撓性繊維
質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により平板
状に形成され、かつハンド先端から基部側に、即ち、Ｘ
2方向側に平面中央部１０１が切欠かれてＵ字状に形成
されている。カーボンを含む可撓性繊維質材としては、
カーボン繊維質材が最適であるが、カーボン繊維質材
と、合成繊維質材、ガラス繊維質材又は植物繊維質材等
との組合せとすることができる。熱硬化性樹脂として
は、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂又はフェノール樹
脂等が適宜に選定される。
【００３５】図４に示されるごとく、上記カーボンを含
む可撓性繊維材質は、繊維方向がＸ方向の材料ＣＦ
1 と、繊維方向がＹ方向の成分を有する材料ＣＦ2 とが
適宜に積層されて構成される。カーボンを含む可撓性繊
維材質は、繊維方向の機械的強度が大きいため、繊維方
向がＸ方向の材料ＣＦ1 を上記ＣＦ2 よりも多く使用す
ると、通常Ｘ方向の機械的強度を重視する搬送用ハンド
として好適である。
む可撓性繊維材質は、繊維方向がＸ方向の材料ＣＦ
1 と、繊維方向がＹ方向の成分を有する材料ＣＦ2 とが
適宜に積層されて構成される。カーボンを含む可撓性繊
維材質は、繊維方向の機械的強度が大きいため、繊維方
向がＸ方向の材料ＣＦ1 を上記ＣＦ2 よりも多く使用す
ると、通常Ｘ方向の機械的強度を重視する搬送用ハンド
として好適である。
【００３６】本発明に係る搬送用ハンド１０は、適宜に
積層されるカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹
脂とからなる熱硬化性部材が、加圧・圧締されて形成さ
れるため、歪のない所望の平面状態のものが確実に得ら
れる。この歪のない硬化された平板をＵ字状に切断して
搬送用ハンド１０が形成される。このため、結果として
歪のない所望の平面状態のＵ字状の搬送用ハンド１０を
確実に得ることができる。
積層されるカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹
脂とからなる熱硬化性部材が、加圧・圧締されて形成さ
れるため、歪のない所望の平面状態のものが確実に得ら
れる。この歪のない硬化された平板をＵ字状に切断して
搬送用ハンド１０が形成される。このため、結果として
歪のない所望の平面状態のＵ字状の搬送用ハンド１０を
確実に得ることができる。
【００３７】図２および図３に示されるごとく、搬送用
ハンド１０のＹ方向に離間する指部１０２，１０３は夫
々同一形状であって、指部１０２，１０３が、夫々例え
ば肉厚をｔ1 ，指幅をＢ1 ／２および長さをＬ1 として
いるが、今仮に、搬送用ハンド１０が肉厚；ｔ1 ，板
幅；Ｂ1 および長さ；Ｌ1 の単一の平板であるものと
し、搬送用ハンド１０の基部がロボット１に確実に支持
されているとした場合、単一の平板によりなる搬送用ハ
ンド１０の重力による上下方向の撓みδ2 は次式で表わ
される。
ハンド１０のＹ方向に離間する指部１０２，１０３は夫
々同一形状であって、指部１０２，１０３が、夫々例え
ば肉厚をｔ1 ，指幅をＢ1 ／２および長さをＬ1 として
いるが、今仮に、搬送用ハンド１０が肉厚；ｔ1 ，板
幅；Ｂ1 および長さ；Ｌ1 の単一の平板であるものと
し、搬送用ハンド１０の基部がロボット１に確実に支持
されているとした場合、単一の平板によりなる搬送用ハ
ンド１０の重力による上下方向の撓みδ2 は次式で表わ
される。
【００３８】
δ2 ＝（Ｗ2 ／Ｅ2 ）×（Ｌ1 ／３Ｉ）………（２）
【００３９】ただし、Ｗ2 ；ハンド１０の長さＬ1 に相
当する重量 Ｉ ；ハンド１０の断面２次モーメント Ｅ2 ；熱硬化性部材よりなるハンド１０のＸ方向の縦弾
性係数
当する重量 Ｉ ；ハンド１０の断面２次モーメント Ｅ2 ；熱硬化性部材よりなるハンド１０のＸ方向の縦弾
性係数
【００４０】一方、上記と同寸法のハンドをアルミニウ
ムにより形成したときの撓みδ1 は次式で表わされる
ムにより形成したときの撓みδ1 は次式で表わされる
【００４１】
δ1 ＝（Ｗ1 ／Ｅ1 ）×（Ｌ1 ／３Ｉ）………（３）
【００４２】ただし、Ｗ1 ；アルミニウムよりなるハン
ドの長さＬ1 に相当する重量 Ｅ1 ；アルミニウムよりなるハンドの縦弾性係数
ドの長さＬ1 に相当する重量 Ｅ1 ；アルミニウムよりなるハンドの縦弾性係数
【００４３】上記（２）式および（３）式より下式が成
立つ。
立つ。
【００４４】
δ2 ＝（Ｗ2 ／Ｅ2 ）×（Ｅ1 ／Ｗ1 ）×δ1
＝（Ｅ1 ／Ｅ2 ）×（Ｗ2 ／Ｗ1 ）×δ1 ………（４）
【００４５】さらに、夫々のハンドの断面積および長さ
は同一であるため、熱硬化性部材よりなるハンドの比重
をγ2 およびアルミニウムよりなるハンドの比重をγ1
とすれば（４）式は下式で表わされる。
は同一であるため、熱硬化性部材よりなるハンドの比重
をγ2 およびアルミニウムよりなるハンドの比重をγ1
とすれば（４）式は下式で表わされる。
【００４６】
δ2 ＝（Ｅ1 ／Ｅ2 ）×（γ2 ／γ1 ）×δ1 ………（５）
【００４７】上記熱硬化性部材は複数に積層されるカー
ボンを含む可撓性繊維質材において、繊維方向の異なる
上記ＣＦ1 とＣＦ2 との夫々の積層数により数値が異な
るが、例えば熱硬化性部材よりなるハンドの比重γ2 ＝
１．５および縦弾性係数Ｅ2＝１１０００Kg／mm2 のも
のを作成することができる。
ボンを含む可撓性繊維質材において、繊維方向の異なる
上記ＣＦ1 とＣＦ2 との夫々の積層数により数値が異な
るが、例えば熱硬化性部材よりなるハンドの比重γ2 ＝
１．５および縦弾性係数Ｅ2＝１１０００Kg／mm2 のも
のを作成することができる。
【００４８】一方、アルミニウムはγ1 ＝２．７，Ｅ1
＝７５００Kg／mm2 であるから、上記の夫々の数値を
（５）式に代入すれば下式となる。
＝７５００Kg／mm2 であるから、上記の夫々の数値を
（５）式に代入すれば下式となる。
【００４９】
δ2 ＝（７５００／１１０００）×（１．５／２．７）×δ1
＝０．３８δ1 ………………………………………（６）
【００５０】上記のごとく、複数に積層されるカーボン
を含む可撓性繊維質材の配置を適宜に選定した熱硬化性
部材によりハンド１０を形成すれば、例えば（６）式で
表わされるようにアルミニウムにより形成したハンド５
０に対して、上下方向の撓み量は約４割に減少されるこ
ととなる。
を含む可撓性繊維質材の配置を適宜に選定した熱硬化性
部材によりハンド１０を形成すれば、例えば（６）式で
表わされるようにアルミニウムにより形成したハンド５
０に対して、上下方向の撓み量は約４割に減少されるこ
ととなる。
【００５１】なお、上記の計算式においては、搬送用ハ
ンド１０が肉厚；ｔ1 ，板幅；Ｂ1および長さ；Ｌ1 の
単一の平板であるとしたが、図２および図３に示される
ごとく肉厚；ｔ1 ，長さ；Ｌ1 ，および板幅；Ｂ1 ／２
の２個の指部１０２，１０３とした場合、例えば指部１
０２の重力による撓みδ3 は次式で表わされる。
ンド１０が肉厚；ｔ1 ，板幅；Ｂ1および長さ；Ｌ1 の
単一の平板であるとしたが、図２および図３に示される
ごとく肉厚；ｔ1 ，長さ；Ｌ1 ，および板幅；Ｂ1 ／２
の２個の指部１０２，１０３とした場合、例えば指部１
０２の重力による撓みδ3 は次式で表わされる。
【００５２】
δ3 ＝（Ｗ3 ／Ｅ2 ）×（Ｌ1 ／３Ｉ3 ）………（７）
【００５３】ただし、Ｗ3 ；指部１０２の長さＬ1 に相
当する重量 Ｉ3 ；指部１０２の断面２次モーメント Ｅ2 ；熱硬化性部材よりなる指部のＸ方向の縦弾性係数
当する重量 Ｉ3 ；指部１０２の断面２次モーメント Ｅ2 ；熱硬化性部材よりなる指部のＸ方向の縦弾性係数
【００５４】ところで（２）式の対象となるハンドの板
幅を１／２にしたものが（７）式であり、Ｗ3 ＝Ｗ2 ／
２およびＩ3 ＝Ｉ／2 の関係にあるため、これらの値を
（７）式に代入すると下式となる。
幅を１／２にしたものが（７）式であり、Ｗ3 ＝Ｗ2 ／
２およびＩ3 ＝Ｉ／2 の関係にあるため、これらの値を
（７）式に代入すると下式となる。
【００５５】δ3 ＝（Ｗ2 ／Ｅ2 ）×（Ｌ1 ／３Ｉ）
【００５６】従って、夫々（２）式と（７）式とで表わ
される撓みδ2 とδ3 とは同一であることが判る。この
ため、２個の指部１０２，１０３としても、上記（６）
式が成立つ。
される撓みδ2 とδ3 とは同一であることが判る。この
ため、２個の指部１０２，１０３としても、上記（６）
式が成立つ。
【００５７】本発明にかかる搬送用ハンド１０を用いた
場合、搬送用ハンド１０の撓みδ2に伴なうカセット４
０の上下のピッチＰ2 は（１）式と同様に考えて下式で
表わされる。なお搬送用ハンド１０をカセット４０に挿
入する時の模式拡大図を図５に示す。
場合、搬送用ハンド１０の撓みδ2に伴なうカセット４
０の上下のピッチＰ2 は（１）式と同様に考えて下式で
表わされる。なお搬送用ハンド１０をカセット４０に挿
入する時の模式拡大図を図５に示す。
【００５８】
Ｐ2 ＝ｔ1 ＋０．３８δ1 ＋２△ｈ＋ｔ0 ………（８）
【００５９】（１）式および（８）式の個々の数値を特
定しないとＰ1 とＰ2 との数値比較をすることができな
いが、個々の値はミリ単位の値であるため、搬送用ハン
ドの撓みを従来の約４割に押えられることは、搬送装置
としてメリットが大である。
定しないとＰ1 とＰ2 との数値比較をすることができな
いが、個々の値はミリ単位の値であるため、搬送用ハン
ドの撓みを従来の約４割に押えられることは、搬送装置
としてメリットが大である。
【００６０】勿論、本発明に係る搬送用ハンドは、歪の
ない所望の平面状態に形成されるため、従来のごとく搬
送用ハンドの撓み量に歪み量を付加して考慮しなければ
ならないという事態は皆無となる。
ない所望の平面状態に形成されるため、従来のごとく搬
送用ハンドの撓み量に歪み量を付加して考慮しなければ
ならないという事態は皆無となる。
【００６１】さらに、図２に示されるごとく、搬送用ハ
ンドは、平面Ｕ字状部により、Ｙ方向に離間する指部１
０２，１０３により安定して薄板状ワーク３０を載置す
るため、広幅で極端に薄い薄板状ワーク，例えば液晶基
板の場合に特に有効である。
ンドは、平面Ｕ字状部により、Ｙ方向に離間する指部１
０２，１０３により安定して薄板状ワーク３０を載置す
るため、広幅で極端に薄い薄板状ワーク，例えば液晶基
板の場合に特に有効である。
【００６２】なお、上記したごとく繊維方向の異なるＣ
Ｆ1 とＣＦ2 とを適宜に選定した熱硬化性部材により搬
送用ハンド１０を形成するが、搬送用ハンド１０の長手
方向、すなわちＸ方向の縦弾性係数をＥL ，および幅方
向，すなわちＹ方向の縦弾性係数をＥW としたとき、表
１に示される熱硬化性部材により搬送用ハンドを形成す
ることができる。
Ｆ1 とＣＦ2 とを適宜に選定した熱硬化性部材により搬
送用ハンド１０を形成するが、搬送用ハンド１０の長手
方向、すなわちＸ方向の縦弾性係数をＥL ，および幅方
向，すなわちＹ方向の縦弾性係数をＥW としたとき、表
１に示される熱硬化性部材により搬送用ハンドを形成す
ることができる。
【００６３】
【表１】
【００６４】表１における番号乃至の比重；γ2 は
γ2 ＝１．５であった。従来のアルミニウムの値、すな
わちγ1 ＝２．７およびＥ1 ＝７５００Ｋｇ／ｍｍ2 と
表１における番号およびの値を夫々（５）式に代入
して、表１における番号およびの夫々の撓みをδ21
およびδ22とすれば下式が得られる。
γ2 ＝１．５であった。従来のアルミニウムの値、すな
わちγ1 ＝２．７およびＥ1 ＝７５００Ｋｇ／ｍｍ2 と
表１における番号およびの値を夫々（５）式に代入
して、表１における番号およびの夫々の撓みをδ21
およびδ22とすれば下式が得られる。
【００６５】δ21＝０．７３δ1 、δ22＝０．５２δ1
【００６６】なお表１における番号の撓み；δ23は
（６）式で表わされるものと同一である。 δ23＝δ2 ＝０．３８δ1
（６）式で表わされるものと同一である。 δ23＝δ2 ＝０．３８δ1
【００６７】表１における番号乃至のものを搬送用
ハンドとして用いることができるが、縦弾性係数ＥL が
大きいほど、搬送用ハンドの上下方向の撓み量が小さ
く、カセットに対する薄板状ワークの積み、下し時に有
利であり、従って番号のものが搬送用ハンドとして最
適である。
ハンドとして用いることができるが、縦弾性係数ＥL が
大きいほど、搬送用ハンドの上下方向の撓み量が小さ
く、カセットに対する薄板状ワークの積み、下し時に有
利であり、従って番号のものが搬送用ハンドとして最
適である。
【００６８】さらに、上記ＥL とＥW とに着目した場
合、ＥL ＝ＥW とすれば幅の広いワークに適用すること
ができる。
合、ＥL ＝ＥW とすれば幅の広いワークに適用すること
ができる。
【００６９】勿論、本発明の狙いとするワークはＸ方向
に長いワークであるからＥL ＞ＥWとすれば好適であ
る。
に長いワークであるからＥL ＞ＥWとすれば好適であ
る。
【００７０】さらに、上記した熱硬化性部材により形成
される搬送用ハンドにおいて、幅方向の機械的強度があ
る程度必要であるが、Ｘ方向の機械的強度を極力大きく
するよう繰返し搬送用ハンドを作成して、表１における
番号のものを得た。すなわち、ＥL ＝２．６ＥW 、Ｅ
L ＝１１０００Ｋｇ／ｍｍ2 のものが搬送用ハンドとし
て最適である。
される搬送用ハンドにおいて、幅方向の機械的強度があ
る程度必要であるが、Ｘ方向の機械的強度を極力大きく
するよう繰返し搬送用ハンドを作成して、表１における
番号のものを得た。すなわち、ＥL ＝２．６ＥW 、Ｅ
L ＝１１０００Ｋｇ／ｍｍ2 のものが搬送用ハンドとし
て最適である。
【００７１】なお、上記搬送用ハンドのＥL の最大値は
搬送用ハンドの肉厚を大きくしても殆んど変化が見られ
なかった。
搬送用ハンドの肉厚を大きくしても殆んど変化が見られ
なかった。
【００７２】さらに、図４（Ａ）において、繊維方向が
Ｙ方向の成分を有する材料ＣＦ2 としては、繊維方向が
Ｘ方向の材料ＣＦ1 を９０度反転させて使用したり、或
いは繊維方向がＸ方向とＹ方向とに格子状に配置した材
料とすることができる。
Ｙ方向の成分を有する材料ＣＦ2 としては、繊維方向が
Ｘ方向の材料ＣＦ1 を９０度反転させて使用したり、或
いは繊維方向がＸ方向とＹ方向とに格子状に配置した材
料とすることができる。
【００７３】さらにまた、上記した熱硬化性部材により
形成される搬送用ハンドは、図６に示されるごとく単一
の平板とすることができる。
形成される搬送用ハンドは、図６に示されるごとく単一
の平板とすることができる。
【００７４】さらに、本発明に係る搬送用ハンドに、ワ
ークを載置するハンドの上面に開口する、いわゆるワー
ク吸着機構を付設すれば、ワークを安定して搬送できる
ことは勿論である。
ークを載置するハンドの上面に開口する、いわゆるワー
ク吸着機構を付設すれば、ワークを安定して搬送できる
ことは勿論である。
【００７５】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
係る薄板状ワーク搬送用ハンドは、カーボンを含む可撓
性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材によ
り形成されているため、加工歪のない所望の平面状態と
することができ、かつ軽量で機械的強度が大であって重
力による撓みの小さい搬送用ハンドを確実に実現するこ
とができる。
係る薄板状ワーク搬送用ハンドは、カーボンを含む可撓
性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材によ
り形成されているため、加工歪のない所望の平面状態と
することができ、かつ軽量で機械的強度が大であって重
力による撓みの小さい搬送用ハンドを確実に実現するこ
とができる。
【００７６】勿論、カーボンを含む可撓性繊維質材を重
ね合わす際に、繊維質材の繊維方向を適宜に選定するこ
とにより、搬送用ハンドの長手方向と、長手方向と直交
する搬送用ハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥL ，
ＥW を自在に設定することができ、用途に対応させるこ
とができる。このため、結果としてカセットの薄板状ワ
ークの多段積みのピッチを可及的に小さくして、カセッ
トに収納された薄板状ワークの処理作業能率の向上に寄
与することができる。
ね合わす際に、繊維質材の繊維方向を適宜に選定するこ
とにより、搬送用ハンドの長手方向と、長手方向と直交
する搬送用ハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥL ，
ＥW を自在に設定することができ、用途に対応させるこ
とができる。このため、結果としてカセットの薄板状ワ
ークの多段積みのピッチを可及的に小さくして、カセッ
トに収納された薄板状ワークの処理作業能率の向上に寄
与することができる。
【００７７】さらに、薄板状ワーク搬送用ハンドが、カ
ーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる
熱硬化性部材により形成され、かつハンド先端から基部
側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成されていれ
ば、上記作用・効果に加えて、平面Ｕ字状部が幅方向に
離間した位置で薄板状ワークを安定して支持することと
なる。このため、薄板状ワークが広幅で極端に薄い、例
えば、液晶基板の場合に特に有効である。
ーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる
熱硬化性部材により形成され、かつハンド先端から基部
側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成されていれ
ば、上記作用・効果に加えて、平面Ｕ字状部が幅方向に
離間した位置で薄板状ワークを安定して支持することと
なる。このため、薄板状ワークが広幅で極端に薄い、例
えば、液晶基板の場合に特に有効である。
【００７８】この場合、搬送用ハンドは平面中央部が切
欠かれたＵ字状に形成されるが、従来のごとくアルミニ
ウムによりＵ字状のハンドを形成しようとすると、薄い
肉厚で、しかも平面Ｕ字状に切欠かれているため、大半
のハンドが歪んで所望の平面状態となし得ない。しか
し、本発明に係る搬送用ハンドは、適宜に積層されるカ
ーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる
熱硬化性部材が、加圧・圧締されて形成されるため、歪
のない所望の平面状態のものが確実に得られる。
欠かれたＵ字状に形成されるが、従来のごとくアルミニ
ウムによりＵ字状のハンドを形成しようとすると、薄い
肉厚で、しかも平面Ｕ字状に切欠かれているため、大半
のハンドが歪んで所望の平面状態となし得ない。しか
し、本発明に係る搬送用ハンドは、適宜に積層されるカ
ーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる
熱硬化性部材が、加圧・圧締されて形成されるため、歪
のない所望の平面状態のものが確実に得られる。
【００７９】勿論、搬送用ハンドは歪のない所望の平面
状態に形成されるため、従来のごとくの搬送時における
搬送用ハンドの歪み量の考察は無用となる。
状態に形成されるため、従来のごとくの搬送時における
搬送用ハンドの歪み量の考察は無用となる。
【図１】本発明の対象とする自動搬送装置の概略斜視図
【図２】本発明の実施例を示す斜視図
【図３】図２のIII −III 線断面図
【図４】搬送用ハンド１０の詳細説明図
【図５】図２に示される搬送用ハンド１０をカセット４
０に挿入する時の模式拡大図
０に挿入する時の模式拡大図
【図６】従来の搬送用ハンド５０を示す斜視図
【図７】図６に示される搬送用ハンド５０とカセット４
０との関係を示す図であって、図３に相当する図
０との関係を示す図であって、図３に相当する図
【図８】図６に示される搬送用ハンド５０をカセット４
０に挿入する時の模式拡大図
０に挿入する時の模式拡大図
１ 自動搬送装置
２ ロボット関節腕
３ ロボット肩
１０ 薄板状ワーク搬送用ハンド
１０１ 搬送用ハンドの先端からの平面中央部のＵ字状
の切欠き １０２ 搬送用ハンドの幅方向の指部 １０３ 搬送用ハンドの幅方向の指部 ３０ 薄板状ワーク ４０ カセット ＥL 搬送用ハンドの長手方向の縦弾性係数 ＥW 搬送用ハンドの長手方向と直交する幅方向の縦弾
性係数
の切欠き １０２ 搬送用ハンドの幅方向の指部 １０３ 搬送用ハンドの幅方向の指部 ３０ 薄板状ワーク ４０ カセット ＥL 搬送用ハンドの長手方向の縦弾性係数 ＥW 搬送用ハンドの長手方向と直交する幅方向の縦弾
性係数
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−99225（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−69445（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−114089（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−131582（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−179251（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−124236（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−9346（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−145636（ＪＰ，Ａ)
実開 昭61−84534（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
B65G 49/06 - 49/07
B25J 15/00 - 15/12
G02F 1/13
H05K 13/02
B29D 9/00
B32B 1/00 - 35/00
Claims (5)
- 【請求項１】 薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを
水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする
薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、 薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄
板状ワークの搬送に使用する薄板状ハンドであって、 前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱
硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記
薄板状ハンドの材質の比重を小にし軽量にすると共に、
前記熱硬化性部材を加圧・圧締成形方法を使用して加工
歪みのない平面状態に形成することによって、前記薄板
状ハンドに前記薄板状ワークを載置しないときの薄板状
ハンドの両先端部の自重による撓み量を小にし、 次に、前記自重による撓み量を小にした薄板状ハンドの
長手方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数を、その長手
方向に直交するハンドの幅方向の前記熱硬化性部材の縦
弾性係数よりも大にして、前記長手方向の機械的強度を
大にすることによって、前記薄板状ハンドに前記薄板状
ワークを載置したときの薄板状ハンド先端の撓み量を十
分に小にする薄板状ワーク搬送用ハンド。 - 【請求項２】 薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを
水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする
薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、 上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状
のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄
板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板
状ワークを積み降ろしする薄板状ハンドであって、 前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱
硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記
薄板状ハンドの材質の比重を小にし軽量にすると共に、
前記熱硬化性部材を加圧・圧締成形方法を使用して加工
歪みのない平面状態に形成することによって、前記薄板
状ハンドに前記薄板状ワークを載置しないときの薄板状
ハンドの両先端部の自重による撓み量を小にし、 次に、前記自重による撓み量を小にした薄板状ハンドの
長手方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数を、その長手
方向に直交するハンドの幅方向の前記熱硬化性部材の縦
弾性係数よりも大にして、前記長手方向の機械的強度を
大にすることによって、前記薄板状ハンドに前記薄板状
ワークを載置したときの薄板状ハンド先 端の撓み量を十
分に小にする薄板状ワーク搬送用ハンド。 - 【請求項３】 薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを
水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする
薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、 薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄
板状ワークの搬送に使用する薄板状ハンドであって、 前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱
硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記
薄板状ハンドの材質の比重を小にし軽量にすると共に、
前記熱硬化性部材を加圧・圧締成形方法を使用して加工
歪みのない平面状態に形成することによって、前記薄板
状ハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字
状に形成された薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置
しないときの前記Ｕ字状に形成された薄板状ハンドの両
先端部の自重による撓み量を小にし、 次に、前記自重による撓み量を小にした薄板状ハンドの
長手方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数を、その長手
方向に直交するハンドの幅方向の前記熱硬化性部材の縦
弾性係数よりも大にして、前記長手方向の機械的強度を
大にすることによって、前記薄板状ハンドに前記薄板状
ワークを載置したときの薄板状ハンド先端の撓み量を十
分に小にする薄板状ワーク搬送用ハンド。 - 【請求項４】 薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを
水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする
薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、 上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状
のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄
板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板
状ワークを積み降ろしする薄板状ハンドであって、 前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱
硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記
薄板状ハンドの材質の比重を小にし軽量にすると共に、
前記熱硬化性部材を加圧・圧締成形方法を使用して加工
歪みのない平面状態に形成することによって、前記薄板
状ハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字
状に形成された薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置
しないときの前記Ｕ字状に形成された薄板状ハンドの両
先端部の自重による撓み量を小にし、 次に、前記自重による撓み量を小にした薄板状ハンドの
長手方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数を、その長手
方向に直交するハンドの幅方向の前記熱硬化性部材の縦
弾性係数よりも大にして、前記長手方向の機械的強度を
大にすることによって、前記薄板状ハンドに前記薄板状
ワークを載置したときの薄板状ハンド先端の撓み量を十
分に小にする薄板状ワーク搬送用ハンド。 - 【請求項５】 搬送用ハンドにワーク吸着機構を付設し
た請求項１から請求項４のいずれかに記載の搬送用ハン
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11795695A JP3393955B2 (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 薄板状ワーク搬送用ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11795695A JP3393955B2 (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 薄板状ワーク搬送用ハンド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08288364A JPH08288364A (ja) | 1996-11-01 |
| JP3393955B2 true JP3393955B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=14724410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11795695A Ceased JP3393955B2 (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 薄板状ワーク搬送用ハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3393955B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100760168B1 (ko) * | 1999-06-09 | 2007-09-20 | 신닛뽄세키유 가부시키가이샤 | 반송용 부재 |
| JP2000343476A (ja) | 1999-06-09 | 2000-12-12 | Nippon Mitsubishi Oil Corp | 搬送用部材 |
| US6703116B2 (en) | 2001-09-19 | 2004-03-09 | Nippon Mitsubishi Oil Corporation | CFRP component for use in conveyor with its processed surface coated and method of coating |
| US6815037B2 (en) | 2001-09-19 | 2004-11-09 | Nippon Mitsubishi Oil Corporation | Carrier member made of a UV resistant fiber-reinforced composite material and process for producing thereof |
| JP3823083B2 (ja) * | 2002-07-19 | 2006-09-20 | 株式会社 日立インダストリイズ | 基板組立装置 |
| JP3823118B2 (ja) * | 2002-07-19 | 2006-09-20 | 株式会社 日立インダストリイズ | 基板組立装置 |
| CN105329642B (zh) * | 2015-11-09 | 2017-11-21 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 | 基板位置偏移检测及校正方法和基板搬运系统的控制方法 |
-
1995
- 1995-04-18 JP JP11795695A patent/JP3393955B2/ja not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08288364A (ja) | 1996-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7329083B2 (en) | Loader and unloader for workpiece | |
| KR101226733B1 (ko) | 기판 반송 장치 | |
| JP3393955B2 (ja) | 薄板状ワーク搬送用ハンド | |
| KR19990082307A (ko) | 기판 하우징용 기판 지지 장치 | |
| KR101830921B1 (ko) | Pcb기판 운반장치 및 그 방법 | |
| JP2003243482A (ja) | 枚葉基板の移載装置並びにそれに用いる収納装置及びハンド並びにこれらの装置によって取り扱われる枚葉基板 | |
| US20180044123A1 (en) | Adjustment device | |
| JP4854256B2 (ja) | パネル処理装置及び処理方法 | |
| JPH11322069A (ja) | 基板搬送用フィンガ組立体 | |
| JP4862614B2 (ja) | ガラス板梱包方法 | |
| EP3414197B2 (en) | Handling system for handling stackable flat elements | |
| JP2001044259A (ja) | 半導体搬送腕 | |
| JP2006319005A (ja) | 液晶ガラス基板の枚葉搬送トレー | |
| JPS59223637A (ja) | 重層した薄板の分離方法 | |
| KR20070013189A (ko) | 매엽반송용 트레이 | |
| JP4957217B2 (ja) | トレイ開梱梱包装置およびトレイ開梱梱包方法 | |
| KR101989322B1 (ko) | 필름을 이송하기 위한 로봇 핸드 | |
| JP2007200959A (ja) | 枚葉搬送用トレイ | |
| JP2022097869A (ja) | シート状の物品の搬送方法、パレット、および物品搬送システム | |
| JP4407586B2 (ja) | 枚葉搬送用トレイ | |
| CN217866965U (zh) | 收放板设备 | |
| JPH0577947A (ja) | 薄板投入装置 | |
| JP7327337B2 (ja) | 物品搬送装置 | |
| JP4407587B2 (ja) | 枚葉搬送用トレイ | |
| JP7443151B2 (ja) | 搬送システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D04 |
|
| RVOP | Cancellation by post-grant opposition |