JP4917526B2 - シート貼付装置 - Google Patents
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Description
更に、特許文献1に開示された押圧部材は、中央部肉厚が外周側肉厚よりも厚い断面形状となる弾性変形可能な素材で構成されているため、ウエハの全領域において接着シートに押圧力が付与されたときに、ウエハ中央部に対する押圧力がウエハ外周側に対する押圧力に比べて強くなる。従って、ウエハ外周側のシート押圧力が相対的に弱くなることによって貼付不良を生じ易い、という不都合がある。この一方、ウエハ外周側に対するシート押圧力を十分に発揮させると、中央部の押圧力が過大になる傾向をもたらし、これによってウエハが割れ易くなる、という不都合を招来する。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、装置自体の部品点数を減少させ、装置の小型化を図るとともに、被着体に対して、空気の混入をなくして確実に接着シートを貼付することができ、且つ、被着体の損傷等も回避することのできるシート貼付装置を提供することにある。
前記押圧部材は、自重によって被着体に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面形状となる押圧面と、この押圧面の外周側に連設されるとともに無負荷状態で当該押圧面と略同一平面内に位置する初期形状を備えた変形許容部とからなり、
前記変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を介して前記接着シートに押圧力を付与し、
前記押圧面は下部シートと、この下部シートの上面側に設けられた上部シートとの少なくとも2層構造とされ、前記下部シートの外周側を上部シートの外周よりもはみ出す大きさに設けて当該はみ出した領域で前記変形許容部が構成され、前記押圧面の接着シート側の面と変形許容部の接着シート側の面とが無負荷状態で略同一平面内に位置する、という構成を採っている。
また、本発明は、被着体を支持するテーブルと、前記被着体に沿って配置された接着シートに押圧力を付与する押圧部材とを備えたシート貼付装置において、
前記押圧部材は、自重によって被着体に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面形状となる押圧面と、この押圧面の外周側に連設されるとともに無負荷状態で当該押圧面と略同一平面内に位置する初期形状を備えた変形許容部とからなり、
前記変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を介して前記接着シートに押圧力を付与し、
前記押圧面は変形許容部よりも肉厚に設けられ、押圧面と変形許容部との肉厚差によって変形許容部が相対的に変形し易く形成され、前記押圧面の接着シート側の面と変形許容部の接着シート側の面とが無負荷状態で略同一平面内に位置する、という構成を採っている。
また、下部ケース及び上部ケースにテーブル及び押圧部材を収容して減圧可能とした構成によれば、被着体と接着シートとを減圧雰囲気で貼付することができ、それらの間に空気が混入することを防止することができる。しかも、第2の空間の減圧を利用して変形許容部を変形させる構成であるため、特許文献1のようなエアシリンダ等の駆動源が必要なく、それを動作させるための加圧源も必要がなくなるうえ、それら制御も簡単に行うことができ、装置の小型化、製造コスト、ランニングコストを削減することが可能となる。
更に、変形許容部は、弾性変形が容易な材質であるため、その伸縮を利用して変形代を大きく確保することができる。
なお、本明細書において、減圧(状態)は真空(状態)をも含む概念とする。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 テーブル
12 下部ケース
13 上部ケース
14 押圧部材
14A 下部シート
14B 上部シート
22 押圧面
23 変形許容部
S 接着シート
S1 第1の空間
S2 第2の空間
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (4)
- 被着体を支持するテーブルと、前記被着体に沿って配置された接着シートに押圧力を付与する押圧部材とを備えたシート貼付装置において、
前記押圧部材は、自重によって被着体に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面形状となる押圧面と、この押圧面の外周側に連設されるとともに無負荷状態で当該押圧面と略同一平面内に位置する初期形状を備えた変形許容部とからなり、
前記変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を介して前記接着シートに押圧力を付与し、
前記押圧面は下部シートと、この下部シートの上面側に設けられた上部シートとの少なくとも2層構造とされ、前記下部シートの外周側を上部シートの外周よりもはみ出す大きさに設けて当該はみ出した領域で前記変形許容部が構成され、前記押圧面の接着シート側の面と変形許容部の接着シート側の面とが無負荷状態で略同一平面内に位置することを特徴とするシート貼付装置。 - 被着体を支持するテーブルと、前記被着体に沿って配置された接着シートに押圧力を付与する押圧部材とを備えたシート貼付装置において、
前記押圧部材は、自重によって被着体に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面形状となる押圧面と、この押圧面の外周側に連設されるとともに無負荷状態で当該押圧面と略同一平面内に位置する初期形状を備えた変形許容部とからなり、
前記変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を介して前記接着シートに押圧力を付与し、
前記押圧面は変形許容部よりも肉厚に設けられ、押圧面と変形許容部との肉厚差によって変形許容部が相対的に変形し易く形成され、前記押圧面の接着シート側の面と変形許容部の接着シート側の面とが無負荷状態で略同一平面内に位置することを特徴とするシート貼付装置。 - 前記テーブルを収容する下部ケースと、前記押圧部材を収容する上部ケースとを更に含み、
前記上部、下部ケース及び押圧部材により第1の空間を形成する一方、前記上部ケース及び押圧部材により第2の空間を形成し、
前記接着シートを押圧して当該接着シートを被着体に貼付するときに、前記第1及び第2の空間を減圧状態とし、前記第2の空間を徐々に減圧状態から開放することによって前記変形許容部を変形させることを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。 - 前記変形許容部は、前記押圧面よりも弾性変形が容易な材料によって形成され、前記第2の空間が徐々に減圧状態から開放されるにつれて、前記変形許容部が弾性変形することを特徴とする請求項3記載のシート貼付装置。
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