JP2008159829A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
シート貼付装置及び貼付方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008159829A JP2008159829A JP2006346987A JP2006346987A JP2008159829A JP 2008159829 A JP2008159829 A JP 2008159829A JP 2006346987 A JP2006346987 A JP 2006346987A JP 2006346987 A JP2006346987 A JP 2006346987A JP 2008159829 A JP2008159829 A JP 2008159829A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive sheet
- sheet
- plate
- pressing
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】リングフレームFの内側空間F1を閉塞するように接着シートSが張設された支持体11を支持体形成手段12で形成する。貼合手段14の貼合用テーブル31上に、ウエハWが支持された状態で、前記支持体11がウエハWをその内側空間F1内に配置するように移載される。押圧部材32の押圧面41は、ケースC内における第1及び第2の空間S1,S2の相対圧力を変化させることで、中央部から外側に向かって押圧力を生じさせ、その押圧力で接着シートSをウエハに貼付する。接着シートSがウエハWに貼合された後に、ロボット60が、カッター刃63を介してウエハWの形状に合うように切断を行う。
【選択図】図1
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、真空若しくは減圧された雰囲気の中でウエハ等の板状部材に接着シートを貼付する際に、一時的に利用可能な支持体を用い、接着シートの繰り出しを必要とすることなく当該接着シートを板状部材に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記押圧部材は、前記板状部材に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面形状に設けられた押圧面と、当該押圧面の外周側に連設された変形許容部とからなり、当該変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を前記接着シートに近接させるとともに、当該押圧面を前記板状部材に対して略平行となるように変形させることで、中央から外周に向かって前記接着シートを板状部材に貼付する、という構成を採っている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 支持体
12 支持体形成手段
14 貼合手段
15 切断手段
31 貼合用テーブル
32 押圧部材
41 押圧面
43 変形許容部
C ケース
F リングフレーム(フレーム材)
F1 内側空間
S 接着シート
S1 第1の空間
S2 第2の空間
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (8)
- フレーム材の内側空間に接着シートが張設された支持体の内側に板状部材を配置するとともに、前記接着シートを押圧することで前記板状部材に接着シートを貼付する貼合手段と、前記板状部材の大きさに合わせて前記接着シートを切断してシート貼付済みの板状部材と前記支持体とを分離する切断手段とを備えたことを特徴とするシート貼付装置。
- フレーム材の内側空間に接着シートを張設して支持体を形成する支持体形成手段と、前記支持体の内側に板状部材を配置するとともに、前記接着シートを押圧することで前記板状部材に接着シートを貼付する貼合手段と、前記板状部材の大きさに合わせて前記接着シートを切断してシート貼付済みの板状部材と前記支持体とを分離する切断手段とを備えたことを特徴とするシート貼付装置。
- 前記切断手段は、搬送機能を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。
- 前記貼合手段は、前記板状部材を支持する貼合用テーブルと、前記接着シートに押圧力を付与する押圧部材とを含み、
前記押圧部材は、前記板状部材に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面形状に設けられた押圧面と、当該押圧面の外周側に連設された変形許容部とからなり、当該変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を前記接着シートに近接させるとともに、当該押圧面を前記板状部材に対して略平行となるように変形させることで、中央から外周に向かって前記接着シートを板状部材に貼付することを特徴とする請求項1,2又は3記載のシート貼付装置。 - 前記貼合手段は、真空を含む減圧可能なケースを含み、当該ケース内で前記貼合を可能したことを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載のシート貼付装置。
- 前記押圧部材は、前記ケース内で略閉塞された空間を形成し、押圧部材の内側圧力と外側圧力との差によって前記押圧力を付与することを特徴とする請求項5記載のシート貼付装置。
- フレーム材の内側空間に接着シートを張設した支持体を用意しておき、前記支持体の内側に板状部材を配置し、次いで、前記接着シートに押圧力を付与して前記板状部材に接着シートを貼付し、その後、前記接着シートを板状部材の大きさに合わせて切断してシート貼付済みの板状部材と前記支持体とを分離することを特徴とするシート貼付方法。
- 前記接着シートと板状部材との貼合を真空又は減圧下で行うことを特徴とする請求項7記載のシート貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006346987A JP2008159829A (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | シート貼付装置及び貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006346987A JP2008159829A (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | シート貼付装置及び貼付方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008159829A true JP2008159829A (ja) | 2008-07-10 |
Family
ID=39660413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006346987A Pending JP2008159829A (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | シート貼付装置及び貼付方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008159829A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010073955A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
WO2012053268A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2012-04-26 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2015053360A (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03227827A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-08 | Komatsu Ltd | ミクロジョイントワークの切断・パレタイジング装置 |
JP2003257898A (ja) * | 2002-03-07 | 2003-09-12 | Nitto Denko Corp | 接着シート貼付方法およびその装置並びに半導体ウエハ処理方法 |
JP2004153159A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Enzan Seisakusho:Kk | 半導体ウェハの保護部材貼着方法及びその装置 |
JP2006222231A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Tsubaki Seiko:Kk | テープ接着装置およびテープ接着方法 |
JP2006278927A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Takatori Corp | ウエハへのテープ貼付方法と貼付装置 |
-
2006
- 2006-12-25 JP JP2006346987A patent/JP2008159829A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03227827A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-08 | Komatsu Ltd | ミクロジョイントワークの切断・パレタイジング装置 |
JP2003257898A (ja) * | 2002-03-07 | 2003-09-12 | Nitto Denko Corp | 接着シート貼付方法およびその装置並びに半導体ウエハ処理方法 |
JP2004153159A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Enzan Seisakusho:Kk | 半導体ウェハの保護部材貼着方法及びその装置 |
JP2006222231A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Tsubaki Seiko:Kk | テープ接着装置およびテープ接着方法 |
JP2006278927A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Takatori Corp | ウエハへのテープ貼付方法と貼付装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010073955A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
WO2012053268A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2012-04-26 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2012089665A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
CN103180937A (zh) * | 2010-10-19 | 2013-06-26 | 琳得科株式会社 | 片材粘附装置及粘附方法 |
JP2015053360A (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101570043B1 (ko) | 마운트 장치 및 마운트 방법 | |
JP5117934B2 (ja) | マウント装置及びマウント方法 | |
JP4795772B2 (ja) | シート切断用テーブル及びシート貼付装置 | |
JP6473359B2 (ja) | シート剥離装置 | |
JP2007019240A (ja) | シート貼付装置 | |
JP2007043057A (ja) | シート貼付用テーブル | |
JP4746017B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5113599B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP2008159829A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
KR102426175B1 (ko) | 시트 첩부 장치 및 첩부 방법 | |
JP2012004290A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5996347B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法、並びに、シート貼替装置及び貼替方法 | |
JP6204765B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5093852B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5973203B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP5203895B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5113646B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5869245B2 (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法並びに転写装置 | |
JP5296604B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP4746012B2 (ja) | 貼付装置及び貼付方法 | |
JP7149065B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP6145326B2 (ja) | 支持装置および支持方法 | |
JP4933495B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5209529B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5945158B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20090629 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20100830 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20100907 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101105 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20101207 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20110208 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Effective date: 20110217 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Effective date: 20110311 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20111005 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20111129 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |