JP5945158B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
このような接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献1に記載されている。同装置は、ウエハに貼付された保護シート(接着シート)に臨む位置に接着テープ(剥離用テープ)を繰り出し、当該繰り出された剥離用テープの一端側を剥がしヘッド(保持手段)で保持する一方、後端側を接着シートに貼付し、その状態で保持手段とウエハとを相対移動して剥離用テープを引っ張ることで接着シートの剥離が可能となっている。
本発明の目的は、剥離用テープを用いて接着シートを剥離する際に、剥離用テープが弛むことを防止し、意図しない箇所に剥離用テープが接着することにより生じる剥離不良を回避できるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
また、弛み防止手段が保持手段に設けられていれば、剥離用テープを保持している部材を通じて剥離用テープに張力を付与させることができ、装置を小型化することができる。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。
次いで、図4に示すように、弛み防止手段18が第6直動モータLM6を駆動し、接着シートASからチャックシリンダ34の間に延在している剥離用テープPTの下面側に当接部材47を所定のトルクで突出させる。その後、移動手段17が第1直動モータLM1を駆動し、テーブル20を左側に相対移動させることで、ウエハWFから接着シートASを剥離する。このとき、テーブル20の相対移動に伴い、上下チャック35、36と接着シートASとの間に延在する剥離用テープPTが弛もうとするが、剥離用テープPTは、当接部材47によって所定のトルクで張力が付与されているので、ダイシングテープDTや他のものに接着してしまうような不都合は発生しない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
更に、図5(B)に示すように、弛み防止手段18を上チャック側の上方に設け、剥離用テープPTを上方向に付勢する構成としてもよい。
また、図5(C)に示すように、弛み防止手段18を下チャック36の左右方向に貫通する孔61と、加圧ポンプやタービンなどの送風手段62とで構成し、窒素やアルゴン等のガスや大気等の気体を剥離テープPTに吹き付けてもよい。
11 支持手段
12 繰出手段
14 保持手段
15 貼付手段
16 切断手段
17 移動手段
18 弛み防止手段
AS 接着シート
PT 剥離用テープ
WF 半導体ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を支持する支持手段と、
前記接着シートに臨む位置に前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、
前記剥離用テープの一部を保持する保持手段と、
前記剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、
前記支持手段と前記保持手段とを相対移動させて前記接着シートを剥離する移動手段とを備え、
前記保持手段と前記接着シートとの間に延在する剥離用テープが前記接着シート以外の領域に付着することを回避する弛み防止手段を更に備え、
前記弛み防止手段は、前記保持手段に設けられているとともに、前記保持手段と前記接着シートとの間に延在する剥離用テープに当接若しくは気体を吹きつけて張力を付与することを特徴とするシート剥離装置。 - 前記弛み防止手段は、前記接着シートに前記剥離用テープを貼付してから当該剥離用テープを介して前記接着シートを剥離するまで剥離用テープに張力を付与することを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを剥離するシート剥離方法において、
前記被着体を支持する工程と、
前記接着シートに臨むように前記剥離用テープを繰り出す工程と、
前記剥離用テープの一部を保持手段を介して保持する工程と、
前記剥離用テープを前記接着シートに貼付する工程と、
前記保持手段と前記被着体とを相対移動させて前記接着シートを剥離する工程とを含み、
前記保持手段と前記接着シートとの間に延在する剥離用テープが前記接着シート以外の領域に付着することを回避するように前記保持手段から前記剥離用テープに当接若しくは気体を吹きつけて当該剥離用テープに張力を付与する工程を有することを特徴とするシート剥離方法。
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