JP3221681U - シート支持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】所定の間隔を狭くしても、単位時間当たりに接着シートを切断する切断能力が低下することを防止することができるシート支持装置を提供する。
【解決手段】接着シート基材ＡＢをシート切断手段３０で切断して所定形状の接着シートを形成する際、接着シート基材を支持するシート支持装置ＥＡにおいて、接着シート基材を支持する第１支持面１１Ａを有する第１支持手段１０と、第１支持面に対して所定の間隔ＤＴをおき、第１支持面からはみ出した接着シート基材部分を支持する第２支持面２１Ａを有する第２支持手段２０とを備え、シート切断手段は、切断部材３２を所定の間隔ＤＴに沿って移動させて接着シート基材を切断する構成とされ、第１および第２支持手段のうち少なくとも一方は、シート切断手段が切断部材を接着シート基材に突き刺す位置Ｐ１〜Ｐ８および、接着シート基材から抜き取る位置Ｄ１〜Ｄ８のうち少なくとも一方の位置に、所定の間隔を拡張する拡張部ＥＰを有する。
【選択図】図１

Description

本考案は、シート支持装置に関する。

従来、接着シート基材をシート切断手段で切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００２−１３４４３８号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のウェーハ載置テーブル２１（シート支持装置）では、ダイボンドテープ３（接着シート基材）を良好に切断するためには、温調テーブル３６（第１支持手段）と、テープサポートテーブル３７（第２支持手段）との環状の間隔３９（所定の間隔）を狭くした方がよいが、当該所定の間隔を狭くすれば、カッターユニット３５（シート切断手段）が接着シート基材にカッター３４（切断部材）を突き刺す際や、シート切断手段が接着シート基材から切断部材を抜き取る際に、当該切断部材が第１支持手段や第２支持手段と干渉するおそれがあるため、シート切断手段が切断部材を移動させる移動速度を低下させなければならず、単位時間当たりに接着シートを切断する切断能力が低下するという不都合がある。

本考案の目的は、所定の間隔を狭くしても、単位時間当たりに接着シートを切断する切断能力が低下することを防止することができるシート支持装置を提供することにある。

本考案は、請求項に記載した構成を採用した。

本考案によれば、第１支持手段および第２支持手段のうち少なくとも一方が所定の間隔を拡張する拡張部を有するので、切断手段が切断部材を接着シート基材に突き刺す際や、切断手段が切断部材を接着シート基材から抜き取る際に、切断部材が第１支持手段や第２支持手段と干渉するおそれがなくなるため、シート切断手段が切断部材を移動させる移動速度を低下させなくてもよく、所定の間隔を狭くしても、単位時間当たりに接着シートを切断する切断能力が低下することを防止することができる。

本考案の実施形態に係るシート支持装置の説明図。

以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

本考案のシート支持装置ＥＡは、接着シート基材ＡＢをシート切断手段３０で切断して所定形状の接着シートＡＳ（図１（Ｅ）参照）を形成する際、当該接着シート基材ＡＢを支持する装置であって、接着シート基材ＡＢを支持する第１支持面１１Ａを有する第１支持手段１０と、第１支持面１１Ａに対して所定の間隔ＤＴをおき、当該第１支持面１１Ａからはみ出した接着シート基材ＡＢ部分を支持する第２支持面２１Ａを有する第２支持手段２０とを備え、接着シート基材ＡＢを切断するシート切断手段３０と、接着シート基材ＡＢを被着体ＷＫに貼付するシート貼付手段４０とでシート貼付装置ＥＡ１を形成している。
なお、本実施形態では、第１支持手段１０は、被着体ＷＫを介して接着シート基材ＡＢを第１支持面１１Ａで支持する構成となっている。

第１支持手段１０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な第１支持面１１Ａを有する第１支持テーブル１１を備えている。
なお、第１支持面１１Ａは、図１（Ｂ）に示すように、上方から見下ろした平面視において、正方形状となっている。

第２支持手段２０は、上面が第２支持面２１Ａとされ、第１支持テーブル１１を囲って所定の間隔ＤＴを形成する開口部２１Ｂが形成された第２支持テーブル２１を備えている。
第２支持手段２０に形成された開口部２１Ｂには、シート切断手段３０が切断刃３２を接着シート基材ＡＢに突き刺す突き刺し位置Ｐ１〜Ｐ８および、シート切断手段３０が切断刃３２を接着シート基材ＡＢから抜き取る抜き取り位置Ｄ１〜Ｄ８の両方の位置に、所定の間隔ＤＴを拡張する拡張部ＥＰが形成されている。
拡張部ＥＰは、正方形状の開口部２１Ｂから第２支持面２１Ａを切り欠くようにして形成されており、突き刺し位置Ｐ１〜Ｐ８に対応して開口部２１Ｂの各辺部の中央部にそれぞれ形成された４箇所の突き刺し拡張部ＥＰ１と、抜き取り位置Ｄ１〜Ｄ８に対応させて開口部２１Ｂの各角部にそれぞれ形成された４箇所の抜き取り拡張部ＥＰ２とを含む。

シート切断手段３０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム３１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット３１と、ブラケット３２Ａを介して先端アーム３１Ａに支持され、接着シート基材ＡＢを切断する切断部材としての切断刃３２とを備え、当該切断刃３２を所定の間隔ＤＴに沿って移動させて接着シート基材ＡＢを切断する構成とされている。

シート貼付手段４０は、接着シート基材ＡＢが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ４１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ４２と、剥離縁４３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シート基材ＡＢを剥離する剥離手段としての剥離板４３と、第２支持手段２０および被着体ＷＫに接着シート基材ＡＢを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４４と、駆動機器としての回動モータ４５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ４５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ４５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、ピンチローラ４５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ４６と、スライダ４７Ａでシート支持装置ＥＡを支持する駆動機器としてのリニアモータ４７とを備えている。

以上のシート支持装置ＥＡが採用されたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付手段４０が回動モータ４５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、先頭の接着シート基材ＡＢの繰出方向先端部が剥離板４３の剥離縁４３Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ４５Ａの駆動を停止する。

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、第１支持面１１Ａ上に被着体ＷＫを載置すると、第１支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、当該第１支持面１１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、シート貼付手段４０がリニアモータ４７を駆動し、シート支持装置ＥＡを左方に移動させ、当該シート支持装置ＥＡが所定の位置に到達すると、回動モータ４５Ａを駆動し、当該シート支持装置ＥＡの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シート基材ＡＢが剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シート基材ＡＢは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ４４によって、第２支持面２１Ａおよび被着体ＷＫの上面に押圧されて貼付される。次に、先頭の接着シート基材ＡＢに次ぐ次の接着シート基材ＡＢの繰出方向先端部が、剥離板４３の剥離縁４３Ａで所定長さ剥離されると、シート貼付手段４０が回動モータ４５Ａの駆動を停止する。

そして、第２支持面２１Ａおよび被着体ＷＫに接着シート基材ＡＢ全体が貼付され、シート支持装置ＥＡがシート切断手段３０の作業範囲内に到達すると、シート貼付手段４０がリニアモータ４７の駆動を停止した後、シート切断手段３０が以下の第１切断動作から第４切断動作を実施する。
すなわち、第１切断動作は、シート切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、図１（Ｂ）に示す後方の突き刺し拡張部ＥＰ１内の第１突き刺し位置Ｐ１に切断刃３２を位置させ、当該切断刃３２を接着シート基材ＡＢに突き刺す。その後、シート切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、切断刃３２を被着体ＷＫの後方の外縁に接近させた後、所定の間隔ＤＴに沿って右方へ移動させ、図１（Ｂ）に示す右後方の抜き取り拡張部ＥＰ２内の第１抜き取り位置Ｄ１に切断刃３２を位置させることで、接着シート基材ＡＢに第１切込ＣＵ１を形成する。

次に、シート切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、接着シート基材ＡＢから切断刃３２を抜き取った後、図１（Ｂ）中二点鎖線で示す後方の突き刺し拡張部ＥＰ１内の第２突き刺し位置Ｐ２に切断刃３２を位置させ、当該切断刃３２を接着シート基材ＡＢに突き刺す。そして、シート切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、切断刃３２を被着体ＷＫの後方の外縁に接近させた後、所定の間隔ＤＴに沿って左方へ移動させ、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、左後方の抜き取り拡張部ＥＰ２内の第２抜き取り位置Ｄ２に切断刃３２を位置させることで、接着シート基材ＡＢに第２切込ＣＵ２を形成する。次いで、シート切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、接着シート基材ＡＢから切断刃３２を抜き取り、第１切断動作が完了する。

その後、シート切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、図１（Ｃ）〜（Ｅ）に示すように、第１切断動作と同じ要領で第２切断動作〜第４切断動作を行い、図１（Ｅ）に示すように、接着シート基材ＡＢから被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを形成し、被着体ＷＫに接着シートＡＳが貼付された一体物ＵＰを形成する。
なお、第２切断動作〜第４切断動作は、第１切断動作に対し、第３〜第８切込ＣＵ３〜ＣＵ８を形成する位置が異なるだけで、基本的な動作は、当該第１切断動作と同じなので、図示のみで詳細な動作説明は省略する。

一体物ＵＰが形成されると、シート切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、切断刃３２を初期位置に復帰させるとともに、第１支持手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、第１支持面１１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送した後、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを第２支持面２１Ａ上から剥離して破棄すると、シート貼付手段４０がリニアモータ４７を駆動し、シート支持装置ＥＡを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、第２支持手段２０が所定の間隔ＤＴを拡張する拡張部ＥＰを有するので、シート切断手段３０が切断刃３２を接着シート基材ＡＢに突き刺す際や、シート切断手段３０が切断刃３２を接着シート基材ＡＢから抜き取る際に、切断刃３２が第１支持手段１０や第２支持手段２０と干渉するおそれがなくなるため、シート切断手段３０が切断刃３２を移動させる移動速度を低下させなくてもよく、所定の間隔ＤＴを狭くしても、単位時間当たりに接着シートＡＳを切断する切断能力が低下することを防止することができる。

本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート切断手段は、接着シート基材を切断する切断部材を所定の間隔に沿って移動させて接着シート基材を切断して所定形状の接着シートを形成可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

第１支持手段１０は、平面視において、被着体ＷＫの外縁と同じ大きさの外縁を有している第１支持面１１Ａを備えていてもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも大きな外縁を有している第１支持面１１Ａを備えていてもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも小さな外縁を有している第１支持面１１Ａを備えていてもよいし、平面視において、長方形、円形、楕円形または三角形以上の多角形等どのような形状の第１支持面１１Ａを備えていてもよいし、第１支持面１１Ａで吸着保持ができなくてもよいし、被着体ＷＫを支持した際、当該被着体ＷＫの被着面（上面）と第２支持面２１Ａとが同一平面内に位置しても同一平面内に位置しなくてもよい。

第２支持手段２０は、平面視において、長方形、円形、楕円形、三角形以上の多角形等どのような形状の所定の間隔ＤＴを形成してもよいし、第１支持手段１０と一体であっても別体であってもよいし、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な第２支持面２１Ａを備えていてもよい。

シート切断手段３０は、切断部材として接着シート基材ＡＢを切断可能なものであればどのようなものが採用されてもよく、例えば、切断刃３２の延出方向（図１（Ａ）の状態におけるＺ軸方向）に対し、峰が平行で刃先が傾斜した切断刃３２が採用されてもよいし、切断刃３２の延出方向に対し、刃先が平行で峰が傾斜した切断刃３２が採用されてもよいし、切断刃３２の延出方向に対し、刃先および峰の両方が傾斜した所謂両刃の切断刃３２が採用されてもよいし、丸刃や鋸刃等のその他の形状の切断刃３２が採用されてもよいし、ニクロム線や金属線等の電熱線や、ワイヤやベルト等の線状刃物等が採用されてもよいし、ブラケット３２Ａに支持されていなくてもよいし、切断刃３２を移動させずにまたは移動させつつ、第１支持手段１０および第２支持手段２０を移動させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、切断刃３２における切先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向に当該切断刃３２を傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、同切先側が被着体ＷＫに接近する方向に当該切断刃３２を傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、同切先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向または接近する方向にも傾斜させることなく接着シートＡＳを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁と同形状となるように接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも被着体ＷＫから離れた位置で接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも内側で接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁の形状とは関係なく接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢのみを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢおよび被着体ＷＫの両方を切断してもよいし、切断刃３２を着脱可能または着脱不能な構成でもよいし、切断刃３２の着脱を自動で行ったり、人手で行ったり、他の装置で行ったりしてもよいし、被着体ＷＫや一体物ＵＰを搬送する被着体搬送手段や、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを第２支持面２１Ａ上から剥離する剥離手段として機能してもよい。
シート切断手段３０は、第１〜第４切断動作の順番は、どのような順番でもよく、例えば、最初に第２切断動作を行った後、第４→第３→第１切断動作の順番で接着シートＡＳを形成してもよいし、第１〜第８の切込ＣＵ１〜ＣＵ８を形成する順番は、どのような順番でもよく、例えば、最初に第２の切込ＣＵ２を形成した後、第４→第６→第８→第１→第３→第５→第７の切込の順番で接着シートＡＳを形成してもよいし、例えば、前記実施形態と同様にして第１切込ＣＵ１を形成した後、第１抜き取り位置Ｄ１で接着シート基材ＡＢから切断刃３２を抜き取ることなく（抜き取ってもよい）、切断刃３２をＺ軸中心に１８０度反転させ（１８０度反転させることなく両刃の切断刃を用いてもよい）、当該切断刃３２を第１抜き取り位置Ｄ１から第２抜き取り位置Ｄ２に移動させ、当該第２抜き取り位置Ｄ２で接着シート基材ＡＢから切断刃３２を抜き取る要領で、所定の間隔ＤＴに沿って当該接着シートを切断して接着シートＡＳを形成してもよいし、本考案のシート支持装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本考案のシート支持装置ＥＡに備わっていない場合、他の装置であるシート切断手段（シート切断装置）や他の装置の一部を構成するシート切断手段（シート切断装置）等で、接着シート基材ＡＢを切断し、当該接着シート基材ＡＢから所定形状の接着シートＡＳを形成すればよい。

シート貼付手段４０は、Ｚ軸を中心にシート支持装置ＥＡを回転させる駆動機器を採用し、第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成した後、Ｚ軸を中心にシート支持装置ＥＡを９０度ずつ回転させ、シート切断手段３０が第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成した位置で、第３〜第８切込ＣＵ３〜ＣＵ８を形成するようにしてもよいし、帯状の接着シート基材を第２支持面２１Ａおよび被着体ＷＫの上面に貼付する構成でもよいし、支持ローラ４１やガイドローラ４２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、シート支持装置ＥＡを移動させずにまたは移動させつつ、剥離板４３、押圧ローラ４４、駆動ローラ４５等を移動させ、第２支持面２１Ａおよび被着体ＷＫに接着シート基材ＡＢを押圧して貼付してもよいし、本考案のシート支持装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、シート貼付手段４０が本考案のシート支持装置ＥＡに備わっていてない場合、例えば、シート貼付手段４０以外の装置や人手で、外縁からはみ出すように接着シート基材ＡＢが貼付された被着体ＷＫを用意し、当該被着体ＷＫが第１支持面１１Ａ側となるように、または、接着シート基材ＡＢが第１支持面１１Ａ側となるようにして、当該接着シート基材ＡＢを第１支持面１１Ａおよび第２支持面２１Ａ上に載置してもよいし、被着体ＷＫを介することなく接着シート基材ＡＢを第１支持面１１Ａおよび第２支持面２１Ａ上で直接支持してもよい。

拡張部ＥＰは、前記実施形態では、第２支持手段２０のみに備わっている場合を例示したが、第１支持手段１０のみに備わっていてもよいし、第１支持手段１０および第２支持手段２０の両方に備わっていてもよい。なお、拡張部ＥＰが第１支持手段１０に備わっている場合、突き刺し拡張部ＥＰ１は、第１支持テーブル１１の各辺部の中央部から第１支持面１１Ａを切り欠くようにして形成されればよいし、抜き取り拡張部ＥＰ２は、第１支持テーブル１１の各角部から第１支持面１１Ａを切り欠くようにして形成されればよい。
拡張部ＥＰは、突き刺し位置Ｐ１に対応する突き刺し拡張部と、突き刺し位置Ｐ２に対応する突き刺し拡張部とが別々に設けられてもよいし（その他の突き刺し位置Ｐ３〜Ｐ８に対応する突き刺し拡張部も同じ）、抜き取り位置Ｄ２に対応する抜き取り拡張部と、抜き取り位置Ｄ３に対応する抜き取り拡張部とが別々に設けられてもよいし（その他の抜き取り位置Ｄ１、Ｄ４〜Ｄ８に対応する抜き取り拡張部も同じ）、突き刺し拡張部ＥＰ１のみでもよいし、抜き取り拡張部ＥＰ２のみでもよいし、平面視において円弧状、コ字状、Ｕ字状、Ｖ字状等どのような形状でもよい。
拡張部ＥＰは、例えば、所定の間隔ＤＴが平面視で円形や楕円形の場合、１つでもよいし２つ以上でもよく、１つの場合、当該拡張部ＥＰは、突き刺し拡張部ＥＰ１と抜き取り拡張部ＥＰ２との両方として使用されてもよいし、例えば、所定の間隔ＤＴが平面視で多角形であってとしても、切断部材を接着シート基材ＡＢから１度も抜き取ることなく接着シートＡＳを形成する場合、１つでもよいし、例えば、前記実施形態で例示した抜き取り拡張部ＥＰ２の位置で切断刃３２を接着シート基材ＡＢに突き刺すことで、当該抜き取り拡張部ＥＰ２を突き刺し拡張部としてもよいし、前記実施形態で例示した突き刺し拡張部ＥＰ１の位置で切断刃３２を接着シート基材ＡＢから抜き取ることで、当該突き刺し拡張部ＥＰ１を抜き取り拡張部としてもよいし、突き刺し拡張部ＥＰ１の位置や抜き取り拡張部ＥＰ２の位置は、前記実施形態で説明した位置からずれていてもよく、所定の間隔ＤＴを拡張することができる位置であればどこに設けられてもよいし、被着体ＷＫが第１支持面１１Ａより小さい場合、当該被着体ＷＫの外縁よりも外側に位置していてもよい。
シート支持装置ＥＡは、シート貼付装置ＥＡ１以外に、例えば、接着シートＡＳを積層するシート積層装置や、接着シートＡＳに印字や塗布を行う印刷装置等の他の装置に用いられてもよいし、シート切断手段３０とでシート切断装置を形成してもよいし、シート貼付装置ＥＡ１や他の装置等に用いられることなく、単独で用いられてもよい。
接着シート基材ＡＢは、剥離シートＲＬが仮着されていなくてもよい。

本考案における接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ シート支持装置
１０ 第１支持手段
１１Ａ 第１支持面
２０ 第２支持手段
２１Ａ 第２支持面
ＥＰ 拡張部
３０ シート切断手段
３２ 切断刃（切断部材）
ＡＢ 接着シート基材
ＡＳ 接着シート
ＤＴ 所定の間隔
Ｄ１〜Ｄ８ 抜き取り位置
Ｐ１〜Ｐ８ 突き刺し位置

本考案のシート支持装置ＥＡは、接着シート基材ＡＢをシート切断手段３０で切断して所定形状の接着シートＡＳ（図１（Ｅ）参照）を形成する際、当該接着シート基材ＡＢを支持する装置であって、接着シート基材ＡＢを支持する第１支持面１１Ａを有する第１支持手段１０と、第１支持面１１Ａに対して所定の間隔ＤＴをおき、接着シート基材ＡＢの前記第１支持面１１Ａからはみ出した部分を支持する第２支持面２１Ａを有する第２支持手段２０とを備え、接着シート基材ＡＢを切断するシート切断手段３０と、接着シート基材ＡＢを被着体ＷＫに貼付するシート貼付手段４０とでシート貼付装置ＥＡ１を形成している。
なお、本実施形態では、第１支持手段１０は、被着体ＷＫを介して接着シート基材ＡＢを第１支持面１１Ａで支持する構成となっている。

Claims (1)

1. 接着シート基材をシート切断手段で切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持装置において、
   前記接着シート基材を支持する第１支持面を有する第１支持手段と、
   前記第１支持面に対して所定の間隔をおき、当該第１支持面からはみ出した前記接着シート基材部分を支持する第２支持面を有する第２支持手段とを備え、
   前記シート切断手段は、前記接着シート基材を切断する切断部材を前記所定の間隔に沿って移動させて前記接着シート基材を切断する構成とされ、
   前記第１支持手段および第２支持手段のうち少なくとも一方は、前記シート切断手段が前記切断部材を前記接着シート基材に突き刺す突き刺し位置および、前記シート切断手段が前記切断部材を前記接着シート基材から抜き取る抜き取り位置のうち少なくとも一方の位置に、前記所定の間隔を拡張する拡張部を有することを特徴とするシート支持装置。