JP2019016691A - 除去装置および除去方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ウエハの外縁部を除去しても、当該ウエハの方位が解らなくなることを防止することができる除去装置および除去方法を提供すること。【解決手段】半導体ウエハＷＦの外縁に沿って当該半導体ウエハＷＦに閉ループ状の切断線を形成することで、当該切断線の内側に必要部ＷＦＮを形成するとともに、当該切断線の外側に不要部ＷＦＵを形成する前処理手段２０と、不要部ＷＦＵを除去する不要部除去手段３０とを備え、前処理手段２０は、必要部ＷＦＮの所定の位置に他の装置が認識可能な印ＭＫを形成可能に構成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、除去装置および除去方法に関する。

従来、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）の外縁部を必要に応じて除去する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１０−１０３９２号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート剥離装置（除去装置）では、ウエハＷ（ウエハ）の外縁にＶノッチ等の当該ウエハの方位を示す方位マーク（他の装置が認識可能な印）が形成されている場合、残存縁部Ｗ２（不要部）を除去する工程が実行された後は、ウエハ自身に方位を示すものがなくなるため、次の工程以後においてウエハの方位が解らなくなってしまうという不都合を生じる。

本発明の目的は、ウエハの外縁部を除去しても、当該ウエハの方位が解らなくなることを防止することができる除去装置および除去方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、必要部の所定の位置に他の装置が認識可能な印を形成するので、ウエハの外縁部を除去しても、当該ウエハの方位が解らなくなることを防止することができる。
また、貼付手段を備えれば、必要部とフレーム部材とを一体化することができ、以降の工程において必要部に接触することなく、フレーム部材および接着シートの少なくとも一方を介して、例えば、当該必要部を固定したり搬送したりするといった扱いを行うことができる。
さらに、必要部に凸部を含めることなく切断線を形成する構成とすれば、凸部のない必要部を形成することができる。
また、方位マークのあった位置に対し、位置的に規則性を有する必要部の所定の部位に印を形成する構成とすれば、他の装置は、その規則性に則って当該必要部を位置決めしたり、当該必要部に加工を施したりするといった所定の処理を行うことができる。
さらに、外側先行シート除去手段を備えれば、必要部に所定の処理を施す際、外側先行シートが邪魔になることを防止することができる。
また、剥離手段を備えれば、必要部の他方の面に所定の処理を施す際、内側先行シートが邪魔になることを防止することができる。
なお、本発明における切断線とは、ウエハや先行シート等の被切断物を貫通する貫通孔が連続的に続くことで、繋がった部分が全くない状態の完全な切断線だけではなく、例えば、被切断物を貫通する貫通孔が断続的に続くことで、部分的に繋がった状態の擬似的な切断線、被切断物を貫通することのない有底穴が連続的または断続的に続く擬似的な切断線、被切断物にレーザ光、電磁波、熱等を照射したり、薬品、化学物質等を投与したりして、当該被切断物の特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更して脆弱化させた脆弱部が連続的または断続的に続く擬似的な切断線および、貫通孔と有底孔と脆弱部との少なくとも２つが規則的または不規則的に続く擬似的な切断線等をも含むものとする。なお、上記の擬似的な切断線は、振動、張力、光、熱等の外力を加えることで、完全な切断線とすることができる。

（Ａ）は、本発明の実施形態に係る除去装置の側面図。（Ｂ）は、（Ａ）の部分説明図。 （Ａ）〜（Ｄ）は、図１の除去装置の動作説明図。 （Ａ）〜（Ｃ）は、図２（Ｄ）に続く除去装置の動作説明図。 （Ａ）〜（Ｆ）は、変形例の説明図。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

本発明の除去装置１０は、他方の面に予め先行シートＰＳが貼付されたウエハＷＦの外縁に沿って当該ウエハＷＦに閉ループ状の切断線ＣＵ１を形成することで、当該切断線ＣＵ１の内側に必要部ＷＦＮを形成するとともに、当該切断線ＣＵ１の外側に不要部ＷＦＵを形成する前処理手段２０と、不要部ＷＦＵを除去する不要部除去手段３０と、ウエハＷＦの外縁に形成された方位を示す方位マークとしてのＶノッチＶＮを検知可能なカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の方位マーク検知手段４０と、不要部ＷＦＵが除去された後の必要部ＷＦＮの外縁に沿って先行シートＰＳに閉ループ状の切断線ＣＵ２（図２（Ｃ）参照）を形成することで、当該切断線ＣＵ２の内側に内側先行シートＰＳＩを形成するとともに、当該切断線の外側に外側先行シートＰＳＯを形成する後処理手段５０と、外側先行シートＰＳＯを除去する外側先行シート除去手段６０と、必要部ＷＦＮの近傍にフレーム部材としてのリングフレームＲＦを配置するフレーム配置手段７０と、必要部ＷＦＮおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付し、当該接着シートＡＳを介して必要部ＷＦＮおよびリングフレームＲＦを一体化することで中間製品ＷＫ２を形成する貼付手段８０と、中間製品ＷＫ２を上下反転させる反転手段９０と、内側先行シートＰＳＩを必要部ＷＦＮから剥離する剥離手段１１と、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦを支持する支持手段１２とを備えている。
なお、本実施形態のウエハＷＦは、外縁に一方の面から起立した凸部ＷＦＣが形成され、先行シートＰＳを介して支持部材としての搬入用フレームＲＦ１と一体化されて一体物ＷＫ１とされている。また、「一方の面」とは、ウエハＷＦの厚み方向で対をなす２つの面のうち、「上面」または「下面」のいずれか、あるいは「表面」または「裏面」のいずれかであり、「上面」または「表面」を「一方の面」とした場合は「下面」または「裏面」が「他方の面」となり、逆に、「下面」または「裏面」を「一方の面」とした場合は「上面」または「表面」が「他方の面」となる。

前処理手段２０は、第１〜第６アーム２１Ａ〜２１Ｆによって構成され、その作業範囲内において、作業部である第６アーム２１Ｆで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット２１と、第６アーム２１Ｆに支持された駆動機器としてのチャックモータ２２と、チャックモータ２２のチャックアーム２２Ａが嵌り込んで固定されることで、第６アーム２１Ｆに対して着脱可能なチャック孔２３Ａが形成されたブラケット２３と、ブラケット２３に支持され、図示しないレーザ発振器によって生成されたレーザ光を出力する前処理器具としてのレーザ出力手段２４とを備え、ウエハＷＦにレーザ光を照射して当該ウエハＷＦの特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更して脆弱化させた脆弱部ＦＬが連続的に続く切断線ＣＵ１（擬似的な切断線）を形成するとともに、必要部ＷＦＮの所定の位置としての外縁に他の装置が認識可能な印ＭＫを形成可能に構成されている。

不要部除去手段３０は、前処理手段２０と共有する多関節ロボット２１およびチャックモータ２２と、チャックアーム２２Ａが嵌り込んで固定されることで、第６アーム２１Ｆに対して着脱可能なチャック孔３１Ａが形成されたフレーム３１と、フレーム３１に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引力が付与される吸着パッド３２とを備えている。

後処理手段５０は、前処理手段２０と共有する多関節ロボット２１およびチャックモータ２２と、チャックアーム２２Ａが嵌り込んで固定されることで、第６アーム２１Ｆに対して着脱可能なチャック孔５１Ａが形成されたカッター刃ブラケット５１と、カッター刃ブラケット５１に支持された後処理器具としてのカッター刃５２とを備え、先行シートＰＳを貫通する貫通孔ＴＨ（図２（Ｃ）参照）が連続的に続く切断線ＣＵ２（完全な切断線）を形成可能に構成されている。

外側先行シート除去手段６０は、前処理手段２０と共有する多関節ロボット２１およびチャックモータ２２と、チャックアーム２２Ａが嵌り込んで固定されることで、第６アーム２１Ｆに対して着脱可能なチャック孔６１Ａが形成されたフレーム６１と、フレーム６１に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引力が付与される吸着パッド６２とを備えている。

フレーム配置手段７０は、前処理手段２０と共有する多関節ロボット２１およびチャックモータ２２と、チャックアーム２２Ａが嵌り込んで固定されることで、第６アーム２１Ｆに対して着脱可能なチャック孔７１Ａが形成されたフレーム７１と、フレーム７１に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引力が付与される吸着パッド７２とを備えている。

貼付手段８０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ８１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ８２と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板８３と、必要部ＷＦＮおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ８４と、駆動機器としての回動モータ８５Ａによって駆動する駆動ローラ８５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ８６と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ８７とを備えている。

反転手段９０は、駆動機器としてのリニアモータ９１のスライダ９１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ９２と、その出力軸９２Ａ（図３（Ｂ）参照）に支持され、中間製品ＷＫ２を把持するチャックアーム９３Ａを有する駆動機器としてのチェックモータ９３とを備えている。

剥離手段１１は、帯状の剥離用接着シートＡＳＲを支持する支持ローラ１１１と、剥離用接着シートＡＳＲを案内するガイドローラ１１２と、駆動機器としての直動モータ１１３の出力軸１１３Ａに回転可能に支持された剥離ローラ１１４と、駆動機器としての回動モータ１１５Ａによって駆動する駆動ローラ１１５との間に剥離用接着シートＡＳＲを挟み込むピンチローラ１１６と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離用接着シートＡＳＲを回収する回収ローラ１１７とを備えている。

支持手段１２は、駆動機器としてのリニアモータ１２１のスライダ１２１Ａに支持され、上面が保持面１２２Ａとして形成された外側テーブル１２２と、外側テーブル１２２に形成された凹部１２２Ｂ内に支持された駆動機器としての直動モータ１２３と、その出力軸１２３Ａに支持され上面が保持面１２４Ａとして形成された内側テーブル１２４と、保持面１２２Ａ、１２４Ａに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。なお、外側テーブル１２２の後側縁部には、チャックアーム９３Ａが入り込む切欠部１２２Ｃ（図３（Ｂ）参照）が形成されており、内側テーブル１２４の保持面１２４Ａには、カッター刃５２の先端部が入り込む平面視閉ループ状の凹溝１２４Ｂ（図２（Ｃ）参照）が形成されている。

以上の除去装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が図１中実線で示す初期位置で待機している除去装置１０に対し、当該除去装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が原反ＲＳおよび剥離用接着シートＡＳＲを同図のようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段８０が回動モータ８５Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳを繰り出し、接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板８３で所定量剥離されると、回動モータ８５Ａおよび図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

次いで、使用者または、駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、先行シートＰＳを下側にして、一体物ＷＫ１を保持面１２２Ａ、１２４Ａ上に載置すると、支持手段１２が図示しない減圧手段を駆動し、保持面１２２Ａ、１２４Ａでの一体物ＷＫ１の吸着保持を開始する。その後、前処理手段２０が多関節ロボット２１およびチャックモータ２２を駆動し、チャックアーム２２Ａをチャック孔２３Ａ内に差し込み、当該チャックアーム２２Ａを相互に離間させてレーザ出力手段２４を保持する。次に、方位マーク検知手段４０がカメラ等を駆動し、ウエハＷＦの外縁に形成されたＶノッチＶＮの位置、形状、方位等を検知して記憶した後、前処理手段２０が多関節ロボット２１および図示しないレーザ発振器を駆動し、図２（Ａ）に示すように、ウエハＷＦに脆弱部ＦＬを形成する。次いで、前処理手段２０が多関節ロボット２１を駆動し、レーザ出力手段２４をウエハＷＦの外縁に沿って１周させることで、図１（Ｂ）に示すように、当該ウエハＷＦに平面視閉ループ状の切断線ＣＵ１を形成し、必要部ＷＦＮおよび不要部ＷＦＵを形成する。このとき、前処理手段２０は、必要部ＷＦＮに凸部ＷＦＣを含めることなく切断線ＣＵ１を形成するとともに、方位マーク検知手段４０の検知結果を基に、ＶノッチＶＮのあった位置に対し、位置的に規則性を有する必要部ＷＦＮの所定の部位に印ＭＫを形成する。
なお、本実施形態の場合、ＶノッチＶＮのあった位置に対し、位置的に規則性を有する必要部ＷＦＮの所定の部位とは、ＶノッチＶＮのあった位置から最も近い必要部ＷＦＮの外縁の位置とする。また、本実施形態では、前処理手段２０は、方位マーク検知手段４０の検知結果を基に、ＶノッチＶＮと同形状の印ＭＫを必要部ＷＦＮの外縁の位置に形成するものとなっている。

そして、前処理手段２０が多関節ロボット２１およびチャックモータ２２を駆動し、レーザ出力手段２４を初期位置に復帰させた後、チャックアーム２２Ａをチャック孔３１Ａ内に差し込み、上記と同様にして吸着パッド３２を保持する。次いで、不要部除去手段３０が多関節ロボット２１および図示しない減圧手段を駆動し、図２（Ｂ）中二点鎖線で示すように、吸着パッド３２で不要部ＷＦＵを吸着保持した後、同図中実線で示すように、吸着パッド３２を上昇させる。これにより、ウエハＷＦが脆弱部ＦＬを境にして割れ、不要部ＷＦＵと必要部ＷＦＮとが切り離されて当該必要部ＷＦＮの外縁に印ＭＫが形成され、続いて、不要部除去手段３０が多関節ロボット２１を駆動し、不要部ＷＦＵを図示しない所定の廃棄部に搬送し、図示しない減圧手段の駆動を停止してそれを切り離す。

その後、不要部除去手段３０が多関節ロボット２１およびチャックモータ２２を駆動し、吸着パッド３２を初期位置に復帰させた後、チャックアーム２２Ａをチャック孔５１Ａ内に差し込み、上記と同様にしてカッター刃５２を保持する。次に、後処理手段５０が多関節ロボット２１を駆動し、図２（Ｃ）に示すように、カッター刃５２を先行シートＰＳに突き刺し、その先端部を凹溝１２４Ｂ内に入り込ませて貫通孔ＴＨを形成する。次いで、後処理手段５０が多関節ロボット２１を駆動し、カッター刃５２を必要部ＷＦＮの外縁に沿って１周させることで、先行シートＰＳに平面視閉ループ状の切断線ＣＵ２を形成し、内側先行シートＰＳＩおよび外側先行シートＰＳＯを形成する。このとき、後処理手段５０は、カッター刃５２を必要部ＷＦＮの外縁に接触させながら切断線ＣＵ２を形成してもよいし、カッター刃５２を必要部ＷＦＮの外縁に接触させずに切断線ＣＵ２を形成してもよい。

そして、後処理手段５０が多関節ロボット２１およびチャックモータ２２を駆動し、カッター刃５２を初期位置に復帰させた後、チャックアーム２２Ａをチャック孔６１Ａ内に差し込み、上記と同様にして吸着パッド６２を保持する。次いで、外側先行シート除去手段６０が多関節ロボット２１および図示しない減圧手段を駆動し、図２（Ｄ）中二点鎖線で示すように、吸着パッド６２で搬入用フレームＲＦ１を吸着保持した後、支持手段１２が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面１２２Ａでの外側先行シートＰＳＯの吸着保持を解除する。その後、外側先行シート除去手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、図２（Ｄ）中実線で示すように、吸着パッド６２を上昇させた後、外側先行シートＰＳＯ付きの搬入用フレームＲＦ１を図示しない所定の回収部に搬送し、図示しない減圧手段の駆動を停止してそれを切り離す。

次に、外側先行シート除去手段６０が多関節ロボット２１およびチャックモータ２２を駆動し、吸着パッド６２を初期位置に復帰させた後、チャックアーム２２Ａをチャック孔７１Ａ内に差し込み、上記と同様にして吸着パッド７２を保持する。そして、フレーム配置手段７０が多関節ロボット２１および図示しない減圧手段を駆動し、図示しない所定のストック位置にストックされたリングフレームＲＦを吸着パッド７２で吸着保持し、図３（Ａ）に示すように、リングフレームＲＦの開口部内に必要部ＷＦＮが配置されるように当該リングフレームＲＦを保持面１２２Ａ上に載置する。次いで、支持手段１２が図示しない減圧手段を駆動し、保持面１２２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を開始するとともに、フレーム配置手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、多関節ロボット２１およびチャックモータ２２を駆動し、吸着パッド７２および第１〜第６アーム２１Ａ〜２１Ｆを初期位置に復帰させる。

その後、支持手段１２が直動モータ１２３を駆動し、図３（Ａ）に示すように、必要部ＷＦＮの上面がリングフレームＲＦの上面と同一平面内に位置する高さまで内側テーブル１２４を上昇させた後、リニアモータ１２１を駆動し、スライダ１２１Ａを左方へ移動させる。次に、リングフレームＲＦが貼付手段８０に対する所定の位置に到達すると、貼付手段８０が回動モータ８５Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、スライダ１２１Ａの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ８４によってリングフレームＲＦの上面および必要部ＷＦＮの上面に押圧されて貼付され、内側先行シートＰＳＩが貼付された必要部ＷＦＮとリングフレームＲＦとが接着シートＡＳを介して一体化され、中間製品ＷＫ２が形成される。そして、次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板８３で所定量剥離されると、貼付手段８０が回動モータ８５Ａおよび図示しない駆動機器の駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。

次いで、スライダ１２１Ａの左方への移動により、チャックアーム９３Ａの前方に切欠部１２２Ｃが到達すると、支持手段１２がリニアモータ１２１の駆動を停止する。その後、反転手段９０がチェックモータ９３を駆動し、図３（Ｂ）中二点鎖線で示すように、チャックアーム９３Ａで中間製品ＷＫ２を保持した後、支持手段１２が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面１２２Ａ、１２４Ａでの当該中間製品ＷＫ２の吸着保持を解除する。次に、反転手段９０がリニアモータ９１および回動モータ９２を駆動し、図３（Ｂ）中二点鎖線で示すように、チャックアーム９３Ａで保持した中間製品ＷＫ２を所定高さにまで持ち上げた後、当該中間製品ＷＫ２を上下反転させる。そして、支持手段１２が直動モータ１２３を駆動し、内側テーブル１２４を初期位置に復帰させた後、反転手段９０がリニアモータ９１およびチェックモータ９３を駆動し、接着シートＡＳを下側にして中間製品ＷＫ２を保持面１２２Ａ、１２４Ａ上に載置し、チャックアーム９３Ａを初期位置に復帰させる。

次いで、支持手段１２が図示しない減圧手段を駆動し、保持面１２２Ａ、１２４Ａでの中間製品ＷＫ２の吸着保持を開始した後、リニアモータ１２１を駆動し、スライダ１２１Ａを左方へ移動させる。その後、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、中間製品ＷＫ２における内側先行シートＰＳＩの左端部が剥離ローラ１１４の最下端部直下に到達すると、支持手段１２がリニアモータ１２１の駆動を停止した後、剥離手段１１が直動モータ１１３を駆動し、剥離ローラ１１４を下降させて剥離用接着シートＡＳＲを内側先行シートＰＳＩの左端部に貼付する。次に、支持手段１２および剥離手段１１がリニアモータ１２１および回動モータ１１５Ａ、図示しない駆動機器を駆動し、図３（Ｃ）に示すように、スライダ１２１Ａを左方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用接着シートＡＳＲを回収ローラ１１７で巻き取る。これにより、内側先行シートＰＳＩが必要部ＷＦＮから剥離され、当該内側先行シートＰＳＩが必要部ＷＦＮから完全に剥離されると、必要部ＷＦＮとリングフレームＲＦとが接着シートＡＳを介して一体化された完成製品ＷＫ３が形成される。そして、剥離手段１１が直動モータ１１３を駆動し、剥離ローラ１１４を初期位置に復帰させた後、回動モータ１１５Ａおよび図示しない駆動機器の駆動を停止する。次いで、完成製品ＷＫ３が剥離手段１１の左方所定位置に到達すると、支持手段１２がリニアモータ１２１および図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面１２２Ａ、１２４Ａでの完成製品ＷＫ３の吸着保持を解除して、使用者または図示しない搬送手段が当該完成製品ＷＫ３を次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
なお、次工程以降では、必要部ＷＦＮの外縁に形成された印ＭＫの位置を他の装置が認識することで、当該必要部ＷＦＮの所定の位置に所定の処理を施すことができる。

以上のような除去装置１０によれば、必要部ＷＦＮの所定の位置に他の装置が認識可能な印ＭＫを形成するので、ウエハＷＦの外縁部を除去しても、当該ウエハＷＦの方位が解らなくなることを防止することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、不要部除去手段は、不要部を除去可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

前処理手段２０は、切断線ＣＵ１として上述した完全な切断線をウエハＷＦに形成してもよいし、上述した種々の擬似的な切断線を形成してもよいし、前処理器具としてカッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等を採用してもよいし、前処理器具を停止または移動させつつウエハＷＦを移動させて当該ウエハＷＦに切断線ＣＵ１を形成してもよいし、平面視円形以外の例えば楕円形や多角形等の切断線ＣＵ１を形成してもよいし、必要部ＷＦＮに凸部ＷＦＣが含まれるように切断線ＣＵ１を形成してもよい。
前処理手段２０は、ＶノッチＶＮのあった位置に対し、位置的に規則性を有する必要部ＷＦＮの所定の部位として、例えば、図４（Ａ）に示すように、ＶノッチＶＮのあった位置から最も遠い必要部ＷＦＮの外縁の位置に印ＭＫを形成してもよいし、図４（Ｂ）に示すように、ＶノッチＶＮのあった位置からウエハＷＦの中心ＷＣに向かうＶノッチ直線ＶＬと必要部ＷＦＮの外縁との交点ＣＰを起点とし、当該Ｖノッチ直線ＶＬに対して例えば３０°や４５°といった所定角度傾いた位置の必要部ＷＦＮの外縁の位置に印ＭＫを形成してもよい。
前処理手段２０は、図４（Ｃ）に示すように、必要部ＷＦＮの外縁の位置ではなく、必要部ＷＦＮの面内に印ＭＫを形成してもよいし、図４（Ｄ）に示すように、必要部ＷＦＮに印ＭＫを複数形成してもよいし、図４（Ｅ）に示すように、相互に異なる形状の複数の印ＭＫを形成してもよいし、図４（Ｆ）に示すように、オリエンテーションフラット形状の印ＭＫを形成してもよいし、図４各図に示すように、印ＭＫの形状として、例えば、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形等の印ＭＫを形成してもよいし、図４（Ｅ）に示すように、オリエンテーションフラットＯＦが形成されているウエハＷＦに対し、Ｖノッチ形状の印ＭＫを形成してもよいし、図４（Ｆ）に示すように、ＶノッチＶＮが形成されているウエハＷＦに対し、オリエンテーションフラット形状の印ＭＫを形成してもよいし、方位マーク検知手段４０の検知結果を基にせずに、印ＭＫを形成してもよいし、必要部ＷＦＮに凸部ＷＦＣが含まれるように切断線ＣＵ１を形成してもよい。

不要部除去手段３０は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で不要部ＷＦＵを保持する構成でもよい。

方位マーク検知手段４０は、方位マークの有無、方位マークの位置および方位マークの形状のうち少なくとも１つを検知可能なものでもよい。

後処理手段５０は、切断線ＣＵ２として上述した種々の擬似的な切断線を形成してもよいし、後処理器具としてレーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等を採用してもよいし、後処理器具を停止または移動させつつ先行シートＰＳを移動させて当該先行シートＰＳに切断線ＣＵ２を形成してもよいし、平面視円形以外の例えば楕円形や多角形等の切断線ＣＵ２を形成してもよい。

外側先行シート除去手段６０は、外側先行シートＰＳＯおよび搬入用フレームＲＦ１の少なくとも一方を保持する構成としてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で外側先行シートＰＳＯや搬入用フレームＲＦ１を保持する構成でもよいし、搬入用フレームＲＦ１から外側先行シートＰＳＯを剥離することなく、それらを同じ位置に搬送する構成でもよいし、搬入用フレームＲＦ１から外側先行シートＰＳＯを剥離し、それらを別々の位置に搬送する構成でもよいし、搬入用フレームＲＦ１および外側先行シートＰＳＯを回収する回収部は、当該除去装置１０の内部でもよいし、当該除去装置１０の外部でもよい。

フレーム配置手段７０は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等でリングフレームＲＦを保持する構成でもよいし、環状の部材、環状でない部材、例えば、円形状、楕円形状、三角形状や四角形状等の多角形状の部材、その他の形状の部材からなるフレーム部材を必要部ＷＦＮの近傍に載置する構成でもよい。

貼付手段８０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に複数の閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートＡＳとして形成された原反ＲＳを繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが採用された場合、前処理器具や後処理器具と同等の切断手段により、接着シート基材に所定形状の切断線を形成してその内側を接着シートＡＳとしてもよいし、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ８５Ａのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ８１やガイドローラ８２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、駆動ローラ８５とピンチローラ８６とで剥離シートＲＬを挟み込むことなく原反ＲＳに繰出力を付与する構成でもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、必要部ＷＦＮおよびリングフレームＲＦを移動させずにまたは移動させつつ、自身（貼付手段８０）を移動させて必要部ＷＦＮおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付する構成としてもよい。
押圧手段は、押圧ローラ８４を必要部ＷＦＮおよびリングフレームＲＦに離間接近させる押圧手段接離手段としての駆動機器を設け、必要部ＷＦＮやリングフレームＲＦにストレスがかかったり損傷したりすることを防止することとしてもよく、このような押圧手段接離手段としては、駆動機器以外に手動で押圧ローラ８４を移動させるものでもよい。

反転手段９０は、吸引力、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で中間製品ＷＫ２を保持する構成でもよいし、中間製品ＷＫ２におけるリングフレームＲＦ、接着シートＡＳ、内側先行シートＰＳＩおよび必要部ＷＦＮのうち少なくとも１つを保持する構成としてもよいし、中間製品ＷＫ２を上昇させることなく、外側テーブル１２２や内側テーブル１２４を移動させておいて当該中間製品ＷＫ２を上下反転させてもよいし、支持手段１２に支持されている構成としてもよいし、剥離手段１１が支持手段１２に支持された中間製品ＷＫ２の下方から内側先行シートＰＳＩを剥離できる構成であればなくてもよい。

剥離手段１１は、剥離ローラ１１４が昇降しない構成としてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で内側先行シートＰＳＩを保持して剥離する構成でもよいし、支持手段１２に支持されている構成としてもよいし、枚葉の剥離用接着シートＡＳＲを内側先行シートＰＳＩに貼付し、当該枚葉の剥離用接着シートＡＳＲに張力を付与して必要部ＷＦＮから内側先行シートＰＳＩを剥離する構成としてもよいし、必要部ＷＦＮを移動させずにまたは移動させつつ、自身（剥離手段１１）を移動させて必要部ＷＦＮから内側先行シートＰＳＩを剥離する構成としてもよい。

支持手段１２は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で一体物ＷＫ１や中間製品ＷＫ２や完成製品ＷＫ３を保持する構成でもよいし、内側テーブル１２４が昇降せずに、外側テーブル１２２が昇降して必要部ＷＦＮの上面がリングフレームＲＦの上面と同一平面内に位置するように構成してもよいし、内側テーブル１２４と外側テーブル１２２との両方が昇降しない構成でもよいし、内側テーブル１２４と外側テーブル１２２とに分かれていなくてもよい。

除去装置１０は、前処理手段２０、不要部除去手段３０、後処理手段５０、外側先行シート除去手段６０およびフレーム配置手段７０において、多関節ロボット２１とチャックモータ２２とを共有の駆動機器として構成したが、それら全ての手段が別々の駆動機器で駆動する構成としてもよいし、それら手段のうち少なくとも２つにおいて共有の駆動機器で駆動する構成としてもよいし、ウエハＷＦおよび先行シートＰＳの両方に切断線を形成できれば、前処理手段２０と後処理手段５０とを共通のもので構成してもよいし、不要部ＷＦＵ、外側先行シートＰＳＯおよびリングフレームＲＦのうち少なくとも２つを保持できれば、不要部除去手段３０、外側先行シート除去手段６０およびフレーム配置手段７０のうち少なくとも２つを共通のもので構成してもよいし、天地反転して配置したり横向きに配置したりして切断線を形成したり、不要部ＷＦＵを除去したり、接着シートＡＳを貼付したりしてもよいし、先行シートＰＳが所定のエネルギーによって、その接着力が低下するものの場合、不要部ＷＦＵを除去する前や必要部ＷＦＮから内側先行シートＰＳＩを剥離する前に、所定のエネルギーを付与可能なエネルギー付与手段で先行シートＰＳの接着力を低下させてもよい。なお、このようなエネルギー付与手段は、あらゆる波長の電磁波（例えば紫外線、Ｘ線、赤外線等）、加熱または冷却された気体や液体等の流体等をエネルギーとして先行シートＰＳに付与するものでもよく、先行シートＰＳの構成に応じて当該先行シートＰＳの接着力を低下できるエネルギーを付与可能なものであれば何でもよい。
除去装置１０は、方位マーク検知手段４０、後処理手段５０、外側先行シート除去手段６０、フレーム配置手段７０、貼付手段８０、反転手段９０、剥離手段１１および支持手段１２のうち少なくとも１つが備わっていなくてもよい。

ウエハＷＦは、支持部材と一体化されることなく他方の面に予め先行シートＰＳが貼付されたものでもよいし、他方の面に予め先行シートＰＳが貼付されていなくてもよいし、閉ループ状の凸部が形成されていてもよいし、断続的な凸部が形成されていてもよいし、凸部が形成されていなくてもよい。
支持部材は、環状の部材でもよいし、環状でない部材でもよいし、例えば、円形状、楕円形状、三角形や四角形等の多角形状の部材でもよいし、その他の形状の部材でもよいし、あってもよいし、なくてもよい。
ウエハＷＦに予め形成されている方位マークは、オリエンテーションフラットＯＦや印刷、塗装、ラベル、罫書、刻印等でもよい。
本願でいう他の装置とは、例えは、ウエハＷＦの搬送するものや、ウエハＷＦを研削したり切断したりするものや、ウエハＷＦに被膜や接着シート等を積層するもの等、当該ウエハＷＦを取り扱うものであれば何でもよい。

本発明における接着シートＡＳ、先行シートＰＳ、剥離用接着シートＡＳＲおよびウエハＷＦの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、先行シートＰＳ、剥離用接着シートＡＳＲおよびウエハＷＦは、例えば、円形状、楕円形状、三角形状や四角形状等の多角形状、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳ、先行シートＰＳおよび剥離用接着シートＡＳＲは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段で加熱して接着すればよい。また、接着シートＡＳ、先行シートＰＳおよび剥離用接着シートＡＳＲは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、そのような両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってもよい。また、ウエハＷＦとしては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、半導体チップであってもよい。なお、接着シートＡＳおよび先行シートＰＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよい。

１０…除去装置
２０…前処理手段
３０…不要部除去手段
４０…方位マーク検知手段
５０…後処理手段
６０…外側先行シート除去手段
７０…フレーム配置手段
８０…貼付手段
１１…剥離手段
ＡＳ…接着シート
ＣＵ１…切断線
ＣＵ２…切断線
ＭＫ…印
ＰＳ…先行シート
ＰＳＩ…内側先行シート
ＰＳＯ…外側先行シート
ＲＦ…リングフレーム（フレーム部材）
ＶＮ…Ｖノッチ（方位マーク）
ＷＦ…半導体ウエハ
ＷＦＣ…凸部
ＷＦＮ…必要部
ＷＦＵ…不要部

Claims (7)

1. 半導体ウエハの外縁に沿って当該半導体ウエハに閉ループ状の切断線を形成することで、当該切断線の内側に必要部を形成するとともに、当該切断線の外側に不要部を形成する前処理手段と、
   前記不要部を除去する不要部除去手段とを備え、
   前記前処理手段は、前記必要部の所定の位置に他の装置が認識可能な印を形成可能に構成されていることを特徴とする除去装置。
2. 前記必要部の近傍にフレーム部材を配置するフレーム配置手段と、
   前記必要部および前記フレーム部材に接着シートを貼付し、当該接着シートを介して前記必要部および前記フレーム部材を一体化する貼付手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の除去装置。
3. 前記半導体ウエハは、外縁に一方の面から起立した凸部が形成され、
   前記前処理手段は、前記必要部に前記凸部を含めることなく前記切断線を形成することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の除去装置。
4. 前記半導体ウエハの外縁に形成された方位を示す方位マークを検知可能な方位マーク検知手段を備え、
   前記前処理手段は、前記方位マーク検知手段の検知結果を基に、前記方位マークのあった位置に対し、位置的に規則性を有する前記必要部の所定の部位に前記印を形成することを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れかに記載の除去装置。
5. 前記半導体ウエハは、他方の面に予め先行シートが貼付され、
   前記不要部が除去された後の前記必要部の外縁に沿って前記先行シートに閉ループ状の切断線を形成することで、当該切断線の内側に内側先行シートを形成するとともに、当該切断線の外側に外側先行シートを形成する後処理手段と、
   前記外側先行シートを除去する外側先行シート除去手段とを備えることを特徴とする請求項１ないし請求項４の何れかに記載の除去装置。
6. 前記内側先行シートを前記必要部から剥離する剥離手段を備えることを特徴とする請求項５に記載の除去装置。
7. 半導体ウエハの外縁に沿って当該半導体ウエハに閉ループ状の切断線を形成することで、当該切断線の内側に必要部を形成するとともに、当該切断線の外側に不要部を形成する前処理工程と、
   前記不要部を除去する不要部除去工程とを備え、
   前記前処理工程において、前記必要部の所定の位置に他の装置が認識可能な印を形成することを特徴とする除去方法。