CN105000384B - 保持装置和真空处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种保持装置和真空处理装置。不向真空环境中排出粘附衬垫的排出气体地对保持对象物进行真空处理。在保持装置（11）的真空容器（15）的内部设置粘附衬垫（17），在将保持对象物（5）粘附保持的状态下，向配置在真空容器（15）的边缘上的接触部（18）按压，使真空容器（15）的内部空间（25）从外部空间（26）分离。预先将真空容器（15）的内部空间（25）从设置在真空容器（15）上的排气孔（14）真空排气，当进行真空处理时，使排气孔（14）成为气体不穿过的状态，使得来自粘附衬垫（17）的排出气体不排出到对保持对象物（5）进行真空处理的环境内。

Description

保持装置和真空处理装置

技术领域

本发明涉及将保持对象物利用粘附片材保持并能够将其在真空环境中移动的保持装置、和对保持在该保持装置上的保持对象物进行真空处理的真空处理装置。

背景技术

在液晶显示器（LCD）或等离子显示器（PDP）等平板显示器的制造工序中，包含基板组装工序及基板输送工序，有为了保持基板而使用粘附卡盘装置的技术。

例如在日本特许第3882004号公报所记载的装置中，将由基板输送用机器人移送的基板以预定压力按压在配置于保持板的粘附部件上，利用粘附部件的粘附力保持基板。还记载有通过将被粘附部件和基板包围的凹部真空抽吸而更强地抽吸保持的技术。

根据该装置，能够利用由变形膜分隔的凹部与封闭空间的压力差使可动膜变形，从而进行基板和粘附部件的剥离及粘附保持，此外，通过具备通气路、吸气源，还能够在使用真空抽吸的抽吸保持或剥离时使气体喷出。

但是，在该公报所记载的吸附保持中，如果在没有达到充分的真空度的状态下进行粘附衬垫与基板的贴合，则有在将粘附部件和基板贴合时咬入空气的问题，由于粘附力依赖于基板与粘附部件的接触面积，所以如果咬入空气，则接触面积减小，粘附力下降，基板有可能下落。

此外，在粘附衬垫与基板紧贴的部分不产生压力差而不产生按压力，所以为了确保较强的按压力，而需要使粘附衬垫之间的空间较大，有可能由于压力而使基板变形，或者需要装置的大型化。

此外，通过在由变形膜分隔的凹部和封闭空间产生压力差，将配置在变形膜上的粘附衬垫向基板方向按压，但根据变形膜和粘附衬垫的接合部处的压力分布，有可能粘附衬垫的粘附表面变形而不能获得与基板的较强的紧贴。

此外存在以下问题：基板和粘附部件粘贴的一侧相反的基板表面（成膜面）与基板输送用机器人的部件接触而产生颗粒。特别是，有机EL显示器的玻璃基板的成膜面的颗粒给设备特性带来不良影响。

在日本特开2011－35301号公报所公开的装置中记载有以下技术：在支承板上配置有粘附衬垫，通过使由配置有粘附衬垫的一侧的支承板和板状工件包围的吸附槽成为负压，使得以压力按压支承板而使粘附衬垫与板状工件紧贴，以及使配置有粘附衬垫的吸附槽返回到大气压，使在支承板上没有配置粘附衬垫的一侧的调压室成为负压，从而在支承板上作用压力，将粘附衬垫从板状工件剥离。

在日本特许第4746579号公报所记载的装置中，记载有利用负压使粘附剂片材与基板吸附的技术，此外，记载有通过使用弹性多孔质片材使得不仅利用负压吸附基板还使基板的应力减少的技术。但是，由于多孔质的面积相对于弹性多孔质片材的吸附面较小，所以有由于作用于基板的负压下降而不能将较重的基板抬起的问题。此外，在使用弹性多孔质片材的方法中，有不能在真空中使用的问题。

专利文献1：日本特开2011－35301号公报

专利文献2：日本特许第3882004号公报

专利文献3：日本特许第3917651号公报

专利文献4：日本特许第4746579号公报。

发明内容

本发明是为了解决上述现有技术的课题而创造的发明，提供一种保持装置，该保持装置不与保持对象物的被真空处理的表面接触，而能够将保持对象物可靠地保持并使保持对象物在真空环境中移动。

此外，提供一种利用该保持装置将保持对象物保持而进行真空处理的真空处理装置。

一般而言，在真空中也能够将粘附部件和基板贴合，但在与基板和粘附部件粘贴的部分相反的基板表面（成膜面）上，有基板输送用机器人的部件接触而产生颗粒的担心。

在以非接触将基板保持在成膜面上的情况下，可以考虑以真空吸附或基板的自重将粘附部件和基板粘附保持的方法，但前者不能在真空中使用。

在以基板的自重按压粘接衬垫的情况下，如果使基板与粘接衬垫接触的部分的面积减小，则每单位面积的按压力增加，粘附保持力增强，但在将基板悬吊保持的情况下，由于基板与粘附部分之间的剥离力也增加，所以有基板下落的担心。

相反，如果相对于基板增大粘附部分的面积，则每单位面积的按压力减小，由于基板与粘附衬垫的接触面积减小，使得粘附保持力下降。在该情况下，在将基板悬吊保持的情况下也有基板下落的担心。

另一方面，在将粘附衬垫的粘附力增强的情况下，在压剥基板时，有在基板上作用局部性应力而破损的可能、以及在基板上发生变形的担心。

在本发明所采用的技术中，做出了对于上述各担心的解决方案，本发明是一种保持装置，用于使设置在保持单元上的粘附衬垫与保持对象物接触，利用上述粘附衬垫粘附保持并输送上述保持对象物，其中，上述保持单元具有：真空容器；接触部，配置在上述真空容器的边缘上，与上述保持对象物接触，使上述真空容器的内部空间从上述真空容器的外部空间切断；排气孔，设置在上述真空容器上，成为利用吸附用排气装置将上述内部空间的气体真空排气的通路，上述内部空间被上述保持对象物和上述接触部从上述外部空间切断；和移动装置，使上述粘附衬垫移动，上述粘附衬垫配置在上述内部空间中，作为上述移动装置使上述粘附衬垫移动的方向的移动方向具有相对于接触平面垂直的方向的移动分量，所述接触平面是上述接触部的表面中的与上述保持对象物接触的部分所位于的平面。

本发明是一种保持装置，具有：多个上述真空容器；和配置在各上述真空容器中的上述粘附衬垫，使多个上述粘附衬垫和配置在多个上述真空容器的边缘上的上述接触部与相同的上述保持对象物接触。

本发明是一种保持装置，具有配置在相同的上述真空容器的上述内部空间中的多个上述粘附衬垫，使多个上述粘附衬垫和配置在上述真空容器的边缘上的上述接触部与相同的上述保持对象物接触。

本发明是一种保持装置，上述接触部使用具有柔软性的环状部件。

本发明是一种保持装置，上述接触部配置在上述保持装置的平坦的表面上。

本发明是一种保持装置，在上述保持装置的表面上设置有槽，上述接触部设置在上述槽内。

本发明是一种保持装置，上述接触部由紧贴片材构成，该紧贴片材配置在上述真空容器上，在上述真空容器的开口上形成有作为贯通孔的片材孔。

本发明是一种保持装置，具有使上述粘附衬垫相对于上述真空容器向远离上述接触部的方向一边旋转一边移动的旋转机构。

本发明是一种保持装置，是具有使上述保持装置连接到上述吸附用排气装置的拆装装置的保持装置，上述拆装装置使上述保持装置从上述吸附用排气装置分离，使得上述保持装置能够与上述吸附用排气装置独立地移动。

本发明是一种保持装置，使得当上述真空容器从上述吸附用排气装置分离时，气体不会穿过上述排气孔流入到上述真空容器内。

本发明是一种保持装置，粘接在上述保持对象物上的上述粘附衬垫被具有弹性力的缓冲部件向从上述保持对象物离开的方向施力。

本发明是一种真空处理装置，具有：上述任一方面的保持装置；真空槽，配置有上述保持装置；和处理部，配置在上述真空槽内，将被上述粘附衬垫粘附保持且处理表面朝下的上述保持对象物的上述处理表面在真空环境中处理。

本发明是一种真空处理装置，上述处理部是放出形成薄膜的微粒并在上述保持对象物表面上形成薄膜的成膜装置。

在本发明中，当将粘附衬垫向保持对象物按压时，由于保持对象物被真空吸附，所以使粘附衬垫可靠地紧贴在保持对象物上，粘附衬垫将保持对象物粘附保持的力提高。

此外，由于在真空中使粘附衬垫与保持对象物粘附，所以在相互粘附的粘附衬垫的表面与保持对象物之间不会存在气体。

此外，由于能够将保持对象物的单侧表面以非接触的方式粘附保持并输送，所以能够防止不合格品的产生。

此外，粘附衬垫的粘附物质是有机物质，虽然从粘附衬垫将排出气体排出，但通过由复位力产生的保持对象物向接触部的按压和使得气体不会从真空容器的排气孔流入的构成，使得在真空处理中将真空容器的内部空间从外部空间分离，所以不会将排出气体排出到配置有真空处理中的处理对象物的处理室内。

此外，由于利用多个保持单元保持一片保持对象物，所以向保持对象物施加的力分散，能够抑制保持对象物的破裂和变形。

附图说明

图1是表示本发明的真空处理装置的图。

图2（a）是表示没有保持保持对象物的状态的本发明的第一例的保持装置的图，图2（b）是表示多个保持单元保持着保持对象物的状态的第一例的保持装置的图。

图3（a）是表示多个粘附衬垫被按压在相同的保持对象物上的状态的第一例的保持装置的图，图3（b）是表示保持对象物被多个粘附衬垫粘附保持的状态的图。

图4（a）是表示没有保持保持对象物的保持单元的图，图4（b）是表示保持着保持对象物的保持单元的图。

图5（a）是表示被按压在相同的保持对象物上的状态的粘附衬垫的图，图5（b）是表示将保持对象物用粘附衬垫粘附保持的状态的图。

图6（a）是表示将保持对象物悬吊的状态的图，图6（b）是表示粘附衬垫通过移动板的旋转和下降而从保持对象物离开的状态的图。

图7（a）是表示旋转前的移动板的图，图7（b）是表示旋转后的移动板的图。

图8是用于说明第二例的保持装置的图（1）。

图9是用于说明第二例的保持装置的图（2）。

图10是用于说明第二例的保持装置的图（3）。

图11是用于说明第三例的保持装置的图。

图12是用于说明第四例的保持装置的图。

图13（a）～图13（c）是第二例～第四例的保持装置的俯视图。

图14是用于说明第五例的保持装置的图。

附图标记说明

5 保持对象物

10 真空处理装置

11、11a、11b、11c 保持装置

13、13a 保持单元

14 排气孔

15、65 真空容器

17 粘附衬垫

18、18a、18b、18c 接触部

19 开口

21 真空槽

25 内部空间

26 外部空间

38 片材孔

39 紧贴片材（接触部）

40 拆装装置

59 旋转机构。

具体实施方式

图1的附图标记10表示本发明的真空处理装置。

该真空处理装置10具有真空槽21，该真空槽21与前工序的真空槽28₁之间、此外该真空槽21与后工序的真空槽28₂之间，分别通过主闸阀29₁、29₂连接。

这里，真空槽21被分为配置室22a、处理室22b和分离室22c，配置室22a与处理室22b之间和处理室22b与分离室22c之间分别通过副闸阀27a、27b连接。

首先，主闸阀29₁、29₂和副闸阀27a、27b关闭，预先使各室22a～22c间与各真空槽21、28₁、28₂间分离。

向前工序的真空槽28₁和配置室22a导入空气或氮，预先使其成为大气压。在开始真空处理装置10中的处理时，首先，将真空处理装置10的真空槽21与前工序的真空槽28₁之间的主闸阀29₁打开，将载置在输送机器人的手31₁上的基板状的保持对象物5从前工序的真空槽28₁内运入到配置室22a内。

在配置室22a的内部，在比手31₁靠下方的位置配置有本发明的第一例的保持装置11a。图1的附图标记11b、11c分别表示从配置室22a移动到处理室22b和分离室22c中的保持装置。图1所示的保持装置11a～11c是相同的结构，图2（a）、图2（b）、图3（a）、图3（b）表示代表这些相同结构的保持装置11a～11c的保持装置11。

如果说明该第一例的保持装置11，则首先参照图2（a），保持装置11具有连结板41和固定在连结板41上的一个或多个保持单元13。

在图4（a）中表示一台保持单元13的放大图。保持单元13具有真空容器15和接触部18。接触部18在该例中将具有柔软性的材料整形为环状而构成，将真空容器15的开口19包围而配置在真空容器15的形成开口19的边缘上。

各保持单元13的真空容器15朝向相同的方向分别固定在连结板41上。

在真空容器15的内部空间中，在比真空容器15的开口19靠底面侧的位置处配置有粘附衬垫17。

在各真空容器15的底面上形成有贯通孔54。在贯通孔54中贯穿插入着支承棒52，支承棒52的一端位于真空容器15的底面与边缘之间的内部空间25中，在该一端上固定有支承板53，粘附衬垫17固定在支承板53上。

支承棒52的另一端位于真空容器15的外部空间26中，在该另一端上固定有移动板51。

在贯通孔54的内部配置有轴密封件57和轴承58。

支承棒52与轴密封件57紧贴，构成为利用轴密封件57将真空容器15的内部空间25和外部空间26气密地分离，此外，支承棒52在贯通孔54的内部被轴承58保持。

支承棒52构成为，在轴密封件57与轴承58接触的同时内侧空间25和外侧空间26分离的状态下，能够沿着贯通孔54的纵长方向移动，通过支承棒52沿着贯通孔54的纵长方向往复移动，使得粘附衬垫17能够在真空容器15的内部空间25中向开口19侧和底面侧移动。

在外部空间26中，在与连结板41离开的位置，相对于连结板41能够相对移动地设置的按压板44配置在与移动板51面对的位置。

在移动板51与按压板44之间配置有按压部件45。

按压部件45具有抵接板48和缓冲部件49，抵接板48经由缓冲部件49安装在按压板44上。

在该真空处理装置10中设置有使粘附衬垫17移动的移动装置。图2（a）、图4（a）的附图标记47是移动装置所具有的马达，按压板44和真空容器15构成为，通过该马达47动作，由移动装置相对地移动而变更距离。

在开始将保持对象物5保持的步骤时，将移动板51和抵接板48置于离开的状态，利用移动装置使按压板44向真空容器15所位于的方向移动，当按压板44与各真空容器15之间的距离缩小时，按压部件45向真空容器15侧移动，首先移动板51与抵接板48接触。

在移动板51与真空容器15的底面之间配置有能够压缩变形的复位部件55。复位部件55位于真空容器15的底面与移动板51之间，缓冲部件49和复位部件55具有弹性力，缓冲部件49和复位部件55由弹性材料构成，该弹性材料当被按压时向压缩方向变形，当解除按压时恢复至原来的形状。

在移动板51与抵接板48接触后，当按压板44进一步向真空容器15所位于的方向移动时，移动板51被抵接板48按压，此时，缓冲部件49和复位部件55被按压，一边向压缩方向变形，按压板44与各真空容器15之间的距离一边被缩小，结果，粘附衬垫17向开口19所位于的方向移动。

这样，通过移动板51接近真空容器15，使得粘附衬垫17向真空容器15的开口19侧移动，相反，如果移动板51远离真空容器15，则粘附衬垫17向与真空容器15的开口19相反的一侧即底面侧移动。

另外，如果与上述例相反地构成为将按压板44固定而连结板41相对于按压板44移动，也是同样的。

在连结板41上设置有多个保持单元13的保持装置11中，各保持单元13的接触部18的表面位于相同的平面上，如果将该表面作为与保持对象物5接触的接触平面，则多个粘附衬垫17的表面是与接触平面平行的同一平面，此外，多个移动板51所位于的平面也是与接触平面平行的同一平面，多个抵接板48所位于的平面也是与接触平面平行的同一平面。

因而，当利用按压板44分别按压各保持单元13的移动板51时，设置在各保持单元13上的缓冲部件49和复位部件55压缩变形，各粘附衬垫17在表面位于同一平面上的同时，分别向开口19的方向移动。

保持单元13如上述那样构成，说明利用具有一个或多个这样的保持单元13的保持装置11将保持对象物5保持的步骤。

首先，利用保持装置11a配置保持对象物5。此时，使接触平面为水平，图1所示的手31₁上的一片保持对象物5被销等装置从手31₁上移动到一台或多台保持单元13的接触部18上，保持对象物5与接触部18接触并被配置在真空容器15上。

在保持对象物5移动到保持单元13上之后，手31₁返回到前工序的真空槽28₁的内部，将前工序的真空槽28₁与配置室22a之间的主闸阀29₁关闭。

图2（b）表示在具有多个保持单元13的保持装置11之上配置有一片保持对象物5的状态，图4（b）表示该保持装置11的一台保持单元13。

保持对象物5与接触部18接触的部分为环形，内部空间25通过保持对象物5与接触部18接触而封闭。

在各真空容器15的壁面或底面设置有排气孔14。各真空容器15的排气孔14通过排气配管43分别连接在配置于真空槽21的外部的吸附用排气装置42上。

在将保持对象物5载置到各保持单元13上之前，使配置室22a内成为大气压，将保持对象物5载置到各保持单元13上，在保持对象物5与各保持单元13的接触部18接触后，利用吸附用排气装置42开始各真空容器15的内部空间25的真空排气。

此时，作为真空容器15的外部空间26的配置室22a的内部环境是大气压，接触部18与真空容器15的边缘之间气密地构成，此外，由于接触部18具有柔软性，所以保持对象物5与接触部18之间通过接触而成为气密，当将真空容器15的内部空间25真空排气时，位于外部空间26中的气体不从外部空间26向内部空间25流入，当真空容器15的内部空间25成为真空环境时，保持对象物5被外部空间26的压力向接触部18按压，所以被真空吸附到真空容器15上，保持对象物5被按压于接触部18。

接触部18由通过按压力而变形的材料构成，当将保持对象物5按压于接触部18时，保持对象物5与接触部18之间紧贴，成为气密。

当开始真空容器15的内部空间25的真空排气时，粘附衬垫17与保持对象物5离开而形成间隙，在将保持对象物5通过真空吸附按压在接触部18上之后，如果一边利用吸附用排气装置42继续真空容器15的内部空间25的真空排气，一边使按压板44和真空容器15相对地接近，则抵接板48与移动板51接触，如果进一步接近，则缓冲部件49和复位部件55压缩变形，同时粘附衬垫17向保持对象物5所位于的方向移动，粘附衬垫17的表面与保持对象物5的背面接触。

在接触后，如果想要进一步使按压板44向真空容器15侧移动，则利用粘附衬垫17，缓冲部件49和复位部件55压缩变形，同时保持对象物5向离开接触部18的方向被按压。

此时，通过调节缓冲部件49的压缩变形的距离，使向保持对象物5施加的按压力比通过真空吸附将保持对象物5按压于接触部18的真空吸附力弱，将保持对象物5维持在与粘附衬垫17紧贴的状态，所以粘附衬垫17在与保持对象物5的接触面积饱和之前，被来自按压板44的按压力按压，由此将粘附衬垫17和保持对象物5强有力地粘附。

图3（a）表示多个保持单元13的粘附衬垫17被按压于一片保持对象物5且保持装置11将保持对象物5粘附保持的状态。图5（a）表示此时的保持对象物5和一台保持单元13，缓冲部件49和复位部件55被压缩变形。

在粘附衬垫17的表面紧贴在保持对象物5的背面上的状态下，移动板51与保持对象物5之间的距离由粘附衬垫17的厚度和支承棒52的长度等支承粘附衬垫17的部件的长度决定，复位部件55被按压板44和保持对象物5压缩变形。

从该状态起，当按压板44向离开真空容器15的方向移动并且抵接板48和移动板51离开时，复位部件55的复位力施加在移动板51上，成为使移动板51离开真空容器15的方向的力。

在被压缩变形的缓冲部件49和复位部件55上产生要回到原来的长度的复位力，但是将粘附衬垫17按压在保持对象物5上而产生的粘附衬垫17与保持对象物5之间的粘附力比复位部件55的复位力强，粘附衬垫17不从保持对象物5剥离，复位部件55不能伸长，所以保持压缩变形后的状态。另一方面，缓冲部件49通过该复位力而伸长，回到原来的长度。

图3（b）和图5（b）是复位部件55被压缩变形且缓冲部件49回到了原来的长度的状态。

此时，粘附衬垫17粘附在保持对象物5上，利用复位部件55的复位力将粘附衬垫17向真空容器15的底面侧牵引，所以保持对象物5被粘附衬垫17向真空容器15的底面侧牵引，保持对象物5的背面的与接触部18接触的部分被按压在接触部18上而紧贴，一片保持对象物5成为被各保持单元13的真空吸附力和复位部件55的复位力按压在接触部18上的状态。

不管抵接板48从移动板51离开之前还是之后，在各保持单元13的粘附衬垫17的表面被按压而粘附在保持对象物5上之后，利用连接到配置室22a的真空排气装置24a开始配置室22a内的真空排气，作为配置室22a的内部环境的真空槽21的外部空间26的压力逐渐下降。

当外部空间26的压力下降到内部空间25的压力以下时，真空容器15的对于保持对象物5的真空吸附力消失。

由于粘附衬垫17与保持对象物5之间的粘附力比由复位部件55的复位力带来的剥离力大，所以保持对象物5粘附在粘附衬垫17上，维持紧贴在接触部18上的状态。

一片保持对象物5被多个粘附衬垫17粘附保持，将一片保持对象物5粘附保持的多个粘附衬垫17的粘附力的合计值大于将各复位部件55的复位力的合计值与由被粘附保持的保持对象物5的重量产生的重力相加的力的值。

因而，即使利用多个粘附衬垫17将保持对象物5悬吊，保持对象物5也不会从粘附衬垫17剥离而下落。

一台或多台保持单元13通过连结板41而一起移动，移动装置具有使保持装置11的上下反转的反转机构（未图示）。

在保持对象物5配置在一台保持装置11的各保持单元13的上方而将保持对象物5粘附保持的状态下，如果将保持装置11反转，则保持对象物5位于各保持单元13的下方，成为被保持装置11悬吊的状态。图6（a）表示该状态。

如上所述，各保持单元13的真空容器15和吸附用排气装置42通过排气配管43连接。在该排气配管43的中途设置有拆装装置40，在设为真空环境的配置室22a内，各保持单元13通过拆装装置40被从连接在吸附用排气装置42上的排气配管43分离，能够与吸附用排气装置42独立地移动。

在将保持对象物5通过粘附衬垫17粘附保持后，在通过拆装装置40将保持装置11从吸附用排气装置42分离的前后，使由吸附用排气装置42进行的真空容器15的真空排气动作停止，利用拆装装置40将保持装置11从吸附用排气装置42侧的排气配管43分离。此时，拆装装置40的至少一部分保持安装在连接到真空容器15的排气配管43上的状态。继续进行配置室22a的真空排气。

这里，在从吸附用排气装置42将保持装置11分离之前或分离之后，连接在真空容器15上的排气配管43被残留在该排气配管43中的拆装装置40的至少一部分封闭，使得真空容器15的内部空间25从外部空间26分离。使得从粘附衬垫17排出而充满在真空容器15的内部空间25中的气体不会穿过排气孔14流出到真空容器15的外部。

另外也可以构成为，当利用与拆装装置40不同的部件将真空容器15从吸附用排气装置42分离时，使得真空容器15内的气体不穿过排气孔14流出。

在各真空容器15的开口19处配置有保持对象物5，保持对象物5紧贴在接触部18上，因而，将各真空容器15的内部空间25从外部空间26分离。在真空容器15的内部空间25与外部空间26分离的状态下、保持对象物5在被保持装置11悬吊的状态下能够在真空环境中移动。

处理室22b的内部被真空排气装置24b真空排气而成为真空环境，将配置室22a与处理室22b之间的副闸阀27a打开，从吸附用排气装置42分离并悬吊着保持对象物5的保持装置11a从配置室22a向处理室22b移动。将打开的副闸阀27a关闭。

在处理室22b的内部设置有处理部23，处理部23对被悬吊的保持对象物5的表面在真空环境中进行处理。

在该真空处理装置10中，处理部23是成膜源，将构成薄膜的材料的微粒（包含蒸气）放出，使放出的微粒到达被悬吊并朝向下方的保持对象物5的表面，使薄膜在保持对象物5的表面上成长。

附图标记11b表示在处理室22b内移动且使悬吊的保持对象物5位于处理部23上的保持装置。

处理部23将微粒朝向上方放出，使保持对象物5的被真空处理的表面朝向位于下方的处理部23。

通过微粒从处理部23的放出，进行微粒到达保持对象物5的表面而形成薄膜的真空处理。

另外也可以是，保持装置11b不使保持对象物5在处理部23上静止，而在使微粒从处理部23放出的状态下，使保持对象物5穿过处理部23上方，从而对保持对象物5的表面进行真空处理。

接着，利用真空排气装置24c将分离室22c的内部真空排气而使其成为真空环境，并形成预定膜厚的薄膜，当真空处理结束时，将处理室22b与分离室22c之间的副闸阀27b打开，将保持着保持对象物5的保持装置11b从处理室22b移动到分离室22c。在移动后，将副闸阀27b关闭。

在分离室22c的内部配置有移动装置所具有的反转机构（未图示）。

处理室22b内的保持装置11b在移动到分离室22c内之后，在粘附保持着保持对象物5的状态下旋转，保持对象物5成为配置在保持装置11c上的状态。在该状态下，保持对象物5被粘附保持在保持装置11c上。

接着，对使保持对象物5从保持装置11c分离的步骤进行说明。

参照图7（a）和图7（b），使粘附衬垫17移动的移动装置具有旋转机构59。

如图7（a）所示，旋转机构59具有两根杆59a、59b，两根杆59a、59b的一端在以移动板51的中央位置56为中心的旋转对称的位置，通过小螺钉52a、52b能够旋转地安装在移动板51的表面上。

杆59a、59b平行地配置，其另一端侧安装在旋转机构59所具有的旋转装置59c上，当旋转装置59c动作时，在杆59a、59b上施加要向相互相反方向移动的力。

该力是要使移动板51的安装着杆59a、59b的位置向相反方向移动的力，为要使移动板51以中央位置56为中心向相同的旋转方向旋转的旋转力。

支承棒52相对于移动板51和粘附衬垫17的表面垂直，支承棒52的中心轴线穿过中央位置56，要使移动板51旋转的旋转力为要使粘附衬垫17旋转的旋转力。

在保持对象物5上也从粘附衬垫17施加旋转力，但是使得接触部18不在真空容器15的边缘上移动，保持对象物5在被粘附衬垫17粘附保持的状态下，通过复位部件55的复位力被接触部18按压，通过接触部18与保持对象物5之间的静止摩擦力，将保持对象物5维持为相对于接触部18静止的状态。

当对粘附衬垫17施加旋转力时，在粘附衬垫17上施加由复位部件55的复位力产生的要向底面方向移动的剥离力，如果在施加有该剥离力的状态下施加旋转力，则粘附衬垫17与保持对象物5之间的粘附力被旋转力减弱，粘附衬垫17一边相对于真空容器15或接触部18旋转，一边向从真空容器15的开口19或接触部18离开的方向移动，粘附衬垫17一边相对于保持对象物5旋转一边被剥离（图6（b））。

移动板51和粘附衬垫17的旋转量相同，图7（a）、图7（b）的附图标记50是用来表示移动板51的旋转量和方向的指标。

支承棒52相对于接触部18与保持对象物5接触的接触平面垂直，这样，通过移动装置向粘附衬垫17施加的力可以分为相对于保持对象物5的表面即接触平面垂直的方向的分量、和在与该接触平面平行的平面内旋转的分量。

当粘附衬垫17和保持对象物5离开时，能够将保持对象物5从保持装置11c分离。

将图1的分离室22c的内部真空排气，当保持对象物5从接触部18离开时，真空容器15的内部空间25与分离室22c的内部环境连接，充满在真空容器15内的来自粘附衬垫17的排出气体被放出到分离室22c内，被真空排气而被从分离室22c除去。

将与后工序的真空槽28₂之间的主闸阀29₂打开，将手31₂从后工序的真空槽28₂向分离室22c内插入，使从接触部18离开的保持对象物5移动到手31₂上，使保持对象物5载置在手31₂上，并从分离室22c向后工序的真空槽28₂移动。

分离了保持对象物5的保持装置11c穿过未图示的移动室返回到配置室22a。连接在真空容器15上的排气配管43由拆装装置40的部分与吸附用排气装置42的排气配管43连接，配置室22a内的保持装置11a成为能够真空排气的状态，与上述同样，在配置了保持对象物5之后，悬吊并进行保持对象物5的真空处理。

另外，通过使粘附衬垫17相对于保持对象物5一边旋转一边离开，并使保持对象物5和粘附衬垫17剥离，使得不易发生剥离时的保持对象物5的挠曲，此外，与不旋转而垂直地剥离的情况相比，具有粘附衬垫17的粘附力的下降较少的效果。

接下来说明本发明的其他保持装置。

图8表示本发明的第二例的保持装置11₂。

与第一例的保持装置11不同，在第二例的保持装置11₂中，在多个真空容器15的上部设置有连结板41a，构成为通过该连结板41a使多个真空容器15一起移动。在连结板41a上形成有多个贯通孔35，多个真空容器15和连结板41a配置为，该贯通孔35和真空容器15的开口19连通。

在该第二例中，贯通孔35和开口19为同径，并配置为贯通孔35的整周与开口19的整周重合，但只要至少贯通孔35的一部分的位置和开口19的一部分的位置除了高度的差异以外重合，并且粘附衬垫17位于该重合的部分的内部或下方即可。

真空容器15的上端部有位于比连结板41a的表面靠下方的位置的情况和位于与连结板41a的表面相同高度的情况，保持装置11₂的表面是平坦的，由连结板41a的表面或连结板41a的表面和真空容器15的上部表面构成。

在保持装置11₂的表面上，以至少包围开口19和贯通孔35的除了高度方向以外重合的部分的方式，形成有环状的槽36，在槽36的内部，以包围开口19和贯通孔35的重合的部分的方式，配置有具有柔软性的圆形的接触部18a。

在连结板41a中的槽36的外部侧配置有销贯穿插入孔33，细棒状的销32从比销贯穿插入孔33靠下方的位置上升，当使销32的上端突出到比接触部18a的上端靠上方的位置时，成为能够将保持对象物5配置到销32的上端的状态。

图8的保持装置11₂是该状态。

接触部18a的上端配置在比保持装置11₂的表面高的位置，如果预先使粘附衬垫17下降，并使销32下降，则如图9所示，保持对象物5被载置到接触部18a上。

接触部18a上的保持对象物5与接触部18a接触，背面的一部分在与粘附衬垫17非接触的状态下露出到真空容器15的内部空间25内。粘附衬垫17的表面能够与露出到内部空间25中的部分接触。

此时，使外部空间26为大气压的环境，如在第一例中说明的那样，当利用吸附用排气装置42开始各真空容器15的内部空间25的真空排气时，真空容器15的内部空间25被减压，当通过外部空间26与内部空间25的压力差将保持对象物5向真空容器15侧抽吸时，接触部18a被按压，而向厚度减小的方向变形。

接触部18a的柔软性和厚度设定为这样的值：当通过吸附用排气装置42的真空排气按压保持对象物5时，接触部18a能够变形为厚度为槽的深度以下，如图10所示，被按压的保持对象物5也与保持装置11₂的表面接触。

此时，和保持对象物5与接触部18a接触的部分的面积相比，保持对象物5与保持装置11₂的表面接触的部分更大，与保持对象物5仅与接触部18a接触的情况相比，保持对象物5不变形。

粘附衬垫17的表面能够上升到保持装置11₂的表面的高度以上的高度，当粘附衬垫17的表面与被吸附保持的保持对象物5的背面接触而被按压时，保持对象物5被粘附保持在粘附衬垫17上。

图11的附图标记11₃表示本发明的第三例的保持装置，在该保持装置11₃的表面上没有形成槽，在保持装置11₃的表面上配置有具有柔软性的接触部18b。

使保持对象物5与接触部18b接触而配置在接触部18b上，当将内部空间25真空排气时，保持对象物5被真空吸附而被保持在接触部18b上。

在该第三例的保持装置11₃中，连结板41b的结构简单并且成本低。图13（a）和图13（b）分别是没有配置保持对象物5时的第二例的保持装置11₂的俯视图、和第三例的保持装置11₃的俯视图。

接着，图12的附图标记11₄表示本发明的第四例的保持装置，图13（c）是其俯视图。

该保持装置11₄代替第三例的保持装置11₃的环状的接触部18b，而在保持单元13的表面上配置有紧贴片材39作为接触部。

在紧贴片材39上，在开口19与贯通孔35重合的部分的上方位置形成有片材孔38，片材孔38、开口19和贯通孔35分别一部分重合，粘附衬垫17能够在比紧贴片材39的表面低的位置与紧贴片材39的表面以上的位置之间移动。

预先使粘附衬垫17下降以使粘附衬垫17的表面变得比紧贴片材39的表面低，当将保持对象物5配置到紧贴片材39的表面上时，保持对象物5与紧贴片材39接触，保持对象物5的背面的一部分经由开口19、贯通孔35和片材孔38露出到内部空间25中。

保持对象物5的露出到内部空间25中的部分被形成片材孔38的片材孔38周围的紧贴片材39的环状部分包围，使得内部空间25封闭。

与上述各例同样，通过内部空间25的真空排气，将保持对象物5真空吸附到紧贴片材39上，当粘附衬垫17上升时，粘附衬垫17的表面与保持对象物5的背面接触，将保持对象物5粘附保持在粘附衬垫17上。

另外，在紧贴片材39上，在与销贯穿插入孔33连通的位置形成有片材侧销贯穿插入孔34，并构成为，当使销32从上端部位于连结板41c的下方的状态向上方移动时，上端部穿过销贯穿插入孔33和片材侧销贯穿插入孔34而突出到比片材侧销贯穿插入孔34靠上方的位置。

在以上第一～第四例的保持装置11₁～11₄中，在一个真空容器15中配置一个粘附衬垫17来形成一个保持单元13，但在图14所示的第五例的保持装置11₅中，在一个真空容器65中配置多个粘附衬垫17来构成一个保持单元13a。

在该第五例的保持装置11₅中，在真空容器65的边缘上配置有将真空容器65的开口包围的环状的接触部18c。

在比真空容器65的边缘靠内侧的部分的粘附衬垫17与粘附衬垫17之间，配置有立设在真空容器65的底面上的多个辅助棒61。

辅助棒61的侧面相互离开，因而，将各粘附衬垫17所位于的环境相互连通，从而在真空容器65的内部形成一个内部空间25。粘附衬垫17配置在该内部空间25中。

当将比真空容器65的内周大的一片保持对象物5，以由真空容器65的边缘和保持对象物5夹着接触部18c的方式载置到接触部18c上时，将保持对象物5载置到真空容器65中。

在真空容器65的壁面或底面设置有排气孔14，内部空间25通过排气孔14和排气配管43与配置在真空槽21的外部的吸附用排气装置42连接。

在保持对象物5在真空容器65的边缘上与接触部18c接触的状态下，当将真空容器65内真空排气时，保持对象物5被真空吸附在真空容器65上，接触部18c被保持对象物5按压而压扁，保持对象物5向下方移动微小量。

此时，在比真空容器65的边缘靠内侧的位置，保持对象物5的背面与辅助棒61的前端接触，被辅助棒61支承而不挠曲。

在粘附衬垫17紧贴在保持对象物5的背面上的状态下，即使停止真空吸附，也经由支承棒52和粘附衬垫17将保持对象物5粘附保持。

在剥离时，与相同的保持对象物5接触的粘附衬垫17一边旋转或一边直线地下降。

在真空容器65的外周上设置有环状的辅助板41d，保持对象物5的边缘部分位于辅助板41d上。在辅助板41d上设置有销贯穿插入孔33，销32配置在销贯穿插入孔33的正下方位置，通过销32的上下移动，使销32的前端能够在销贯穿插入孔33内上下移动。

在使粘附衬垫17从保持对象物5离开后，当销32上升时，能够将保持对象物5载置到销32上。此外，当使载置有保持对象物5的销32下降时，能够将保持对象物5配置到真空容器65的边缘上。

另外，粘附衬垫17的材质、构成和动作与第四例的保持装置11₄相同，作为移动装置使粘附衬垫17移动的方向的移动方向具有相对于接触平面垂直的方向的移动分量，所述接触平面是保持装置11₅的表面中的与保持对象物5接触的部分所位于的平面。

此外，也能够将第五例的保持装置11₅的环状的接触部18c替换为紧贴片材39。

Claims (13)

1.一种保持装置，用于使设置在保持单元上的粘附衬垫与保持对象物接触，利用上述粘附衬垫粘附保持并输送上述保持对象物，其特征在于，

具有一个或多个上述保持单元，

上述保持单元具有：

真空容器；

接触部，配置在上述真空容器的边缘上，与上述保持对象物接触，使上述真空容器的内部空间从上述真空容器的外部空间切断；

排气孔，设置在上述真空容器上，成为利用吸附用排气装置将上述内部空间的气体真空排气的通路，上述内部空间被上述保持对象物和上述接触部从上述外部空间切断；和

移动装置，使上述粘附衬垫移动，

上述粘附衬垫配置在上述内部空间中，

作为上述移动装置使上述粘附衬垫移动的方向的移动方向具有相对于接触平面垂直的方向的移动分量，所述接触平面是上述接触部的表面中的与上述保持对象物接触的部分所位于的平面。

2.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

所述保持装置具有：

多个上述真空容器；和

配置在各上述真空容器中的上述粘附衬垫，

使多个上述粘附衬垫和配置在多个上述真空容器的边缘上的上述接触部与相同的上述保持对象物接触。

3.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

所述保持装置具有配置在相同的上述真空容器的上述内部空间中的多个上述粘附衬垫，

使多个上述粘附衬垫和配置在上述真空容器的边缘上的上述接触部与相同的上述保持对象物接触。

4.如权利要求1～3中任一项所述的保持装置，其特征在于，

上述接触部使用具有柔软性的环状部件。

5.如权利要求1～3中任一项所述的保持装置，其特征在于，

上述接触部配置在上述保持装置的平坦的表面上。

6.如权利要求1～3中任一项所述的保持装置，其特征在于，

在上述保持装置的表面上设置有槽，上述接触部设置在上述槽内。

7.如权利要求1～3中任一项所述的保持装置，其特征在于，

上述接触部由紧贴片材构成，该紧贴片材配置在上述真空容器上，在上述真空容器的开口上形成有作为贯通孔的片材孔。

8.如权利要求1～3中任一项所述的保持装置，其特征在于，

该保持装置具有使上述粘附衬垫相对于上述真空容器向远离上述接触部的方向一边旋转一边移动的旋转机构。

9.如权利要求1～3中任一项所述的保持装置，其特征在于，

该保持装置是具有使上述保持装置连接到上述吸附用排气装置的拆装装置的保持装置，

上述拆装装置使上述保持装置从上述吸附用排气装置分离，使得上述保持装置能够与上述吸附用排气装置独立地移动。

10.如权利要求9所述的保持装置，其特征在于，

使得当上述真空容器从上述吸附用排气装置分离时，气体不会穿过上述排气孔流入到上述真空容器内。

11.如权利要求1～3中任一项所述的保持装置，其特征在于，

粘接在上述保持对象物上的上述粘附衬垫被具有弹性力的缓冲部件向从上述保持对象物离开的方向施力。

12.一种真空处理装置，其特征在于，具有：

权利要求1～3中任一项所述的保持装置；

真空槽，配置有上述保持装置；和

处理部，配置在上述真空槽内，将被上述粘附衬垫粘附保持且处理表面朝下的上述保持对象物的上述处理表面在真空环境中处理。

13.如权利要求12所述的真空处理装置，其特征在于，

上述处理部是放出形成薄膜的微粒并在上述保持对象物表面上形成薄膜的成膜装置。