JP6810584B2 - 貼合装置 - Google Patents
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Description
[1−1]貼合装置の構成
図1は、第1実施形態に係る貼合装置の構成を示した概念図である。図1に示される様に、貼合装置は、第1チャック部1Aと、第2チャック部1Bと、チャンバ機構2と、ロック機構2Lと、第1浮動機構3Aと、第2浮動機構3Bと、回転機構4と、第1付勢機構5Aと、第2付勢機構5Bと、アライメント機構6と、を備える。
第1チャック部1A及び第2チャック部1Bは、貼合対象を吸着させる吸着面11a及び11bをそれぞれ有し、互いの吸着面11a及び11bを対向させて配されている。第1チャック部1Aには、吸着面11aの所定位置(例えば、中心位置)に開口した貫通孔(不図示)が設けられており、吸着面11aには、貫通孔に通じるスリット(不図示)が全域に亘って形成されている。そして、貼合対象が吸着面11aに載置された状態で貫通孔を通じて真空吸引が実行されることにより、スリット内の気圧を低下させると共に貼合対象を吸着面11aに吸着させることができる。これにより、第1チャック部1Aに貼合対象をチャックさせることができる。第2チャック部1Bにも、第1チャック部1Aと同様の貫通孔及びスリット(不図示)が形成されており、第2チャック部1Bに貼合対象をチャックさせることができる。尚、第1チャック部1A及び第2チャック部1Bのそれぞれには、熱膨張率が低く且つ熱伝導率が高いセラミックで構成されたものを用いることが好ましい。
チャンバ機構2は、第1ベース部21Aと、第2ベース部21Bと、側壁部22と、駆動部23と、排気部24と、を含む。第1ベース部21Aは、第1チャック部1Aの背面12a(吸着面11aとは反対側の面)側に配されており、第1チャック部1Aを支持している。第2ベース部21Bは、第2チャック部1Bの背面12b(吸着面11bとは反対側の面)側に配されており、第2チャック部1Bを支持している。
ロック機構2Lは、貼合実行時において第1ベース部21Aと第2ベース部21Bとの互いの位置関係を維持することが可能な機構である。具体的には、貼合実行時に第1チャック部1A及び第2チャック部1Bのそれぞれの背面12a及び12bに付与される気圧に起因して、第1ベース部21A及び第2ベース部21Bが互いに離間してチャンバ2aが開放されることがない様に、ロック機構2Lは、第1ベース部21Aと第2ベース部21Bとの互いの位置関係を固定する。
(第1浮動機構)
第1浮動機構3Aは、第1チャック部1Aの背面12aに気圧を付与して第1ベース部21Aから第1チャック部1Aを浮動させる機構であり、第1チャック部1Aの浮動により、第1チャック部1Aの吸着面11aを第2チャック部1Bの吸着面11bの方へ移動させる。
第2浮動機構3Bは、第2チャック部1Bの背面12bに気圧を付与して第2ベース部21Bから第2チャック部1Bを浮動させる機構であり、第2チャック部1Bの浮動により、第2チャック部1Bの吸着面11bを第1チャック部1Aの吸着面11aの方へ移動させる。尚、第2チャック部1Bは、第1チャック部1Aと比較して、その移動距離は相対的に小さくてよい。よって、第2浮動機構3Bは、第2チャック部1Bを第2ベース部21Bから僅かに浮動させるものであってもよい。
回転機構4は、第1チャック部1Aの吸着面11a(又は第2チャック部1Bの吸着面11b)に沿う方向における回転軸41を有し、当該回転軸41周りにチャンバ機構2を反転させて第1ベース部21Aと第2ベース部21Bとの位置を入れ替えることが可能な機構である。
(第1付勢機構)
第1付勢機構5Aは、第1チャック部1Aを、鉛直方向において第1ベース部21Aの方へ付勢する。本実施形態において、第1付勢機構5Aは複数設けられており、第1付勢機構5Aの各々は、収納室51Aと、圧縮バネ52Aと、ピン53Aと、から構成されている。収納室51Aは、第1ベース部21Aに形成されており、収納室51Aには、圧縮バネ52Aが、鉛直方向における弾性変形が可能となる様に収納されている。
第2付勢機構5Bは、第2チャック部1Bを、鉛直方向において第2ベース部21Bの方へ付勢する。本実施形態において、第2付勢機構5Bは、各ピン311の頭部311aと第2チャック部1Bの鍔部13Bとの間に配された皿バネ52Bで構成されている。尚、皿バネ52Bは、これに軸部311bが貫通した状態で配されている。
図2(A)は、アライメント機構6を示した斜視図であり、図2(B)は、チャンバ機構2へのアライメント機構6の取付け状態を示した斜視図である。又、図3(A)及び(B)は、アライメント機構6の動作を示した平面図である。アライメント機構6は、第1チャック部1A及び第2チャック部1Bのそれぞれに貼合対象をチャックさせる際の、当該貼合対象の位置調整に用いられる。具体的には、アライメント機構6は、第1回転軸61cを有する回転部61と、3つの動力伝達機構62と、3つのアライメント作用部63と、を備える。回転部61の回転動作は、サーボモータ等、回転角度やトルクの検出及び制御が可能な回転駆動装置によって制御される。
図4(A)〜図7は、上述した貼合装置において2つの貼合対象を貼り合わせる際に実行される動作を順に示した図である。
上記貼合装置において、第1付勢機構5Aは、気圧を利用して付勢力を生じるものであってもよい。
図10は、第2付勢機構5Bについての他の例を示した断面図である。図10に示される様に、第2付勢機構5Bは、複数のピン311及び皿バネ52Bに代えて、環状部材561及び弾性部材562で構成されていてもよい。環状部材561は、第2ベース部21Bの対向面21Bfに固定されている。又、環状部材561には、その断面が対向面21Bfから逆L字状に延びた形状を呈することにより、第2チャック部1Bの鍔部13Bを覆う環状の被覆部561aが形成されている。弾性部材562は、弾性変形が可能な部材であり、鍔部13Bと被覆部561aとの間に介在している。一例として、弾性部材562には、弾性変形が可能なシール部材(例えば、Oリング)が用いられる。
2つの貼合対象は、貼合時の接着性が向上する様に加熱され、貼合完了後に冷却されてもよい。一例として、第1チャック部1A及び第2チャック部1Bの各々にヒータが内蔵されており、当該ヒータで貼合対象を加熱することにより、貼合対象に塗布されている接着剤を溶融させる。そして、貼合完了後に、第1チャック部1A及び第2チャック部1B自体を冷却することにより、接着剤を固化させる。以下、第1チャック部1A及び第2チャック部1Bを冷却する冷却機構を備えた貼合装置を、第4実施形態として、具体的に説明する。
第5実施形態として、上述した貼合装置は、ノッチアライメント機構8を更に備えていてもよい。ノッチアライメント機構8は、上述したアライメント機構6で位置が調整された貼合対象に対し、周方向における更なる位置調整を行うために用いられる。具体的には、貼合対象には位置調整用のノッチが設けられており、ノッチアライメント機構8は、周方向における当該ノッチの位置調整を行う。
第1チャック部1Aや第2チャック部1Bへの貼合対象のチャックには、上述した真空チャックに限らず、静電チャックが用いられてもよいし、これらが併用されてもよい。
1B 第2チャック部
2 チャンバ機構
2a チャンバ
2L ロック機構
3A 第1浮動機構
3B 第2浮動機構
4 回転機構
5A 第1付勢機構
5B 第2付勢機構
6 アライメント機構
7A 第1冷却機構
7B 第2冷却機構
8 ノッチアライメント機構
11a、11b 吸着面
12a、12b 背面
12c 周縁領域
13A、13B 鍔部
13At 傾斜面
14A 鍔部
21A 第1ベース部
21B 第2ベース部
21Bc 環状領域
21Af、21Bf 対向面
21Ar、21Br 凹部
22 側壁部
23 駆動部
24 排気部
31A、31B 支持部
32A 第1気圧調整部
32B 第2気圧調整部
33A、33B 密閉空間
41 回転軸
51A 収納室
52A 圧縮バネ
52B 皿バネ
53A ピン
53Aa 頭部
53Ab 軸部
61 回転部
61c 第1回転軸
62 動力伝達機構
62C 軸部
62Ca 第1端部
62Cb 第2端部
63 アライメント作用部
71A、71B 冷却板
72A、72B 通路
81 アーム部
82 駆動部
120A、120B 軸部
210A、210B 受け部
211 鍔部
211t 傾斜面
212 鍔部
311 ピン
311a 頭部
311b 軸部
312 シール部材
313、314 ダイアフラム
541、542 空間
551、552 シール部材
561 環状部材
561a 被覆部
562 弾性部材
621 第1アーム
622 第2アーム
622c 第2回転軸
623 第3アーム
621a、622a、623a 第1端部
621b、622b、623b 第2端部
631 第1当接部
632 第2当接部
811 第1尖端部
812 第2尖端部
P11、P12、P13 位置
P21、P22、P23 位置
T1、T2 貼合対象
N1、N2 ノッチ
Claims (6)
- 貼合対象を吸着させる吸着面を各々が有する一対のチャック部であって、互いの前記吸着面を対向させて配されている第1チャック部及び第2チャック部と、
前記第1チャック部及び第2チャック部をそれぞれ支持する第1ベース部及び第2ベース部と、
前記第1チャック部の背面に気圧を付与して前記第1ベース部から前記第1チャック部を浮動させることにより、前記第1チャック部の吸着面を前記第2チャック部の吸着面の方へ移動させる第1浮動機構と、
を備え、
前記第1チャック部の背面には軸部が突設されており、
前記第1ベース部には、前記第1チャック部の前記軸部が摺動自在に挿入される受け部が凹設されており、当該受け部は、前記第1チャック部の浮動時において当該第1チャック部の中心位置が所定位置からずれないように前記第1チャック部の前記軸部を摺動させるものであり、
前記第1チャック部の前記軸部と前記第1ベース部の前記受け部との間には、貼合実行時において前記第1チャック部の吸着面が僅かに傾くことを許容する遊びが設けられている、貼合装置。 - 前記第2チャック部の背面に気圧を付与して前記第2ベース部から前記第2チャック部を浮動させることにより、前記第2チャック部の吸着面を前記第1チャック部の吸着面の方へ移動させる第2浮動機構を更に備え、
前記第2チャック部の背面には軸部が突設されており、
前記第2ベース部には、前記第2チャック部の前記軸部が摺動自在に挿入される受け部が凹設されており、当該受け部は、前記第2チャック部の浮動時において当該第2チャック部の中心位置が所定位置からずれないように前記第2チャック部の前記軸部を摺動させるものであり、
前記第2チャック部の前記軸部と前記第2ベース部の前記受け部との間には、貼合実行時において前記第2チャック部の吸着面が僅かに傾くことを許容する遊びが設けられている、請求項1に記載の貼合装置。 - 前記第1浮動機構及び前記第2浮動機構は、前記貼合対象の貼合実行時において、前記第1チャック部及び前記第2チャック部のそれぞれの背面に略同一の気圧を付与する、請求項2記載の貼合装置。
- 前記貼合対象の貼合実行時において前記第1ベース部と前記第2ベース部との互いの位置関係を維持することが可能なロック機構を更に備える、請求項1〜3の何れかに記載の貼合装置。
- 前記第1ベース部と前記第2ベース部とを含み、これらのベース部間に、前記第1チャック部及び前記第2チャック部が内部に配されると共に密閉されたチャンバを形成することが可能なチャンバ機構を更に備え、
前記チャンバ機構は、
前記吸着面に垂直な方向において、前記第1ベース部を前記第2ベース部に対して相対的に移動させることが可能であり、前記第1ベース部と前記第2ベース部とを互いに近づけることにより、前記チャンバを形成する駆動部と、
前記チャンバ内の気圧を低下させる排気部と、
を更に含む、請求項1〜4の何れかに記載の貼合装置。 - 前記吸着面に沿う方向における回転軸を有し、当該回転軸周りに前記チャンバ機構を反転させて前記第1ベース部と前記第2ベース部との位置を入れ替えることが可能な回転機構を更に備える、請求項5に記載の貼合装置。
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