KR20130057365A

KR20130057365A - 합착장치

Info

Publication number: KR20130057365A
Application number: KR1020110123226A
Authority: KR
Inventors: 박장완; 한명우
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2011-11-23
Filing date: 2011-11-23
Publication date: 2013-05-31
Also published as: KR101337551B1

Abstract

본 발명은 기판들 또는 필름들의 합착 공정 시 합착 대상물 사이에 기포의 유입 및 발생을 방지할 수 있는 합착장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 합착장치는 제1기판과 제2기판이 반입되며 제1기판과 제2기판이 합착되는 공간을 형성하는 챔버와, 챔버 내부의 상측에 배치되는 상부 정반과, 챔버 내부의 하측에 배치되어 제1기판을 지지하며 제1기판을 상부 정반을 향해 이동시키는 리프트 핀과 제2기판을 지지하며 제1기판의 하부면으로 제2기판을 이동시키는 기판지지부를 갖는 하부 정반과, 상부정반의 일측단에 제1기판 및 제2기판의 판면에 대해 일정 경사각을 가지고 배치되어 리프트 핀 및 기판지지부의 상승 이동에 따라 제1기판과 제2기판이 상호 일영역부터 부분적으로 합착되도록 제1기판과 제2기판의 가압에 따라 회전 운동되는 지지유닛과, 챔버의 하부와 하부 정반에 각각 유니버셜 링크로 결합되어 제1기판과 제2기판의 가압에 따른 지지유닛의 회전에 따라 제1기판의 판면에 대해 제2기판을 정렬시키는 정렬유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

합착장치{BONDING APPARATUS}

본 발명은, 합착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판들 또는 필름들의 상호 합착하기 위한 합착장치에 관한 것이다.

통상적인 동영상 및 정지영상을 표시하는 영상표시장치, 예를 들어 디스플레이 장치 등은 적어도 2개 이상의 기판들 또는 필름들이 상호 합착되는 방식으로 제조된다. 여기서, 디스플레이 장치의 제조 공정은 복수의 기판들의 합착에 의해 이루어지며, 특히 크게 구분하면 TFT 기판과 유리 기판의 합착에 의해 이루어진다.

이와 더불어, 디스플레이 장치의 제조는 디스플레이의 다른 기능을 수행하는 기판들 또는 필름들 각각의 조합 또는 혼용 합착에 의해 이루어진다. 이러한 디스플레이 장치의 다른 기능을 수행하는 기판들 또는 필름들은 터치패드, 3차원 디스플레이를 위한 렌티큘러 필름 및 편광 필름 등과 같은 다양한 기판 또는 필름 중 적어도 어느 하나 일 수 있다.

한편, 종래의 기판 합착장치는 "대한민국 공개특허공보 제10-2008-0056821호" 인 "기판합착장치에서 기판의 평행도 조정방법"에 개시되어 있다. 상기한 선행 기술문헌은 기판들의 상호 합착 공정 중 합착되는 기판들 사이에 기포 유입 등의 문제가 발생되는 것을 방지하도록 합착 대상물들의 위치를 정렬하는 것이다.

이러한 선행 기술문헌은 하부 스테이지를 X 및 Y축으로 미세하게 이동시키는 캠 유닛 및 하부 스테이지의 4개의 모서리부에 설치되어 하부 스테이지를 Z축으로 미세하게 이동시키는 리니어 액추에이터를 이용하여 기판을 정렬하는 기술을 개시하고 있다.

그런데, 선행 기술문헌은 합착되는 기판들 사이의 기포 유입을 방지하기 위해서 하부 스테이지의 X 및 Y축과 Z축을 각각 조절하는 캠 유닛 및 복수개의 리니어 액추에이터를 구비함으로써, 합착장치의 전체적인 구성의 복잡함과 더불어 제조 비용 및 보수비용의 상승을 초래하는 문제점이 있다.

대한민국 공개특허공보 제10-2008-0056821호

본 발명의 목적은 적어도 2개 이상의 기판들 또는 필름들의 합착 공정 시, 상호 합착되는 면 사이에 기포 유입 및 발생을 방지할 수 있도록 합착 구조가 개선된 합착장치를 제공하는 것이다.

상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라, 제1기판과 제2기판이 반입되며 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 공간을 형성하는 챔버와,상기 챔버 내부의 상측에 배치되는 상부 정반과, 상기 챔버 내부의 하측에 배치되어 상기 제1기판을 지지하며 상기 제1기판을 상기 상부 정반을 향해 이동시키는 리프트 핀과 상기 제2기판을 지지하며 상기 제1기판의 하부면으로 상기 제2기판을 이동시키는 기판지지부를 갖는 하부 정반과, 상기 상부정반의 일측단에 상기 제1기판 및 상기 제2기판의 판면에 대해 일정 경사각을 가지고 배치되어 상기 리프트 핀 및 상기 기판지지부의 상승 이동에 따라 상기 제1기판과 상기 제2기판이 상호 일영역부터 부분적으로 합착되도록 상기 제1기판과 상기 제2기판의 가압에 따라 회전 운동되는 지지유닛과, 상기 챔버의 하부와 상기 하부 정반에 각각 유니버셜 링크로 결합되어 상기 제1기판과 상기 제2기판의 가압에 따른 상기 지지유닛의 회전에 따라 상기 제1기판의 판면에 대해 상기 제2기판을 정렬시키는 정렬유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 합착장치에 의해 이루어진다.

여기서, 상기 지지유닛은 판재 형상으로 마련되어 상기 제1기판과 상기 제2기판의 가압에 따라 상기 제1기판과 면 접촉되는 지지부와, 상기 상부 정반의 일측부와 상기 지지부의 일측부를 연결하며 상기 상부 정반에 대해 상기 지지부를 회전시키는 힌지부와, 상기 챔버의 상부로부터 연장되며 자중에 의해 회전되는 상기 지지부의 회전 각도를 제한하는 스토퍼를 포함할 수 있다.

바람직하게 상기 지지부는 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 합착위치에서 상기 지지부의 자중에 따른 회전 운동과 상기 스토퍼의 저지에 따라 상기 상부 정반의 판면에 대해 일정 각도를 이루며 배치될 수 있다.

또한, 바람직하게 상기 제1기판과 상기 제2기판은 상기 합착위치에서 상기 지지부의 회전 운동에 따라 상기 스토퍼에 지지된 상기 지지부의 일영역부터 부분적으로 상호 합착될 수 있다.

한편, 상기 정렬유닛은 상기 제1기판과 상기 제2기판의 가압에 따른 상기 지지유닛의 회전에 따라 상기 제1기판의 판면에 대해 상기 제2기판이 정렬되도록 신축되는 복수개의 정렬 액추에이터를 포함할 수 있다.

여기서, 복수개의 상기 정렬 액추에이터는 제1정렬 액추에이터, 제2정렬 액추에이터 및 제3정렬 액추에이터를 포함하고, 상기 제1, 2 및 제3정렬 액추에이터는 상호 등간격을 이루며 방사상으로 배치되는 것이 바람직하다.

그리고, 바람직하게 상기 정렬 액추에이터는 동력부와 로드부를 포함하는 유압 액추에이터, 공압 액추에이터 및 리니어 볼스크루 중 어느 하나일 수 있다.

기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명에 따른 합착장치의 효과는 지지유닛의 회전 운동에 따라 기판들 사이에 일정 각도로 합착 공정이 진행되어 기판들이 상호 일영역부터 합착될 수 있고, 이에 따라 기판 사이의 기포 유입 및 발생을 방지하여 제품 생산의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 합착장치의 제1작동 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 합착장치의 제2작동 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 합착장치의 제3작동 단면도,
도 4는 도 1 내지 도 3에 도시된 정렬유닛의 설치 상태를 설명하기 위한 도면,
도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 정렬유닛의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 합착장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

설명하기에 앞서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 합착장치는 2개의 기판이 합착되는 것으로 설명하나, 2개를 초과한 기판 또는 필름의 합착 공정에도 적용될 수 있음을 미리 밝혀둔다. 이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 합착장치의 합착 공정에 사용되는 기판들은 설명의 편의상 제1기판 및 제2기판으로 지칭하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 합착장치의 제1작동 단면도, 도 2는 본 발명에 따른 합착장치의 제2작동 단면도, 그리고 도 3은 본 발명에 따른 합착장치의 제3작동 단면도이다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 합착장치(1)는 챔버(10), 상부 정반(30), 하부 정반(40), 얼라인 감지부(60), 지지유닛(70) 및 정렬유닛(90)을 포함한다. 본 발명에 따른 합착장치(1)는 기판들의 상호 합착, 필름들의 상호 합착 또는 기판과 필름의 상호 합착 등의 합착 공정에 적용될 수 있다. 물론, 본 발명에 다른 합착장치(1)는 적어도 2개 이상의 기판 또는 필름들의 합착 공정을 위해서도 적용될 수 있다.

챔버(10)는 상부 챔버(12), 하부 챔버(14), 승강축(16) 및 지지대(18)를 포함한다. 챔버(10)는 내부에 제1기판(300)과 제2기판(500)의 합착 공정이 진행되는 공정 공간을 형성한다. 챔버(10)에는 챔버(10)의 공정 공간이 진공 상태를 유지하도록 도면에 도시되지 않은 진공 펌프가 연결된다.

상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)는 상하로 배치되며, 상호 결합되어 제1기판(300)과 제2기판(500)이 합착되는 합착 공간을 형성한다. 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)가 접하는 외곽 테두리에는 도시되지 않은 오링이 배치되어 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14) 사이의 기밀을 유지한다. 여기서, 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)는 승강축(16)에 의해 연결된다.

승강축(16)은 하부 챔버(14)의 테두리 부분을 상하로 관통하여 상부 챔버(12)의 테두리 바닥 부분에 결합된다. 승강축(16)은 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)가 결합 및 결합 해제 될 수 있도록 상부 챔버(12)를 상하로 승강시킨다. 이렇게 승강축(16)이 상부 챔버(12)를 상하로 승강시킴으로써, 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)는 상호 결합에 의해 내부에 공정 공간을 형성한다. 승강축(16)의 하부에는 승강축(16)을 지지하며 승강축(16)이 상하로 왕복 이동하도록 구동력을 제공하는 모터(미도시)가 배치된다.

지지대(18)는 하부 챔버(14)의 내부면에 배치되며, 하부 정반(40)에 연결되는 정렬유닛(90)을 지지한다.

상부 정반(30) 및 하부 정반(40)은 각각 상부 챔버(12) 및 하부 챔버(14)의 내부에 배치된다. 상부 정반(30) 및 하부 정반(40)은 적어도 어느 하나가 상하로 왕복 이동 가능하도록 배치된다. 본 발명의 일 실시 예로서, 상부 정반(30)은 상부 챔버(12)의 내부에 고정 지지되고 하부 정반(40)은 상부 정반(30)을 향해 승강 이동되도록 마련된다.

하부 정반(40)은 일 실시 예로서, 리프트 핀(42), 기판지지부(44) 및 승강부(46)를 포함한다. 하부 정반(40)은 합착 대상물인 제1기판(300)과 제2기판(500)을 지지함과 더불어 제1기판(300) 및 제2기판(500)을 합착위치로 이동시킨다.

리프트 핀(42)은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 외부로부터 챔버(10) 내부로 반입된 제1기판(300)을 지지하여 상부 정반(30)에 지지된 지지유닛(70)으로 이동된다. 여기서, 리프트 핀(42)에 지지되어 이동되는 제1기판(300)은 유리 기판, 렌티큘러 기판, 터치 패널 기판 또는 디스플레이 기판일 수 있다. 리프트 핀(42)은 지지유닛(70)을 향해, 즉 지지유닛(70)에 접촉되어 제1기판(300)과 제2기판(500) 사이의 일정 각도를 형성하는 합착위치로 제1기판(300)을 이동시킨다. 리프트 핀(42)은 동력을 발생하는 구성 요소와 동력에 의해 신축되는 구성 요소로 마련된다.

기판지지부(44)는 도 1에 도시된 바와 같이, 외부로부터 챔버(10) 내부로 반입된 제2기판(500)을 지지한다. 정확히 설명하면, 기판지지부(44)는 외부로부터 챔버(10) 내부로 반입딘 제2기판(500)을 지지함과 더불어 승강부(46)에 의해 제2기판(500)이 승강될 수 있도록 제2기판(500)을 지지하는 역할을 한다.

승강부(46)는 기판지지부(44)에 의해 지지된 제2기판(500)을 제1기판(300)의 하부면으로 이동시킨다. 승강부(46)는 정전척 및 점착척으로 구성되어 면 접촉된 제2기판(500)을 합착위치로 이동시킨다.

얼라인 감지부(60)는 카메라(62)와 촬영홀(64)을 포함한다. 얼라인 감지부(60)는 상부 정반(30)과 하부 정반(40)에 형성된 얼라인 마크를 촬영하도록 배치된다. 즉, 얼라인 감지부(60)는 제1기판(300)과 제2기판(500)의 합착 공정 시 합착위치의 오류가 발생되지 않도록 제1기판(300)과 제2기판(500) 사이의 정렬위치를 확인한다. 여기서, 얼라인 감지부(60)의 촬영홀(64)은 제1기판(300)과 제2기판(500)이 하부 정반(40)보다 큰 면적을 가질 경우, 얼라인 마크를 하부 정반(40) 외측에 형성할 수 있기 때문에 별도로 형성할 필요가 없다.

다음으로 지지유닛(70)은 상부 정반(30)의 일측단에 하부 정반(40)의 승강 방향의 가로 방향의 회전축선을 가지며 결합된다. 지지유닛(70)은 제1기판(300)과 제2기판(500)이 상호 일영역부터 접촉되도록 제1기판(300)과 제2기판(500)의 가압에 따라 회전 운동된다. 본 발명의 지지유닛(70)은 지지부(72), 힌지부(74) 및 스토퍼(76)를 포함한다.

지지부(72)는 판재 형상으로 마련되어 제1기판(300)과 제2기판(500)의 가압에 따라 선 접촉에서 면 접촉된다. 지지부(72)는 일측단에 마련된 힌지부(74)에 의한 회전축선에 따라 자중으로 회전 운동된다. 지지부(72)는 합착위치에서 스토퍼(76)에 의한 각도 제한에 의해 제1기판(300) 및 제2기판(500)의 판면과 일정 각도를 이루고 있다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 지지부(72)는 제1기판(300)과 제2기판(500)의 합착위치에서 제1기판(300)의 판면에 대해 일정 각도를 형성하며 배치된다. 이후 지지부(72)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1기판(300)과 제2기판(500)의 가압에 따라 시계방향으로 회전 운동된다. 제1기판(300)과 제2기판(500)이 합착 공정이 끝난 후, 지지부(72)는 자중에 의해 반시계 방향으로 회전 운동되어 스토퍼(76)에 의해 각도 제한된다.

힌지부(74)는 상부 정반(30)과 지지부(72)의 일측단을 상호 연결한다. 힌지부(74)는 지지부(72)가 자중에 의해 회전 운동될 수 있도록 상부 정반(30)과 지지부(72)를 회전 가능하게 연결한다.

스토퍼(76)는 상부 챔버(12)의 측면으로부터 연장 형성되며, 자중에 의해 회전되는 지지부(72)의 회전 각도를 제한한다. 스토퍼(76)는 상부 챔버(12)의 측면으로부터 하부 정반(40)의 승강 방향의 가로 방향으로 연장 형성되어 있으나, 이러한 스토퍼(76)는 일 실시 예일 뿐 지지부(72)의 회전 각도를 제한할 수 있으면 상부 정반(30) 등으로부터 연장 형성될 수 있다. 이렇게 제1기판(300)과 제2기판(500)은 합착위치에서 지지부(72)의 회전 운동에 의해 상호 일영역부터 합착됨으로써, 기포 유입 및 발생을 방지할 수 있는 장점있다.

마지막으로 도 4는 도 1 내지 도 3에 도시된 정렬유닛의 설치 상태를 설명하기 위한 도면이고, 도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 정렬유닛의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 정렬유닛(90)은 지지대(18)와 하부 정반(40) 사이를 연결하여 지지유닛(70)의 회전 운동에 따라 제1기판(300)과 제2기판(500) 사이의 합착위치를 정렬시키도록 마련된다. 본 발명의 정렬유닛(90)은 제1정렬 액추에이터(91), 제2정렬 액추에이터(92) 및 제3정렬 액추에이터(93)를 포함한다. 그리고, 각각의 정렬 액추에이터들(91, 92, 93)은 동력부(95), 로드부(96), 제1유니버셜 링크(98) 및 제2유니버셜 링크(99)를 포함한다.

제1, 제2 및 제3정렬 액추에이터(91, 92, 93)는 각각 하부 정반(40)의 중심에서 방사상으로 등간격을 이루며 배치된다. 즉, 제1, 제2 및 제3정렬 액추에이터(91, 92, 93)는 하부 정반(40)의 중심에서 방사상의 위치에 상호 120도 간격으로 이격되는 설치되는 것이다.

동력부(95)는 유압 액추에이터, 공압 액추에이터 그리고 리니어 볼스크류 중 어느 하나로 구성되어 이를 작동시키는 모터와 이들 선형 구동장치를 감싸는 외관 케이싱(미도시)을 포함한다. 로드부(96)는 하부 정반(40)과 동력부(95) 사이에 배치되고 동력부(95)에서 제공되는 구동력에 의해 신축됨으로써, 정렬 액추에이터들(91, 92, 39)의 전체 길이 조절되도록 한다.

제1유니버셜 링크(98)는 하부 정반(40)과 로드부(96)의 일측부를 상호 결합한다. 제1유니버셜 링크(98)는 제1요크(98a), 제2요크(98b), 센터피스(98c), 제1링크(98d) 및 제2링크(98e)를 포함한다. 반면, 제2유니버셜 링크(99)는 지지대(18)와 동력부(95)를 상호 결합한다. 이하에서 제2유니버셜 링크(99)는 제1유니버셜 링크(98) 대비 그 배치위치가 상이할 뿐 구성 요소는 동일하므로 제2유니버셜 링크(99)에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

제1요크(98a)는 하부 정반(40)의 하부면에 고정 결합되고, 제2요크(98b)는 로드부(96)의 일측부에 고정 결합되며 제1요크(98a)과 직각 방향으로 배치된다. 센터피스(98c)는 제1요크(98a)와 제2요크(98b) 사이에 배치된다. 그리고, 제1링크(98d)는 제1요크(98a)와 센터피스(98c)를 축 결합하고, 제2링크(98e)는 제1링크(98d)에 대해 직각 방향으로 배치되어 제2요크(98b)와 센터피스(98c)를 축 결합한다. 상기한 제1요크(98a), 제2요크(98b), 센터피스(98c), 제1링크(98d) 및 제2링크(98e)로 구성된 제1유니버셜 링크(98)에 의해 하부 정반(40)과 로드부(96) 사이는 자유도 운동이 가능해 진다.

이러한 구성에 의해 본 발명이 실시 예에 따른 합착장치(1)의 작동 과정을 이하에서 살펴보면 다음과 같다.

우선, 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)는 승강축(16)의 상승에 의해 제1기판(300) 및 제2기판(500)의 반입 경로를 형성한다. 그리고, 통상적인 기판 이송 로봇(미도시)이 제1기판(300) 및 제2기판(500)을 각각 또는 동시에 챔버(10)의 공정 공간으로 이송시킨다. 이때, 기판 이송 로봇에 의해 이송된 제1기판(300)은 리프트 핀(42)에 안착되고 제2기판(500)은 기판지지부(44)에 안착된다. 이후 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)는 승강축(16)의 하강에 의해 상호 밀폐되어 공정 공간을 진공 상태로 만든다. 정확히 설명하면, 챔버(10)에 연결된 진공펌프의 작동에 의해 챔버(10)의 공정 공간이 진공 상태가 된다.

제1기판(300)이 지지된 리프트 핀(42)을 상승시켜 지지유닛(70)에 제1기판(300)을 접촉 시킨다. 승강부(46)는 승강되어 제1기판(300)의 하부면으로 제2기판(500)을 이동시킨다. 여기서, 제2기판(500)이 제1기판(300)의 하부면, 즉 합착위치로 이동될 때 카메라(62)는 제1기판(300)과 제2기판(500) 사이의 얼라인 상태를 제1기판(300)과 제2기판(500)에 형성된 얼라인 마크를 통하여 확인한다.

제1기판(300) 하부면으로 제2기판(500)이 이동되면, 합착위치에서 제1기판(300)과 제2기판(500)의 가압에 따라 지지유닛(70)은 회전 운동되고, 제1기판(300)과 제2기판(500)은 일측 영역부터 상호 합착이 이루어진다. 즉, 힌지부(74)와 연결된 지지부(72)의 일측부에 대향된 타측부의 영역의 제1기판(300)과 제2기판(500)이 상호 합착되기 시작하여 지지부(72)의 일측부로 합착 공정이 진행된다. 이렇게 제1기판(300)과 제2기판(500)의 합착이 일측단으로부터 타측단으로 이루어짐으로써, 제1기판(300)과 제2기판(500)의 상호 합착면 사이에 기포 유입 및 발생이 저지될 수 있다.

정렬유닛(90)은 제1기판(300)과 제2기판(500)이 합착위치에서 합착 공정이 진행되면, 제1기판(300)과 제2기판(500)이 상호 일영역부터 합착 가능하게 제1기판(300)의 각도 변경에 따라 이에 대응하여 제2기판(500)이 정렬되도록 작동된다. 정렬유닛(90)의 작동은 로드부(96)의 신축 작동, 제1유니버셜 링크(98) 및 제2유니버셜 링크(99) 중 적어도 어느 하나의 작동에 의해 이루어질 수 있다.

상술한 바와 같은 일련의 작동 과정에 의해 제1기판(300)과 제2기판(500)의 합착이 완료되면, 상부 챔버(12)가 승강축(16)에 의해 상승하여 합착된 공정 결과물이 반출되는 반출 경로를 형성한다. 기판 이송 로봇이 공정 공간 내부로 진입하여 합착된 기판을 외부로 반출함으로써, 제1기판(300)과 제2기판(500)에 대한 합착 공정이 완료된다.

이에, 지지유닛의 회전 운동에 따라 기판들 사이에 일정 각도로 합착 공정이 진행되어 기판들이 상호 일영역부터 합착될 수 있고, 이에 따라 기판 사이의 기포 유입 및 발생을 방지하여 제품 생산의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

1: 합착장치 10: 챔버
30: 상부 정반 40: 하부 정반
70: 지지유닛 72: 지지부
74; 힌지부 76: 스토퍼
90: 정렬유닛 91: 제1정렬 액추에이터
92: 제2정렬 액추에이터 93: 제3정렬 액추에이터
95: 동력부 96: 로드부
98: 제1유니버셜 링크 99: 제2유니버셜 링크

Claims

제1기판과 제2기판이 반입되며, 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 공간을 형성하는 챔버와;
상기 챔버 내부의 상측에 배치되는 상부 정반과;
상기 챔버 내부의 하측에 배치되어, 상기 제1기판을 지지하며 상기 제1기판을 상기 상부 정반을 향해 이동시키는 리프트 핀과 상기 제2기판을 지지하며 상기 제1기판의 하부면으로 상기 제2기판을 이동시키는 기판지지부를 갖는 하부 정반과;
상기 상부정반의 일측단에 상기 제1기판 및 상기 제2기판의 판면에 대해 일정 경사각을 가지고 배치되어, 상기 리프트 핀 및 상기 기판지지부의 상승 이동에 따라 상기 제1기판과 상기 제2기판이 상호 일영역부터 부분적으로 합착되도록 상기 제1기판과 상기 제2기판의 가압에 따라 회전 운동되는 지지유닛과;
상기 챔버의 하부와 상기 하부 정반에 각각 유니버셜 링크로 결합되어, 상기 제1기판과 상기 제2기판의 가압에 따른 상기 지지유닛의 회전에 따라 상기 제1기판의 판면에 대해 상기 제2기판을 정렬시키는 정렬유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 합착장치.
제1항에 있어서,
상기 지지유닛은,
판재 형상으로 마련되어, 상기 제1기판과 상기 제2기판의 가압에 따라 상기 제1기판과 면 접촉되는 지지부와;
상기 상부 정반의 일측부와 상기 지지부의 일측부를 연결하며, 상기 상부 정반에 대해 상기 지지부를 회전시키는 힌지부와;
상기 챔버의 상부로부터 연장되며, 자중에 의해 회전되는 상기 지지부의 회전 각도를 제한하는 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 합착장치.
제2항에 있어서,
상기 지지부는 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 합착위치에서 상기 지지부의 자중에 따른 회전 운동과 상기 스토퍼의 저지에 따라 상기 상부 정반의 판면에 대해 일정 각도를 이루며 배치되는 것을 특징으로 하는 합착장치.
제3항에 있어서,
상기 제1기판과 상기 제2기판은 상기 합착위치에서 상기 지지부의 회전 운동에 따라 상기 스토퍼에 지지된 상기 지지부의 일영역부터 부분적으로 상호 합착되는 것을 특징으로 하는 합착장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 정렬유닛은,
상기 제1기판과 상기 제2기판의 가압에 따른 상기 지지유닛의 회전에 따라 상기 제1기판의 판면에 대해 상기 제2기판이 정렬되도록 신축되는 복수개의 정렬 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 합착장치.
제5항에 있어서,
복수개의 상기 정렬 액추에이터는 제1정렬 액추에이터, 제2정렬 액추에이터 및 제3정렬 액추에이터를 포함하고,
상기 제1, 2 및 제3정렬 액추에이터는 상호 등간격을 이루며 방사상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 합착장치.
제6항에 있어서,
상기 정렬 액추에이터는 동력부와 로드부를 포함하는 유압 액추에이터, 공압 액추에이터 및 리니어 볼스크루 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 합착장치.