KR102020236B1 - 패널 합착 장치 - Google Patents

패널 합착 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102020236B1
KR102020236B1 KR1020180046246A KR20180046246A KR102020236B1 KR 102020236 B1 KR102020236 B1 KR 102020236B1 KR 1020180046246 A KR1020180046246 A KR 1020180046246A KR 20180046246 A KR20180046246 A KR 20180046246A KR 102020236 B1 KR102020236 B1 KR 102020236B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
panel
chuck
stage
chamber
unit
Prior art date
Application number
KR1020180046246A
Other languages
English (en)
Inventor
정창부
최영훈
김승원
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020180046246A priority Critical patent/KR102020236B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102020236B1 publication Critical patent/KR102020236B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

패널 합착 장치가 개시된다. 상기 패널 합착 장치는, 상부가 개방된 하부 챔버와, 하부가 개방된 상부 챔버와, 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 사이에 배치되며 상기 하부 챔버와 결합하여 하부 공간을 형성하고 상기 상부 챔버와 결합하여 상부 공간을 형성하는 스테이지와, 상기 하부 챔버 내에 배치되며 제1 패널을 지지하기 위한 제1 척과, 상기 상부 챔버 내에 배치되며 제2 패널이 아래를 향하도록 상기 제2 패널을 지지하는 제2 척과, 상기 스테이지의 하부면 상에 배치되며 제3 패널이 아래를 향하도록 상기 제3 패널을 지지하는 제3 척과, 상기 스테이지의 상부면 상에 배치되며 제4 패널을 지지하기 위한 제4 척과, 상기 제1 패널과 상기 제3 패널을 합착하기 위하여 상기 제1 척을 상승시키는 제1 수직 구동부와, 상기 제2 패널과 상기 제4 패널을 합착하기 위하여 상기 제2 척을 하강시키는 제2 수직 구동부를 포함한다.

Description

패널 합착 장치{Apparatus for attaching panels to each other}
본 발명의 실시예들은 패널 합착 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 디스플레이 장치의 제조 공정에서 디스플레이 패널, 터치 패널, 윈도우 글래스 등의 패널들을 서로 합착하기 위한 패널 합착 장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD(liquid crystal display), OLED(organic light emitting diode display) 등과 같은 디스플레이 장치들의 제조 공정에서는 LCD 패널과 OLED 패널 등과 같은 디스플레이 패널과 윈도우 글래스를 합착하거나 터치 패널 상에 윈도우 글래스를 합착하는 등의 패널 합착 공정이 수행될 수 있다.
일 예로서, 대한민국 공개특허공보 제10-2007-0113843호, 대한민국 등록특허공보 제10-0994718호, 제10-1073558호, 제10-0499571호, 제10-1699718호 등에는 패널 합착 공정을 수행하기 위한 다양한 형태의 장치들이 개시되어 있다. 상기 패널 합착 공정을 수행하기 위한 장치는 제1 패널을 지지하기 위한 하부 스테이지를 포함하는 하부 챔버와 제2 패널을 지지하기 위한 상부 스테이지를 포함하는 상부 챔버를 포함할 수 있으며, 상기 하부 챔버와 상부 챔버를 결합하여 상기 패널 합착 공정이 수행되는 내부 공간을 형성하고, 상기 내부 공간을 진공 분위기로 형성한 후 상기 하부 및 상부 스테이지들을 서로 마주하는 방향으로 이동시킴으로써 상기 제1 패널과 제2 패널을 서로 합착할 수 있다.
그러나, 상기 하부 챔버와 상부 챔버의 결합에 의해 형성된 내부 공간을 진공 분위기로 형성하고 합착 이후 상기 진공 분위기를 파기하는데 상당한 시간이 소요되기 때문에 상기 패널 합착 공정의 생산성을 향상시키는데 한계가 있다.
본 발명의 실시예들은 패널 합착 공정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 패널 합착 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 패널 합착 장치는, 상부가 개방된 하부 챔버와, 하부가 개방된 상부 챔버와, 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 사이에 배치되며 상기 하부 챔버와 결합하여 하부 공간을 형성하고 상기 상부 챔버와 결합하여 상부 공간을 형성하는 스테이지와, 상기 하부 챔버 내에 배치되며 제1 패널을 지지하기 위한 제1 척과, 상기 상부 챔버 내에 배치되며 제2 패널이 아래를 향하도록 상기 제2 패널을 지지하는 제2 척과, 상기 스테이지의 하부면 상에 배치되며 제3 패널이 아래를 향하도록 상기 제3 패널을 지지하는 제3 척과, 상기 스테이지의 상부면 상에 배치되며 제4 패널을 지지하기 위한 제4 척과, 상기 제1 패널과 상기 제3 패널을 합착하기 위하여 상기 제1 척을 상승시키는 제1 수직 구동부와, 상기 제2 패널과 상기 제4 패널을 합착하기 위하여 상기 제2 척을 하강시키는 제2 수직 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 합착 장치는, 상기 하부 챔버와 연결되며 상기 하부 공간을 개폐하기 위한 제3 수직 구동부와, 상기 상부 챔버와 연결되며 상기 상부 공간을 개폐하기 위한 제4 수직 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 합착 장치는, 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 사이의 제1 위치 및 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 외측의 제2 위치 사이에서 상기 스테이지를 이동시키기 위한 수평 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제2 위치에서 상기 제3 패널과 상기 제4 패널이 상기 제3 척과 상기 제4 척 상에 각각 로드될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 합착 장치는, 상기 제3 패널과 상기 제4 패널의 로드를 위하여 상기 스테이지를 반전시키는 반전 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 합착 장치는, 상기 제2 위치로 이동된 상기 스테이지의 상부에 배치되며 상기 제3 척 상에 상기 제3 패널이 로드된 후 상기 제3 패널의 위치 정보를 획득하고 상기 제4 척 상에 상기 제4 패널이 로드된 후 상기 제4 패널의 위치 정보를 획득하기 위한 상부 비전 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 합착 장치는, 상기 제1 척 상에 지지된 상기 제1 패널의 위치를 검출하기 위한 제1 카메라 및 상기 제2 척 상에 지지된 상기 제2 패널의 위치를 검출하기 위한 제2 카메라를 포함하는 중간 비전 유닛을 더 포함할 수 있으며, 상기 중간 비전 유닛은 상기 스테이지와 연결되어 상기 수평 구동부에 의해 이동될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 스테이지가 상기 제2 위치로 이동되는 경우 상기 중간 비전 유닛은 상기 제1 위치로 이동될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 합착 장치는, 상기 제2 위치로 이동된 상기 스테이지의 하부 및 상부에 각각 배치되며 상기 제3 및 제4 척들 상에 각각 로드된 상기 제3 및 제4 패널들의 위치 정보를 획득하기 위한 하부 및 상부 비전 유닛들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 외측의 제3 위치에서 상기 제3 패널과 상기 제4 패널이 상기 제3 척과 상기 제4 척 상에 각각 로드될 수 있으며, 상기 스테이지는 상기 수평 구동부에 의해 상기 제3 위치와 상기 제2 위치 사이에서 이동될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 합착 장치는, 상기 제2 위치로 이동된 상기 스테이지의 하부에 배치되며 상기 제3 척 상에 로드된 상기 제3 패널의 위치를 검출하기 위한 제3 카메라를 포함하는 하부 비전 유닛과, 상기 제2 위치로 이동된 상기 스테이지의 상부에 배치되며 상기 제4 척 상에 로드된 상기 제4 패널의 위치를 검출하기 위한 제4 카메라를 포함하는 상부 비전 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 합착 장치는, 상기 제1 척 상에 지지된 상기 제1 패널의 위치를 검출하기 위한 제1 카메라 및 상기 제2 척 상에 지지된 상기 제2 패널의 위치를 검출하기 위한 제2 카메라를 포함하는 중간 비전 유닛과, 상기 제1 위치 및 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 외측의 제4 위치 사이에서 상기 중간 비전 유닛을 이동시키기 위한 제2 수평 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 합착 장치는, 상기 제1 척 상에 지지된 상기 제1 패널의 위치를 검출하기 위한 제1 카메라 및 상기 제2 척 상에 지지된 상기 제2 패널의 위치를 검출하기 위한 제2 카메라를 포함하는 중간 비전 유닛과, 상기 제2 위치에 배치되며 상기 제3 및 제4 척들 상에 각각 로드된 상기 제3 및 제4 패널들의 위치 정보를 획득하기 위한 하부 및 상부 비전 유닛들을 더 포함할 수 있으며, 상기 수평 구동부는 상기 하부 및 상부 챔버들과 상기 하부 및 상부 비전 유닛들 사이에 배치되고 상기 스테이지와 상기 중간 비전 유닛 사이에 연결되며, 상기 스테이지와 상기 중간 비전 유닛을 회전시킴으로써 상기 스테이지와 상기 중간 비전 유닛을 상기 제1 위치와 제2 위치 사이에서 이동시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버는 상기 하부 공간과 상기 상부 공간에 진공 분위기를 형성하기 위하여 진공 펌프와 연결될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 하부 챔버와 상기 스테이지 사이 그리고 상기 상부 챔버와 상기 스테이지 사이에는 각각 밀봉 부재가 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 합착 장치는, 상기 제1 패널과 상기 제3 패널 사이의 정렬을 위해 상기 제1 척의 위치 및 각도를 조절하는 제1 정렬 유닛과, 상기 제2 패널과 상기 제4 패널 사이의 정렬을 위해 상기 제2 척의 위치 및 각도를 조절하는 제2 정렬 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 정렬 유닛은 제1 UVW 스테이지를 포함하고, 상기 제2 정렬 유닛은 제2 UVW 스테이지를 포함할 수 있으며, 상기 제1 척과 상기 제2 척은 상기 제1 UVW 스테이지와 상기 제2 UVW 스테이지 상에 각각 배치될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 패널 합착 장치는, 상부가 개방된 하부 챔버와, 하부가 개방된 상부 챔버와, 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 사이에 배치되며 상기 하부 챔버와 결합하여 하부 공간을 형성하고 상기 상부 챔버와 결합하여 상부 공간을 형성하는 스테이지와, 상기 하부 챔버 내에 배치되며 제1 패널을 지지하기 위한 제1 척과, 상기 상부 챔버 내에 배치되며 제2 패널이 아래를 향하도록 상기 제2 패널을 지지하는 제2 척과, 상기 스테이지의 하부면 상에 배치되며 제3 패널이 아래를 향하도록 상기 제3 패널을 지지하는 제3 척과, 상기 스테이지의 상부면 상에 배치되며 제4 패널을 지지하기 위한 제4 척과, 상기 제1 패널과 상기 제3 패널을 합착하기 위하여 상기 제1 척을 상승시키는 제1 수직 구동부와, 상기 제2 패널과 상기 제4 패널을 합착하기 위하여 상기 제2 척을 하강시키는 제2 수직 구동부를 포함할 수 있다.
따라서, 상기 하부 공간과 상부 공간은 상기 하부 챔버와 상기 스테이지 그리고 상기 상부 챔버와 상기 스테이지에 의해 각각 한정되므로 종래 기술에 비하여 체적이 크게 감소될 수 있으며, 이에 따라 상기 하부 공간과 상기 상부 공간에 진공 분위기를 형성하는데 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다. 또한, 상기 하부 공간과 상기 상부 공간 내에서 패널 합착 공정이 동시에 수행될 수 있으므로, 상기 패널 합착 공정에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 합착 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2 내지 도 5는 도 1에 도시된 패널 합착 장치에 의해 수행되는 패널 합착 공정을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 패널 합착 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 패널 합착 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 패널 합착 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 합착 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 합착 장치(100)는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 디스플레이 패널 또는 터치 패널 상에 윈도우 글래스를 합착하기 위해 사용될 수 있다. 그러나, 상기와 다르게 다양한 패널들의 합착에도 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 합착 장치가 사용될 수 있으므로 상기한 바에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기 패널 합착 장치(100)는, 상부가 개방된 하부 챔버(110)와, 하부가 개방된 상부 챔버(120)와, 상기 하부 챔버(110)와 상기 상부 챔버(120) 사이에 배치되며 상기 하부 챔버(110)와 결합하여 하부 공간(112)을 형성하고 상기 상부 챔버(120)와 결합하여 상부 공간(122)을 형성하는 스테이지(130)와, 상기 하부 챔버(110) 내에 배치되며 제1 패널(10)을 지지하기 위한 제1 척(114)과, 상기 상부 챔버(120) 내에 배치되며 제2 패널(20)이 아래를 향하도록 상기 제2 패널(20)을 지지하는 제2 척(124)과, 상기 스테이지(130)의 하부면 상에 배치되며 제3 패널(30)이 아래를 향하도록 상기 제3 패널(30)을 지지하는 제3 척(132)과, 상기 스테이지(130)의 상부면 상에 배치되며 제4 패널(40)을 지지하기 위한 제4 척(134)과, 상기 제1 패널(10)과 상기 제3 패널(30)을 합착하기 위하여 상기 제1 척(114)을 상승시키는 제1 수직 구동부(116)와, 상기 제2 패널(20)과 상기 제4 패널(40)을 합착하기 위하여 상기 제2 척(124)을 하강시키는 제2 수직 구동부(126)를 포함할 수 있다.
도시되지는 않았으나, 상기 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120)는 상기 하부 공간(112)과 상기 상부 공간(122)에 진공 분위기를 형성하기 위하여 진공 펌프(미도시)와 연결될 수 있다. 즉, 상기 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120) 및 상기 스테이지(130)가 결합된 상태에서 상기 진공 펌프에 의해 상기 하부 공간(112)과 상부 공간(122)이 진공 분위기로 형성될 수 있으며, 상기 진공 분위기에서 상기 제1 패널(10)과 제3 패널(30) 및 제2 패널(20)과 제4 패널(40)의 합착 공정이 동시에 수행될 수 있다. 이때, 일 예로서, 상기 제1 패널(10)과 제2 패널(20)은 윈도우 글래스일 수 있으며, 상기 제3 패널(30)과 제4 패널(40)은 디스플레이 패널 또는 터치 패널일 수 있다.
상기 스테이지(130)는 평탄한 하부면과 상부면을 가질 수 있으며, 상기 하부 챔버(110)와 상기 스테이지(130) 사이 그리고 상기 상부 챔버(120)와 상기 스테이지(130) 사이에는 상기 진공 분위기를 유지하기 위한 밀봉 부재(136)가 각각 배치될 수 있다.
상기 제1 수직 구동부(116)는 상기 하부 챔버(110)의 하부에 배치될 수 있으며, 상기 제2 수직 구동부(126)는 상기 상부 챔버(120)의 상부에 배치될 수 있다. 특히, 상기 제1 수직 구동부(116)와 제2 수직 구동부(126)는 각각 구동축을 통해 상기 제1 척(114)과 제2 척(124)에 연결될 수 있으며, 도시되지는 않았으나, 상기 제1 및 제2 수직 구동부들(116, 126)의 구동축들은 벨로우즈 형태의 보호 부재들을 통해 보호될 수 있다.
상기 하부 챔버(110)와 상기 상부 챔버(120)는 각각 제3 수직 구동부(140)와 제4 수직 구동부(142)에 연결될 수 있으며, 상기 제3 수직 구동부(140)와 상기 제4 수직 구동부(142)는 상기 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120) 및 상기 스테이지(130)를 결합하기 위해 상기 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120)의 수직 방향 이동에 의해 상기 하부 공간(112)과 상부 공간(122)이 개폐될 수 있다. 일 예로서, 상기 제3 수직 구동부(140)와 제4 수직 구동부(142)는 모터와 볼 스크루 및 리니어 모션 가이드 등을 이용하여 구성될 수 있다.
상기 제3 척(132)과 제4 척(134)은 각각 상기 스테이지(130)의 하부면과 상부면 상에 각각 배치될 수 있으며, 상기와 같이 하부 공간(112)과 상부 공간(122)이 닫힌 상태에서 상기 제1 척(114)과 상기 제2 척(124)이 각각 상승 및 하강함으로써 상기 제1 패널(10)과 제3 패널(30) 및 제2 패널(20)과 제4 패널(40)이 서로 합착될 수 있다. 특히, 상기와 같이 제3 척(132) 및 제4 척(134)이 상기 스테이지(130)의 하부면과 상부면 상에 각각 배치되므로, 하부 챔버와 상부 챔버의 결합에 의해 내부 공간을 형성하는 종래 기술과 비교하여 상기 하부 공간(112)과 상기 상부 공간(122)이 상대적으로 작게 구성될 수 있다. 결과적으로, 상기 하부 공간(112)과 상기 상부 공간(122)에 진공 분위기를 형성하고 또한 상기 진공 분위기를 파기하는데 소요되는 시간이 상대적으로 단축될 수 있으며, 이에 따라 상기 패널 합착 공정에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 하부 챔버(110)와 상기 상부 챔버(120) 사이의 제1 위치(50) 및 상기 하부 챔버(110)와 상기 상부 챔버(120) 외측의 제2 위치(52) 사이에서 상기 스테이지(30)를 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부(144)가 구비될 수 있다. 상기 수평 구동부(144)는 패널 합착 공정을 수행하기 위하여 상기 스테이지(30)를 상기 제1 위치(50)로 이동시킬 수 있으며, 상기 제3 척(132)과 제4 척(134) 상에 상기 제3 패널(30)과 제4 패널(40)을 각각 로드하기 위해 상기 스테이지(130)를 상기 제2 위치(52)로 이동시킬 수 있다. 일 예로서, 상기 수평 구동부(144)는 모터와 볼 스크루 및 리니어 모션 가이드 등을 이용하여 구성될 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 패널 합착 장치(100)는 상기 제3 척(132)과 제4 척(134) 상에 상기 제3 패널(30)과 제4 패널(40)을 로드하기 위한 패널 이송 로봇(미도시)을 구비할 수 있다. 상기 패널 이송 로봇으로는 다관절 로봇이 사용될 수 있으며, 상기 패널 이송 로봇은 상기 제3 패널(30)과 제4 패널(40)을 진공 흡착하기 위한 진공 노즐들과 상기 제3 패널(30)과 상기 제4 패널(40)이 상기 제3 척(132)과 상기 제4 척(134) 상에 각각 로드된 후 상기 제3 패널(30)과 상기 제4 패널(40)로부터 보호 테이프를 박리하기 위한 그리퍼를 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 패널 이송 로봇은 상기 진공 노즐들을 이용하여 상기 제3 패널(30)을 상기 제3 척(132) 상에 로드할 수 있으며, 상기 그리퍼를 이용하여 상기 제3 패널(30) 상의 보호 테이프를 파지한 후 상기 보호 테이프를 상기 제3 패널(30)로부터 박리할 수 있다.
상기 패널 합착 장치(100)는 상기 제3 패널(30)과 제4 패널(40)의 로드를 위하여 상기 스테이지(130)를 반전시키는 반전 구동부(146)를 포함할 수 있다. 상기 반전 구동부(146)는 상기 제4 패널(40)이 상기 제4 척(134) 상에 로드된 후 상기 제3 패널(30)의 로드를 위해 상기 제3 척(132)이 위를 향하도록 상기 스테이지(130)를 반전시킬 수 있다.
아울러, 상기 패널 합착 장치(100)는 상기 제1 척(114)과 제2 척(124) 상에 상기 제1 패널(10)과 제2 패널(20)을 로드하기 위한 제2 패널 이송 로봇(미도시)을 구비할 수 있다. 상기 제2 패널 이송 로봇은 상기 패널 이송 로봇과 동일한 구성을 가질 수 있다. 그러나, 상기와 다르게, 하나의 패널 이송 로봇을 이용하여 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 패널들(10, 20, 30, 40)을 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 척들(114, 124, 132, 134) 상에 각각 로드할 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 패널 합착 장치(100)는, 상기 제1 척(114) 상에 지지된 상기 제1 패널(10)의 위치를 검출하기 위한 제1 카메라(152)와 상기 제2 척(124) 상에 지지된 상기 제2 패널(20)의 위치를 검출하기 위한 제2 카메라(154)를 포함하는 중간 비전 유닛(150)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 중간 비전 유닛(150)은 상기 스테이지(130)의 일측에 연결될 수 있으며 상기 수평 구동부(144)에 의해 상기 스테이지(130)와 함께 수평 이동될 수 있다.
특히, 상기 스테이지(130)가 상기 제2 위치(52)로 이동되는 경우 상기 중간 비전 유닛(150)은 상기 하부 챔버(110)와 상기 상부 챔버(120) 사이의 상기 제1 위치(50)로 이동될 수 있으며, 상기 제1 위치(50)에서 상기 제1 패널(10) 및 제2 패널(20)의 위치 정보를 획득할 수 있다.
상기 제2 위치(52)로 이동된 상기 스테이지(30)의 하부 및 상부에는 상기 제3 척(132) 및 제4 척(134) 상에 각각 로드된 상기 제3 패널(30) 및 제4 패널(40)의 위치 정보를 획득하기 위한 하부 비전 유닛(160)과 상부 비전 유닛(170)이 각각 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 하부 비전 유닛(160)은 상기 제2 위치(52)로 이동된 상기 스테이지(130)의 하부에 배치될 수 있으며 상기 제3 척(132) 상에 로드된 상기 제3 패널(30)의 위치를 검출하기 위한 제3 카메라(162)를 포함할 수 있다. 아울러, 상기 상부 비전 유닛(170)은 상기 제2 위치(52)로 이동된 상기 스테이지(130)의 상부에 배치될 수 있으며 상기 제4 척(134) 상에 로드된 상기 제4 패널(40)의 위치를 검출하기 위한 제4 카메라(172)를 포함할 수 있다.
그러나, 상기와 다르게, 상기 제3 패널(30)과 제4 패널(40)의 위치 정보들은 상기 상부 비전 유닛(170)에 의해 획득될 수도 있다. 즉, 상기 패널 이송 로봇에 의해 상기 제3 패널(30)이 상기 제3 척(132) 상에 위치된 후 상기 제3 패널(30)의 위치 정보가 상기 상부 비전 유닛(170)에 의해 획득될 수 있으며, 이어서 상기 스테이지(130)의 반전 후 상기 제4 척(134) 상에 상기 제4 패널(40)이 로드될 수 있고, 계속해서 상기 상부 비전 유닛(170)에 의해 상기 제4 패널(40)의 위치 정보가 획득될 수 있다. 이 경우 상기 하부 비전 유닛(160)은 생략될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 패널 합착 장치(100)는, 상기 제1 패널(10)과 상기 제3 패널(30) 사이의 정렬을 위해 상기 제1 척(114)의 위치 및 각도를 조절하는 제1 정렬 유닛(118)과, 상기 제2 패널(20)과 상기 제4 패널(40) 사이의 정렬을 위해 상기 제2 척(124)의 위치 및 각도를 조절하는 제2 정렬 유닛(128)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 제1 정렬 유닛(118)은 제1 UVW 스테이지를 포함하고, 상기 제2 정렬 유닛(128)은 제2 UVW 스테이지를 포함할 수 있다. 상기 제1 척(114)과 상기 제2 척(124)은 상기 제1 UVW 스테이지와 상기 제2 UVW 스테이지 상에 각각 배치될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 수직 구동부들(116, 126)은 상기 제1 및 제2 UVW 스테이지들과 각각 연결될 수 있다.
도시되지는 않았으나, 상기 제1 정렬 유닛(118)과 제2 정렬 유닛(128)의 동작은 제어부(미도시)에 의해 제어될 수 있다. 상기 제어부는 상기 중간 비전 유닛(150)과 상기 하부 및 상부 비전 유닛들(160, 170)로부터 획득된 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 패널들(10, 20, 30, 40)의 위치 정보에 기초하여 상기 제1 및 제2 정렬 유닛들(118, 128)의 동작을 제어할 수 있으며, 이를 통해 상기 제1 패널(10)과 제3 패널(30) 사이의 정렬 및 상기 제2 패널(20)과 제4 패널(40) 사이의 정렬이 이루어질 수 있다.
도 2 내지 도 5는 도 1에 도시된 패널 합착 장치에 의해 수행되는 패널 합착 공정을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 2를 참조하면, 상기 스테이지(130)는 상기 수평 구동부(144)에 의해 상기 하부 비전 유닛(160)과 상기 상부 비전 유닛(170) 사이의 제2 위치(52)로 이동될 수 있으며, 상기 중간 비전 유닛(150)은 상기 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120) 사이의 제1 위치(50)로 이동될 수 있다. 아울러, 상기 하부 챔버(110) 내부의 제1 척(114)과 상기 상부 챔버(120) 내부의 제2 척(124) 상에는 상기 패널 이송 로봇에 의해 각각 제1 패널(10)과 제2 패널(20)이 로드될 수 있으며, 상기 제2 위치(52)로 이동된 상기 스테이지(130)의 제3 척(132) 및 제4 척(134) 상에는 상기 패널 이송 로봇에 의해 제3 패널(30) 및 제4 패널(40)이 로드될 수 있다.
이어서, 상기 중간 비전 유닛(150)에 의해 상기 제1 패널(10)과 제2 패널(20)의 위치 정보가 획득될 수 있으며, 상기 하부 및 상부 비전 유닛들(160, 170)에 의해 상기 제3 패널(30)과 제4 패널(40)의 위치 정보가 획득될 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 스테이지(130)는 상기 수평 구동부(144)에 의해 상기 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120) 사이의 제1 위치(50)로 이동될 수 있으며, 이어서 상기 제3 수직 구동부(140)와 제4 수직 구동부(142)에 의해 상기 하부 챔버(110)와 상기 상부 챔버(120)가 각각 상승 및 하강될 수 있다. 상기 하부 챔버(110)와 상기 상부 챔버(120)의 수직 방향 이동에 의해 상기 하부 공간(112)과 상부 공간(122)이 밀폐된 후 상기 진공 펌프에 의해 상기 하부 공간(112)과 상기 상부 공간(122)이 진공 분위기로 형성될 수 있다.
도 5를 참조하면, 상기 하부 공간(112)과 상부 공간(122)이 진공 분위기로 조성된 후 상기 제1 척(114)과 제2 척(124)이 상기 제1 수직 구동부(116)와 제2 수직 구동부(126)에 의해 각각 상승 및 하강될 수 있으며, 이에 따라 상기 제1 패널(10)과 제3 패널(30) 및 상기 제2 패널(20)과 제4 패널(40)이 합착될 수 있다.
상기 제1 패널(10)과 상기 제3 패널(30) 및 상기 제2 패널(20)과 상기 제4 패널(40)의 합착 공정이 완료된 후 상기 제1 수직 구동부(116)와 제2 수직 구동부(126)가 각각 하강 및 상승될 수 있으며, 이에 따라 상기 합착된 제1 패널(10)과 제3 패널(30)은 상기 제3 척(132) 상에 지지될 수 있으며, 상기 합착된 제2 패널(20)과 제4 패널(40)은 상기 제4 척(134) 상에 지지될 수 있다.
이어서, 상기 제3 수직 구동부(140)와 제4 수직 구동부(142)에 의해 상기 하부 공간(112)과 상부 공간(122)이 개방된 후 상기 스테이지(130)는 상기 수평 구동부(144)에 의해 상기 제2 위치(52)로 이동될 수 있으며, 상기 합착된 제1 패널(10)과 제3 패널(30) 및 상기 합착된 제2 패널(20)과 제4 패널(40)은 상기 패널 이송 로봇에 의해 언로드될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 하부 공간(112)과 상기 상부 공간(122)이 종래 기술과 비교하여 상대적으로 작은 체적을 가질 수 있으므로, 상기 하부 공간(112)과 상부 공간(122)에 진공 분위기를 형성하고 이후 상기 진공 분위기를 파기하는데 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다. 또한, 상기 하부 공간(112)과 상부 공간(122)에서 패널 합착 공정이 동시에 수행될 수 있으므로 상기 패널 합착 공정의 생산성이 크게 향상될 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 패널 합착 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 6을 참조하면, 상기 스테이지(130)는 상기 수평 구동부(144)에 의해 상기 하부 챔버(110)와 상기 상부 챔버(120) 외측의 제3 위치(54)로 이동될 수 있으며, 상기 제3 패널(30)과 제4 패널(40)이 상기 패널 이송 로봇에 의해 상기 제3 척(132) 및 제4 척(134) 상에 각각 로드될 수 있다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 패널 합착 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 상기 중간 비전 유닛(150)은 제2 수평 구동부(180)에 의해 상기 하부 챔버(110)와 상기 상부 챔버(120) 사이의 제1 위치(50) 및 상기 하부 챔버(110)와 상기 상부 챔버(120) 외측의 제4 위치(56)에서 수평 방향으로 이동될 수 있다. 특히, 상기 스테이지(130)가 상기 수평 구동부(144)에 의해 제2 위치(52)로 이동되고 상기 중간 비전 유닛(150)이 상기 제2 수평 구동부(180)에 의해 상기 제4 위치(56)로 이동된 상태에서 상기 제1 척(114)과 제2 척(124) 상에 상기 제1 패널(10)과 제2 패널(20)의 로드가 이루어질 수 있다. 따라서, 상기 제1 패널(10)과 제2 패널(20)의 로드 과정에서 상기 패널 이송 로봇과 상기 중간 비전 유닛(150) 사이의 간섭이 충분히 방지될 수 있다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 패널 합착 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 9를 참조하면, 상기 스테이지(130)와 중간 비전 유닛(150)을 이동시키기 위한 수평 구동부(182)는 상기 하부 및 상부 챔버들(110, 120)과 상기 하부 및 상부 비전 유닛들(160, 170) 사이에 배치될 수 있으며, 상기 스테이지(130)와 상기 중간 비전 유닛(150) 사이에 배치될 수 있다. 특히, 상기 수평 구동부(182)는 상기 스테이지(130)와 상기 중간 비전 유닛(150)에 연결될 수 있으며, 상기 스테이지(130)와 상기 중간 비전 유닛(150)을 회전시킬 수 있다.
구체적으로, 상기 스테이지(130)는 상기 수평 구동부(182)에 의해 회전될 수 있으며, 이에 따라 상기 하부 비전 유닛(160)과 상부 비전 유닛(170) 사이의 제2 위치(62)로 이동될 수 있다. 이어서, 상기 제3 패널(30)과 제4 패널(40)의 로드 및 상기 제3 패널(30)과 제4 패널(40)의 위치 정보 획득이 이루어진 후 상기 수평 구동부(182)에 의해 회전되어 상기 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120) 사이의 제1 위치(60)로 이동될 수 있다.
또한, 상기 중간 비전 유닛(150)은 상기 수평 구동부(182)에 의해 회전될 수 있으며, 이에 따라 상기 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120) 사이의 제1 위치(60)로 이동될 수 있다. 이어서, 상기 제1 패널(10)과 제2 패널(20)의 위치 정보 획득이 이루어진 후 상기 수평 구동부(182)에 의해 회전되어 상기 하부 비전 유닛(160)과 상부 비전 유닛(170) 사이의 제2 위치(62)로 이동될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 도시된 바와 같이 상기 스테이지(30)가 상기 하부 및 상부 챔버들(110, 120)과 상기 하부 및 상부 비전 유닛들(160, 170) 사이의 제3 위치(64)로 이동된 상태에서 상기 패널 이송 로봇에 의해 상기 제1 및 제2 척들(114, 124) 상으로 상기 제1 및 제2 패널들(10, 20)의 로드가 수행될 수 있으며, 또한 제3 및 제4 척들(132, 134) 상으로 상기 제3 및 제4 패널들(30, 40)의 로드가 수행될 수 있다.
또한, 도시되지는 않았으나, 생산성의 향상을 위해 제2 하부 및 상부 챔버들과 제2 하부 및 상부 비전 유닛들이 상기 하부 및 상부 챔버들(110, 120)과 상기 하부 및 상부 비전 유닛들(160, 170)과 원주 방향으로 90° 정도 이격되어 추가 배치될 수 있으며, 제2 스테이지와 제2 중간 비전 유닛이 상기 스테이지(130)와 상기 중간 비전 유닛(150)과 원주 방향으로 90° 정도 이격되어 추가 배치될 수 있다. 상기 수평 구동부(182)의 주위에 복수의 하부 및 상부 챔버들, 복수의 하부 및 상부 비전 유닛들, 복수의 스테이지들 및 복수의 중간 비전 유닛들을 배치함으로써 패널 합착 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 패널 합착 장치(10)는, 상부가 개방된 하부 챔버(110)와, 하부가 개방된 상부 챔버(120)와, 상기 하부 챔버(110)와 상기 상부 챔버(120) 사이에 배치되며 상기 하부 챔버(110)와 결합하여 하부 공간(112)을 형성하고 상기 상부 챔버(120)와 결합하여 상부 공간(122)을 형성하는 스테이지(130)와, 상기 하부 챔버(110) 내에 배치되며 제1 패널(10)을 지지하기 위한 제1 척(114)과, 상기 상부 챔버(120) 내에 배치되며 제2 패널(20)이 아래를 향하도록 상기 제2 패널(20)을 지지하는 제2 척(124)과, 상기 스테이지(130)의 하부면 상에 배치되며 제3 패널(30)이 아래를 향하도록 상기 제3 패널(30)을 지지하는 제3 척(132)과, 상기 스테이지(130)의 상부면 상에 배치되며 제4 패널(40)을 지지하기 위한 제4 척(134)과, 상기 제1 패널(10)과 상기 제3 패널(30)을 합착하기 위하여 상기 제1 척(114)을 상승시키는 제1 수직 구동부(116)와, 상기 제2 패널(20)과 상기 제4 패널(40)을 합착하기 위하여 상기 제2 척(124)을 하강시키는 제2 수직 구동부(126)를 포함할 수 있다.
특히, 상기 하부 공간(112)과 상부 공간(122)은 상기 하부 챔버(110)와 상기 스테이지(130) 그리고 상기 상부 챔버(120)와 상기 스테이지(130)에 의해 각각 한정되므로 종래 기술에 비하여 체적이 크게 감소될 수 있으며, 이에 따라 상기 하부 공간(112)과 상기 상부 공간(124)에 진공 분위기를 형성하는데 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다. 또한, 상기 하부 공간(112)과 상기 상부 공간(124) 내에서 패널 합착 공정이 동시에 수행될 수 있으므로, 상기 패널 합착 공정에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 제1 패널 20 : 제2 패널
30 : 제3 패널 40 : 제4 패널
50 : 제1 위치 52 : 제2 위치
54 : 제3 위치 56 : 제4 위치
100 : 패널 합착 장치 110 : 하부 챔버
112 : 하부 공간 114 : 제1 척
116 : 제1 수직 구동부 118 : 제1 정렬 유닛
120 : 상부 챔버 122 : 상부 공간
124 : 제2 척 126 : 제2 수직 구동부
128 : 제2 정렬 유닛 130 : 스테이지
132 : 제3 척 134 : 제4 척
136 : 밀봉 부재 140 : 제3 수직 구동부
142 : 제4 수직 구동부 144 : 수평 구동부
146 : 반전 구동부 150 : 중간 비전 유닛
160 : 하부 비전 유닛 170 : 상부 비전 유닛

Claims (17)

  1. 상부가 개방된 하부 챔버;
    하부가 개방된 상부 챔버;
    상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 사이의 제1 위치 및 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 외측의 제2 위치 사이에서 수평 방향으로 이동 가능하도록 구성되며 상기 하부 챔버와 결합하여 하부 공간을 형성하고 상기 상부 챔버와 결합하여 상부 공간을 형성하는 스테이지;
    상기 하부 챔버 내에 배치되며 제1 패널을 지지하기 위한 제1 척;
    상기 상부 챔버 내에 배치되며 제2 패널이 아래를 향하도록 상기 제2 패널을 지지하는 제2 척;
    상기 스테이지의 하부면 상에 배치되며 제3 패널이 아래를 향하도록 상기 제3 패널을 지지하는 제3 척;
    상기 스테이지의 상부면 상에 배치되며 제4 패널을 지지하기 위한 제4 척;
    상기 제1 패널과 상기 제3 패널을 합착하기 위하여 상기 제1 척을 상승시키는 제1 수직 구동부;
    상기 제2 패널과 상기 제4 패널을 합착하기 위하여 상기 제2 척을 하강시키는 제2 수직 구동부;
    상기 제1 위치 및 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 외측의 제3 위치 사이에서 수평 방향으로 이동 가능하도록 구성되며 상기 제1 및 제2 척들 상의 상기 제1 및 제2 패널들의 위치를 검출하기 위한 중간 비전 유닛; 및
    상기 제2 위치에서 상기 제3 및 제4 척들 상의 상기 제3 및 제4 패널들의 위치를 검출하기 위한 적어도 하나의 비전 유닛을 포함하며,
    상기 중간 비전 유닛은 상기 제1 패널과 제3 패널 및 상기 제2 패널과 제4 패널의 합착 공정이 수행되는 동안 상기 제3 위치에 위치되는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 하부 챔버와 연결되며 상기 하부 공간을 개폐하기 위한 제3 수직 구동부; 및
    상기 상부 챔버와 연결되며 상기 상부 공간을 개폐하기 위한 제4 수직 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치 사이에서 상기 스테이지를 이동시키기 위한 수평 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제2 위치에서 상기 제3 패널과 상기 제4 패널이 상기 제3 척과 상기 제4 척 상에 각각 로드되는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제3 패널과 상기 제4 패널의 로드를 위하여 상기 스테이지를 반전시키는 반전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 적어도 하나의 비전 유닛은 상기 제2 위치로 이동된 상기 스테이지의 상부에 배치되며 상기 제3 척 상에 상기 제3 패널이 로드된 후 상기 제3 패널의 위치 정보를 획득하고 상기 제4 척 상에 상기 제4 패널이 로드된 후 상기 제4 패널의 위치 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 중간 비전 유닛은 상기 제1 척 상에 지지된 상기 제1 패널의 위치를 검출하기 위한 제1 카메라 및 상기 제2 척 상에 지지된 상기 제2 패널의 위치를 검출하기 위한 제2 카메라를 포함하며, 상기 스테이지와 연결되어 상기 수평 구동부에 의해 이동되는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 스테이지가 상기 제2 위치로 이동되는 경우 상기 중간 비전 유닛은 상기 제1 위치로 이동되는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  9. 제3항에 있어서, 상기 제2 위치로 이동된 상기 스테이지의 하부 및 상부에 상기 제3 및 제4 척들 상에 각각 로드된 상기 제3 및 제4 패널들의 위치 정보를 획득하기 위한 하부 및 상부 비전 유닛들이 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  10. 삭제
  11. 제3항에 있어서, 상기 제2 위치로 이동된 상기 스테이지의 하부에 상기 제3 척 상에 로드된 상기 제3 패널의 위치를 검출하기 위한 제3 카메라를 포함하는 하부 비전 유닛이 배치되고,
    상기 제2 위치로 이동된 상기 스테이지의 상부에 상기 제4 척 상에 로드된 상기 제4 패널의 위치를 검출하기 위한 제4 카메라를 포함하는 상부 비전 유닛이 배치되는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  12. 제3항에 있어서, 상기 제1 위치 및 상기 제3 위치 사이에서 상기 중간 비전 유닛을 이동시키기 위한 제2 수평 구동부를 더 포함하며,
    상기 중간 비전 유닛은 상기 제1 척 상에 지지된 상기 제1 패널의 위치를 검출하기 위한 제1 카메라 및 상기 제2 척 상에 지지된 상기 제2 패널의 위치를 검출하기 위한 제2 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  13. 제3항에 있어서,
    상기 제3 위치는 상기 제2 위치와 동일하며,
    상기 수평 구동부는 상기 스테이지와 상기 중간 비전 유닛 사이에 연결되고 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에 배치되며 상기 스테이지와 상기 중간 비전 유닛을 회전시킴으로써 상기 스테이지와 상기 중간 비전 유닛을 상기 제1 위치와 제2 위치 사이에서 이동시키는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버는 상기 하부 공간과 상기 상부 공간에 진공 분위기를 형성하기 위하여 진공 펌프와 연결되는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  15. 제1항에 있어서, 상기 하부 챔버와 상기 스테이지 사이 그리고 상기 상부 챔버와 상기 스테이지 사이에는 각각 밀봉 부재가 배치되는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  16. 제1항에 있어서, 상기 제1 패널과 상기 제3 패널 사이의 정렬을 위해 상기 제1 척의 위치 및 각도를 조절하는 제1 정렬 유닛; 및
    상기 제2 패널과 상기 제4 패널 사이의 정렬을 위해 상기 제2 척의 위치 및 각도를 조절하는 제2 정렬 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제1 정렬 유닛은 제1 UVW 스테이지를 포함하고, 상기 제2 정렬 유닛은 제2 UVW 스테이지를 포함하며,
    상기 제1 척과 상기 제2 척은 상기 제1 UVW 스테이지와 상기 제2 UVW 스테이지 상에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 패널 합착 장치.
KR1020180046246A 2018-04-20 2018-04-20 패널 합착 장치 KR102020236B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180046246A KR102020236B1 (ko) 2018-04-20 2018-04-20 패널 합착 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180046246A KR102020236B1 (ko) 2018-04-20 2018-04-20 패널 합착 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102020236B1 true KR102020236B1 (ko) 2019-09-10

Family

ID=67951003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180046246A KR102020236B1 (ko) 2018-04-20 2018-04-20 패널 합착 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102020236B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102213748B1 (ko) * 2019-09-11 2021-02-08 (주)에스티아이 디스플레이 패널 합착 시스템 및 이를 이용한 디스플레이 패널 합착 방법

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000305059A (ja) * 1999-04-20 2000-11-02 Toshiba Corp 基板加圧装置と加圧方法及びそれを用いた基板貼り合わせ装置と基板貼り合わせ方法
KR20050086282A (ko) * 2004-02-25 2005-08-30 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 합착기
KR20050119934A (ko) * 2004-06-17 2005-12-22 주식회사 에이디피엔지니어링 평판표시소자 제조장치
KR20090023894A (ko) * 2007-09-03 2009-03-06 주식회사 에이디피엔지니어링 입체영상용 디스플레이 패널 합착 장치 및 방법
KR20090025519A (ko) * 2007-09-06 2009-03-11 주식회사 에이디피엔지니어링 기판합착장치
KR20150080449A (ko) * 2013-12-06 2015-07-09 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 기질들을 정렬하기 위한 장치 및 방법

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000305059A (ja) * 1999-04-20 2000-11-02 Toshiba Corp 基板加圧装置と加圧方法及びそれを用いた基板貼り合わせ装置と基板貼り合わせ方法
KR20050086282A (ko) * 2004-02-25 2005-08-30 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 합착기
KR20050119934A (ko) * 2004-06-17 2005-12-22 주식회사 에이디피엔지니어링 평판표시소자 제조장치
KR20090023894A (ko) * 2007-09-03 2009-03-06 주식회사 에이디피엔지니어링 입체영상용 디스플레이 패널 합착 장치 및 방법
KR20090025519A (ko) * 2007-09-06 2009-03-11 주식회사 에이디피엔지니어링 기판합착장치
KR20150080449A (ko) * 2013-12-06 2015-07-09 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 기질들을 정렬하기 위한 장치 및 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102213748B1 (ko) * 2019-09-11 2021-02-08 (주)에스티아이 디스플레이 패널 합착 시스템 및 이를 이용한 디스플레이 패널 합착 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4245138B2 (ja) 基板貼合せ装置及び基板貼合せ方法
KR102219478B1 (ko) 기판 재치 방법, 성막 방법, 전자 디바이스 제조 방법
JP4642608B2 (ja) 基板処理装置および基板処理システム
US8256101B2 (en) Apparatus for attaching substrates of flat display panel
US8072573B2 (en) Apparatus and method for attaching substrates
KR101265277B1 (ko) 패널 부착장치
KR101299843B1 (ko) 처리 장치 및 그 메인테넌스 방법
KR102078115B1 (ko) 라미네이팅 장치
US20040123952A1 (en) FPD fabricating apparatus
KR102020236B1 (ko) 패널 합착 장치
EP3688746B1 (en) Apparatus for bonding a curved display
TWI408770B (zh) The substrate moving out of the moving method and the substrate moving out of the system
KR101341126B1 (ko) 패널 부착장치
KR20140137873A (ko) 글라스와 마스크의 정렬장치
KR100925172B1 (ko) 리드 개폐장치 및 방법
KR20200129358A (ko) 패널 이송 모듈 및 이를 포함하는 패널 합착 장치
KR20210025355A (ko) 패널 이송 모듈 및 이를 포함하는 패널 합착 장치
KR101291313B1 (ko) 패널 부착장치
JP7191678B2 (ja) 基板処理装置、基板処理装置のカセット取り外し方法
KR101245181B1 (ko) 기판 합착 장치
KR101232902B1 (ko) 챔버용 실링장치, 이를 이용한 기판 합착장치 및 기판 처리장치
JP4034978B2 (ja) 基板貼り合わせ装置
JP4031650B2 (ja) 基板貼り合わせ方法及び装置
KR101990854B1 (ko) 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법
KR101294969B1 (ko) 글래스 기판 로딩/언로딩 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant