KR20120126329A - 패널 합착 장치 - Google Patents

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KR20120126329A
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cameras
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KR1020110044037A
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김춘식
김민수
강석제
김경호
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엘아이지에이디피 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 패널합착장치는 상부 챔버와, 상기 상부 챔버 내측에 구비되며, 제1 패널을 지지하는 상부 스테이지와, 상기 상부 챔버의 하부에 위치하는 하부 챔버와, 상기 하부 챔버 내측에 구비되며, 제2 패널을 지지하는 하부 스테이지 및 상기 하부 챔버의 하부에 구비되며, 상기 제1 패널 및 상기 제2 패널의 크기에 따라 이동하며 상기 제1 패널 및 상기 제2 패널의 정렬상태를 촬영하는 패널정렬 카메라모듈을 포함하고, 다양한 크기의 터치 패널이나 디스플레이 패널을 합착할 수 있도록 하여 터치 패널과 디스플레이 패널의 합착 효율과 생산성을 높일 수 있는 효과가 있다.

Description

패널 합착 장치{APPARATUS FOR BONDING PANEL}
본 발명은 패널 합착 장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 다양한 크기의 패널을 정렬하여 합착할 수 있는 합착장치에 관한 것이다.
근래의 평판디스플레이 장치에는 입력수단으로 디스플레이 표면에 부착된 터치패널이 사용되고 있다. 터치패널은 평판디스플레이 패널과 별도로 제작된 후 평판디스플레이 패널의 표면에 부착되고, 터치패널과 평판디스플레이 패널은 이후 전자장치에 설치된다.
터치패널이 평판디스플레이가 서로 부착될 때 터치패널과 평판디스플레이 패널은 최종적으로 전자장치에 장착되기 위한 최종 제품으로 제조가 완료된 것이고, 또한 평판디스플레이 패널도 제조가 완료된 것이다.
전자장치마다 디스플레이 패널의 크기가 다르기 때문에 터치패널도 다양한 크기로 제조되어 디스플레이 패널이 결합된다. 이에 따라 터치패널과 디스플레이 패널을 합착하는 패널합착장치도 다양한 크기로 제조되어 사용되어야 하는 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 본 발명의 목적은 다양한 크기의 터치 패널이나 디스플레이 패널을 합착할 수 있는 패널합착장치를 제공하기 위한 것이다.
전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 패널합착장치는 상부 챔버와, 상기 상부 챔버 내측에 구비되며, 제1 패널을 지지하는 상부 스테이지와, 상기 상부 챔버의 하부에 위치하는 하부 챔버와, 상기 하부 챔버 내측에 구비되며, 제2 패널을 지지하는 하부 스테이지 및 상기 하부 챔버의 하부에 구비되며, 상기 제1 패널 및 상기 제2 패널의 크기에 따라 이동하며 상기 제1 패널 및 상기 제2 패널의 정렬상태를 촬영하는 패널정렬 카메라모듈을 포함한다.
또는 상기 제1 패널은 제1 얼라인 마크가 형성되고, 상기 제2 패널은 제2 얼라인 마크가 형성되어, 상기 패널정렬 카메라모듈은 상기 제1 얼라인 마크과 상기 제2 얼라인 마크를 촬영하여 상기 제1 패널과 상기 제2 패널을 정렬할 수 있다.
또는 상기 패널정렬 카메라모듈은 상기 제1 얼라인 마크 및 상기 제2 얼라인 마크를 촬영하는 카메라와 상기 카메라를 이동시키는 카메라구동부를 포함할 수 있다.
또는 상기 카메라는 상기 하부 스테이지의 일변을 따라 이동할 수 있다.
또는 상기 카메라는 상기 하부 스테이지의 일변과 평행하게 복수 개가 구비되고, 상기 카메라 구동부는 상기 복수 개의 카메라를 상기 제2 패널의 중심축을 기준으로 대칭되도록 이동시킬 수 있다.
또는 상기 카메라는 상기 하부 스테이지의 일변과 평행하게 복수 개가 구비되고, 상기 카메라 구동부는 상기 복수 개의 카메라를 상기 하부 스테이지의 중심축을 기준으로 대칭되도록 이동시킬 수 있다.
또는 상기 복수 개의 카메라와 상기 카메라 구동부 사이에는 상기 복수 개의 카메라를 대칭 이동시키는 대칭구동부가 구비될 수 있다.
또는 상기 카메라는 상기 하부 스테이지의 일변과 평행하게 복수 개가 구비되고, 상기 카메라 구동부는 상기 복수 개의 카메라마다 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 패널합착장치는 다양한 크기의 터치 패널이나 디스플레이 패널을 합착할 수 있도록 하여 터치 패널과 디스플레이 패널의 합착 효율과 생산성을 높일 수 있는 효과가 있다.
이상과 같은 본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 패널합착장치를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 패널정렬 카메라 모듈을 도시한 도면이다.
도 3은 제1 크기의 패널을 정렬한 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 제2 크기의 패널을 정렬한 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널정렬 카메라 모듈을 도시한 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면 상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 패널합착장치를 도시한 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 패널합착장치(10)는 터치 패널과 디스플레이 패널을 합착하는 패널합착장치로서 챔버를 구비한다. 챔버는 상부 챔버(200)와 하부 챔버(300)를 포함한다.
상부 챔버(200)의 내측에는 상부 스테이지(210)가 구비된다. 상부 스테이지(210)의 하면에는 상부 스테이지(210)에서 분리될 수 있으며, 제 1패널(P1)이 안착되는 상부 안착 스테이지(240)가 설치된다. 상부 안착 스테이지(240)는 제 1패널(P1)의 크기에 따라 교체 가능하다.
그리고 상부 챔버(200)의 외측 상부에는 상부 챔버(200)와 상부 스테이지(210) 그리고 상부 안착 스테이지(240)를 관통하는 상부 리프트 핀(260)이 설치된다. 상부 리프트 핀(260)은 제 1패널(P1)을 진공 흡착할 수 있다.
상부 안착 스테이지(240)에는 복수개의 상부 점착척(250)이 설치된다. 상부 점착척(250)은 제 1패널(P1)을 점착하는 점착수지와 점착수지에 부착된 제 1패널(P1)을 점착수지로부터 분리하기 위한 다아이프램(미도시)을 포함한다.
또한, 상부 챔버(200)의 상부 외측에는 상부 스테이지(210)를 상부 안착 스테이지(240)와 함께 승강 또는 하강시키기 위한 상부 스테이지 승강부(220)가 구비된다. 상부 스테이지 승강부(220)는 수평 방향으로 구동하는 리니어 구동블럭(220a)을 구비한다. 이 리니어 구동블럭(220a)은 상부 스테이지(210)에 연결되어 상부 챔버(200)의 상부 외측으로 노출된 구동 지지 플레이트(211)에 설치된 경사블록(211a)의 하부면에 경사지게 적층된다.
따라서 리니어 구동블럭(220a)이 일방향 또는 타방향으로 수평 이동함에 따라 경사블록(211a)이 리니어 구동블록(220a)의 표면을 따라 슬라이딩되고, 이에 따라 구동 지지 플레이트(211)가 상부 스테이지(210)와 함께 상하로 승하강 한다. 그리고 상부 스테이지(210)의 승강방향이 상하 방향으로 유지되도록 구동 지지 플레이트(211)를 상하 방향으로 지지하는 리니어 가이드(230)가 상부 챔버(200)의 상부에 설치된다.
한편, 상부 챔버(200)에는 복수개의 램프(270)가 설치된다. 램프(270)는 제 1패널(P1)과 제 2패널(P2)이 합착되었을 때 제 1패널(P1)과 제 2패널(P2) 사이에 도포된 접착제의 가경화(Temporary curing) 하기 위하여 설치된 것이다. 이 램프(270)는 자외선 램프 또는 엘이디 램프로 실시될 수 있다.
그리고 하부 챔버(300)의 내측에는 제 2패널(P2)이 안착되는 하부 스테이지(310)가 구비된다.
하부 스테이지(310)는 하부 챔버(300)의 내측 공간의 일부를 점유한다.
하부 스테이지(310)의 상면에는 하부 스테이지(310)에 결합 가능하며 상부면에 제 2패널(P2)이 안착되는 하부 안착 스테이지(320)가 설치된다. 하부 안착 스테이지(320)는 패널의 크기에 따라 교체 가능하다. 그리고 하부 챔버(300)의 하부에는 하부 챔버(300)와 하부 스테이지(310) 그리고 하부 안착 스테이지(320)를 관통하는 하부 리프트 핀(340)이 설치된다.
한편, 하부 안착 스테이지(320)에는 복수개의 하부 점착척(330)이 설치된다. 하부 점착척(330)은 제 2패널(30)을 점착하는 점착수지를 포함하고, 점착수지 사이에는 패널을 흡착하는 흡착홀이 형성된다. 그리고 하부 챔버(300)의 외측에는 하부 챔버(300)의 외측 방향으로 이격되어 위치하는 사각틀 형태의 정렬 스테이지(360)가 구비된다.
정렬 스테이지(360)는 전후, 좌우 그리고 회전 동작이 가능한 구성으로 구비된다. 이를 위하여 정렬 스테이지(360)의 하부에는 제 1방향으로 정렬 스테이지(360)가 이동 가능하도록 안내하는 제 1방향 가이드(미도시)와 제 1방향과 직교하는 방향인 제 2방향으로 이동을 안내하는 제 2방향 가이드(미도시)가 적층되어 구비되고, 제 1방향 가이드 및 제 2방향 가이드를 구동시키는 모터를 포함하는 정렬 구동부(361)를 구비한다. 이 정렬 구동부(361)는 정렬 스테이지(360)의 테두리 하부 3곳에 각각 1개씩 설치된다. 그리고 정렬 스테이지(360)의 모서리부에는 회전 가능한 축이 설치되어 복수개의 정렬 구동부(361)가 동작함에 따라 정렬 스테이지(360)가 회전 동작이 가능하도록 구성된다.
그리고 정렬 스테이지(360)에는 4개의 장공(360a)이 형성되며, 이 장공(360a)으로는 상부 챔버(200)의 승강을 위한 상부 챔버 승강부(400)의 축이 관통하여 상부 챔버(200) 측으로 연장되어 상부 챔버(200)의 테두리 부분에 결합되어 있다. 정렬 스테이지(360)에 이와 같은 장공(360a)을 형성한 이유는 정렬 스테이지(360)가 정렬을 위한 동작시 상부 챔버 승강부(400)의 축이 간섭되지 않도록 하기 위한 것이다.
또한 정렬스테이지의 내측면에는 하부 챔버(300)의 측면을 관통하여 하부 챔버(300) 내부에 위치한 하부 스테이지(310)의 측면에 결합되는 연결로드(370)가 설치된다. 이 연결로드(370)는 정렬 스테이지(360)와 하부 스테이지(310)의 정렬 동작이 동기화되도록 하여 정렬 스테이지(360)의 정렬 동작으로 하부 스테이지(310)가 정렬되도록 하기 위한 것이다.
그리고 연결로드(370)의 하부 챔버(300) 내부로 노출된 표면의 외측에는 진공 누설을 방지하기 위한 벨로우즈(380)가 설치된다. 또한 하부 챔버(300)의 외측 하부에는 패널(P1)(P2)의 합착을 위하여 각각의 패널(P1)(P2)에 형성된 얼라인 마크(501~504, 511~514, 도3 및 도4 참조)를 식별하기 위한 적어도 하나 이상의 패널정렬 카메라모듈(1000)이 설치된다.
이하에서는 본 발명의 제1 실시예에 따른 패널정렬 카메라 모듈에 대해 설명한다. 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 패널정렬 카메라 모듈을 도시한 도면이고, 도 3은 제1 크기의 패널을 정렬한 상태를 도시한 도면이며, 도 4는 제2 크기의 패널을 정렬한 상태를 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 패널합착장치(10)의 패널정렬 카메라 모듈(1000)은 복수 개의 카메라(1001,1002)와 각 카메라를 왕복이동시키는 카메라구동부(1011,1012)를 구비한다.
카메라(1001,1002)는 각 패널(P11,P21 또는 P12,P22)에 형성되는 얼라인 마크(501~504, 511~514)의 개수만큼 구비될 수 있다. 예를 들면, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 패널(P11)과 제2 패널(P21)에 각각 2개의 얼라인 마크(501~504)가 형성된 경우, 일측에 형성된 얼라인 마크(501,503)에 대응하는 제1 카메라(1001)과 타측에 형성된 얼라인 마크(502,504)에 대응하는 제2 카메라(1002)가 구비될 수 있다. 카메라(1001,1002)는 하부 스테이지(360)의 하부에 하부 스테이지(360)의 일변과 평행하게 상향으로 설치될 수 있으며, 하부 스테이지(360)에 형성된 개구창(301)을 통해 각 패널(P11,P21 또는 P12,P22)에 형성되는 얼라인 마크(501~504, 511~514)를 바라볼 수 있게 설치될 수 있다.
각 카메라(1001,1002)의 측방 또는 하부에는 카메라(1001,1002)를 개구창(301)을 따라 왕복이동시킬 수 있는 카메라구동부(1011,1012)가 구비될 수 있다. 카메라구동부(1011,1012)는 각각의 카메라(1001,1002)를 개별적으로 제어하여 각 카메라(1001,1002)를 패널(P11,P21 또는 P12,P22)의 크기에 따라 패널(P11,P21 또는 P12,P22)에 형성되는 얼라인 마크(501~504, 511~514)의 위치에 맞게 이동시킬 수 있다.
카메라구동부(1011,1012)는 구동제어부(1100)와 연결되어, 구동제어부(1100)에 의해 제어될 수 있다. 구동제어부(1100)는 얼라인 마크(501~504, 511~514)의 위치를 센싱하여 카메라구동부(1011,1012) 및 카메라(1001,1002)를 제어할 수 있다. 또는 미리 입력되는 패널(P11,P21 또는 P12,P22)의 종류에 따라 카메라구동부(1011,1012) 및 카메라(1001,1002)를 제어하도록 구성될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 하부 스테이지(360)의 상면의 면적에 비해 작은 면적을 갖는 제1 크기의 패널(P11,P12)에 대한 합착공정이 진행되는 경우, 하부 스테이지(360)에는 제1 크기에 대응되는 제1 크기의 하부 안착 스테이지(320)가 설치되고, 제1 크기의 하부 안착 스테이지(320)에 제1 크기의 제2 패널(P21)이 안착될 수 있다.
그리고 상부 스테이지(210, 도 1 참고)에는 제1 크기에 대응되는 제1 크기의 상부 안착 스테이지(240, 도1 참고)가 설치되고, 제1 크기의 상부 안착 스테이지(240, 도1 참고)에 제1 크기의 제1 패널(P11)이 안착될 수 있다.
상부 스테이지(210, 도 1 참고) 및 제1 크기의 상부 안착 스테이지(240, 도1 참고)가 하강하여, 제1 크기의 제1 패널(P11)과 제1 크기의 제2 패널(P21)이 인접하게 되면, 구동제어부(1100)는 각 패널의 일측에 형성된 얼라인 마크(501,503)의 위치에 대응되도록 제1 카메라(1001)를 이동시키고, 각 패널의 타측에 형성된 얼라인 마크(502,504)의 위치에 대응되도록 제2 카메라(1002)를 이동시킬 수 있다.
정렬 스테이지(360)는 하부 스테이지(360)를 전후, 좌우 그리고 회전시켜, 제1 카메라(1001)에 의해 제1 크기의 제1 패널(P11)의 일측에 형성된 얼라인 마크(501)와 제1 크기의 제2 패널(P21)의 일측에 형성된 얼라인 마크(503)가 일치하고, 제2 카메라(1002)에 의해 제1 크기의 제1 패널(P11)의 타측에 형성된 얼라인 마크(502)와 제1 크기의 제2 패널(P21)의 티측에 형성된 얼라인 마크(504)가 일치하도록, 하부 스테이지(360)를 정렬한다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 크기보다 큰 면적을 갖는 제2 크기의 패널(P12,P22)에 대한 합착공정이 진행되는 경우, 하부 스테이지(360)에는 제1 크기에 대응되는 제2 크기의 하부 안착 스테이지(320)가 설치되고, 제2 크기의 하부 안착 스테이지(320)에 제2 크기의 제2 패널(P22)이 안착될 수 있다.
그리고 상부 스테이지(210, 도 1 참고)에는 제2 크기에 대응되는 제2 크기의 상부 안착 스테이지(240, 도1 참고)가 설치되고, 제2 크기의 상부 안착 스테이지(240, 도1 참고)에 제2 크기의 제1 패널(P12)이 안착될 수 있다.
상부 스테이지(210, 도 1 참고) 및 제2 크기의 상부 안착 스테이지(240, 도1 참고)가 하강하여, 제2 크기의 제1 패널(P12)과 제2 크기의 제2 패널(P22)이 인접하게 되면, 구동제어부(1100)는 각 패널의 일측에 형성된 얼라인 마크(511,513)의 위치에 대응되도록 제1 카메라(1001)를 이동시키고, 각 패널의 타측에 형성된 얼라인 마크(512,514)의 위치에 대응되도록 제2 카메라(1002)를 이동시킬 수 있다.
정렬 스테이지(360)는 하부 스테이지(360)를 전후, 좌우 그리고 회전시켜, 제1 카메라(1001)에 의해 제2 크기의 제1 패널(P12)의 일측에 형성된 얼라인 마크(511)와 제2 크기의 제2 패널(P22)의 일측에 형성된 얼라인 마크(513)가 일치하고, 제2 카메라(1002)에 의해 제2 크기의 제1 패널(P12)의 타측에 형성된 얼라인 마크(512)와 제2 크기의 제2 패널(P22)의 티측에 형성된 얼라인 마크(514)가 일치하도록, 하부 스테이지(360)를 정렬한다.
상기와 같은 구성에 의해, 크기가 다른 패널(P11,P21 또는 P12,P22)을 정렬 하는 것이 가능하고, 하나의 패널합착장치(10)에 의해 다양한 크기의 패널을 합착할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널정렬 카메라 모듈에 대해 설명한다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널정렬 카메라 모듈을 도시한 도면이다. 설명의 편의를 위하여 제1실시예와 유사한 부분은 동일한 도면번호를 사용하고, 제1실시예와 공통되는 부분은 설명을 생략한다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 패널정렬 카메라 모듈(1000)은 복수 개의 카메라(1001,1002)마다 각각 카메라구동부(1011,1012)가 구비되었으나, 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널정렬 카메라 모듈(2000)은 하나의 카메라구동부(2010)에 의해 복수 개의 카메라(2001,2002)가 대칭으로 구동 제어된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널 정렬 카메라 모듈(2000)은 한 쌍의 카메라(2001,2002)와 카메라구동부(2010)와 대칭구동부(2020)를 구비한다.
대칭구동부(2020)는 한 쌍의 카메라(2001,2002)와 카메라구동부(2010) 사이에 위치하여 카메라구동부(2010)에 의해 전달되는 힘을 각 카메라(2001,2002)에 전달하되, 각 카메라(2001,2002)이 이동방향이 상호 대칭이 되도록 전달한다. 예를 들면, 일측에 위치한 제1 카메라(2001)가 왼쪽으로 구동될 때에 타측에 위치한 제2 카메라(2002)는 오른쪽으로 구동되도록 하고, 일측에 위치한 제1 카메라(2001)가 오른쪽으로 구동될 때에 타측에 위치한 제2 카메라(2002)는 왼쪽으로 구동되도록 할 수 있다.
일반적으로 각 패널(P11,P21 또는 P12,P22, 도 3 및 도4 참고)에 형성되는 얼라인 마크(501~504, 511~514, 도 3 및 도4 참고)는 패널(P11,P21 또는 P12,P22)의 코너부에 형성되므로, 패널(P11,P21 또는 P12,P22)의 크기가 다르더라도 한 쌍의 카메라(2001,2002)를 패널(P11,P21 또는 P12,P22)의 중심축을 기준으로 대칭되도록 설치한 후, 패널(P11,P21 또는 P12,P22)의 중심축을 기준으로 대칭이 되도록 이동시키면 하나의 카메라구동부(2010)로 양측의 카메라(2001,2002)를 얼라인 마크(501~504, 511~514,)의 위치에 대응되도록 이동시킬 수 있다.
상기와 같은 구성을 이용하기 위하여, 패널(P11,P21 또는 P12,P22)은 패널(P11,P21 또는 P12,P22)의 중심축이 상부 스테이지(210, 도 1 참고) 또는 하부 스테이지(360)의 중심축과 대략 일치하도록 안착됨이 바람직하며, 크기가 다른 패널(P11,P21 또는 P12,P22)이 안착되더라고 패널(P11,P21 또는 P12,P22)의 중심축은 일정한 위치에 위치하도록 안착됨이 바람직하다.
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 패널합착장치(10)의 동작에 대해 설명한다.
제1 크기의 제1 패널(P11) 또는 제2 크기의 제1 패널(P12)이 외부에서 진입하면 상부 리프트 핀(260)이 하강하여 제 1패널(P11 또는 P12)을 흡착한다. 그리고 상부 리프트 핀(260)은 상승하여 제1 패널(P11 또는 P12)이 상부 안착 스테이지(240)에 점착되도록 한다. 이 때, 제 1패널(P11 또는 P12)에 형성된 얼라인 마크(501,502 또는 511,512)는 상부 안착 스테이지(240) 및 상부 스테이지(210)의 외측에 위치한다.
그리고 제1 크기의 제2 패널(P21) 또는 제2 크기의 제2 패널(P22)이 진입하면 하부 리프트 핀(340)이 상승하여 제2 패널(P21 또는 P22)을 흡착한 후 하강한다. 이에 따라 제2 패널(P21 또는 P22)은 하부 안착 스테이지(320)에 점착된다. 이 때, 제2 패널(P21 또는 P22)에 형성된 얼라인 마크(503,504 또는 513,514)는 하부 안착 스테이지(240) 및 하부 스테이지(210)의 외측에 위치한다.
이후, 상부 챔버(200)가 상부 챔버 승강부(400)에 의하여 하강한다. 이에 따라 상부 챔버(200)와 하부 챔버(300)는 밀착되어 챔버 내부를 밀폐한다. 이후 챔버 내부에 대한 진공 펌핑이 이루어지고, 이에 따라 챔버 내부는 진공 상태로 전환된다.
이와 함께 하부 스테이지(310)는 정렬 스테이지(360)에 의하여 전후, 좌우 그리고 회전 방향으로 정렬이 이루어진다. 그리고 정렬시에는 카메라(1001,1002 또는 2001,2001)가 제 1패널(P11 또는 P12)과 제 2패널(P21 또는 P22)의 크기에 따라 각 패널에(P11,P21 또는 P12,P22) 형성된 얼라인 마크(501~504 또는 511~514)의 위치에 대응하도록 카메라구동부(1011,1012 또는 2010)가 카메라(1001,1002 또는 2001,2001)를 이동시킨다. 카메라(1001,1002 또는 2001,2001)는 제 1패널(P11 또는 P12)과 제 2패널(P21 또는 P22)에 형성된 얼라인 마크(501~504 또는 511~514)를 촬영하며 정렬이 정확히 이루어지도록 한다.
제 1패널(P11 또는 P12)과 제 2패널(P21 또는 P22)의 정렬이 이루어지는 동안 또는 다수의 정렬 작업을 수행하는 동안 상부 안착 스테이지(240)는 하부 안착 스테이지(320) 측으로 하강하여 제 1패널(P11 또는 P12)과 제 2패널(P21 또는 P22)을 합착한다.
제 1패널(P11 또는 P12)과 제 2패널(P21 또는 P22)이 합착되면 상부 안착 스테이지(240)에 구비된 다이아프램(미도시)이 팽창하며 제 1패널(P11 또는 P12)이 상부 안착 스테이지(240)에서 분리된다. 그리고 상부 챔버 승강부(400)가 구동하여 상부 챔버(200)를 상승시킨다. 그리고 하부 리프트 핀(340)이 상승하여 하부 안착 스테이지(320)에 점착된 제 2패널(P21 또는 P22)을 분리시킨 후 상승시킨다. 이 때, 진공배기라인(미도시)은 작동을 중단하거나, 기체를 하부 안착 스테이지(320)의 흡착홀(미도시)로 공급하여 제 2패널(P21 또는 P22)의 분리를 용이하게 할 수 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
10: 패널합착장치 200: 상부챔버
210: 상부 스테이지 220: 상부 스테이지 승강부
240: 상부 안착 스테이지 250: 상부 점착척
260: 상부 리프트 핀 270: 램프
300: 하부 챔버 301: 개구창
310: 하부 스테이지 320: 하부 안착스테이지
340: 하부 리프트 핀 360: 정렬 스테이지
361: 정렬 가이드 370: 연결로드
380: 벨로우즈 400: 상부 챔버 승강부
501~504, 511~514: 얼라인 마크 1000,2000: 패널정렬 카메라 모듈 1001,2001: 제1 카메라 1002,2002: 제2 카메라
1011,1012,2010: 카메라구동부 1100: 구동제어부
2020: 대칭구동부

Claims (8)

  1. 상부 챔버;
    상기 상부 챔버 내측에 구비되며, 제1 패널을 지지하는 상부 스테이지;
    상기 상부 챔버의 하부에 위치하는 하부 챔버;
    상기 하부 챔버 내측에 구비되며, 제2 패널을 지지하는 하부 스테이지; 및
    상기 하부 챔버의 하부에 구비되며, 상기 제1 패널 및 상기 제2 패널의 크기에 따라 이동하며 상기 제1 패널 및 상기 제2 패널의 정렬상태를 촬영하는 패널정렬 카메라모듈을 포함하는 패널 합착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 패널은 제1 얼라인 마크가 형성되고, 상기 제2 패널은 제2 얼라인 마크가 형성되어, 상기 패널정렬 카메라모듈은 상기 제1 얼라인 마크과 상기 제2 얼라인 마크를 촬영하여 상기 제1 패널과 상기 제2 패널을 정렬하는 것을 특징으로 하는 패널 합착장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 패널정렬 카메라모듈은 상기 제1 얼라인 마크 및 상기 제2 얼라인 마크를 촬영하는 카메라와 상기 카메라를 이동시키는 카메라구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 합착장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 카메라는 상기 하부 스테이지의 일변과 평행하게 이동하는 것을 특징으로 하는 패널 합착장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 카메라는 상기 하부 스테이지의 일변과 평행하게 복수 개가 구비되고, 상기 카메라 구동부는 상기 복수 개의 카메라를 상기 제2 패널의 중심축을 기준으로 대칭되도록 이동시키는 것을 특징으로 하는 패널 합착장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 카메라는 상기 하부 스테이지의 일변과 평행하게 복수 개가 구비되고, 상기 카메라 구동부는 상기 복수 개의 카메라를 상기 하부 스테이지의 중심축을 기준으로 대칭되도록 이동시키는 것을 특징으로 하는 패널 합착장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 복수 개의 카메라와 상기 카메라 구동부 사이에는 상기 복수 개의 카메라를 대칭 이동시키는 대칭구동부가 구비되는 것을 특징으로 하는 패널 합착장치.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 카메라는 상기 하부 스테이지의 일변과 평행하게 복수 개가 구비되고, 상기 카메라 구동부는 상기 복수 개의 카메라마다 구비되는 것을 특징으로 하는 패널합착장지.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101631028B1 (ko) * 2015-05-20 2016-06-16 (주)다스 디스플레이용 합착 장치

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