特許文献1の方式はガラス基板同士の貼合についてであり、フィルムに関する記載はない。特許文献2〜4の方式は、フィルムに関する内容であるものの、枚葉同士による貼合であって生産性が低い課題がある。一方、本発明の基本となっている特許文献5の方式は、ウェブフィルムとシートとの貼合で、生産性が高い特徴がある。但し、ウェブフィルム及びシートに形成されたパターンを真空チャンバ内で貼合する際に、ウェブフィルム及びシートの保持を真空吸着方法にて行うと、真空チャンバ内の減圧効果が大きいため、十分な保持ができず、基板が一部吸着、または落下することにより、精度の良い貼合ができないおそれがある。
そこで、本発明は真空チャンバ内でウェブフィルム及びシートが十分に保持可能な貼合装置及び貼合方法を提供することを目的とする。
本発明の貼合装置は、ディスプレイ装置の一画面領域にそれぞれ相当する複数の第1のパターン(c)が長手方向に連続して形成され、かつ前記長手方向に搬送されるウェブフィルム(W)をその搬送経路上で支持するフィルム支持手段(41)と、前記ディスプレイ装置の一画面領域に相当する第2のパターン(t)が少なくとも一つ形成された一枚のシート(S)を前記フィルム支持手段に支持された前記ウェブフィルムと対向するように保持可能なシート保持手段(42)と、前記フィルム支持手段を上下方向に移動させる移動機構(45a)と、を備え、前記フィルム支持手段及びシート保持手段は、真空チャンバ(50)内に設置され、前記フィルム支持手段及びシート保持手段には、静電チャック方式で前記ウェブフィルムの支持及び前記シートの保持を行う静電チャック機構(71)と、真空吸着方式で前記ウェブフィルムの支持及び前記シートの保持を行う真空吸着機構(72)と、前記静電チャック機構と前記真空吸着機構とを切り換える切換え手段と、がそれぞれ設けられ、前記移動機構は、前記ウェブフィルムが搬送されている間は前記フィルム支持手段を前記ウェブフィルムの下方に移動させ、搬送が停止した後に上方へ移動して前記ウェブフィルムと前記フィルム支持手段とを接触させていることにより上記課題を解決する。
本発明の貼合装置によれば、ウェブフィルムはフィルム支持手段に、シートはシート保持手段に、それぞれ真空チャック方式と静電チャック方式とが一体化された方式で支持及び保持される。これにより、真空吸着単体方式に比べて、真空チャンバ内でのウェブフィルム及びシートの支持及び保持が確実に行える。フィルムにうねりやたわみがある場合には、初めに真空吸着機構でフィルム及びシートをフィルム支持手段及びシート保持手段に吸着し、フィルムのうねりやたわみを矯正した後に静電チャック機構に切り換えるため静電チャック機構での保持が可能となり、フィルムのようにうねりやたわみのある基板でも問題なく吸着が可能となる。従って、真空チャンバ内であってもウェブフィルム及びシートを十分に保持することができる。また、ウェブフィルムの搬送中は、フィルム支持手段を下方に退避させているので、搬送中にウェブフィルムがフィルム支持手段に擦れて傷つくことを防止できる。
本発明の貼合装置の一形態において、前記フィルム支持手段及び前記シート保持手段は、前記真空吸着機構により前記ウェブフィルムの支持及び前記シートの保持をした後、前記真空チャンバが形成されて真空状態となる前に前記切換え手段により前記静電チャック機構にそれぞれ切り換えられてもよい。この形態によれば、真空チャンバが真空引きされる前に静電チャック機構に切り換えることで、ウェブフィルム及びシートの吸着性を向上することができる。
本発明の貼合装置の一形態において、前記真空チャンバを形成するチャンバ構成部材(43、44)の開閉面(43a、44a)には、前記真空チャンバをシールするOリング(53a、53b、53c)が設けられ、前記ウェブフィルムは、前記Oリングの先端にほぼ接する位置で前記フィルム支持手段に支持されてもよい。この形態によれば、真空チャンバが閉じた際にウェブフィルムに余分な張力が加わらず、貼り合わせ精度を向上させることができる。
本発明の貼合装置の一形態において、前記第2のパターンが前記フィルム支持手段上に支持された第1のパターンに対して位置合わせされるように前記シート保持手段を前記ウェブフィルムの表面に沿った方向に移動させる位置合わせ手段(45b)と、前記シート保持手段に保持されたシートを前記ウェブフィルム上に重ね合わせることができるように前記シート保持手段を前記フィルム支持手段に対して接近及び離間させるシート送り手段(45b)と、をさらに備えてもよい。この形態によれば、静電チャック方式にて支持されたウェブフィルムに対して、同じく静電チャック方式にて保持されたシートが位置合わせされて、ウェブフィルムとシートとが重ね合わされる。静電チャック方式にてウェブフィルム及びシートが支持及び保持されているので、真空チャンバ内においても高精度に重ね合わせることができる。
本発明の貼合装置の一形態において、前記シート保持手段に前記シートが保持される前に、前記シートを前記シート保持手段に対して位置合わせするためのプリアライメントステージ(90)をさらに備えてもよい。この形態によれば、予め位置合わせが行われているため、貼り合わせ精度を更に向上させることができる。
本発明の貼合装置の一形態において、前記フィルム支持手段及び前記シート保持手段には、第1のパターン及び第2のパターンを光学的に位置合わせするために窓部材(47b)がそれぞれ設けられていてもよい。この形態によれば、第1のパターン及び第2のパターンの光透過性を利用して、第1のパターン及び第2のパターンに予め形成されている合わせマークを用いて位置合わせを行うことができ、貼り合わせ精度を更に向上させることができる。
本発明の貼合装置の一形態において、前記一枚のシートに形成される前記第2のパターンの数が一つであってもよい。この形態によれば、ディスプレイ装置の一画面領域に相当する第2のパターンが一つずつ別々のシート上に形成され、それらのシートがウェブフィルム上に形成された第1のパターン群に対して一つずつ位置合わせして貼り合わされる。従って、第1のパターンと第2のパターンとの位置合わせを容易に行うことができる。
本発明の貼合装置の一形態において、前記第1のパターンが液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタパターン(c)として構成され、前記第2のパターンが前記液晶ディスプレイ装置の液晶駆動回路パターン(t)として構成されていてもよい。この形態によれば、液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタパターンと液晶駆動回路パターンとを容易に貼り付けることができる。
本発明の貼合方法は、ディスプレイ装置の一画面領域にそれぞれ相当する複数の第1のパターン(c)が長手方向に連続して形成され、かつ前記長手方向に搬送されるウェブフィルム(W)をフィルム支持手段(41)により真空吸着方式でその搬送経路上で支持する手順と、前記ディスプレイ装置の一画面領域に相当する第2のパターン(t)が少なくとも一つ形成された一枚のシート(S)を前記フィルム支持手段に支持された前記ウェブフィルムと対向するようにシート保持手段(42)により真空吸着方式で保持する手順と、前記フィルム支持手段に支持されたウェブフィルムに対して前記真空吸着方式から静電チャック方式へ切り換え、前記静電チャック方式でウェブフィルムを支持する手順と、前記シート保持手段に保持されたシートに対して前記真空吸着方式から静電チャック方式へ切り換え、前記静電チャック方式でシートを保持する手順と、前記フィルム支持手段及び前記シート保持手段を取り囲むチャンバ(50)内を真空にする手順と、前記シート保持手段を前記ウェブフィルムの表面に沿った方向に移動させて前記第2のパターンを前記フィルム支持手段上に支持された第1のパターンに対して位置合わせする手順と、前記シート保持手段を前記フィルム支持手段に対して接近させて前記シート保持手段に保持された前記シートを前記ウェブフィルム上に重ね合わせる手順と、前記チャンバ内を大気圧に解放する手順と、を備え、前記ウェブフィルムを前記フィルム支持手段により真空吸着方式で支持する手順では、前記フィルム支持手段を上下方向に移動させる移動機構(45a)により、前記ウェブフィルムが搬送されている間は前記フィルム支持手段を前記ウェブフィルムの下方に移動させ、搬送が停止した後に上方へ移動させて前記ウェブフィルムと前記フィルム支持手段とを接触させることにより上記課題を解決する。
本発明の貼合方法によれば、ウェブフィルムはフィルム支持手段に、シートはシート保持手段に、それぞれ真空吸着方式及び静電チャック方式とが一体化された方式で支持及び保持される。真空状態に保たれたチャンバ内でウェブフィルムとシートとが位置合わせされ、重ね合わされる。その後、チャンバ内が大気圧に解放されると、シート保持手段に保持されていたシートが大気圧によりプレスされる。真空チャンバ内であってもウェブフィルム及びシートを十分に保持することができる。
なお、以上の説明では本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
以上、説明したように、本発明の貼合装置及び貼合方法においては、ウェブフィルムはフィルム支持手段に、シートはシート保持手段に、それぞれ真空チャック方式と静電チャック方式とが一体化された方式で支持及び保持される。これにより、真空吸着単体方式に比べて、真空チャンバ内でのウェブフィルム及びシートの支持及び保持が確実に行える。フィルムにうねりやたわみがある場合には、初めに真空吸着機構でフィルム及びシートをフィルム支持手段及びシート保持手段に吸着し、フィルムのうねりやたわみを矯正した後に静電チャック機構に切り換えるため静電チャック機構での保持が可能となり、フィルムのようにうねりやたわみのある基板でも問題なく吸着が可能となる。従って、真空チャンバ内であってもウェブフィルム及びシートを十分に保持することができる。
図1に本発明の一形態に係る貼合装置の概略図を示す。貼合装置1は、ウェブフィルムWの長手方向に連続的に形成された第1のパターンとしてのカラーフィルタ(以下、CFと省略する。)パターンc(図13A参照。)に対して、第2のパターンとしてのTFT(Thin Film Transistor)パターンt(図13A参照。)が形成されたシートとしてのシートフィルムSを重ね合わせて貼合する装置である。貼合装置1は、ウェブフィルムWを巻き出す巻出し装置2と、CFパターンcにシール剤塗布及び液晶滴下を行うディスペンサー3と、CFパターンcとTFTパターンtとを貼合する貼合部4と、貼合したCFパターンc及びTFTパターンtを相互に固定する固定作用付与手段としての固定部5と、固定したCFパターンc及びTFTパターンtを切り取る切取り装置6と、TFTパターンtが形成されたウェブフィルムからTFTパターンtに適した定形サイズのシートフィルムSに切断するシート切断装置7と、シート切断装置7からシートフィルムSを貼合部4に供給するシート搬送装置8とを備えている。さらに、貼合装置1には、巻出し装置2で巻き出されたウェブフィルムWを搬送駆動する搬送駆動部11a、11b(参照符号11で代表することがある。)と、搬送されるウェブフィルムWの張力を調整する搬送クランプ12a〜12e(参照符号12で代表することがある。)、固定クランプ13と、搬送されるウェブフィルムWを監視するエッジセンサ14a〜14d(参照符号14で代表することがある。)とが設けられている。
ウェブフィルムWには、貼合の前工程ですべき、ITO膜やスペーサーの形成等の必要な加工がCFパターンcに対して既に施されて、ロール状に巻き取られている。巻出し装置2は、ロール状に巻かれたウェブフィルムWを巻き出す。ウェブフィルムWは、ロール状に巻かれた状態で巻出し装置2に供給され、巻き出されたウェブフィルムWは、搬送駆動部11a、11bにより巻出し装置2から切取り装置6まで搬送される。搬送駆動部11a、11bは、ディスペンサー3と貼合部4との間、固定部5と切取り装置6との間にそれぞれ設置される。搬送駆動部11a、11bは、いずれも同様の構成で、ウェブフィルムWを挟んで保持しながら搬送方向への送り出しが可能である。搬送クランプ12a〜12eも搬送駆動部11と同様、ウェブフィルムWを挟んで保持しながら搬送方向に駆動することが可能である。搬送クランプ12は、ウェブフィルムWの張力調整をする。固定クランプ13は、駆動機構を有していない以外は、搬送クランプ12と同様の構成である。エッジセンサ14は、各処理間でのウェブフィルムWの搬送状態を随時監視する。エッジセンサ14は、光電センサ等の各種周知の技術にて構成することができる。なお、搬送駆動部11、搬送クランプ12、固定クランプ13及びエッジセンサ14は、各処理間に適宜設置してよい。
図2にディスペンサー3の模式図を示す。ディスペンサー3は、CFパターンcに対してシール剤31を塗布するシール剤供給ノズル32と、液晶33を滴下する液晶滴下ノズル34とを備えている。各ノズル32、34として、例えば、インクジェットノズル等が利用される。シール剤31は、ウェブフィルムW上のCFパターンcに予め形成された隔壁35a、35bの間に塗布される。シール剤31として紫外線硬化樹脂が好適に使用される。液晶33は、液晶滴下法により、隔壁35bに囲まれた領域に滴下される。また、隔壁35a、35bの何れか一方、もしくは両方とも無くてもよい。なお、ディスペンサー3は常圧領域、言い換えれば大気圧に開放された領域に設置されている。また、ディスペンサー3はシール剤塗布を行うディスペンサーと液晶滴下を行うディスペンサーとを縦列配列することも出来る。図示はしないが、ウェブフィルムWのラインを乾燥空気や窒素、アルゴンなどの不活性ガスで満たすことで、シール剤や液晶の吸湿による変質を抑制することも出来る。
図3に貼合部4の拡大図を示す。貼合部4は、CFパターンcが形成されたウェブフィルムWを支持するフィルム支持手段としての下ステージ41と、TFTパターンtが形成されたシートフィルムSを保持するシート保持手段としての上ステージ42と、上下ステージ41、42の周囲に真空チャンバを形成するための下チャンバ構成部材43及び上チャンバ構成部材44と、下ステージ41を駆動するための移動機構としての下ステージ駆動機構45aと、上ステージ42を駆動するための上ステージ駆動機構45bと、上下チャンバ構成部材43、44を駆動するためのチャンバ駆動機構46とを備えている。上下ステージ41、42は、ウェブフィルムWを挟んで上下方向、つまりZ軸方向に対向するように設けられている。下ステージ41には、仮固定部としての複数のUV−LED47aと、UV−LED47aからの紫外線を通過させるための窓部としての孔とが設けられている。UV−LED47aは、紫外線を照射するLEDである。UV−LED47aは、下ステージ41に設けられる孔を介して紫外線を照射する。さらに、上下ステージ41、42には、CFパターンc及びTFTパターンtを光学的に位置合わせするために窓部材としてのガラス窓47bがそれぞれ設けられている。ガラス窓47bは、ガラス等の透過性を有する素材で形成される。CFパターンc及びTFTパターンtには、それぞれ位置合わせに利用される合わせマークが所定の位置に予め形成されており、ガラス窓47bを介して光学センサ等で位置を検出することによってCFパターンc及びTFTパターンtの位置合わせがされる。ガラス窓47bの個数は、適宜設定してよい。
図4に上ステージ42の上面図を示す。なお、下ステージ41も同様の構成を有する。上下ステージ41、42には、静電チャック機構としての静電チャック71と、ウェブフィルムW及びシートフィルムSを吸引して吸着させる真空吸着機構72とがそれぞれ設けられている。上下ステージ41、42のそれぞれのステージ表面には、図4の斜線部で示すように静電チャック71の電極パターンが形成されている。図5を参照して、静電チャック71の吸着原理を説明する。上ステージ42には、誘電体48と、誘電体48に電圧を印加するための内部電極49とが設けられている。内部電極49に電圧を印加すると、誘電体48が帯電する。帯電した誘電体48にウェブフィルムWを近付けると、誘電体48と向かい合う面に反対極性の電荷が集まり、クーロン力が働く。これにより、下ステージ41にウェブフィルムWが吸着する。一方、真空吸着機構72は、ウェブフィルムW及びシートフィルムSに対して吸引力を作用させる。真空吸着機構72は、上下ステージ41、42に設けられた複数の吸引孔73を有する。吸引孔73は、上下ステージ41、42に適宜配置され、図示しない真空ポンプにより空気が吸引されることにより吸引作用が得られる。静電チャック71の電極パターンは、吸引孔73及びガラス窓47bを避けるようにして設けられている。さらに、貼合部4は、真空吸着機構72と静電チャック71とを切り換える切換え手段としての切換えスイッチを有し、真空吸着機構72と静電チャック71とが切換え可能あるいは同時使用可能に構成される。
図6に貼合部4の詳細図、図7に下チャンバ構成部材43の上面図をそれぞれ示す。上下チャンバ構成部材43、44は、ウェブフィルムWを挟んで上下方向に対向するように、かつ上下ステージ41、42を取り囲むようにして開閉可能に設けられている。上下チャンバ構成部材43、44が重ね合わさることにより、上下ステージ41、42の周囲にチャンバ50が形成される。上下チャンバ構成部材43、44は、チャンバ50から空気を吸引するためのダクト51、52を有し、ダクト51、52と連結する図示しない真空ポンプを有し、これにより、チャンバ50内が真空に保持される。下チャンバ構成部材43の開閉面43aには、チャンバ50の開口部をシールするシール部材としての複数のOリング53a、53b、53c(参照符号53で代表することがある。)と、各Oリング53a〜53c間に設けられた複数の吸引孔54とを有する。Oリング53bはOリング53aの周囲を一周するように設けられ、Oリング53cはOリング53bの周囲を一周するように平行に並んで設けられている。つまり、Oリング53により、チャンバ50は三重にシールされる。Oリング53は、それぞれ無端状の形状を有している。Oリング53は、下チャンバ構成部材43に設けられたシール溝43b(図14参照)に嵌め込まれて固定される。Oリング53a〜53cの材質には、複数回使用でき、簡単に入手可能な、一般のシール部材、パッキン等の素材として使用される各種のゴム、エラストマーといった弾性材料を使用することができる。チャンバ50内の機密性を向上させるための手段の一つとして、Oリング53にグリスを塗ることが挙げられるが、グリスがチャンバ50内の汚染の原因となる可能性があるため好ましくない。そのため、汚染を防止するためにグリスは塗らないことが好ましく、グリスを塗らないことによる機密性低下を抑制するために、Oリング53による二重以上の密閉領域があることが特に好ましい。また、Oリング53の断面形状は種々あるが、円形、または円形に近いものが好ましい。
上チャンバ構成部材44の開閉面44aにも対向する位置に同様の構成のOリング53a〜53c及び吸引孔54を有する。Oリング53は、上下チャンバ構成部材43、44を重ね合わせた際に互いに接触するように設けられる。上チャンバ構成部材44に設けられたOリング53も同様、上チャンバ構成部材44に設けられたシール溝44b(図14参照)に嵌め込まれて固定される。上下チャンバ構成部材43、44を重ね合わせる際に、このような構成のOリング53を配置することにより、それぞれ設けられたOリング53がウェブフィルムWを挟んでもOリング53a、53bに囲まれた密閉領域60a及びOリング53b、53cに囲まれた密閉領域60bの空気を吸引することにより、密着し、チャンバ50は密閉される。吸引孔54は、真空ポンプと連結され、チャンバ50内の空気を吸引する。
下ステージ駆動機構45aは、図示しないモータと、モータの出力軸に連結された送りねじとを有する。送りねじは、下ステージ45aにねじ込まれ、モータで送りねじを回転駆動することにより、モータの回転駆動が下ステージ41の直線運動に変換されて上下方向に移動する。上ステージ駆動機構45bは、モータ55aと、モータ55の出力軸に連結された送りねじ56とを有する。送りねじ56は、上ステージ42にねじ込まれている。従って、モータ55にて送りねじ56を回転駆動することにより、モータ55の回転駆動が上ステージ42の直線運動に変換されて上下方向に移動する。また、上ステージ駆動機構45bは、ウェブフィルムWの表面に沿った方向、つまり、図3のX軸方向に移動させるモータ55bと、Y軸方向に移動させるモータ55cとを有する。上ステージ駆動機構45bは、X軸方向及びY軸方向及びZ軸方向に移動が可能であり、CFパターンcにTFTパターンtを位置合わせする位置合わせ手段及びTFTパターンtをCFパターンcに重ね合わせるシート送り手段として兼用される。
チャンバ駆動機構46は、モータ57と、モータ57の出力軸に連結された送りねじ58と、上下チャンバ構成部材43、44を上下方向に案内するガイド59とを有する。送りねじ58は、上下チャンバ構成部材43、44にそれぞれねじ込まれている。ガイド59は、上下チャンバ構成部材43、44の四隅に設けられている。モータ57にて送りねじ58を回転駆動することにより、モータ57の回転駆動が下チャンバ構成部材43、あるいは上チャンバ構成部材44の直線運動に変換されて、ガイド59に案内されながら上下方向に移動する。なお、上下ステージ駆動機構45a、45b及びチャンバ駆動機構46は、各種公知の技術を利用して適宜構成してもよい。
図8に固定部5の拡大図を示す。固定部5は、紫外線を照射する固化手段としてのUV光源61と、ウェブフィルムWを載置する載置ステージとしての石英ステージ62と、貼合されたCFパターンc及びTFTパターンtに対して上方向から圧力を加えるプレスステージ63と、石英ステージ62を上下方向に駆動する石英ステージ駆動機構64と、プレスステージ63を上下方向に駆動するプレスステージ移動機構としてのプレスステージ駆動機構65と、を備えている。UV光源61は、石英ステージ62の下方に設置される。UV光源61として、メタルハライドランプや高圧水銀ランプといった各種公知の紫外線ランプをシール剤31の特性に合わせて利用できる。石英ステージ62はUV光源61から照射される紫外線を透過させるため、紫外線照射領域が石英ガラスで形成されている。これにより、貼合された両パターンc、tのシール剤31の全面に紫外線を照射することが可能となる。
プレスステージ63は、プレスステージ駆動機構65により上下方向に移動可能に構成される。石英ステージ62及びプレスステージ63のウェブフィルムWに対向する面は平坦に形成される。プレスステージ63には、紫外線を反射する層が設けられていてもよい。紫外線を反射する層は、プレスステージ63の表面、つまり、プレスステージ63の下面側に全面に設けられる。あるいは、上面側に設けられていてもよい。紫外線を反射する層は、紫外線を反射する材料の塗布、あるいは、フィルム等の貼付により形成される。この紫外線を反射する層により、一度ウェブフィルムWを通過した紫外線が反射して、ウェブフィルムWに紫外線が再度照射される。従って、紫外線の照射量が増えることとなり、シール剤31に対して効率的に、かつ充分に紫外線を照射することができる。石英ステージ62に載置されたウェブフィルムWに対してプレスステージ63が押し付けられることにより、ウェブフィルムWが石英ステージ62とプレスステージ63とに挟まれる。これにより、ウェブフィルムW上のパターンに圧力が加えられる。
図9に固定部5の詳細図を示す。石英ステージ駆動機構64は、駆動源としてのシリンダ66と、連結部材67にて石英ステージ62と連結された上板68とを有する。シリンダ66が上方向に上板68を押し上げることにより、石英ステージ62が上方向に移動する。シリンダ66の駆動により、石英ステージ62の上下方向の移動が可能となる。プレスステージ駆動機構65は、駆動源としてのシリンダ69を有する。シリンダ69が、プレスステージ63を支持する支持板70を押し下げることにより、プレスステージ63が下方向に移動する。シリンダ69の駆動により、プレスステージ63の上下方向の移動が可能となる。なお、石英ステージ駆動機構64及びプレスステージ駆動機構65は、各種公知の技術を利用して適宜構成してもよい。また、固定部5は、プレスステージ63を冷却する冷却装置を備えてもよい。冷却装置には、各種公知の技術を利用してよい。例えば、プレスステージ63上部に空冷ファンを設け、プレスステージ63付近の空気を強制的に対流させたり、熱を外部へ排気する方法や、プレスステージ63内に冷却用水冷管を設ける方法がある。また、冷却装置は石英ステージ62に備えてもよいが、UV光源61から照射される紫外線を遮蔽する恐れがあるため、プレスステージ63への設置がより好ましい。これによりUV光源61からのランプ熱やシール剤31の硬化発熱によるウェブフィルムW及びシートフィルムSのフィルム変形の抑制が可能となる。
切取り装置6は、ウェブフィルムWから貼合されたCFパターンc及びTFTパターンtを所定のサイズに切り抜く。シート切断装置7は、TFTパターンtが形成されたウェブフィルムからTFTパターンtに適した定形サイズのシートフィルムSに切り抜く。切取り装置6及びシート切断装置7の切り抜き方法として、例えばレーザーによる切断法等が用いられる。
シート搬送装置8は、シートフィルムSを上ステージ42に供給する供給ハンド81と、供給ハンド81をシート切断装置7と貼合部4との間で移動させるハンド駆動機構82とを備えている。図10に供給ハンド81の拡大図、図11に図10のX−X線における供給ハンド81の断面図をそれぞれ示す。供給ハンド81は、シートフィルムSの周縁部Sa(図12A参照)を保持する保持部材83と、保持部材83を支持する支持部84と、保持部材83を支持部84に固定する固定部材85と、支持部84の一辺から延びてハンド駆動機構82と接続する接続部86とを備えている。保持部材83は、シートフィルムSの周縁部Saを保持するためにシートフィルムSの大きさに適した枠状に構成され、支持部84の面に対して突出して設けられている。保持部材83のシートフィルムSの保持面83aには、シートフィルムSを真空吸引して固定するための複数の吸引孔87が所定の間隔で保持部83を一周するようにして設けられている。吸引孔87は、空気を吸引するポンプ等と接続されて保持面83a上に載置されたシートフィルムSを吸着させる。
支持部84は、平板状に構成され、上面84aに保持部材83が設けられている。支持部84は、接続部86と一体として形成されていてもよい。支持部84の保持部材83に囲まれた領域Aには、その中心に空気を流入させるための流入孔88が設けられている。保持部材83に保持されたシートフィルムS、保持部材83及び支持部84に囲まれた空間に対して流入孔88から空気を流入させることで、保持されたシートフィルムSの中心部を上に凸となるようにたわみを生じさせる。固定部材85は、保持部材83の内周側及び外周側に設置される。固定部材85には、支持部84に固定するためのねじ穴89が複数設けられて、ねじ留めすることにより保持部材83が固定される。保持部材83の保持面83aと固定部材85の上面85aとの間には段差Gが設けられ、保持面83aの方がやや高い構造となっている。なお、流入孔88から流入される気体は空気に限られず、例えば、通常の水分を含んだ空気や乾燥空気、窒素・アルゴンなどの不活性ガスであってもよい。シートフィルムSの中心部を上に凸とするたわみの量は、流入孔88から流入される気体の圧力をバルブ等により制御し、調整することができる。
ハンド駆動機構82は、供給ハンド81の接続部86と接続され、供給ハンド81を駆動する。供給ハンド81は、保持面83aに対して上下方向に駆動可能、かつ水平方向に旋回駆動可能、かつ接続部86が延びる方向を軸として回転駆動可能とされる。ハンド駆動機構82の構成は、工業用ロボットや各種ハンドリング装置等の公知の手法を適宜採用してよい。さらに、シート搬送装置8は、シートフィルムSを上ステージ42に対して位置合わせするためのプリアライメントステージ90を備えている。ハンド駆動機構82は、供給ハンド81を上ステージ42へ移動させる前にプリアライメントステージ90へ移動させる。プリアライメントステージ90では、供給ハンド81に保持されたシートフィルムSに対して、上ステージ42の所定の位置へ供給されるように位置合わせを行う。そして、ハンド駆動機構82は、供給ハンド81を駆動して上ステージ42の下方に移動させ、供給ハンド81は、プリアライメントステージ90で適切に位置合わせされたシートフィルムSを上ステージ42に供給する。
図1に戻って、貼合装置1の動作を説明する。巻取り装置2からウェブフィルムWが巻き出されて、搬送経路に沿って搬送される。その搬送動作は、ウェブフィルムW上に形成されたCFパターンcを一つずつある一定の間隔で下ステージ41に繰り出すことができるような間欠的な動作である。ウェブフィルムWの張力は、搬送駆動部11及び搬送クランプ12、固定クランプ13にて、随時調整される。ディスペンサー3では、CFパターンcに対してシール剤31が塗布され、液晶33が滴下される。塗布後、CFパターンcは貼合部4へ搬送される。一方、シート切断装置7は、TFTパターンtが形成されたウェブフィルムを巻き出して、TFTパターンtを所定サイズのシートフィルムSに順次切り抜く。
貼合部4では、ウェブフィルムW上に形成されたCFパターンcとシートフィルムS上に形成されたTFTパターンtとが貼合される。まず、図12A、図12Bを参照して、供給ハンド81によるシートフィルムSの供給動作を説明する。供給ハンド81は、シート切断装置7にて切り抜かれたシートフィルムSの上方に進入する(図12A)。領域AにTFTパターンtが位置するように供給ハンド81を位置合わせした後、供給ハンド81は下降する。保持部材83はシートフィルムSの周縁部Saと接触し、吸引孔87から空気が吸引される。これにより、シートフィルムSは保持部材83に保持される。TFTパターンtに接触することなくシートフィルムSが保持されるので、汚染や傷等を発生させることがない。供給ハンド81に保持されたシートフィルムSは、プリアライメントステージ90に移動される。プリアライメントステージ90で、供給ハンド81上のシートフィルムSは、上ステージ42の所定の位置に供給されるように位置合わせされる。シートフィルムSの位置合わせ後、供給ハンド81の流入孔88から空気が流入する。これにより、シートフィルムSの中心部が凸にたわむ。供給ハンド81は、シートフィルムSが上側となるように反転して、貼合部4の上ステージ42の下方に進入する(図12B)。供給ハンド81は、所定の位置に位置合わせされた後、上昇し、シートフィルムSは、凸となった中心部から外周に向かって上ステージ42に吸着される。真空吸着機構72が作動して、シートフィルムSは真空吸着方式で上ステージ42に吸着される。
上ステージ42に供給されたシートフィルムSは、ウェブフィルムW上のCFパターンcに対して位置合わせされる。図13A〜図13Dを参照して、貼合部4での貼合動作を説明する。貼合部4では、ウェブフィルムWの搬送中は、下ステージ駆動機構45aが下ステージを下方向に移動させて下ステージ41を下方に退避させている(図13A)。ウェブフィルムWは、下チャンバ構成部材43の開閉面43aに設けられたOリング53とほぼ接する位置で搬送される。CFパターンcが所定の位置まで移動されると、ウェブフィルムWの搬送が停止する。下ステージ駆動機構45aが下ステージ41を上方向に移動させ、ウェブフィルムWに下ステージ41が接触する(図13B)。真空吸着機構72が作動して、ウェブフィルムWは真空吸着方式で下ステージ41に吸着される。
上下チャンバ構成部材43、44が閉じられてチャンバ50が形成される。チャンバ50内の空気が吸引されて、減圧が始まると、上下ステージ41、42は、真空吸着機構72から静電チャック71に切り換えて保持吸着する(図13C)。減圧開始前に、上下ステージ41、42を、真空吸着機構72から静電チャック71に切り換えて保持吸着してもよい。真空吸着機構72から静電チャック71への切換えは、チャンバ50が真空状態となる前に行われる。なお、ここで言う真空状態とは500Pa以下の気圧状態を指す。静電チャック方式はチャンバ50内でも吸着可能である特徴の一方、静電チャック71本体の極近傍でしか吸着効果がないという欠点がある。そのため、ウェブフィルムWやシートSのようにうねりやたわみのあるパターンでは吸着し難い場合がある。今回、初めに真空吸着方式にてフィルムを充分、上下ステージ41、42に吸着した後に静電チャック方式に切り替えるため、うねりやたわみのあるパターンでも問題なく吸着が可能となる。チャンバ50の減圧が進み、所定の圧力になると、下ステージ駆動機構45aは、下ステージ41を若干せり上げウェブフィルムWと下ステージ41との密着度合を向上させる。チャンバ50内が真空になると、シール剤31及び液晶33が脱泡処理される。ウェブフィルムW及びシートフィルムSは、静電チャック71により吸着されているため、チャンバ50内でも確実に保持及び支持することができる。
CFパターンc及びTFTパターンtを貼合するため、位置合わせをする。位置合わせには、CFパターンc及びTFTパターンtに予め形成された合わせマークを利用する。上下ステージ41、42にそれぞれ設けられたガラス窓47bを介して光学センサ等で合わせマークを検出することによってCFパターンc及びTFTパターンtの位置合わせがされる。そして、貼合部4は、上ステージ42を下降させて両パターンc、tが形成されたウェブフィルムWとシートSと貼合する(図13D)。上ステージ42の静電チャック71を解除すると、シートフィルムSは自重により上ステージ42から離れ、チャンバ50内の真空状態を解除すると、大気圧により両パターンc、tが形成されたウェブフィルムWとシートフィルムSとがプレスされる。フィルム材質や液晶の特性によっては、大気圧でなく貼合圧をかけても良い。また、貼合時にはUV−LED47aから紫外線が照射される。紫外線がシール剤31の一部に照射されることで、その一部が固化する。これにより、TFTパターンtがCFパターンcに対して部分的に固定、すなわち仮止めされ、貼合のズレを防ぐことができる。
貼合部4で上下チャンバ構成部材43、44が閉じる際に、ウェブフィルムWが連続しているため、上下チャンバ構成部材43、44に設けられたOリング53a〜53cのそれぞれはウェブフィルムWを一部に挟んで閉じることになる。図14にウェブフィルムWを挟んで上下チャンバ構成部材43、44が閉じられた状態での断面図を示す。Oリング53a、53bに囲まれた密閉領域60a及びOリング53b、53cに囲まれた密閉領域60bは、それぞれ吸引孔54から空気が吸引されるので、Oリング53同士の密着が増す。ウェブフィルムWを挟んだ箇所のOリング53は弾性変形するので、ウェブフィルムWを挟まない箇所のOリング53との間に隙間が生じることがない。従って、ウェブフィルムWをOリング53の一部に挟んだ状態でも、Oリング53の全周に亘ってOリング53同士がそれぞれ密着して、チャンバ50内の真空を良好に保持することができる。
ウェブフィルムW上に形成されたCFパターンcには、複数のスペーサ91(図15参照)が設けられている。ウェブフィルムW及びシートフィルムSは樹脂製であり、スペーサ91が硬質だと、貼合する際に両フィルムW、Sが変形するおそれがある。そこで、ウェブフィルムW及びスペーサ91に対してフレキシブル性を付与する。図15にウェブフィルムWとスペーサ91との関係を説明する図を示す。ウェブフィルムW上のスペーサ91の垂直方向から荷重Pをかけた際の変位量δaが、スペーサ91にのみ荷重Pをかけた際のスペーサ91の変位量と比較して大きなものとされる。ここで、変位量δaは、荷重Pをかける前のウェブフィルムWの底面からスペーサ91の上面までの高さから、荷重Pをかけた後のウェブフィルムWの底面からスペーサ91の上面までの高さを減算した値である。また、ウェブフィルムW上のスペーサ91から荷重Pを除去した際の不可逆変位量δbが、スペーサ91のみに荷重Pをかけ、荷重Pを除去した際の不可逆変位量と比較して小さなものとされる。ここで、不可逆変位量δbは、荷重Pをかける前のウェブフィルムWの底面からスペーサ91の上面までの高さから、荷重Pを除去した後のウェブフィルムWの底面からスペーサ91の上面までの高さを減算した値である。
従って、本発明のウェブフィルムW及びスペーサ91が用いられた表示装置は、外側から強い力が加えられた場合であっても、表示装置がその力に追従して変形することができ、かつ荷重Pから解放された際に、荷重Pがかけられる前のセルギャップに近い状態に戻ることができる。よって、種々のフレキシブル性の高い表示装置に用いることができ、かつ対向するシートフィルムSとのセルギャップを安定して保持することができる。なお、ウェブフィルムWに代えて、シートフィルムSにスペーサ91を形成してもよい。スペーサ91は、例えば柱状や壁状等、所定の位置に、所定の形状に形成される。
貼合された両パターンc、tは、固定部5に搬送される。固定部5では、石英ステージ62上の所定の位置に載置された仮止め状態の両パターンc、tに対して、プレスステージ63が下降し、接触する。ウェブフィルムW上の両パターンc、tは石英ステージ62とプレスステージ63とに挟まれて、圧力が付与される。その状態のまま、UV光源61から紫外線が両パターンc、tの全面に亘って照射される。これにより、残りのシール剤31が固化して両パターンc、tがそれらの全周に亘って貼合される。プレスステージ63による圧力により、ウェブフィルムW及びシートフィルムSの形態を維持したままシール剤31が固化するので、固化時に生じるウェブフィルムW及びシートフィルムSの収縮による変形を抑制することができる。また、冷却装置でプレスステージ63を冷却することにより、UV光源61によるランプ熱やシール剤31の固化時に発生する熱を抑え、熱によるウェブフィルムW及びシートフィルムSの変形を抑制することができる。そして、シール剤31の硬化後は切取り装置6に搬送される。切取り装置6では、両パターンc、tがウェブフィルムWから切り取られる。
本発明は、上述した形態に限定されることなく、種々の形態にて実施することができる。例えば、本形態では、第2のパターンとしてTFTパターンtをシートフィルムSに形成したが、ガラスのように適度な剛性を有するシートに第2のパターンが形成されていてもよい。シートフィルムS上に形成される第2のパターンの数は一つに限られない。つまり、一画面領域相当の第2のパターンのみを第2のパターン上に形成する例に限られない。シートフィルムSがウェブフィルムWのような連続性を有しておらず、一枚のシートフィルムS上に形成された第2のパターンをウェブフィルムWに対して一度に、あるいは同時的に位置合わせできる範囲であれば一枚のシートフィルムS上には複数の第2のパターンが形成されてもよい。