JP5061994B2 - シート受渡し機構及びシート受渡し方法 - Google Patents
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42 上ステージ
45 ステージ駆動機構
81 供給ハンド
82 ハンド駆動機構
83 保持部材(保持部)
84 支持部
88 流入孔
t TFT基板(基板)
S シートフィルム(シート)
Sa 周縁部
Claims (2)
- 基板が形成されたシートを吸着して保持する保持ステージと、
前記基板を取り囲む前記シートの周縁部を吸着して保持する保持部と、前記保持部を支持する平板状の支持部と、を有し、前記保持部が前記支持部に比べて突出して設けられ、前記シートを前記保持ステージに供給するシート供給手段と、
を備え、
前記保持部が前記シートの周縁部に沿った枠状に構成され、前記保持部の保持面には、前記シートを吸着する複数の吸引孔が設けられ、
前記支持部の中央には、気体を流入する流入孔が設けられていることを特徴とするシート受渡し機構。 - 基板が形成されたシートの、前記基板を取り囲む周縁部を吸着して保持する保持部と、前記保持部を支持する平板状の支持部と、を有し、前記保持部が前記支持部に比べて突出して設けられ、前記シートを保持ステージに供給するシート供給手段を用いたシート受渡し方法であって、
前記シートの周縁部を前記保持部が吸着し、前記支持部と前記保持部とで前記シートを取り囲むようにして保持する手順と、
前記シート、前記支持部及び前記保持部に囲まれた空間に対して、前記支持部の中央に設けられた流入孔から気体を流入して、保持した前記シートの中央が外側へ向けて凸となるように前記シートをたわませる手順と、
凸にたわんだ状態の前記シートを前記保持ステージに向かい合わせ、前記シート供給手段を前記保持ステージに接近させることで、前記シートの中央から外周に向かって前記シートの前記保持ステージへの吸着を進行させる手順と、
を備えたことを特徴とするシート受渡し方法。
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JP2008083978A JP5061994B2 (ja) | 2008-03-27 | 2008-03-27 | シート受渡し機構及びシート受渡し方法 |
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